特開 2023-133983 切削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023133983

(43)【公開日】2023-09-27

(54)【発明の名称】切削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 55/02 20060101AFI20230920BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20230920BHJP

   B23Q 11/00 20060101ALI20230920BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20230920BHJP

【ＦＩ】

B24B55/02 D

B24B27/06 M

B23Q11/00 L

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022039272

(22)【出願日】2022-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】竹之内 研二

【テーマコード（参考）】

3C047

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C047FF06

3C047GG01

3C158AA03

3C158AA14

3C158AA16

3C158AB04

3C158AC04

3C158BA05

3C158CB01

3C158CB05

3C158DA17

5F063AA21

5F063FF22

5F063FF28

(57)【要約】

【課題】高価な昇圧ポンプ等を使用することなく、アシスト液を連続的に切削部位に供給することができる切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル８ａと、チャックテーブル８ａに保持された被加工物を切削する切削ブレード９３を回転可能に備えた切削手段９と、を含み構成された切削装置１であって、切削手段９に配設され、切削ブレード９３と被加工物に切削水Ｌ１を噴射する切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂと、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂに隣接して配設され切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから噴射された切削水Ｌ１にアシスト液Ｌ２を混入するアシスト液混入ノズル９８と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、を含み構成された切削装置であって、
該切削手段は、切削ブレードと被加工物に切削水を噴射する切削水噴射ノズルと、該切削水噴射ノズルに隣接して配設され該切削水噴射ノズルから噴射された切削水にアシスト液を混入するアシスト液混入ノズルと、を含む切削装置。

【請求項2】

該アシスト液は、有機酸と酸化剤とを含む混合液である請求項１に記載の切削装置。

【請求項3】

該アシスト液は、さらに防食剤を含む請求項２に記載の切削装置。

【請求項4】

該アシスト液は、界面活性剤である請求項１に記載の切削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、を含み構成された切削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが、分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

ダイシング装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、切削ブレードと被加工物とに切削水を供給する切削水噴射ノズルと、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に切削することができる。

【0004】

また、ウエーハの分割予定ラインには、半導体デバイスの電気特性を評価するためのＴＥＧ（Ｔｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）と呼ばれる特性評価用の金属素子（例えば銅からなる）が複数形成されている場合があり、分割予定ラインに沿ってウエーハを切削する際に該金属素子を切削することでバリが発生し、デバイスの品質を低下させるという問題がある。そこで、有機酸、酸化剤、さらには防食剤を含むアシスト液を切削水に混入することで混合液を形成し、該混合液を切削部に供給して、該分割予定ラインを切削する際に切削箇所の金属表面を改質して延性を抑制して、バリの発生を抑制する切削方法が本出願人により提案されている（特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開第６２７４９２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

一般的に、切削部に供給される切削水は、高い圧力（例えば３～５気圧）に昇圧されて切削部位に供給されるものであることから、上記した特許文献１に記載の技術では、高い圧力に昇圧された切削水が流れる切削水供給経路に該アシスト液の流量を調整して圧入するために、該アシスト液を昇圧して混合することになる。そのため、上記した従来の構成を実現するためには、高価な昇圧ポンプを必要とし、該昇圧ポンプによって昇圧された圧力に耐えられる高い強度の配管や、該配管の連結部における漏洩を確実に防止するシール構造とを確保しなければならず、コストが高くなってしまうという問題がある。このような問題は、上記の有機酸、酸化剤、さらには防食剤等を含む液体をアシスト液として使用する場合に限定されず、切削液として界面活性剤を使用する場合にも同様の問題が発生し得る。

【0007】

また、該アシスト液を昇圧する昇圧ポンプとしては、ダイヤフラム式ポンプ、プランジャ式ポンプ等が選択されるが、これらの昇圧ポンプから圧送されるアシスト液の圧力は断続的な特性となるため、切削水へのアシスト液の混合が不連続となり、切削水噴射ノズルから切削水と共に噴射されるアシスト液が断続的となって、加工品質が安定しないという問題がある。

【0008】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、高価な昇圧ポンプ等を使用することなく、アシスト液を連続的に切削部位に供給することができる切削装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、を含み構成された切削装置であって、該切削手段は、切削ブレードと被加工物に切削水を噴射する切削水噴射ノズルと、該切削水噴射ノズルに隣接して配設され該切削水噴射ノズルから噴射された切削水にアシスト液を混入するアシスト液混入ノズルと、を含む切削装置が提供される。

【0010】

該アシスト液は、有機酸と酸化剤とを含む混合液であることが好ましく、該アシスト液は、さらに防食剤を含むことが好ましい。また、該アシスト液は、界面活性剤であってもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、を含み構成された切削装置であって、該切削手段は、切削ブレードと被加工物に切削水を噴射する切削水噴射ノズルと、該切削水噴射ノズルに隣接して配設され該切削水噴射ノズルから噴射された切削水にアシスト液を混入するアシスト液混入ノズルと、を含んでいることから、アシスト液を切削水に圧入するための高価な昇圧ポンプや、昇圧に耐えられる配管、シール構造等を配設する必要がなく、コストが高くなるという問題が解消する。また、昇圧ポンプを採用するとアシスト液の混入が不連続となり、切削水噴射ノズルから噴射される切削水に混入されるアシスト液が断続的に噴射されて、加工品質が安定しないという問題も解消される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本実施形態の切削装置の全体斜視図である。

【図2】（ａ）図１に示す切削装置に装着される切削手段の一部を拡大して示す斜視図、（ｂ）（ａ）に示す切削手段の一部を分解して示す斜視図である。

【図3】図２に示す切削手段により切削加工を実施する態様を示す側面図である。

【図4】本発明の切削手段の別の実施形態を示す分解斜視図である。

【図5】図４に示す切削手段により切削加工を実施する態様を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に基づいて構成される切削装置に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0014】

図１には、本実施形態の切削装置１の全体斜視図が示されている。切削装置１によって加工される被加工物は、例えばシリコン（Ｓｉ）で形成されたウエーハＷであり、テープＴを介して環状のフレームＦに支持されている。以下に説明する本実施形態の切削装置により、ウエーハＷを切削して個々のデバイスチップに分割する態様について説明する。

【0015】

切削装置１は、被加工物である複数のウエーハＷを収容するカセット４（２点鎖線で示す）と、カセット４に収容されたウエーハＷを搬出して仮置きする仮置きテーブル５と、仮置きテーブル５に、カセット４からウエーハＷを搬出する搬出入手段６と、仮置きテーブル５に搬出されたウエーハＷを保持手段８のチャックテーブル８ａに旋回してチャックテーブル８ａの保持面８ｂに載置する搬送手段７と、チャックテーブル８ａの保持面８ｂに吸引保持されたウエーハＷを切削する切削手段９と、切削手段９により切削加工されたウエーハＷを洗浄する洗浄手段１０（詳細は省略している）と、切削加工されたウエーハＷをチャックテーブル８ａから洗浄手段１０へ搬送する洗浄搬送手段１１と、チャックテーブル８ａ上のウエーハＷを撮像する撮像手段１２と、図示を省略する制御手段と、を備えている。カセット４は、図示しない昇降手段によって上下に移動可能に配設されたカセットテーブル４ａ上に載置されており、カセット４からウエーハＷを搬出入手段６によって搬出する際には、カセット４の高さが適宜調整される。装置ハウジング２内には、保持手段８のチャックテーブル８ａをＸ軸方向に加工送りする加工送り手段（図示は省略する）が配設されている。

【0016】

図２を参照しながら、図１に示す切削装置１に配設された切削手段９についてより具体的に説明する。図２（ａ）は、切削手段９の主要部を拡大して示した斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す切削手段９の一部を分解した斜視図を示している。図２（ａ）、（ｂ）から理解されるように、切削手段９は、矢印Ｙで示すＹ軸方向に延びる回転軸ハウジング９１と、回転軸ハウジング９１によって回転自在に支持される回転軸９２と、回転軸９２の先端側に着脱自在に支持される環状の切削ブレード９３と、回転軸ハウジング９１の先端に装着され切削ブレード９３及び該切削ブレード９３を挟持するフランジユニット９４を覆うカバー体９５と、を備えている。なお、回転軸９２は、図示を省略する回転軸９２の後端側に配設された電動モータによって回転駆動される。また、切削手段９は、図示を省略する移動手段を備えている。該移動手段は、切削手段９をＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、切削手段９をＺ軸方向の下方に移動させて切込み送りする切込み送り手段とを備えている。

【0017】

図２（ｂ）に示すように、カバー体９５は、回転軸ハウジング９１の先端に固定される第１のカバー部材９５ａと、第１のカバー部材９５ａの前面のねじ穴９５ｈに対してねじ９９ａを螺合して固定される第２のカバー部材９５ｂと、第１のカバー部材９５ａの上面のねじ穴９５ｉに対して上方からねじ９９ｂによって固定される切削ブレード検出ブロック９５ｃとを備えている。ブレード検出ブロック９５ｃには、切削ブレード９３の外周端部側の摩耗や欠けを検出するためのブレードセンサ（図示は省略）が配設されている。

【0018】

第１のカバー部材９５ａは、上面に配設された切削水供給口９６ａと、該切削水供給口９６ａから導入された切削水Ｌ１を、切削ブレード９３により被加工物を切削する切削部に噴射する切削水噴射ノズル９７ａとを備え、第２のカバー部材９５ｂは、上面に配設された切削水供給口９６ｂと、該切削水供給口９６ｂから導入された切削水Ｌ１を、該切削部に噴射する切削水噴射ノズル９７ｂと、を備えている。図２（ｂ）から理解されるように、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂは、切削ブレード９３を、切削ブレード９３の前面側（回転軸９２の先端側）及び後面側（回転軸９２の後端側）とで対向するように配設されており、切削ブレード９３によって被加工物を切削する際に、切削部に対して切削水Ｌ１を噴射するように噴射孔が形成されている。さらに、本実施形態では、第１のカバー部材９５ａに、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂに隣接するように位置付けられ、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから噴射された切削水Ｌ１に後述するアシスト液Ｌ２を混入するアシスト液混入ノズル９８（破線で示す）が配設されている。アシスト液Ｌ２は、第１のカバー部材９５ａの上面に配設されたアシスト液供給口９８ａから導入される。なお、本発明のアシスト液Ｌ２とは、切削水Ｌ１に混入されることで、被加工物を切削する際に加工品質を高めるように機能する液体である（追って詳述する）。

【0019】

図３には、切削手段９によってウエーハＷを切削加工する際の実施態様を示す側面図が示され、説明の都合上、カバー体９５の第２のカバー部材９５ｂを省略すると共に、アシスト液混入ノズル９８が形成された第１のカバー部材９５ａの一部を断面で示している。図３に示すように、切削水噴射ノズル９７ａに切削水Ｌ１を導入する切削水供給口９６ａには、切削水供給手段２０が接続されている。切削水供給手段２０は、例えば切削水Ｌ１として純水を貯留する切削水源２２と、切削水供給路２４と、切削水Ｌ１を昇圧するポンプ２５と、を備えている。該ポンプ２５を作動することにより、切削水供給路２４が開かれ、切削水供給路２４上の切削水Ｌ１を例えば３～５気圧に昇圧して、切削水供給口９６ａに供給する。なお、図示は省略しているが、第２のカバー部材９５ｂに配設された切削水供給口９６ｂにも該切削水供給手段２０から切削水Ｌ１が供給される。

【0020】

アシスト液混入ノズル９８のアシスト液供給口９８ａには、アシスト液供給手段３０からアシスト液Ｌ２が供給される。アシスト液供給手段３０は、例えば、アシスト液Ｌ２を貯留するアシスト液貯留タンク３２と、アシスト液供給路３４と、アシスト液供給路３４を開閉する開閉弁３６と、を備えている。該アシスト液供給手段３０には、切削水供給手段２０に配設されたポンプ２５のような昇圧手段は配設されておらず、本実施形態では、開閉弁３６を開とすることにより、アシスト液貯留タンク３２からアシスト液Ｌ２が自重で供給されて、アシスト液混入ノズル９８の先端部９８ｂから噴射されるようになっている。上記のアシスト液貯留タンク３２に貯留されるアシスト液Ｌ２について、より具体的に説明する。

【0021】

本実施形態に係る切削装置１のアシスト液供給手段３０から供給されるアシスト液Ｌ２は、例えば、有機酸と酸化剤とを含む混合液である。該混合液中に含まれる有機酸により、例えばウエーハＷの分割予定ライン上に配設される金属素子を改質して延性を抑えることができ、ウエーハＷを切削する際に供給されことで、金属素子に起因するバリ（突起物）の発生が抑制される。また、酸化剤を混合液に含めることで、金属素子の表面を酸化して金属素子の延性を下げ、金属素子の加工性を向上させることができる。

【0022】

アシスト液Ｌ２に含まれる有機酸としては、例えば、アミノ酸、アミノポリ酸、カルボン酸等から適宜選択され、酸化剤としては、例えば、過酸化水素、硝酸塩、ヨウ素酸塩等から適宜選択されることが好ましい。

【0023】

また、アシスト液Ｌ２には、防食剤が混合されても良い。防食剤を混合することで、切削部に存在する金属素子の腐食（溶出）を防止できる。該防食剤としては、例えば、分子内に３つ以上の窒素原子を有し、且つ、縮環構造を有する複素芳香環化合物、又は、分子内に４つ以上の窒素原子を有する複素芳香環化合物を用いることが好ましい。具体的には、テトラゾール誘導体、１，２，３－トリアゾール誘導体、及び１，２，４－トリアゾール誘導体であることが好ましい。

【0024】

さらに、アシスト液Ｌ２として、界面活性剤が使用されていてもよい。界面活性剤としては、例えば、脂肪酸塩、合成洗剤等を使用することができ、界面活性剤が切削部に供給されることで、切削加工が良好に実施されると共に、切削水Ｌ１に混入して切削部に供給することで、切削水Ｌ１の導電性を確保し、ウエーハＷ上のデバイスの静電破壊が回避され、加工品質の向上に寄与する。

【0025】

上記した切削装置１の切削手段９よって切削加工を実施するに際し、まず、カセット４に収容されたウエーハＷを、搬出入手段６によって仮置きテーブル５に搬出し、搬送手段７によって、図１において搬出入位置に位置付けられたチャックテーブル８ａ上に搬送する。チャックテーブル８ａにウエーハＷを載置し吸引保持したならば、ウエーハＷを、Ｘ軸移動手段により撮像手段１２の直下に位置付けて撮像し、切削加工すべき領域であるウエーハＷの所定の分割予定ライン（図示を省略する）を検出してＸ軸方向に整合させる。次いで、切削を開始する分割予定ラインと切削手段９の切削ブレード９３との位置合わせを実施して、切削手段９を所定の加工開始位置に位置付ける。

【0026】

次いで、図３に示すように、切削手段９の切削ブレード９３をＲ１で示す方向に高速回転させ、Ｘ軸方向に整合させた該分割予定ラインに位置付け、上記した切削水供給手段２０を作動して、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから切削水Ｌ１を供給する。これと同時に、アシスト液供給手段３０を作動して、切削部に供給された切削水Ｌ１に対して、アシスト液混入ノズル９８の先端部９８ｂから上記のアシスト液Ｌ２を供給する。そして、上記の切込み送り手段を作動してウエーハＷの表面Ｗａ側から切り込ませると共に、上記したチャックテーブル８ａと共にウエーハＷを図中矢印Ｘで示すＸ軸方向に加工送りして切削溝１００を形成する。さらに、該切削溝１００を形成した分割予定ラインにＹ軸方向で隣接する未加工の分割予定ライン上に切削手段９の切削ブレード９３を割り出し送りして、上記と同様にして切削溝１００を形成する。これらを繰り返すことにより、Ｘ軸方向に沿うすべての分割予定ラインに沿って切削溝１００を形成する。次いで、チャックテーブル８ａを９０度回転し、先に切削溝１００を形成した方向と直交する方向をＸ軸方向に整合させ、上記した切削加工を、新たにＸ軸方向に整合させたすべての分割予定ラインに対して実施し、ウエーハＷに形成されたすべての分割予定ラインに沿って切削溝１００を形成する。このように分割工程を実施して分割予定ラインに沿ってウエーハＷを個々のデバイスチップに分割する。

【0027】

上記した実施形態によれば、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから切削部に噴射された切削水Ｌ１に対し、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂに隣接して配設されたアシスト液混入ノズル９８からアシスト液Ｌ２を良好に混入することができ、アシスト液Ｌ２を切削水Ｌ１に圧入するための高価な昇圧ポンプや、昇圧に耐えられる配管、シール構造等を配設する必要がなく、コストが高くなるという問題が解消する。また、断続的な圧送となる昇圧ポンプを使用する必要がなくなることから、切削水噴射ノズルから噴射される切削水Ｌ１に混入されるアシスト液Ｌ２が断続的に噴射されて、加工品質が安定しないという問題も解消される。さらには、アシスト液供給路３４上に開閉弁３６が配設されることによって、アシスト液混入ノズル９８から切削水Ｌ１に混入されるアシスト液Ｌ２が適量に調整される。

【0028】

本発明は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態の切削手段９のカバー体９５に配設したアシスト液混入ノズル９８に替えて、図４に示すように、切削ブレード９３’を挟持するフランジユニット９４’の支持面に噴出路９８’を配設した切削手段９’を採用してもよい。噴出路９８’は、フランジユニット９４’によって切削ブレード９３’を挟持することで、本発明のアシスト液混入ノズルとして機能するものであり、該噴出路９８’の構成、及び作用について、図４に加え、図５も参照しながら、詳細に説明する。なお、図４、５に示す切削手段９’以外の構成は、図１に基づき説明した切削装置１と同一の構成を備えるものであることから省略すると共に、説明の都合上、切削ブレード９３’やフランジユニット９４’を覆うカバー体９５も省略している。

【0029】

図４から理解されるように、切削手段９’は、回転軸ハウジング９１’と、回転軸ハウジング９１’によって回転自在に支持される回転軸９２’と、回転軸９２’の先端部９２ａ’に着脱自在に支持される環状の切削ブレード９３’と、該フランジユニット９４’と協働して回転軸９２’の先端部９２ａ’に切削ブレード９３’を固定するためのリング状のナット９２ｂ’とを備えている。

【0030】

図４から理解されるように、フランジユニット９４’は、固定フランジ９４ａ’と、着脱フランジ９４ｂ’とを含む。固定フランジ９４ａ’の切削ブレード９３’の支持面には、外周側に放射状に延びる複数の噴出路９８’が形成されている。着脱フランジ９４ｂ’は、回転軸９２’に対して着脱可能に構成され、固定フランジ９４ａ’と協働して切削ブレード９３’を挟持する。さらに、着脱フランジ９４ｂ’の切削ブレード９３’を支持する支持面には、固定フランジ９４ａ’と同様に、外周側に放射状に延びる複数の噴出路９８’が形成されている。なお、図４では、着脱フランジ９４ｂ’側の噴出路９８’が形成された支持面は見えていないが、着脱フランジ９４ｂ’に対向して配設される固定フランジ９４ａ’の噴出路９８’と同様の形態で形成されている。

【0031】

回転軸９２’の先端部９２ａ’側において、固定フランジ９４ａ’が配設された位置からさらに先端側の外周面には、雄ねじ９２ｃ’が形成されている。また、図４に示すように、回転軸ハウジング９１’には、アシスト液供給口９１ａ’が形成されている。アシスト液供給口９１ａ’には、図３に基づき説明したアシスト液供給手段３０のアシスト液供給路３４が接続され、回転軸ハウジング９１’の内部にアシスト液供給手段３０からのアシスト液Ｌ２が導入される。切削手段９’の概略断面を示す図５から理解されるように、回転軸９２’の外周面において、アシスト液供給口９１ａ’と対向する位置には、環状溝９２ｄ’が形成されている。回転軸９２’の内部には、長手方向に沿って連通路９２ｅ’が形成されている。該環状溝９２ｄ’と連通路９２ｅ’とは、環状溝９２ｄ’の底部に形成された複数の孔９２ｆ’により接続されている。

【0032】

回転軸９２’の先端部９２ａ’における、固定フランジ９４ａ’と雄ネジ９２ｃ’との間の外周面には、環状溝９２ｇ’が形成されており、該環状溝９２ｇ’の底部には、上記の連通路９２ｅ’と該環状溝９２ｇ’とを連通する孔９２ｈ’が、放射状に均等間隔で複数個、例えば６個形成されている。また、図４に示すように、該環状溝９２ｇ’の底部において、隣接する孔９２ｈ’の中間位置には、該環状溝９２ｇ’の深さに対応する高さの凸部９２ｉ’が形成されている。該凸部９２ｉ’は、該環状溝９２ｇ’において均等間隔で複数形成され、本実施形態では、孔９２ｈ’と同数（６個）形成されている。図４に示すように、回転軸９２’の端部に切削ブレード９３’を固定すべく、回転軸９２’の先端部９２ａ’側（図中左方側）から切削ブレード９３’の開口部９３ａ’を位置付けて装着し、固定フランジ９４ａ’に当接させる。これにより、切削ブレード９３’は、上記の環状溝９２ｇ’上に位置付けられ（図５も併せて参照）、切削ブレード９３’の開口部９３ａ’が上記の凸部９２ｉ’によって支持される。さらに、回転軸９２’の先端部９２ａ’側に、着脱フランジ９４ｂ’の開口部９４ｃ’を位置付けて装着し、ナット９２ｂ’を回転軸９２’の雄ねじ９２ｃ’に螺合して締結する。これにより、固定フランジ９４ａ’において噴出路９８’が形成された支持面と、着脱フランジ９４ｂ’において噴出路９８’が形成された支持面とにより切削ブレード９３’が挟持されて固定される。

【0033】

上記した構成において、アシスト液供給口９１ａ’からアシスト液Ｌ２が導入されることで、アシスト液Ｌ２は、回転軸９２’の環状溝９２ｄ’、孔９２ｆ’、連通路９２ｅ’、孔９２ｈ’、環状溝９２ｇ’を経由して固定フランジ９４ａ’の噴出路９８’と、着脱フランジ９４ｂ’の噴出路９８’とに導入されて、切削ブレード９３’に沿って放射状に噴出される。

【0034】

上記した切削手段９’を使用して、ウエーハＷを、先に説明した実施形態の手順に沿って切削して分割予定ライン上に切削溝１００を形成する際には、図２に基づき説明した切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから、切削水Ｌ１を高圧で噴射すると共に、図５に示すように、高速回転する切削ブレード９３’の外周面に沿って、アシスト液混入ノズルとして機能する噴出路９８’から放射状にアシスト液Ｌ２が噴射される。これにより、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから切削部に噴射された切削水Ｌ１に対してアシスト液Ｌ２が混入される。

【0035】

上記した切削手段９’によっても、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂから切削部に噴射された切削水Ｌ１に対し、切削水噴射ノズル９７ａ、９７ｂに隣接するように位置付けられたアシスト液混入ノズルとして機能する噴出路９８’からアシスト液Ｌ２が混入される。したがって、アシスト液Ｌ２を切削水Ｌ１に圧入するための高価な昇圧ポンプや、昇圧に耐えられる配管、シール構造等を配設する必要がなく、コストが高くなるという問題が解消する。また、昇圧ポンプを採用するとアシスト液Ｌ２の混入が不連続となり、切削水噴射ノズルから噴射される切削水Ｌ１に混入されるアシスト液Ｌ２が断続的に噴射されて、加工品質が安定しないという問題も解消される。

【符号の説明】

【0036】

１：切削装置
２：装置ハウジング
４：カセット
４ａ：カセットテーブル
５：仮置きテーブル
６：搬出入手段
７：搬送手段
８：保持手段
８ａ：チャックテーブル
８ｂ：保持面
９：切削手段
９１：回転軸ハウジング
９２：回転軸
９３：切削ブレード
９４：フランジユニット
９５：カバー体
９５ａ：第１のカバー部材
９５ｂ：第２のカバー部材
９５ｈ、９５ｉ：ねじ穴
９６ａ、９６ｂ：切削水供給口
９７ａ、９７ｂ：切削水噴射ノズル
９８：アシスト液混入ノズル
９８ａ：アシスト液供給口
９８ｂ：先端部
９９ａ、９９ｂ：ねじ
９’：切削手段
９１’：回転軸ハウジング
９１ａ’：アシスト液供給口
９２’：回転軸
９２ａ’：先端部
９２ｂ’：ナット
９２ｃ’：雄ねじ
９２ｄ’：環状溝
９２ｅ’：連通路
９２ｆ’：孔
９２ｇ’：環状溝
９２ｈ’：孔
９２ｉ：凸部
９３’：切削ブレード
９４’：フランジユニット
９４ａ’：固定フランジ
９４ｂ’：着脱フランジ
９８’：噴出路（アシスト液混入ノズル）
１０：洗浄手段
１１：洗浄搬送手段
１２：撮像手段
２０：切削水供給手段
２２：切削水源
２４：切削水供給路
２５：ポンプ
３０：アシスト液供給手段
３２：アシスト液貯留タンク
３４：アシスト液供給路
３６：開閉弁
１００：切削溝
Ｗ：ウエーハ
Ｔ：テープ
Ｆ：フレーム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】