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特開2023-135786マルチコアファイバ母材の製造方法およびマルチコアファイバの製造方法
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023135786
(43)【公開日】2023-09-29
(54)【発明の名称】マルチコアファイバ母材の製造方法およびマルチコアファイバの製造方法
(51)【国際特許分類】
   C03B 37/012 20060101AFI20230922BHJP
   C03B 37/018 20060101ALI20230922BHJP
   G02B 6/02 20060101ALI20230922BHJP
【FI】
C03B37/012 B
C03B37/018 C
C03B37/018 A
G02B6/02 466
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2022041053
(22)【出願日】2022-03-16
(71)【出願人】
【識別番号】000005290
【氏名又は名称】古河電気工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】武笠 和則
【テーマコード(参考)】
2H250
4G021
【Fターム(参考)】
2H250AA52
2H250AB04
2H250AB05
2H250AB10
2H250AB15
2H250AB16
2H250AB18
2H250AC64
2H250AC83
2H250AC94
2H250AC95
4G021BA11
4G021BA14
4G021BA15
4G021EA01
4G021EA03
(57)【要約】
【課題】簡易な工程で空隙の形成が抑制されること。
【解決手段】複数の第2ガラスロッドを、互いに接しないように、かつ第1ガラスロッドに接して取り囲むように配置した状態にて第1ガラスロッドの表面と第2ガラスロッドとの間にスートを堆積する第1堆積工程と、第1堆積工程で堆積させたスートにさらにスートを堆積して第2ガラスロッドを埋め込む第2堆積工程と、複数の第2ガラスロッドを取り囲むようにスートを堆積させる第3堆積工程とを備え、第1堆積工程では、スート堆積バーナが第1ガラスロッドの周りを、隣接する第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に小さくしながら相対的に揺動するようにするか相対的に揺動しないようにし、第2堆積工程では、スート堆積バーナが第1ガラスロッドの周りを、隣接する第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に大きくしながら相対的に揺動するようにするマルチコアファイバ母材の製造方法。
【選択図】図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
コア部とクラッド部とを有する複数の第2ガラスロッドを、互いに接しないように、かつ第1ガラスロッドに接して取り囲むように配置した状態にて、スート堆積バーナにて前記第1ガラスロッドの表面と前記第2ガラスロッドとの間にスートを堆積する第1堆積工程と、
前記第1堆積工程で堆積させた前記スートに、スート堆積バーナにてさらにスートを堆積して前記第2ガラスロッドを埋め込む第2堆積工程と、
前記第2堆積工程の後に、スート堆積バーナにて、前記複数の第2ガラスロッドを取り囲むようにスートを堆積させる第3堆積工程と、
を備え、
前記第1堆積工程では、前記スート堆積バーナが前記第1ガラスロッドの周りを、隣接する前記第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に小さくしながら相対的に揺動するようにするか相対的に揺動しないようにし、
前記第2堆積工程では、前記スート堆積バーナが前記第1ガラスロッドの周りを、隣接する前記第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に大きくしながら相対的に揺動するようにする
マルチコアファイバ母材の製造方法。
【請求項2】
さらに、前記スート堆積バーナの向きが前記第1ガラスロッドの中心軸から逸れるように揺動させ、前記第1ガラスロッドと前記第2ガラスロッドとの間にスートを堆積する
請求項1に記載のマルチコアファイバ母材の製造方法。
【請求項3】
前記第1堆積工程および前記第2堆積工程において、前記スート堆積バーナを、前記複数の第2ガラスロッドの数だけ配置する
請求項1または2に記載のマルチコアファイバ母材の製造方法。
【請求項4】
請求項1または2に記載のマルチコアファイバ母材の製造方法によって製造したマルチコアファイバ母材を線引きする線引工程を備える
マルチコアファイバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マルチコアファイバ母材の製造方法およびマルチコアファイバの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
複数のコア部を有するマルチコアファイバを製造するためのマルチコアファイバ母材の製造方法として、様々な方法が盛んに検討されている。その中でも、火炎堆積法は、従来の光ファイバの製造方法として確立された低コスト技術という点でも最も魅力的である。しかしながら、マルチコアファイバには複数のコア部が存在しているため、火炎堆積法をマルチコアファイバに適用した場合には、スートを堆積しようとする際にコア部に干渉してしまう場合がある。この場合、特定のコア部の周囲には均一にスートが堆積されず、空隙が残ってしまうという問題が発生することが数多く報告されている。
【0003】
空隙が残らない技術として、特許文献1では、多角形のコア母材を用いる技術が開示されている。また、特許文献2では、マルチコアファイバのクラッド部の作製時に、中心ロッド付近に第一のクラッドを形成し、その外側に第二のクラッドを形成する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平9-5541号公報
【特許文献2】特許第5740065号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献1の技術では、多角形のコア母材を準備する必要があるので、製造工程が煩雑になる。一方、特許文献2の技術は、製造工程の煩雑さはないが、空隙の形成の抑制という点からは改善の余地がある。
【0006】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、簡易な工程で空隙の形成が抑制されるマルチコアファイバ母材の製造方法およびマルチコアファイバの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様は、コア部とクラッド部とを有する複数の第2ガラスロッドを、互いに接しないように、かつ第1ガラスロッドに接して取り囲むように配置した状態にて、スート堆積バーナにて前記第1ガラスロッドの表面と前記第2ガラスロッドとの間にスートを堆積する第1堆積工程と、前記第1堆積工程で堆積させた前記スートに、スート堆積バーナにてさらにスートを堆積し前記第2ガラスロッドを埋め込む第2堆積工程と、前記第2堆積工程の後に、スート堆積バーナにて、前記複数の第2ガラスロッドを取り囲むようにスートを堆積させる第3堆積工程と、を備え、前記第1堆積工程では、前記スート堆積バーナが前記第1ガラスロッドの周りを、隣接する前記第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に小さくしながら相対的に揺動するようにするか相対的に揺動しないようにし、前記第2堆積工程では、前記スート堆積バーナが前記第1ガラスロッドの周りを、隣接する前記第2ガラスロッドの間の幅に応じて揺動角を徐々に大きくしながら相対的に揺動するようにするマルチコアファイバ母材の製造方法である。
【0008】
さらに、前記スート堆積バーナの向きが前記第1ガラスロッドの中心軸から逸れるように揺動させ、前記第1ガラスロッドと前記第2ガラスロッドとの間にスートを堆積するものでもよい。
【0009】
前記第1堆積工程および前記第2堆積工程において、前記スート堆積バーナを、前記複数の第2ガラスロッドの数だけ配置するものでもよい。
【0010】
本発明の一態様は、前記製造方法によって製造したマルチコアファイバ母材を線引きする線引工程を備えるマルチコアファイバの製造方法である。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれは、簡易な工程で空隙の形成が抑制されるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0012】
図1図1は、製造されるマルチコアファイバの長手方向に垂直な面における模式的な断面図である。
図2図2は、マルチコアファイバの製造方法のフロー図である。
図3図3は、マルチコアファイバ母材の製造方法を示す図である。
図4図4は、マルチコアファイバ母材の製造方法を示す図である。
図5図5は、マルチコアファイバ母材の製造方法を示す図である。
図6図6は、マルチコアファイバ母材の製造方法を示す図である。
図7図7は、バーナの揺動を説明する図である。
図8図8は、スートの堆積の初期を説明する図である。
図9図9は、堆積後のスートの厚みと揺動角θ1、θ2との関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下に、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する構成要素には適宜同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。
【0014】
(実施形態)
図1は、実施形態の製造方法によって製造されるマルチコアファイバの長手方向に垂直な面における模式的な断面図である。マルチコアファイバ10は、石英系ガラスからなり、第1ガラス体1と、4つの第2ガラス体2と、4つの内側クラッド部3と、外側クラッド部4とを備えている。
【0015】
第1ガラス体1は、長手方向に垂直な断面が略円形であり、所定の屈折率の石英系ガラスからなる。第1ガラス体1の外径はたとえば26μmである。
【0016】
4つの第2ガラス体2は、第1ガラス体1を取り囲み、かつ第1ガラス体1に接するように配置されている。また、4つの第2ガラス体2は、互いに接しないように配置されている。
【0017】
第2ガラス体2は、それぞれ、長手方向に垂直な断面が略円形であり、コア部2aと、コア部2aの最大屈折率よりも屈折率が低く、コア部2aの外周を取り囲むクラッド部2bと、を有している。コア部2aのコア径はたとえば9μmであり、クラッド部2bのクラッド径はたとえば32μmである。
【0018】
隣接する第2ガラス体2におけるコア部2aの中心同士の距離であるコアピッチPは、たとえば40μmである。
【0019】
第1ガラス体1の屈折率はクラッド部2bの屈折率以上である。すなわち、第1ガラス体1の、クラッド部2bと接している部分の屈折率は、クラッド部2bの屈折率以上であると言える。
【0020】
4つの内側クラッド部3は、隣接する第2ガラス体2の間を埋めるように設けられている。内側クラッド部3は、それぞれ、隣接する第2ガラス体2のコア部2aの間に介在し、長手方向に垂直な断面が、4つの円弧で囲まれた形状となっている。内側クラッド部3は、たとえば第1ガラス体1と屈折率が同じ石英系ガラスからなる。また、内側クラッド部3は、第2ガラス体2におけるクラッド部2bよりも屈折率が低い石英系ガラスからなるものでもよい。
【0021】
内側クラッド部3の幅を、マルチコアファイバ10の径方向に垂直な方向での内側クラッド部3の長さとすると、内側クラッド部3の幅は、マルチコアファイバ10の径方向において、まず中心から離れるにしたがって徐々に狭くなり、その後さらに離れると広がる。内側クラッド部3の最小幅Wは、隣接する第2ガラス体2のコア部2aの中心同士を結んだ線上における内側クラッド部3の幅である。最小幅Wはたとえば約14μmである。
【0022】
外側クラッド部4は、4つの第2ガラス体2および4つの内側クラッド部3を取り囲む。また、外側クラッド部4は、4つの第2ガラス体2および4つの内側クラッド部3と接している。外側クラッド部4は、屈折率がクラッド部2bの屈折率以上である石英系ガラスからなる。
【0023】
第1ガラス体1、第2ガラス体2、内側クラッド部3、外側クラッド部4の構成材料について例示する。第1ガラス体1、第2ガラス体2、内側クラッド部3、外側クラッド部4の構成材料は、上述の屈折率の関係を満たせば特に限定されないが、たとえば、第1ガラス体1は、純石英ガラスや、塩素以外に実質的にドーパントを含まない石英系ガラスからなる。ここで、塩素は、マルチコアファイバ10の製造工程において含まれるドーパントであり、意図的に添加したものではない。また、純石英ガラスとは、波長1550nmにおける屈折率が約1.444である、きわめて高純度の石英ガラスである。また、第1ガラス体1は、フッ素を含む石英系ガラスからなるものでもよい。
【0024】
また、たとえば、第2ガラス体2のコア部2aは、ゲルマニウム、フッ素、塩素、カリウム、ナトリウムの少なくとも一つを含む石英系ガラスからなる。ゲルマニウムは、石英系ガラスの屈折率を上昇させるドーパントである。フッ素は、石英系ガラスの屈折率を低下させるドーパントである。塩素、カリウム、ナトリウムは、石英系ガラスの屈折率を上昇させ、かつ粘度を低下させるドーパントである。また、たとえば、第2ガラス体2のクラッド部2bや外側クラッド部4は、純石英ガラスや、塩素以外に実質的にドーパントを含まない石英系ガラスや、フッ素を含む石英系ガラスからなる。
【0025】
(製造方法)
つぎに、実施形態に係るマルチコアファイバの製造方法について説明する。マルチコアファイバ10の製造方法は、図2にフロー図を示すように、ステップS101の第1堆積工程と、ステップS102の第2堆積工程と、ステップS103の第3堆積工程と、ステップS104の線引工程を含む。
【0026】
ステップS101の第1堆積工程では、図3に示すように、第2ガラス体2の母材である4つの第2ガラスロッド12を、第1ガラス体1の母材である第1ガラスロッド11に接し、かつ第1ガラスロッド11を取り囲むように配置した状態とする。そして、これら第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12の両端を支持して相対位置を固定する。なお、第2ガラスロッド12は、コア部2aの母材であるコア部12aと、クラッド部2bの母材であるクラッド部12bと、を有している。第2ガラスロッド12は、たとえばVAD法(Vapor-phase Axial Deposition)によって作製する。
【0027】
そして、図3に示すように、隣接する第2ガラスロッド12の間から第1ガラスロッド11の中心軸O1に向くようにスート堆積バーナである4つのバーナBを配置する。この4つのバーナBの数は、第2ガラスロッド12の数に対応させている。バーナBは、バーナBの管が軸X1に沿うように配置する。、軸X1は、第1ガラスロッド11の中心軸O1から隣接する第2ガラスロッド12の間の隙間の中心を通って径方向に延びる軸である。そして、バーナBにガラス原料ガスおよび可燃ガスであるHガスと助燃ガスであるOガスとを供給し、噴出させる。ガラス原料ガスとしてはたとえばSiClガス等を用いることができる。図4に示すように、これらのバーナBは、HガスおよびOガスによって形成される火炎F中でガラス原料ガスを火炎加水分解させてガラス微粒子からなる内側スート13を合成し、第1ガラスロッド11の表面と隣接する第2ガラスロッド12の間とに、内側スート13を堆積させる(火炎堆積)。内側スート13は、内側クラッド部3の母材の元となる部分である。そして、第1ガラスロッド11の径方向にバーナBを退避させながら内側スート13を堆積させることで、内側スート13の堆積する厚さは徐々に厚くなり、第2ガラスロッド12の間が埋められていく。
【0028】
ここで、図3に示すように、第1堆積工程では、バーナBは、第1ガラスロッド11の周りを、隣接する第2ガラスロッド12の間の幅に応じて揺動角を徐々に小さくしながら相対的に揺動するようにするか相対的に揺動しないようにする。揺動角とは、バーナBの管が第1ガラスロッド11の中心軸O1回りに軸X1を中心として揺動する角度であるθ1を意味する。内側スート13の堆積の初期には隣接する第2ガラスロッド12の間の幅が広いので揺動角θ1を大きくするが、内側スート13が厚くなるにつれて内側スート13の表面での隣接する第2ガラスロッド12の間の幅は徐々に狭くなっていくので、揺動角θ1を徐々に小さくしていく。これにより、内側スート13に空隙ができることが抑制される。なお、隣接する第2ガラスロッド12の間の幅が比較的狭い場合は、バーナBを揺動させなくてもよい。
【0029】
バーナBと第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12は、第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12の長手方向(図面奥行方向)に相対的に往復移動が可能であり、第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12の長手方向に均一に内側スート13を堆積させることができる。なお、本製造例では、バーナBを移動させて内側スート13を堆積させているが、バーナBを固定して、第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12を移動させてもよい。
【0030】
内側スート13の厚みが第2ガラスロッド12の半径程度となり、内側スート13の表面での、隣接する第2ガラスロッド12の間の幅が最小幅程度になったら、ステップS102の第2堆積工程を開始する。第2堆積工程では、第1堆積工程で堆積させた内側スート13に、さらにスートを堆積させて第2ガラスロッド12を埋め込む。
【0031】
第2堆積工程では、バーナBが第1ガラスロッド11の中心軸O1を向いたまま、第1ガラスロッド11の周りを、隣接する第2ガラスロッド12の間の幅に応じて揺動角θ1を徐々に大きくしながら相対的に揺動するようにする。これにより、内側スート13に空隙ができることが抑制される。
【0032】
内側スート13が第2ガラスロッド12を所定の程度まで埋め込んだら、または完全に埋め込んだら、第2堆積工程を終了する。なお、第2堆積工程の終了のタイミングは、内側スート13の堆積厚みを測定するセンサや、目視により、知ることができる。その後、ステップS103の第3堆積工程を開始する(図5)。第3堆積工程では、図5に示すように、たとえばバーナBを第1ガラスロッド11の周方向に回転させながら、外側クラッド部4の母材の元となる外側スート14を堆積する(図6)。なお、バーナBを固定して第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12および内側スート13を回転させてもよい。
【0033】
外側スート14の堆積が完了した後、第3堆積工程を終了する。その後、内側スート13、外側スート14を焼結し、全体をマルチコアファイバ母材とする。なお、内側スート13については、内側スート13の堆積完了後、外側スート14の堆積前に焼結させてもよい。
【0034】
その後、マルチコアファイバ母材を公知の線引き装置を用いて加熱溶融し、ステップS104の線引きを行うことで、マルチコアファイバ10を製造することができる。
【0035】
以上説明した製造方法によれば、マルチコアファイバ母材およびマルチコアファイバ10を容易に製造することができる。そして、内側スート13における空隙の形成が抑制されるので、マルチコアファイバ10においても空隙が抑制される。
【0036】
なお、マルチコアファイバ10において、内側クラッド部3がクラッド部2bよりも屈折率が低い石英系ガラスからなるものであれば、内側クラッド部3がトレンチ部となるトレンチ型の屈折率プロファイルが実現される。この場合、隣接するコア部2aの間に、屈折率が低いトレンチ部が介在するので、コア間クロストークが抑制される。また、コア部2aの伝搬する光のうち高次モードの光は、屈折率がクラッド部2bの屈折率以上でありかつクラッド部2bと接触する第1ガラス体1および外側クラッド部4から、容易に漏洩する。そのため、マルチコアファイバ10では、コア部を囲むようにトレンチ層を設ける場合と比較して、使用波長(たとえば1550nm)でのシングルモード光ファイバとしてのシングルモード特性を、内側クラッド部3の幅や比屈折率差などの緻密な制御なく実現することができる。ここで、使用波長とは、マルチコアファイバ10を伝送路として使用する際の信号光の波長である。
【0037】
内側クラッド部3にフッ素を含有させる場合は、内側スート13の堆積時にガラス原料ガスとともにフッ素ガスを供給してもよいし、内側スート13の焼結時にフッ素を気相でドープしてもよい。
【0038】
(製造方法の変形例)
上記実施形態では、バーナBは第1ガラスロッド11の中心軸O1を向いたまま揺動角θ1で揺動するが、バーナBを、向きが第1ガラスロッド11の中心軸O1から逸れるように揺動させてもよい。
【0039】
図7は、バーナの揺動を説明する図である。図7では、バーナBは、軸X1(図3も参照)上の点O2を支点として揺動角θ2で揺動する。
【0040】
図8は、第1堆積工程におけるスートの堆積の初期を説明する図である。まず図8(a)では、揺動角θ1、θ2をどちらもゼロとした状態としている。この場合、内側スート13は主に第1ガラスロッド11の表面に堆積する。つづいて、図8(a)の状態から、バーナBを、矢印Ar1に示すように時計回りに揺動させて揺動角θ1を増加させるとともに、矢印Ar2に示すように時計回りに揺動させて揺動角θ2を増加させ、図8(b)の状態とする。つづいて、図8(b)の状態からさらに揺動角θ1、θ2を増加させ、図8(c)の状態とすると、火炎Fが第1ガラスロッド11と第2ガラスロッド12との間の狭い隙間に入り込み、当該隙間に内側スート13を堆積させることができる。
【0041】
つづいて、図8(d)で矢印Ar1に示すように、バーナBを反時計回りに揺動させて揺動角θ1を減少させてゼロにするとともに、矢印Ar2に示すように反時計回りに揺動させて揺動角θ2を減少させてゼロにして、図8(e)の状態とする。
【0042】
つづいて、図8(e)で矢印Ar1に示すように、バーナBを反時計回りに揺動させて揺動角θ1を増加させるとともに、矢印Ar2に示すように反時計回りに揺動させて揺動角θ2を増加させ、図8(f)の状態を経て図8(g)の状態とする。すると、火炎Fが第1ガラスロッド11と第2ガラスロッド12との間の狭い隙間に入り込み、当該隙間に内側スート13を堆積させることができる。
【0043】
つづいて、図8(h)で矢印Ar1に示すように時計回りに揺動させて揺動角θ1を減少させるとともに、矢印Ar2に示すように時計回りに揺動させて揺動角θ2を減少させ、揺動角θ1、θ2をどちらもゼロに戻す。
【0044】
以上のように、バーナBを揺動角θ1、θ2で揺動させることによって、第1ガラスロッド11と第2ガラスロッド12との間の狭い隙間に内側スート13をより確実に堆積させることができる。これにより、内側スート13における空隙の形成がより確実に抑制されるので、マルチコアファイバ母材およびマルチコアファイバ10においても空隙がより確実に抑制される。
【0045】
なお、図8ではバーナBを揺動角θ1で揺動させる場合を説明したが、バーナBに対して第1ガラスロッド11、第2ガラスロッド12を揺動角θ1で揺動させてもよい。また、揺動角θ1での揺動は行わずに、揺動角θ2での揺動だけを行ってもよい。また、揺動角θ2での揺動は、第2堆積工程においても行ってもよい。
【0046】
(実施例)
実施例として、図3図8を参照して説明した製造方法によって、マルチコアファイバ母材を作製した。このとき、第1ガラスロッド、第2ガラスロッドのクラッド部、内側スート、および外側スートは、同じ屈折率の石英系ガラスで作製した。第1ガラスロッドの外径は32mmとした。第2ガラスロッドのクラッド径は26mmとした。内側スートは合計の厚みが26mmとなるように堆積した。外側スートは合計の厚み21.5mmとなるように堆積した。
【0047】
図9は、堆積後のスートの厚みと揺動角θ1、θ2との関係の一例を示す図である。横軸は、内側スートと外側スートとの合計の厚みを示す。まず、堆積の開始時はθ1を12°程度とし、θ2を60°程度とする。その後は、厚みが大きくなるにしたがってθ1、θ2を減少させた。その後、内側スートの厚さが線L1に示す13mm、すなわち第2ガラスロッドのクラッド径の半分となり、第2ガラスロッドの半分が内側スートで埋まったら、その後はθ1を増加させた。厚みが線L2で示す26mmになったら、その後は外側スートの作製のためにバーナを回転させた(すなわちθ1=360°)。
【0048】
そして、外側スートの堆積が終了した後、焼結を行ってマルチコアファイバ母材を作製した。これにより、マルチコアファイバ母材では空隙の形成が抑制されることを確認した。
【0049】
なお、上記実施形態または実施例では、第2ガラス体の数は4であるが、2、3、または5以上であってもよい。
【0050】
また、上記実施形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【0051】
1 :第1ガラス体
2 :第2ガラス体
2a、12a:コア部
2b、12b:クラッド部
3 :内側クラッド部
4 :外側クラッド部
10 :マルチコアファイバ
11 :第1ガラスロッド
12 :第2ガラスロッド
13 :内側スート
14 :外側スート
Ar1、Ar2:矢印
B :バーナ
F :火炎
O1 :中心軸
O2 :点
P :コアピッチ
W :最小幅
X1 :軸
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9