(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023141298
(43)【公開日】2023-10-05
(54)【発明の名称】貼着方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20230928BHJP
B65H 23/188 20060101ALI20230928BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
B65H23/188
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022047536
(22)【出願日】2022-03-23
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】新 剛資
【テーマコード（参考）】
3F105
5F131
【Ｆターム（参考）】
3F105AA04
3F105AB00
3F105BA29
3F105CC02
3F105DA45
3F105DC00
5F131AA02
5F131AA21
5F131AA22
5F131BA53
5F131CA45
5F131CA46
5F131DA33
5F131DA42
5F131EA07
5F131EA14
5F131EA15
5F131EA22
5F131EB03
5F131EC37
5F131EC62
5F131EC63
5F131EC66
5F131EC69
5F131EC72
5F131EC73
5F131EC77
5F131HA43
5F131KA40
5F131KA72
5F131KB12
5F131KB22
5F131KB38
(57)【要約】
【課題】予期せぬタイミングでテープロールの交換作業が発生するおそれを防止しうる貼着方法を提供すること。
【解決手段】貼着方法は、テープがロール状に巻回されたテープロールのテープをワークに貼着する貼着方法であって、テープロールの残量を記録する残量記録ステップ１００１と、残量記録ステップ１００１を実施した後、テープロールのテープを１以上のワークに貼着するテープ貼着ステップ１００４と、テープ貼着ステップ１００４でワークの貼着に使用したテープの量を使用量として検出する使用量検出ステップ１００５と、使用量検出ステップ１００５で検出された使用量を、残量記録ステップ１００１で記録されていたテープロールの残量から減じてテープロールの残量を更新する残量更新ステップ１００６と、を備える。
【選択図】図７
【解決手段】貼着方法は、テープがロール状に巻回されたテープロールのテープをワークに貼着する貼着方法であって、テープロールの残量を記録する残量記録ステップ１００１と、残量記録ステップ１００１を実施した後、テープロールのテープを１以上のワークに貼着するテープ貼着ステップ１００４と、テープ貼着ステップ１００４でワークの貼着に使用したテープの量を使用量として検出する使用量検出ステップ１００５と、使用量検出ステップ１００５で検出された使用量を、残量記録ステップ１００１で記録されていたテープロールの残量から減じてテープロールの残量を更新する残量更新ステップ１００６と、を備える。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
テープがロール状に巻回されたテープロールの該テープをワークに貼着する貼着方法であって、
該テープロールの残量を記録する残量記録ステップと、
該残量記録ステップを実施した後、該テープロールの該テープを１以上のワークに貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップでワークの貼着に使用した該テープの量を使用量として検出する使用量検出ステップと、
該使用量検出ステップで検出された該使用量を、該残量記録ステップで記録されていた該テープロールの残量から減じて該テープロールの残量を更新する残量更新ステップと、
を備えた貼着方法。
該テープロールの残量を記録する残量記録ステップと、
該残量記録ステップを実施した後、該テープロールの該テープを１以上のワークに貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップでワークの貼着に使用した該テープの量を使用量として検出する使用量検出ステップと、
該使用量検出ステップで検出された該使用量を、該残量記録ステップで記録されていた該テープロールの残量から減じて該テープロールの残量を更新する残量更新ステップと、
を備えた貼着方法。
【請求項2】
該テープ貼着ステップを実施する前に、該テープ貼着ステップで使用する予定の該使用量が、該テープロールの該残量よりも多いかを判断する判断ステップと、
該判断ステップで該使用量の方が多いと判断された場合に他のテープロールに交換するテープ交換ステップと、
を備えた請求項１に記載の貼着方法。
該判断ステップで該使用量の方が多いと判断された場合に他のテープロールに交換するテープ交換ステップと、
を備えた請求項１に記載の貼着方法。
【請求項3】
該テープロールは個体識別情報を有し、
該残量記録ステップでは、該個体識別情報とともに該残量を記録し、
該テープ貼着ステップを実施する前に、該テープロールの該個体識別情報を確認し、
該残量更新ステップでは、該個体識別情報とともに記録された該残量を更新する、
請求項１または請求項２に記載の貼着方法。
該残量記録ステップでは、該個体識別情報とともに該残量を記録し、
該テープ貼着ステップを実施する前に、該テープロールの該個体識別情報を確認し、
該残量更新ステップでは、該個体識別情報とともに記録された該残量を更新する、
請求項１または請求項２に記載の貼着方法。
【請求項4】
該テープロールは個体識別情報が記録されたＲＦタグを有し、
該残量記録ステップでは、該ＲＦタグに該残量を記録するとともに該残量更新ステップでは該ＲＦタグに記録された該残量を更新する、
請求項３に記載の貼着方法。
該残量記録ステップでは、該ＲＦタグに該残量を記録するとともに該残量更新ステップでは該ＲＦタグに記録された該残量を更新する、
請求項３に記載の貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、テープがロール状に巻回されたテープロールの該テープをワークに貼着する貼着方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスの製造工程では、ウエーハの表面に複数のデバイスを形成した後、ウエーハ表面に表面保護用のテープを貼着し、ウエーハの表面側を該テープを介して保持テーブルで保持して裏面を研削して所定厚みへ薄化する。その後、ウエーハの裏面にダイシング用のテープを貼着するとともにウエーハの表面保護テープを除去した後、ウエーハの裏面側をテープを介して保持してダイシングして複数のデバイスを形成している。
【0003】
ウエーハへのテープ貼着には、例えばテープロールがセットされたテープマウンタが広く利用されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。一般に、同一ロットのウエーハがカセットに複数枚収容された状態でテープマウンタに供給される。そして、カセットに収容されたウエーハに対して連続的に順次テープが貼着される。テープがなくなると、作業者が別のテープロールに交換する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１７－４１４６９号公報
【特許文献2】特開２０１１－２３６０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一方、同一ロットのウエーハに対しては同一のテープロールのテープを貼着したいという要望がある。例えば、異なるテープロールのテープを貼着して加工し得られたデバイスに後に不具合が生じたときにその原因と懸念されるおそれを払拭するためである。
【0006】
また、同一カセットに収容されたウエーハに対して連続的にテープマウントしている最中にテープが足りなくなるとテープの交換作業が発生し、ウエーハを後工程に提供する時間が遅れて問題となるおそれもある。
【0007】
しかし、ロール状に巻回されたテープロールでは一見して残量が確認しにくく、残りがどの位あるのか判断しづらかった。
【0008】
本発明の目的は、予期せぬタイミングでテープロールの交換作業が発生するおそれを防止しうる貼着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の貼着方法は、テープがロール状に巻回されたテープロールの該テープをワークに貼着する貼着方法であって、該テープロールの残量を記録する残量記録ステップと、該残量記録ステップを実施した後、該テープロールの該テープを１以上のワークに貼着するテープ貼着ステップと、該テープ貼着ステップでワークの貼着に使用した該テープの量を使用量として検出する使用量検出ステップと、該使用量検出ステップで検出された該使用量を、該残量記録ステップで記録されていた該テープロールの残量から減じて該テープロールの残量を更新する残量更新ステップと、を備えたことを特徴とする。
【0010】
前記貼着方法において、該テープ貼着ステップを実施する前に、該テープ貼着ステップで使用する予定の該使用量が、該テープロールの該残量よりも多いかを判断する判断ステップと、該判断ステップで該使用量の方が多いと判断された場合に他のテープロールに交換するテープ交換ステップと、を備えても良い。
【0011】
前記貼着方法において、該テープロールは個体識別情報を有し、該残量記録ステップでは、該個体識別情報とともに該残量を記録し、該テープ貼着ステップを実施する前に、該テープロールの該個体識別情報を確認し、該残量更新ステップでは、該個体識別情報とともに記録された該残量を更新しても良い。
【0012】
前記貼着方法において、該テープロールは個体識別情報が記録されたＲＦタグを有し、該残量記録ステップでは、該ＲＦタグに該残量を記録するとともに該残量更新ステップでは該ＲＦタグに記録された該残量を更新しても良い。
【発明の効果】
【0013】
本発明は、予期せぬタイミングでテープロールの交換作業が発生するおそれを防止しうるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0016】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る貼着方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る貼着方法を実施する貼着システムの構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る貼着方法によりワークに貼着されるテープを備えるテープロールを模式的に示す斜視図である。図３は、図２に示されたテープロールの要部を模式的に示す断面図である。図４は、図２に示されたテープロールの情報記録媒体が記憶した個体識別情報の一例を示す図である。図５は、図１に示された貼着システムのサーバーの記憶部が記憶したデータべースの一例を示す図である。図６は、図１に示された貼着システムのサーバーの残量記録部が記録するテープ残量データべースの一例を示す図である。図７は、実施形態１に係る貼着方法の流れを示すフローチャートである。
本発明の実施形態１に係る貼着方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る貼着方法を実施する貼着システムの構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る貼着方法によりワークに貼着されるテープを備えるテープロールを模式的に示す斜視図である。図３は、図２に示されたテープロールの要部を模式的に示す断面図である。図４は、図２に示されたテープロールの情報記録媒体が記憶した個体識別情報の一例を示す図である。図５は、図１に示された貼着システムのサーバーの記憶部が記憶したデータべースの一例を示す図である。図６は、図１に示された貼着システムのサーバーの残量記録部が記録するテープ残量データべースの一例を示す図である。図７は、実施形態１に係る貼着方法の流れを示すフローチャートである。
【0017】
（ワーク）
実施形態１に係る貼着方法は、図１に示すテープロール２００のテープ２０１をワーク２１０に貼着する方法である。実施形態１に係る貼着方法によりテープ２０１が貼着されるワーク２１０は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板とする円板状の半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハ等のウエーハである。
実施形態１に係る貼着方法は、図１に示すテープロール２００のテープ２０１をワーク２１０に貼着する方法である。実施形態１に係る貼着方法によりテープ２０１が貼着されるワーク２１０は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板とする円板状の半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハ等のウエーハである。
【0018】
ワーク２１０は、表面に設定された複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスを有する。デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又はメモリ（半導体記憶装置）等である。ワーク２１０は、分割予定ラインに沿って個々のチップに分割される。チップは、基板の一部分とデバイスとを備えている。
【0019】
（テープロール）
実施形態１に係る貼着方法によりワーク２１０に貼着されるテープ２０１は、図１及び図２に示すテープロール２００を構成する。実施形態１では、テープロール２００は、テープ２０１が芯２０２の外周にロール状に巻回されている。テープロール２００は、図２に示すように、円筒状の芯２０２と、芯２０２に巻かれたテープ２０１と、テープ２０１に貼り付けられた剥離紙２０６とを備える。芯２０２は、内部が空洞の円筒状であり、例えばプラスチックなどにより構成される。
実施形態１に係る貼着方法によりワーク２１０に貼着されるテープ２０１は、図１及び図２に示すテープロール２００を構成する。実施形態１では、テープロール２００は、テープ２０１が芯２０２の外周にロール状に巻回されている。テープロール２００は、図２に示すように、円筒状の芯２０２と、芯２０２に巻かれたテープ２０１と、テープ２０１に貼り付けられた剥離紙２０６とを備える。芯２０２は、内部が空洞の円筒状であり、例えばプラスチックなどにより構成される。
【0020】
テープ２０１は、帯状に形成され、芯２０２の外周に巻き付けられている。テープ２０１には、ワーク２１０と同形状の円板状に形成され、長手方向（即ち、芯２０２の周方向）に等間隔に配置された円形の切り込み２０３が複数形成されている。テープ２０１は、図３に示すように、可撓性と非粘着性の樹脂により構成された基材２０４と、ワーク２１０に貼着する糊層２０５とを備える。実施形態１では、テープ２０１は、糊層２０５が紫外線が照射されることで硬化して粘着力を低下する所謂紫外線硬化型のテープである。
【0021】
剥離紙２０６は、帯状に形成され、テープ２０１とともに芯２０２に巻かれた芯２０２の外周に巻き付けられている。実施形態１では、テープロール２００は、剥離紙２０６の内周側にテープ２０１を位置付けている。
【0022】
また、テープロール２００は、情報記録媒体２２０を有する。情報記録媒体２２０は、実施形態１では、芯２０２に配設され、例えば、無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なＲＦ（Radio Frequency）タグにより構成されるが、本発明では、ＲＦタグに限定されない。情報記録媒体２２０は、図４に示す個体識別情報３００が記録されている。実施形態１では、情報記録媒体２２０が記録する個体識別情報３００は、テープロール２００同士を識別可能とするテープロール２００の個体識別番号３０１を少なくとも含んでいる。また、実施形態１では、情報記録媒体２２０が記録する個体識別情報３００の個体識別番号３０１は、テープロール２００の品番（種類）毎にも異なるとともに、同じ品番のテープロール２００であってもテープロール２００毎に異なる番号である。図４に例示された情報記録媒体２２０が記録する個体識別番号３０１は、「３４５６７８９０１」である。なお、本発明では、情報記録媒体２２０は、ＲＦタグの他、例えば１次元または二次元コードが表示されたシールでもよい。
【0023】
こうして、テープロール２００の情報記録媒体２２０が個体識別情報３００を記録することにより、テープロール２００は、個体識別情報３００を有することとなる。なお、図２に示すテープロール２００は、テープ２０１にワーク２１０と同形状の円形の切り込み２０３が形成されているが、本発明では、テープ２０１に切り込み２０３が形成されていなくても良い。
【0024】
（テープ貼着装置）
実施形態１に係る貼着方法は、図１に示されたテープ貼着装置１により実施される。図１に示されたテープ貼着装置１は、ワーク２１０にテープロール２００のテープ２０１の切り込み２０３の内周側の領域２０７（以下、貼着用テープと記す）を貼着する装置である。テープ貼着装置１は、図１に示すように、基台２と、ワーク２１０を保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０を移動させる移動ユニット２０と、テープロール２００から剥離紙２０６及びテープ２０１を送り出す送りユニット３０と、折り曲げプレート４０と、剥離紙２０６から貼着用テープ２０７を剥離した後、剥離紙２０６及びテープ２０１の切り込み２０３の外周側を巻き取る巻取りユニット５０と、押圧ローラ６０と、制御ユニット８０とを備える。
実施形態１に係る貼着方法は、図１に示されたテープ貼着装置１により実施される。図１に示されたテープ貼着装置１は、ワーク２１０にテープロール２００のテープ２０１の切り込み２０３の内周側の領域２０７（以下、貼着用テープと記す）を貼着する装置である。テープ貼着装置１は、図１に示すように、基台２と、ワーク２１０を保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０を移動させる移動ユニット２０と、テープロール２００から剥離紙２０６及びテープ２０１を送り出す送りユニット３０と、折り曲げプレート４０と、剥離紙２０６から貼着用テープ２０７を剥離した後、剥離紙２０６及びテープ２０１の切り込み２０３の外周側を巻き取る巻取りユニット５０と、押圧ローラ６０と、制御ユニット８０とを備える。
【0025】
基台２は、平面形状が矩形状に形成されている。保持テーブル１０は、ワーク２１０を水平方向と平行な保持面で保持する。保持面は、ポーラスセラミックス等から形成された円盤形状であり、図示しない吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。保持テーブル１０は、真空吸引源により吸引されることで、保持面上に載置されたワーク２１０を吸引保持する。
【0026】
移動ユニット２０は、基台２上に設置され、保持テーブル１０を水平方向と基台２の長手方向と平行なＸ軸方向に移動させるものである。移動ユニット２０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ、保持テーブル１０をＸ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
【0027】
送りユニット３０は、実施形態１では、基台２の一端部上に配置され、テープロール２００の芯２０２の内側に挿入されて、テープロール２００を支持する送りローラ３１を備える。送りローラ３１は、外観が円柱状に形成され、図示しないモータにより軸心回りに回転される。送りローラ３１の軸心は、基台２の幅方向と平行である。送りユニット３０は、送りローラ３１が軸心回りに回転することで、テープロール２００の剥離紙２０６及びテープ２０１を折り曲げプレート４０上に送り出す。
【0028】
折り曲げプレート４０は、基台２のＸ軸方向の中央部上に配置されている。折り曲げプレート４０は、送りユニット３０から離れた側の先端４１が基台２の幅方向と平行に形成されている。折り曲げプレート４０は、送りユニット３０から送り出された剥離紙２０６を先端４１に当接させて折り曲げて、巻取りユニット５０に導くとともに、折り曲げた剥離紙２０６からテープ２０１の貼着用テープ２０７を剥離する。
【0029】
巻取りユニット５０は、実施形態１では、基台２の一端上に配置され、送りユニット３０の送りローラ３１の下方（基台２寄り）に配置された巻取りローラ５１を備える。巻取りローラ５１は、外観が円柱状に形成され、図示しないモータにより軸心回りに回転される。巻取りローラ５１の軸心は、基台２の幅方向と平行である。巻取りローラ５１は、モータにより軸心回りに回転することで、折り曲げプレート４０により貼着用テープ２０７が剥離された剥離紙２０６及びテープ２０１の切り込み２０３の外周側を外周面上に巻き取る。
【0030】
押圧ローラ６０は、基台２のＸ軸方向の中央部上に配置されている。押圧ローラ６０は、外観が円柱状に形成され、軸心回りに回転自在に支持されている。押圧ローラ６０は、図示しない駆動ユニットにより昇降自在に配置されている。押圧ローラ６０は、折り曲げプレート４０により剥離紙２０６から剥離されたテープ２０１を保持テーブル１０上に保持されたワーク２１０に上方から下方に向けて押圧しながら保持テーブル１０の移動ユニット２０による移動に伴なってテープ２０１上を転動する。
【0031】
また、テープ貼着装置１は、折り曲げプレート４０を通過して巻取りローラ５１に至る途中に、折り曲げプレート４０を通過する剥離紙２０６の引っ張り張力を一定に維持するように下方から上方に向けてテンションを与えるテンションローラ５２を配設している。なお、上述した送りローラ３１、巻取りローラ５１は、支持しているテープロール２００等の径に応じて上下方向に移動するように構成されており、テープロール２００等の径が変化しても、折り曲げプレート４０を剥離紙２０６が通過する際の反転する角度、剥離紙２０６及びテープ２０１の送り出し位置、巻取位置が変化しないように構成されている。
【0032】
また、テープ貼着装置１は、送りユニット３０から送り出されて折り曲げプレート４０に至るテープ２０１の幅方向中央の上方には、テープ２０１に向けて垂直方向から紫外線（ＵＶ）を照射する紫外線照射器５３が配設されている。テープ貼着装置１は、図示しないセンサによってテープ２０１の貼着用テープ２０７が紫外線照射器５３の直下を通過することが検知された際にはテープ２０１の貼着用テープ２０７の先端部に向けて紫外線を照射するように構成されている。
【0033】
また、テープ貼着装置１は、送りユニット３０の送りローラ３１及び巻取りユニット５０の巻取りローラ５１の回転数に応じた情報を検出し、検出結果を制御ユニット８０に出力する回転センサを備える。
【0034】
また、テープ貼着装置１は、個体識別情報入力ユニット７０を備える。個体識別情報入力ユニット７０は、送りユニット３０の送りローラ３１に支持されたテープロール２００の芯２０２に設けられた情報記録媒体２２０から情報記録媒体２２０に記録された個体識別情報３００を読み込む。実施形態１では、個体識別情報入力ユニット７０は、例えば、ＲＦタグリーダにより構成される。なお、個体識別情報入力ユニット７０により読み取られた個体識別情報３００を用いたテープ貼着装置１の処理については後述する。
【0035】
制御ユニット８０は、テープ貼着装置１を構成する上述した各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２１０に対するテープ２０１の貼着用テープ２０７の貼着動作をテープ貼着装置１に実行させるものである。制御ユニット８０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。
【0036】
制御ユニット８０の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、テープ貼着装置１を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット８０の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インターフェース装置を介してテープ貼着装置１の各構成要素に出力する。
【0037】
また、制御ユニット８０は、貼着動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとが接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。
【0038】
テープ貼着装置１は、個体識別情報入力ユニット７０が通信ネットワーク１００を介してサーバー１１０に接続している。サーバー１１０は、少なくとも１のテープ貼着装置１の個体識別情報入力ユニット７０に接続して、個体識別情報入力ユニット７０が読み取った個体識別情報３００が入力する。また、サーバー１１０は、例えば、通信ネットワーク１００を介してテープ貼着装置１の制御ユニット８０とも接続している。サーバー１１０には、テープ貼着装置１の制御ユニット８０からテープ貼着装置１の貼着動作の貼着条件（貼着する同一ロッドのワーク２１０の種類、枚数など）と、各回転センサの検出結果などが入力する。
【0039】
サーバー１１０は、少なくとも１のテープ貼着装置１を管理するものである。サーバー１１０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。なお、本発明では、サーバー１１０には複数のテープ貼着装置１が接続され、サーバー１１０が複数のテープ貼着装置１を管理してもよい。
【0040】
サーバー１１０は、記憶部１１１と、残量記録部１１２と、使用量算出部１１３とを備える。記憶部１１１は、新品の各個体識別番号３０１のテープロール２００のテープ２０１のワーク２１０に貼着可能な残量３０２を示すデータベース３１０（図５に示す）を記憶している。なお、テープ２０１の残量３０２は、図２に示されたテープ２０１がワーク２１０と同形状の円形の切り込み２０３が形成されている場合では、貼着用テープ２０７の枚数であり、テープ２０１が円形の切り込み２０３が形成されていない場合では、テープロール２００のテープ２０１の巻き回方向の全長である。記憶部１１１が記憶した図５に示されたデータベース３１０は、テープロール２００の個体識別番号３０１と、新品のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２とが１対１で紐付けられたデータベースである。
【0041】
なお、図５に示されたデータベース３１０は、個体識別番号３０１が「１２３４５６７８９」、「２３４５６７８９０」及び「４５６７８９０１２」のテープロール２００が、テープ２０１が円形の切り込み２０３が形成されていないものであり、それぞれの新品のテープ２０１の残量３０２が、２００００ｍｍ、６７０ｍｍ及び１４８０ｍｍであることを示している。また、図５に示されたデータベース３１０は、個体識別番号３０１が「３４５６７８９０１」のテープロール２００が、テープ２０１が円形の切り込み２０３が形成されたものであり、新品のテープ２０１の貼着用テープ２０７の残量３０２が、１２２枚であることを示している。
【0042】
残量記録部１１２は、個体識別情報入力ユニット７０から入力した個体識別情報３００、記憶部１１１記憶されたデータベース３１０、回転センサの検出結果などに基づいて設定された各個体識別番号３０１のテープロール２００のテープ２０１のワーク２１０に貼着可能な残量を示す図６に示されたテープ残量データベース３２０を記録する。図６に示されたテープ残量データベース３２０は、個体識別番号３０１が「３４５６７８９０１」のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が、１２２枚であることを示している。
【0043】
使用量算出部１１３は、個体識別情報入力ユニット７０から入力した個体識別情報３００、テープ貼着装置１の貼着条件及び残量記録部１１２に記録されたテープ残量データベース３２０などに基づいて、テープ貼着装置１の貼着動作において使用される予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出する。使用量算出部１１３は、個体識別情報入力ユニット７０から入力した個体識別情報３００、テープ貼着装置１の貼着条件、及び貼着動作中の回転センサの検出結果などに基づいて、テープ貼着装置１の貼着動作におけるテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出する。
【0044】
なお、テープ２０１の使用量とはテープ貼着装置１の貼着動作中にテープロール２００のテープ２０１が使用される量を示し、テープ２０１がワーク２１０と同形状の円形の切り込み２０３が形成されたテープロール２００の場合では、テープ貼着装置１の貼着動作においてワーク２１０に貼着されるテープ２０１の貼着用テープ２０７の枚数であり、テープ２０１が円形の切り込み２０３が形成されていないテープロール２００の場合では、テープ貼着装置１の貼着動作において送りユニット３０により送り出され、巻取りユニット５０により巻き取られたテープ２０１及び剥離紙２０６の巻き回方向の長さである。
【0045】
また、使用量算出部１１３は、算出したテープ貼着装置１の貼着動作において使用される予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量がテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いか否かを判断する。使用量算出部１１３は、算出したテープ貼着装置１の貼着動作において使用される予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量の方が、テープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多くない（即ち、残量３０２以下）と判断された場合に、テープ貼着装置１の貼着動作を継続させる。使用量算出部１１３は、算出したテープ貼着装置１の貼着動作において使用される予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量の方が、テープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いと判断された場合に、テープ貼着装置１の制御ユニット８０に貼着動作の一時停止と、他のテープロール２００に交換する指示とを出力する。
【0046】
また、使用量算出部１１３は、使用量を算出した個体識別番号のテープ２０１の使用量を、残量記録部１１２に記録されたテープ残量データベース３２０の該当する個体識別番号のテープ２０１の残量３０２から減じた値を、新たなテープ２０１の残量３０２としてテープ残量データベース３２０を更新する。
【0047】
なお、サーバー１１０の記憶部１１１及び残量記録部１１２の機能は、前述した記憶装置により実現される。サーバー１１０の使用量算出部１１３の機能は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを演算処理装置が実行することにより実現される。
【0048】
なお、前述した構成のテープ貼着装置１と、通信ネットワーク１００及びサーバー１１０は、ワーク２１０にテープ２０１を貼着するテープ貼着システム１２０を構成している。
【0049】
（貼着方法）
実施形態１に係る貼着方法は、前述したテープロール２００のテープ２０１をワーク２１０に貼着する方法である。実施形態１に係る貼着方法は、図１に示されたテープ貼着装置１のテープ２０１をワーク２１０に貼着する貼着動作でもある。実施形態１に係る貼着方法は、図６に示すように、残量記録ステップ１００１と、判断ステップ１００２と、テープ交換ステップ１００３と、テープ貼着ステップ１００４と、使用量検出ステップ１００５と、残量更新ステップ１００６とを備える。
実施形態１に係る貼着方法は、前述したテープロール２００のテープ２０１をワーク２１０に貼着する方法である。実施形態１に係る貼着方法は、図１に示されたテープ貼着装置１のテープ２０１をワーク２１０に貼着する貼着動作でもある。実施形態１に係る貼着方法は、図６に示すように、残量記録ステップ１００１と、判断ステップ１００２と、テープ交換ステップ１００３と、テープ貼着ステップ１００４と、使用量検出ステップ１００５と、残量更新ステップ１００６とを備える。
【0050】
（残量記録ステップ）
残量記録ステップ１００１は、テープロール２００の残量を記録するステップである。実施形態１において、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が貼着条件を受け付けて記憶装置に記憶し、送りユニット３０の送りローラ３１に新品の個体識別番号「３４６７８９０１」のテープロール２００が支持される。すると、テープ貼着装置１の個体識別情報入力ユニット７０がテープロール２００の情報記録媒体２２０の個体識別情報３００を読み取って、読み取った個体識別情報３００をサーバー１１０に出力する。
残量記録ステップ１００１は、テープロール２００の残量を記録するステップである。実施形態１において、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が貼着条件を受け付けて記憶装置に記憶し、送りユニット３０の送りローラ３１に新品の個体識別番号「３４６７８９０１」のテープロール２００が支持される。すると、テープ貼着装置１の個体識別情報入力ユニット７０がテープロール２００の情報記録媒体２２０の個体識別情報３００を読み取って、読み取った個体識別情報３００をサーバー１１０に出力する。
【0051】
残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０は、貼着条件のテープロール２００の種類が、個体識別情報入力ユニット７０が個体識別情報３００を読み取ったテープロール２００の種類と一致するか否かを図示しないデータベースを参照するなどして判断する。残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０は、貼着条件のテープロール２００の種類が、個体識別情報入力ユニット７０が個体識別情報３００を読み取ったテープロール２００の種類と一致しないと判断すると、貼着動作の一時停止と、テープロール２００を交換する指示をテープ貼着装置１の制御ユニット８０に出力する。この場合、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が、表示ユニットにテープロール２００の交換を促すメッセージを表示するなどして、オペレータ等にテープロール２００の交換を促す。
【0052】
このように、実施形態１において、残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０が、貼着条件のテープロール２００の種類が、個体識別情報入力ユニット７０が個体識別情報３００を読み取ったテープロール２００の種類と一致するか否かを判断することで、テープ貼着ステップ１００４を実施する前に、送りユニット３０の送りローラ３１に支持されたテープロール２００の個体識別情報３００を確認することとなる。
【0053】
残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０は、貼着条件のテープロール２００の種類が、個体識別情報入力ユニット７０が個体識別情報３００を読み取ったテープロール２００の種類と一致すると判断すると、残量記録部１１２がデータベース３１０を参照して、個体識別情報入力ユニット７０が個体識別情報３００を読み取ったテープロール２００の個体識別番号３０１とテープ２０１の残量３０２とを１対１で紐付けて、図６に例示するテープ残量データベース３２０を生成して、残量記録部１１２に記録して、判断ステップ１００２に進む。こうして、残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０がテープ残量データベース３２０を生成して、残量記録部１１２に記録することで、残量記録部１１２が、個体識別情報３００とともにテープ２０１の残量３０２を記録することとなる。
【0054】
なお、残量記録ステップ１００１は、テープ貼着装置１で使用するテープロール２００を新たに準備した際に、準備したテープロール２００の残量をデータベース３１０に追加するステップでもある。新品のテープロール２００の場合、例えばオペレータがテープロール２００の仕様書をもとにデータベース３１０に入力してもよい。
【0055】
（判断ステップ）
判断ステップ１００２は、テープ貼着ステップ１００４を実施する前に、テープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量よりもテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が多いか否かを判断するステップである。判断ステップ１００２では、サーバー１１０の使用量算出部１１３が、テープ貼着装置１の貼着動作即ちテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出する。
判断ステップ１００２は、テープ貼着ステップ１００４を実施する前に、テープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量よりもテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が多いか否かを判断するステップである。判断ステップ１００２では、サーバー１１０の使用量算出部１１３が、テープ貼着装置１の貼着動作即ちテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出する。
【0056】
判断ステップ１００２では、サーバー１１０の使用量算出部１１３が、算出したテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量がテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いか否かを判断する。判断ステップ１００２では、サーバー１１０の使用量算出部１１３が、算出したテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量の方が、テープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いと判断された場合（判断ステップ１００２：Ｙｅｓ）、テープ交換ステップ１００３に進む。
【0057】
判断ステップ１００２では、サーバー１１０の使用量算出部１１３が、算出したテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量の方が、テープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多くない（即ち、残量３０２以下）と判断された場合（判断ステップ１００２：Ｎｏ）、テープ貼着ステップ１００４に進む。
【0058】
（テープ交換ステップ）
テープ交換ステップ１００３は、判断ステップ１００２でテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープ２０１の使用量の方がテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いと判断された場合に、他のテープロール２００に交換するステップである。テープ交換ステップ１００３では、サーバー１１０が、テープ貼着装置１の制御ユニット８０に貼着動作の一時停止と、他のテープロール２００に交換する指示とを出力する。
テープ交換ステップ１００３は、判断ステップ１００２でテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープ２０１の使用量の方がテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いと判断された場合に、他のテープロール２００に交換するステップである。テープ交換ステップ１００３では、サーバー１１０が、テープ貼着装置１の制御ユニット８０に貼着動作の一時停止と、他のテープロール２００に交換する指示とを出力する。
【0059】
この場合、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が、表示ユニットにテープロール２００の交換を促すメッセージを表示するなどして、オペレータ等にテープロール２００の交換を促す。テープ貼着装置１は、送りユニット３０の送りローラ３１に支持するテープロール２００が交換されると、残量記録ステップ１００１に戻る。
【0060】
（テープ貼着ステップ）
図８は、図７に示された貼着方法のテープ貼着ステップを模式的に示すテープ貼着装置の側面図である。テープ貼着ステップ１００４は、残量記録ステップ１００１を実施した後、テープロール２００のテープ２０１を１以上のワーク２１０に貼着するステップである。テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、保持テーブル１０の保持面にワーク２１０を吸引保持し、制御ユニット８０が移動ユニット２０を制御して折り曲げプレート４０の下方に保持テーブル１０を位置付け、送りローラ３１及び巻取りローラ５１を制御して、テープロール２００の剥離紙２０６に貼り付けられているテープ２０１の貼着用テープ２０７の先端部を紫外線照射器５３の直下になるように位置付ける。
図８は、図７に示された貼着方法のテープ貼着ステップを模式的に示すテープ貼着装置の側面図である。テープ貼着ステップ１００４は、残量記録ステップ１００１を実施した後、テープロール２００のテープ２０１を１以上のワーク２１０に貼着するステップである。テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、保持テーブル１０の保持面にワーク２１０を吸引保持し、制御ユニット８０が移動ユニット２０を制御して折り曲げプレート４０の下方に保持テーブル１０を位置付け、送りローラ３１及び巻取りローラ５１を制御して、テープロール２００の剥離紙２０６に貼り付けられているテープ２０１の貼着用テープ２０７の先端部を紫外線照射器５３の直下になるように位置付ける。
【0061】
テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、テープ２０１の折り曲げプレート４０寄りの先端部に紫外線照射器５３から紫外線を所定時間（例えば、０．５～１秒）照射する。テープ２０１は、紫外線の照射により糊層２０５の粘着力が低減する紫外線硬化型テープであることから、貼着用テープ２０７の先端部の粘着力が低下する。なお、紫外線の照射時間は、紫外線照射器５３の出力や、テープ２０１の糊層２０５の粘着力等に応じて適宜設定される。
【0062】
テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が送りローラ３１及び巻取りローラ５１を制御して、先端部に紫外線が照射されたテープ２０１の貼着用テープ２０７を折り曲げプレート４０に向けて送り出す。このように、テープ貼着装置１は、全ての貼着用テープ２０７の先端部に紫外線照射器５３から紫外線を照射する。テープ貼着ステップ１００４では、貼着用テープ２０７の先端部が折り曲げプレート４０の先端４１に到達し、剥離紙２０６及びテープ２０１が折り曲げプレート４０の先端４１を超えて巻取りローラ５１に巻き取られる際に、貼着用テープ２０７の先端部が剥離紙２０６から剥離する。
【0063】
テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、折り曲げプレート４０の先端４１に貼着用テープ２０７の先端部が到達するのに合わせて、制御ユニット８０が移動ユニット２０を制御して、保持テーブル１０に保持されたワーク２１０の基台２の他端寄りの先端部を剥離紙２０６から剥離した貼着用テープ２０７の先端部に下方に位置付ける。テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、制御ユニット８０が駆動ユニットを制御して押圧ローラ６０を下方に向けて移動させて、押圧ローラ６０で貼着用テープ２０７をワーク２１０に押し付けるとともに、テープ２０１の巻き取りに連動して保持テーブル１０を移動ユニット２０により基台２の他端に向けて移動させて、貼着用テープ２０７を先端部から順にワーク２１０に貼着する。
【0064】
テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、ワーク２１０に貼着用テープ２０７を貼着した後、制御ユニット８０が駆動ユニットを制御して押圧ローラ６０を上昇させた後、保持テーブル１０のワーク２１０の吸引保持を停止する。テープ貼着ステップ１００４では、テープ貼着装置１は、保持テーブル１０の保持面から貼着用テープ２０７が貼着されたワーク２１０が取り外された後、次に貼着用テープ２０７が貼着されるワーク２１０が載置される。テープ貼着装置１は、貼着条件で定められた枚数のワーク２１０に順に貼着用テープ２０７を貼着する。テープ貼着装置１は、貼着条件で定められた枚数のワーク２１０に貼着用テープ２０７を貼着すると、使用量検出ステップ１００５に進む。
【0065】
（使用量検出ステップ）
使用量検出ステップ１００５は、テープ貼着ステップ１００４でワーク２１０の貼着に使用したテープ２０１の量を使用量として検出するステップである。使用量検出ステップ１００５では、サーバーの使用量算出部１１３が、テープ貼着ステップ１００４でワーク２１０への貼着に使用したテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出して、残量更新ステップ１００６に進む。
使用量検出ステップ１００５は、テープ貼着ステップ１００４でワーク２１０の貼着に使用したテープ２０１の量を使用量として検出するステップである。使用量検出ステップ１００５では、サーバーの使用量算出部１１３が、テープ貼着ステップ１００４でワーク２１０への貼着に使用したテープロール２００のテープ２０１の使用量を算出して、残量更新ステップ１００６に進む。
【0066】
（残量更新ステップ）
図９は、図７に示された貼着方法の残量更新ステップにおいてテープの残量が更新された後のテープ残量データベースの一例を示す図である。図１０は、複数の個体識別番号のテープをワークに貼着した後のテープ残量データベースの一例を示す図である。残量更新ステップ１００６は、使用量検出ステップ１００５で検出されたテープ２０１の使用量を、残量記録ステップ１００１で記録されていたテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２から減じて、テープロール２００のテープ２０１の残量３０２を更新するステップである。
図９は、図７に示された貼着方法の残量更新ステップにおいてテープの残量が更新された後のテープ残量データベースの一例を示す図である。図１０は、複数の個体識別番号のテープをワークに貼着した後のテープ残量データベースの一例を示す図である。残量更新ステップ１００６は、使用量検出ステップ１００５で検出されたテープ２０１の使用量を、残量記録ステップ１００１で記録されていたテープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２から減じて、テープロール２００のテープ２０１の残量３０２を更新するステップである。
【0067】
残量更新ステップ１００６では、ザーバーの使用量算出部１１３が、使用量検出ステップ１００５で検出された個体識別番号３０１のテープ２０１の使用量を、残量記録部１１２に記録されたテープ残量データベース３２０の該当する個体識別番号３０１のテープ２０１の残量３０２から減じる。残量更新ステップ１００６では、ザーバーの使用量算出部１１３が、使用量を残量３０２から減じて得た値を新たなテープ２０１の残量３０２として、図９に一例を示すようにテープ残量データベース３２０を更新する。なお、図９は、使用量検出ステップ１００５において、使用量算出部１１３が、個体識別番号３０１が「３４５６７８９０１」の使用量が「２２枚」と算出し、この算出した「２２枚」を図６に示されたテープ残量データベース３２０の残量３０２である「１２２枚」から減じ、減じて得た値である「１００枚」を新たなテープ２０１の残量３０２として更新したテープ残量データベース３２０を示す。
【0068】
なお、実施形態１において、残量記録ステップ１００１では、サーバー１１０がテープ残量データベース３２０を生成して残量記録部１１２に記録するが、本発明において、テープ残量データベース３２０の生成、記録とともに、個体識別情報入力ユニット７０により情報記録媒体２２０にテープ２０１のテープ残量データベース３２０の残量３０２を記録しても良い。
【0069】
また、実施形態１において、残量更新ステップ１００６では、サーバー１１０の残量記録部１１２に記録したテープ残量データベース３２０を更新するが、本発明において、テープ残量データベース３２０の更新とともに、個体識別情報入力ユニット７０により情報記録媒体２２０に記録されたテープ２０１の残量３０２を更新しても良い。
【0070】
また、実施形態１において、残量記録部１１２に記憶、更新されるテープ残量データベース３２０は、送りユニット３０の送りローラ３１に支持されるテープロール２００が交換されても、交換前のテープロール２００の個体識別番号３０１とテープ２０１の残量３０２とを記憶し続ける。このために、複数の個体識別番号３０１のテープロール２００のテープ２０１をワーク２１０に貼着した後のテープ残量データベース３２０は、図１０に示すように、複数の個体識別番号３０１とテープ２０１の残量３０２とを１体１で紐付けたデータベースとなる。
【0071】
なお、図１０に示されたテープ残量データベース３２０は、個体識別番号３０１が「１２３４５６７８９」のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が、１６０００ｍｍであり、個体識別番号３０１が「２３４５６７８９０」のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が、６００ｍｍであり、個体識別番号３０１が「４５６７８９０１２」のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が、１２００ｍｍであり、個体識別番号３０１が「３４５６７８９０１」のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２が、１００枚であることを示している。
【0072】
以上説明した実施形態１に係る貼着方法は、残量記録ステップ１００１においてテープロール２００のテープ２０１の残量３０２をテープ残量データベース３２０に記録しておき、使用量検出ステップ１００５においてワーク２１０の貼着に使用したテープ２０１の使用量を検出し、残量更新ステップ１００６においてテープ残量データベース３２０のテープ２０１の残量３０２を更新する。このために、実施形態１に係る貼着方法は、テープ残量データベース３２０を確認することで、各個体識別番号３０１のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２を把握することができる。
【0073】
その結果、実施形態１に係る貼着方法は、予期せぬタイミングでテープロール２００の交換作業が発生するおそれを防止しうるという効果を奏する。
【0074】
また、実施形態１に係る貼着方法は、テープ貼着ステップ１００４前に判断ステップ１００２においてテープ貼着ステップ１００４で使用する予定のテープロール２００のテープ２０１の使用量が、テープ残量データベース３２０のテープロール２００のテープ２０１の残量３０２よりも多いか否かを判断する。実施形態１に係る貼着方法は、判断ステップ１００２において、使用する予定のテープ２０１の使用量の方が残量３０２よりも多いと判断された場合にテープ交換ステップ１００３を実施する。
【0075】
その結果、実施形態１に係る貼着方法は、同一ロットのワーク２１０に対して同一のテープロール２００のテープ２０１を貼着することができ、テープ貼着ステップ１００４中にテープロール２００の交換作業が発生してテープ貼着ステップ１００４に時間を要してしまうことを防止することができる。
【0076】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【0077】
２００ テープロール
２０１ テープ
２１０ ワーク
２２０ 情報記録媒体（ＲＦタグ）
３００ 個体識別情報
３０２ 残量
１００１ 残量記録ステップ
１００２ 判断ステップ
１００３ テープ交換ステップ
１００４ テープ貼着ステップ
１００５ 使用量検出ステップ
１００６ 残量更新ステップ
２０１ テープ
２１０ ワーク
２２０ 情報記録媒体（ＲＦタグ）
３００ 個体識別情報
３０２ 残量
１００１ 残量記録ステップ
１００２ 判断ステップ
１００３ テープ交換ステップ
１００４ テープ貼着ステップ
１００５ 使用量検出ステップ
１００６ 残量更新ステップ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】