特開 2023-135117 ウエハ用テープ搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023135117

(43)【公開日】2023-09-28

(54)【発明の名称】ウエハ用テープ搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230921BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022040160

(22)【出願日】2022-03-15

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】石川 一政

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA10

5F131AA23

5F131BA53

5F131CA70

5F131EC33

5F131EC63

5F131EC68

(57)【要約】

【課題】ダイアタッチフィルムやダイシングフィルムにすじ状の痕や変形などを残すことなくテープ搬送を行うことができる、ウエハ用テープ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハをマウントフレーム１２に固定するダイシングフィルム１３とカバーフィルム１５とを備え、カバーフィルム１５の片面側の貼付面１５Ａに、ダイシングフィルム１３を貼り付けてなるウエハ用テープＴを、テープ供給部２５からウエハ貼付位置２６に向けて供給若しくはガイドするローラを備えたウエハ用テープ搬送装置であって、ローラは、ダイシングフィルム１３が通過する通路領域で、ウエハ用テープＴとの接触を避けるようにした。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハをマウントフレームに固定するダイシングフィルムと長尺状のカバーフィルムとを備え、前記カバーフィルムの片面側の貼付面に、前記ダイシングフィルムを貼り付けてなるウエハ用テープを、テープ供給位置からウエハ貼付位置に向けて供給若しくはガイドするローラを備えたウエハ用テープ搬送装置であって、
前記ローラは、少なくとも前記ダイシングフィルムが通過する通路の領域で、前記ウエハ用テープとの接触を避ける、
ことを特徴とするウエハ用テープ搬送装置。

【請求項2】

前記ウエハ用テープは、前記カバーフィルムの両側縁に沿って配設された長尺状の保護シートを備え、
前記ローラは、前記保護シートと接触して前記ウエハ用テープを搬送若しくはガイドする、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハ用テープ搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウエハ用テープ搬送装置に関するものであり、特に、半導体製品の製造工程において、半導体ウエハに貼り付けるダイアタッチフィルム及びマウントフレームに貼り付けるダイシングフィルム等をウエハ貼付位置に搬送するウエハ用テープ搬送装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体製品の製造工程において、表面に多数の回路パターンを形成した半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と言う）は、裏面研削（バックグラインド）工程を経た後、機能素子毎に切断（ダイシング工程）して、個々の半導体チップに分割される。ウエハのダイシング加工に際しては、略中央にダイアタッチフィルムを貼り付けた略円形のダイシングフィルムを略環状のマウントフレームに貼り付けるとともに、マウントフレーム内のダイアタッチフィルム上にウエハを貼り付けて固定し、マウントフレームに固定した状態でダイシングが行われている。

【0003】

下記の特許文献１には、このようなウエハをダイシングする際に用いられるウエハ用テープが開示されている。ウエハ用テープは、ウエハに貼り付けるダイアタッチフィルム上をマウントフレームに貼り付けるダイシングフィルムで覆い、前記ダイアタッチフィルムと前記ダイシングフィルムを積層して、これを長尺状のカバーフィルムの片面側の貼付面に貼り付けて、カバーフィルムの長さ方向に略等間隔で分散配置させてなる長尺状のウエハ用テープである。

【0004】

下記特許文献２には、特許文献１に示されるような長尺状のウエハ用テープを使用して、マウントフレームにダイシングフィルムとウエハを貼り付けるテープ貼付装置が示されている。そのテープ貼付装置では、長尺状のウエハ用テープが、巻回状態でテープ供給部にセットされる。そして、ウエハ用テープは、テープ供給部から順に繰り出されて、複数のガイドローラとピンチローラを介してウエハ貼付位置まで送られる。また、ウエハ貼付位置では、マウントフレームにダイシングフィルムが貼り付けられ、ダイアタッチフィルムにウエハが貼り付けられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００６－２０２９２７号公報

【特許文献2】特開２０１７－７６６４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、特許文献２に示されるような、ウエハ用テープをテープ供給部に巻回状態で保持しておき、テープ供給部からウエハ用テープが順に繰り出されて、複数のガイドローラとピンチローラを介してウエハ貼付位置まで送るテープ搬送構造では、例えば図７及び図８に示すように、定速送りされる定速送り機構の箇所でのウエハ用テープＴは、駆動ガイドローラ１０１とピンチローラ１０２とで挟まれて送られる。このように、ウエハ用テープＴを駆動ガイドローラ１０１とピンチローラ１０２とで挟んで送る場合、ウエハ用テープＴにテンションによる負荷や、テープ送り時における駆動ガイドローラ１０１やピンチローラ１０２からの圧接力により、ダイアタッチフィルム１４やダイシングフィルム１３に悪い影響を与える場合があった。具体例としては、ウエハ用テープＴが、駆動ガイドローラ１０１やピンチローラ１０２に挟まれたときに、ダイアタッチフィルム１４が変形し、それが貼り付け後にすじ状の痕として残る。

【0007】

特に、ウエハ用テープＴのテンションコントロールを行っている場合、表面がゴム性等のピンチローラ１０２が用いられている機構では、ウエハ用テープＴを挟んでいる状態で駆動ガイドローラ１０１とピンチローラ１０２等の回転にブレーキを掛けて張力コントロールを行うが、コントロール時にウエハ用テープＴに負荷が掛かり変形がし易い。また、積層チップに用いられるウエハ用テープＴは、更なるチップの薄化やパッケージの薄化に伴い、ダイアタッチフィルム１４やダイシングフィルム１３自身の薄化及び軟化傾向にある。このようなウエハ用テープＴを貼り付ける機構では、互いのローラをシリンダで挟み込むピンチローラ１０２が多く用いられるが、このローラ間の挟持圧にてダイアタッチフィルム１４やダイシングフィルム１３にすじ状の痕や変形を残す等の影響を与え、品質低下をもたらす問題点があった。

【0008】

そこで、ダイアタッチフィルムやダイシングフィルムにすじ状の痕や変形などを残すことなく、高品質にテープ搬送を行うことができるウエハ用テープ搬送装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウエハをマウントフレームに固定するダイシングフィルムと長尺状のカバーフィルムとを備え、前記カバーフィルムの片面側の貼付面に、前記ダイシングフィルムを貼り付けてなるウエハ用テープを、テープ供給位置からウエハ貼付位置に向けて供給若しくはガイドするローラを備えたウエハ用テープ搬送装置であって、前記ローラは、少なくとも前記ダイシングフィルムが通過する通路の領域で、前記ウエハ用テープとの接触を避ける、ウエハ用テープ搬送装置を提供する。

【0010】

この構成によれば、ウエハ用テープの搬送時、ダイアタッチフィルムとダイシングフィルムは、ローラの小径部の領域を通過して送られる。すなわち、ダイアタッチフィルムとダイシングフィルムは、ローラの小径部の領域箇所を通過するので、ローラと接触することなくテープ供給位置からフィルム貼付位置まで搬送される。したがって、従来装置で問題となっていた、テープ搬送時に、ダイアタッチフィルム及びダイシングフィルムとローラとの圧接により付くライン状の痕をなくすことができるとともに、搬送による変形等もなくすことができる。

【0011】

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記ウエハ用テープは、前記カバーフィルムの両側縁に沿って配設された長尺状の保護シートを備え、前記ローラは、前記保護シートと接触して前記ウエハ用テープを供給若しくはガイドする、ウエハ用テープ搬送装置を提供する。

【0012】

この構成によれば、テープ供給位置からウエハ貼付位置に搬送されるウエハ用テープは、保護シートにローラが接触し、ダイシングフィルムにはローラが接触しない状態で送られるので、ウエハ用テープ搬送時におけるダイシングフィルムをローラから保護することができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、テープの走行時、ダイシングフィルムは、ローラと接触することなく、テープ供給位置からフィルム貼付位置まで搬送若しくはガイドできる。これにより、従来のテープ搬送時に、ローラとダイシングフィルムとの接触によりダイシングフィルムに付いていた、すじ状の痕を残す問題をなくすことができるとともに、テープ搬送時に生じ易い変形等もなくなり、品質の向上が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施の形態に係るウエハ用テープ搬送装置を適用したウエハ用テープ貼付装置の概略断面図である。

【図2】同上ウエハ用テープ貼付装置におけるテープ搬送駆動部の一例として、図１中の一部を模式的に拡大して示す平面図である。

【図3】図２のＡ－Ａ線断面矢視図である。

【図4】同上ウエハ用テープ貼付装置で使用するウエハ用テープの平面図である。

【図5】図４のＢ－Ｂ線断面矢視図である。

【図6】マウントフレームにウエハが貼付されたウエハユニットの一例を示す斜視図である。

【図7】従来の同上ウエハ用テープ貼付装置におけるテープ搬送駆動部の一例を説明する概略拡大図である。

【図8】図７のＣ－Ｃ線断面矢視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明は、ダイアタッチフィルムやダイシングフィルムにすじ状の痕や変形などを残すことなく、高品質にテープ搬送を行うことができる、ウエハ用テープ搬送装置を提供するという目的を達成するために、ウエハをマウントフレームに固定するダイシングフィルムと長尺状のカバーフィルムとを備え、前記カバーフィルムの片面側の貼付面に、前記ダイシングフィルムを貼り付けてなるウエハ用テープを、テープ供給位置からウエハ貼付位置に向けて供給若しくはガイドするローラを備えたウエハ用テープ搬送装置であって、前記ローラは、少なくとも前記ダイシングフィルムが通過する通路の領域で、前記ウエハ用テープとの接触を避ける、構成にしたことにより実現した。

【実施例0016】

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0017】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0018】

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

【0019】

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハ用テープ搬送装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

【0020】

図１は本発明に係るウエハ用テープ搬送装置を適用したテープ貼付装置１０の概略断面図を示すもので、図２は図１中の一部を模式的に拡大して示す平面図、図３は図２のＡ－Ａ線断面矢視図である。また、図４はテープ貼付装置１０で使用するウエハ用テープＴの一例を示す平面図で、図５は図４のＢ－Ｂ線断面矢視図である。また、図６は、ウエハＷをマウントフレーム１２に貼付して固定したウエハユニット１１の一例を示す斜視図である。

【0021】

図６に示すウエハユニット１１は、環状をしたマウントフレーム１２の片側全面にダイシングフィルム１３を貼り付け、そのダイシングフィルム１３の中央にダイアタッチフィルム１４を介してウエハＷを貼り付けた構造を示している。すなわち、本実施例で取り扱うウエハ用テープＴは、後述するウエハ貼付位置２６で、マウントフレーム１２にダイシングフィルム１３とダイアタッチフィルム１４とウエハＷをそれぞれ貼り付けるためのものであり、ウエハ用テープＴはロール状に巻回保管しておくことができる。テープ貼付装置１０は、テープ供給位置となるテープ供給部２５に巻回保管されているウエハ用テープＴを、そのテープ供給部２５からテープ状に引き出してウエハ貼付位置２６に搬送するための装置である。

【0022】

まず、本実施例のウエハ用テープ搬送装置を適用しているテープ貼付装置１０で使用している、ウエハ用テープＴの構造の一例を図４及び図５を用いて説明する。図４及び図５において、ウエハ用テープＴは、長尺状のカバーフィルム１５を基材とし、そのカバーフィルム１５の片面側である貼付面１５Ａに、図６に示したマウントフレーム１２の片側全面に貼り付けるダイシングフィルム１３と、ウエハＷを貼り付けるダイアタッチフィルム１４と、保護シート１６が配置されている。

【0023】

カバーフィルム１５は、例えば剥離処理されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などである。ダイアタッチフィルム１４は、適用されるウエハＷの外径と略等しい外径をした円板状のフィルムシートであり、カバーフィルム１５の貼付面１５Ａ上に剥離可能に貼り付けられている。

【0024】

ダイシングフィルム１３は、マウントフレーム１２の外径と略等しい外径をした円板状のフィルムシートであり、中心Ｏをダイアタッチフィルム１４の中心Ｏと略一致させて、ダイアタッチフィルム１４の一面（裏面）を覆い、一部をダイアタッチフィルム１４上に積層させた状態で、カバーフィルム１５の貼付面１５Ａ上に剥離可能に貼り付けられている。ダイシングフィルム１３とダイアタッチフィルム１４との間は、例えば、加熱による溶融または接着剤を伴う加圧により、互いに接着し合うとともに、ダイアタッチフィルム１４とウエハＷとの間、及び、ダイシングフィルム１３とマウントフレーム１２との間も例えば、加熱による溶融または接着剤を伴う加圧により、互いに強固に接着される。

【0025】

そして、ダイアタッチフィルム１４上に積層させたダイシングフィルム１３は、カバーフィルム１５の幅方向における略中央に位置して、カバーフィルム１５の長さ方向に略等間隔で分散配置されている。

【0026】

保護シート１６は、カバーフィルム１５の左右の両側縁に沿って長尺状で、かつ、ダイシングフィルム１３の側方に沿って１対、それぞれダイシングフィルム１３とは切り離された独立の状態で貼り付けられている。すなわち、１対の保護シート１６の一部は、ダイシングフィルム１３が設けられている位置よりもそれぞれ外側で、ダイシングフィルム１３と切り離されて独立の状態で、カバーフィルム１５の貼付面１５Ａ上に剥離可能に配設されている。なお、保護シート１６は、ダイシングフィルム１３と同じ樹脂材で形成してもよい。

【0027】

次に、図１乃至図３に示すテープ貼付装置１０の構成について説明する。図１に示されるテープ貼付装置１０は、ハウジング２１を備えている。ハウジング２１の底面には複数のキャスタ２２及び複数のストッパ２３が設けられており、キャスタ２２によってテープ貼付装置１０を床Ｌの所定の位置まで移動させ、ストッパ２３によってこの位置に固定できるようになっている。また、テープ貼付装置１０の下方部分には扉２４が設けられており、これら扉２４を開放すると、テープ貼付装置１０の下方部分に配置された図示しない制御部、例えばデジタルコンピュータにアクセスすることができる。

【0028】

図１に示されるように、ハウジング２１内において、テープ供給部２５の下流には、ウエハ用テープＴを案内するとともにウエハ用テープＴに所定の張力を掛けるガイドローラ２７が設けられている。また、さらに下流側にはウエハ用テープＴを定速送りする駆動ローラ２８及びピンチローラ２９を有する定速搬送機構３０が設けられている。駆動ローラ２８及びピンチローラ２９は、ウエハ用テープＴを挟んで互いに圧接配置されており、駆動ローラ２８とピンチローラ２９間の摩擦力でウエハ用テープＴを下流側（ウエハ貼付位置２６側）に向けて略定速で送る。なお、テープ供給部２５から供給されるウエハ用テープＴは、ウエハ貼付位置２６においてダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４が、後述する移動テーブル３３の上面の所定の位置に配置されたマウントフレーム１２及びウエハＷとそれぞれ対峙するようにしてセットされる。

【0029】

さらに定速搬送機構３０の下流には、カバーフィルム剥離機構３１が設けられている。カバーフィルム剥離機構３１は、ウエハ貼付位置２６の直前でウエハ用テープＴからカバーフィルム１５を剥離するとともに、ダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４を、移動テーブル３３上に受け渡すガイド部材としての機能をなす。カバーフィルム剥離機構３１で剥離されたカバーフィルム１５は、カバーフィルム巻取部３２に巻き取られ、残りの保護シート１６は、移動テーブル３３上を通って保護シート巻取部３９に巻き取られる。一方、ダイシングフィルム１３並びにダイアタッチフィルム１４は、ウエハ貼付位置２６でマウントフレーム１２及びウエハＷに上に貼り付けられる。

【0030】

ウエハ貼付位置２６において、矢印３４方向に往復移動する移動テーブル３３は、カバーフィルム剥離機構３１と隣接して設置されている。また、ウエハ貼付位置２６には、カバーフィルム剥離機構３１の前側に貼付ローラ３８が配置されている。貼付ローラ３８の長さは、マウントフレーム１２の直径よりも大きい。そして、図１に示すように、移動テーブル３３の所定の位置にマウントフレーム１２とウエハＷが配置された状態で、移動テーブル３３が矢印３４の方向に水平移動されると、カバーフィルム１５から剥離されダイシングフィルム１３とダイアタッチフィルム１４がそれぞれ貼付ローラ３８によりマウントフレーム１２とウエハＷに押し付けられ、さらに移動テーブル３３からの加熱による溶融または接着剤を伴う加圧により、ダイシングフィルム１３がマウントフレーム１２に貼り付けられると共にダイアタッチフィルム１４がウエハＷに貼り付けられ、図６に示したウエハユニット１１が形成される。

【0031】

図２及び図３は、図１における定速搬送機構３０の構成を拡大して模式的に示すもので、図２はその拡大平面図で、図３は図２のＡ－Ａ線断面矢視図である。図２及び図３において、ウエハ用テープＴを挟んで配置される定速搬送機構３０における駆動ローラ２８とピンチローラ２９は、ウエハ用テープＴの幅方向の長さよりも大きい。また、ピンチローラ２９は、駆動ローラ２８との間を通過するウエハ用テープＴに貼り付けられているダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４が通過する通路となる左右の幅、すなわち通路幅Ｓ１の領域を跨ぐようにして形成してなる小径部２９Ａを有している。

【0032】

更に詳述すると、ピンチローラ２９は、小径部２９Ａの左右両側にそれぞれ保護シート１６と当接する大径部２９Ｂを有し、また小径部２９Ａは大径部２９Ｂとの間に、大径部２９Ｂに向かって徐々に外径を大きくしてなる傾斜部２９Ｃを有している。そして、ピンチローラ２９の小径部２９Ａでは、駆動ローラ２８との間にウエハ用テープＴを挟んで、そのウエハ用テープＴをウエハ貼付位置２６に向けて搬送するとき、左右両側の大径部２９Ｂは保護シート１６を介して駆動ローラ２８に圧接されるが、小径部２９Ａ及び傾斜部２９Ｃはダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４との接触を避け、かつ、駆動ローラ２８に対して圧接しないように形成されている。

【0033】

次に、このように形成されたテープ貼付装置１０の動作を説明する。テープ供給部２５に巻回されているウエハ用テープＴは、テープ供給部２５からリボン状に引き出され、ガイドローラ２７の下側を通り、さらに駆動ローラ２８とピンチローラ２９との間を通ってウエハ貼付位置２６に向かって搬送される。ウエハ貼付位置２６に向かって搬送されたウエハ用テープＴは、カバーフィルム剥離機構３１でカバーフィルム１５が剥離されるとともに、カバーフィルム１５上から保護シート１６とダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４がそれぞれ剥離される。そして、カバーフィルム１５はカバーフィルム巻取部３２に巻き取られ、保護シート１６は保護シート巻取部３９に巻き取られる。

【0034】

一方、ダイシングフィルム１３及びダイアタッチフィルム１４は、ウエハ用テープＴの搬送に連動して矢印３４方向に移動して来る移動テーブル３３の所定の位置に配置されているマウントフレーム１２及びウエハＷ上にそれぞれ配置され、貼付ローラ３８の転動加圧によりそれぞれウエハＷ及びマウントフレーム１２に貼り付けられる。

【0035】

ところで、この実施例におけるテープ貼付装置１０でも、テープ供給部２５から繰り出されたウエハ用テープＴに張力を掛けるガイドローラ２７と、ガイドローラ２７とセンシング手段４０とにより検出された、定速搬送機構３０とテープ供給部２５間におけるウエハ用テープＴの弛み量を検出して、定速搬送機構３０でのテープ送り速度を制御する図示しない制御部が設けられている。制御部では、ウエハ用テープＴの繰り出し量が多くなって弛み量が増加したときは、例えばピンチローラ２９を駆動ローラ２８から離し、ウエハ用テープＴの送り量を停止し、弛み量が減少したら再びピンチローラ２９を駆動ローラ２８にウエハ用テープＴを介して接触させて、ウエハ用テープＴの送り制御を行うようにしている。このように、ピンチローラ２９を駆動ローラ２８に、ウエハ用テープＴを介して当接・解除の動作を繰り返していると、ウエハ用テープＴが変形し、貼り付け後にすじ状の痕として残ることがあるが、本実施例の構造では、ウエハ用テープＴの走行時、ウエハ用テープＴに接触するピンチローラ２９は、大径部２９Ｂが保護シート１６に接触するだけで、ダイアタッチフィルム１４とダイシングフィルム１３は、ピンチローラ２９の小径部２９Ａの領域を通過して、ピンチローラ２９とは非接触の状態で送られる。すなわち、ダイアタッチフィルム１４とダイシングフィルム１３は、ピンチローラ２９と接触することなく、テープ供給位置であるテープ供給部２５からウエハ貼付位置２６まで搬送される。したがって、従来のテープ搬送時に、ピンチローラ２９からのダイアタッチフィルム１４やダイシングフィルム１３に付いていた、すじ状の痕を残す問題をなくすことができるとともに、テープ搬送時に生じ易い変形等もなくなり、品質の向上が期待できる。

【0036】

なお、実施例では、定速搬送機構３０におけるピンチローラ２９にだけ、ダイアタッチフィルム１４とダイシングフィルム１３に接触しない小径部２９Ａを設けた構造を開示したが、ウエハ用テープＴを略定速で供給するピンチローラ２９以外に、ウエハ用テープＴの走行をガイドするガイドローラ、例えばガイドローラ２７等に設けても同様な効果が得られるものである。

【0037】

また、図１に示したテープ貼付装置１０の搬送経路系の構造は、ピンチローラ２９に、ダイシングフィルム１３が通過する通路の領域を跨いで形成してなる、ウエハ用テープＴとの接触を避ける小径部２９Ａを設けた構造であれば、図１に示した構造以外であってもよいものである。

【0038】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【符号の説明】

【0039】

１０ ：テープ貼付装置
１１ ：ウエハユニット
１２ ：マウントフレーム
１３ ：ダイシングフィルム
１４ ：ダイアタッチフィルム
１５ ：カバーフィルム
１５Ａ：貼付面
１６ ：保護シート
２５ ：テープ供給部
２６ ：ウエハ貼付位置
２７ ：ガイドローラ
２８ ：駆動ローラ
２９ ：ピンチローラ
２９Ａ：小径部
２９Ｂ：大径部
２９Ｃ：傾斜部
３０ ：定速搬送機構
３１ ：カバーフィルム剥離機構
３２ ：カバーフィルム巻取部
３３ ：移動テーブル
３８ ：貼付ローラ
３９ ：保護シート巻取部
４０ ：センシング手段
Ｏ ：中心
Ｓ１ ：通路幅
Ｔ ：ウエハ用テープ
Ｗ ：ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】