特開 2023-143858 分析方法、分析試料作製方法および分析用治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023143858

(43)【公開日】2023-10-06

(54)【発明の名称】分析方法、分析試料作製方法および分析用治具

(51)【国際特許分類】

   G01N 1/28 20060101AFI20230928BHJP

   G01N 1/42 20060101ALI20230928BHJP

   G01N 1/32 20060101ALI20230928BHJP

   H01J 37/20 20060101ALI20230928BHJP

   H01J 37/31 20060101ALI20230928BHJP

【ＦＩ】

G01N1/28 F

G01N1/28 W

G01N1/42

G01N1/32

G01N1/28 G

H01J37/20 A

H01J37/20 E

H01J37/31

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023046358

(22)【出願日】2023-03-23

(31)【優先権主張番号】P 2022048442

(32)【優先日】2022-03-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145872

【弁理士】

【氏名又は名称】福岡 昌浩

(74)【代理人】

【識別番号】100091362

【弁理士】

【氏名又は名称】阿仁屋 節雄

(72)【発明者】

【氏名】高橋 悟

【テーマコード（参考）】

2G052

5C101

【Ｆターム（参考）】

2G052AA24

2G052AA40

2G052AD14

2G052AD34

2G052AD52

2G052CA03

2G052CA04

2G052CA05

2G052CA48

2G052DA05

2G052DA22

2G052DA23

2G052DA33

2G052EB08

2G052EB13

2G052EC14

2G052EC18

2G052GA35

2G052JA04

2G052JA05

2G052JA07

2G052JA08

2G052JA22

5C101AA32

5C101FF05

5C101FF09

5C101FF16

5C101FF22

5C101FF47

5C101FF49

(57)【要約】

【課題】本発明は、凍結した試料が試料台から剥がれ落ちにくく、試料を安定して分析可能な分析方法を提供する。
【解決手段】本発明は、液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察するための分析方法において、試料台に少なくとも一部が固定されたメッシュ上に、前記試料を載せる工程と、前記試料を凍結する温度以下に冷却して凍結試料を調整する工程と、前記凍結試料に収束イオンビームを照射し、走査型電子顕微鏡で観察するための前記凍結試料の断面を表出させる工程と、を有する分析方法に関する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察するための分析方法において、
試料台に少なくとも一部が固定されたメッシュ上に、前記試料を載せる工程と、
前記試料を凍結する温度以下に冷却して凍結試料を調整する工程と、
前記凍結試料に収束イオンビームを照射し、前記走査型電子顕微鏡で観察するための前記凍結試料の断面を表出させる工程と、を有する分析方法。

【請求項2】

前記試料を載せる工程では、前記試料台に設置した固定用シートに、前記メッシュの少なくとも一部が接するように前記メッシュを配置して固定する請求項１に記載の分析方法。

【請求項3】

前記固定用シートはカーボンテープである請求項２に記載の分析方法。

【請求項4】

前記メッシュは、前記試料台の上側の主面に対し、傾斜をもって配置されている、請求項１に記載の分析方法。

【請求項5】

前記凍結試料の断面を表出させる工程では、前記凍結試料の外周部に前記収束イオンビームを照射する、請求項１に記載の分析方法。

【請求項6】

液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察する分析方法に用いる分析試料を作製する方法において、
試料台に少なくとも一部が固定されたメッシュ上に、前記試料を載せる工程と、
前記試料を凍結する温度以下に冷却して凍結試料を調整する工程と、を有する分析試料作製方法。

【請求項7】

請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の前記液体を含む前記試料の分析方法に用いる治具であり、
前記試料台と、
前記試料台に少なくとも一部が固定されている前記メッシュと、を備える分析用治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察するための分析方法、分析試料作製方法および分析用治具に関する。

【背景技術】

【0002】

液体を含む試料を観察する方法として、試料を冷却して急速凍結（クライオ加工）した後に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察することで、構造観察を可能にする方法が知られている。液体を含む試料では、特に水や油を含む場合、走査型電子顕微鏡で観察する際、試料から水や油が気化して形状が変化しやすいことから、クライオ加工等の手法が採用されている。

【0003】

例えば、特許文献１では、急速凍結した試料を収束イオンビーム（ＦＩＢ）により加工し、凍結した試料の断面を走査型電子顕微鏡で分析する方法が利用されている。クライオ加工後にＦＩＢ加工することにより、液体状の流動性を有する試料に関しても、所望の断面を表出させて観察することができ、液体状態における内容物の分散性等を確認できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１７－８４７４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら上記方法では、試料の凍結中または凍結後等において、試料台から試料が剥がれ落ち、ＦＩＢ加工や走査型電子顕微鏡による観察ができない場合があった。そこで本発明は、凍結した試料が試料台から剥がれ落ちにくく、試料を安定して分析可能な分析方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様は、
液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察するための分析方法において、
試料台に少なくとも一部が固定されたメッシュ上に、前記試料を載せる工程と、
前記試料を凍結する温度以下に冷却して凍結試料を調整する工程と、
前記凍結試料に収束イオンビームを照射し、走査型電子顕微鏡で観察するための前記凍結試料の断面を表出させる工程と、を有する分析方法である。

【0007】

本発明の第２の態様は、
前記試料を載せる工程では、前記試料台に設置した固定用シートに、前記メッシュの少なくとも一部が接するようにメッシュを配置して固定する第１の態様に記載の分析方法である。

【0008】

本発明の第３の態様は、
前記固定用シートはカーボンテープである第２の態様に記載の分析方法である。

【0009】

本発明の第４の態様は、
前記メッシュは、前記試料台の上側の主面に対し、傾斜をもって配置されている、第１の態様に記載の分析方法である。

【0010】

本発明の第５の態様は、
前記凍結試料の断面を表出させる工程では、前記凍結試料の外周部に前記収束イオンビームを照射する、第１の態様に記載の分析方法である。

【0011】

本発明の第６の態様は、
液体を含む試料を走査型電子顕微鏡で観察する分析方法に用いる分析試料を作製する方法において、
試料台に少なくとも一部が固定されたメッシュ上に、前記試料を載せる工程と、
前記試料を凍結する温度以下に冷却して凍結試料を調整する工程と、を有する分析試料作製方法である。

【0012】

本発明の第７の態様は、
第１の態様から第５の態様のいずれかに１つに記載の液体を含む試料の分析方法に用いる治具であり、
試料台と、
前記試料台に少なくとも一部が固定されているメッシュと、を備える分析用治具である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、液体を含む試料を凍結して走査型電子顕微鏡で観察するための分析方法において、凍結した試料が試料台から剥離しにくい方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本開示の一態様にかかる分析方法において、メッシュに試料を載せる工程の概略図である。

【図2】本開示の一態様にかかる分析方法において、メッシュ上に載せた試料を示す概略図である。

【図3】メッシュの一例を平面視で示す図である。

【図4】試料台にメッシュを固定する様子の一例を示す図である。

【図5】試料台にメッシュを固定する様子の一例を断面図で示す図である。

【図6】ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置の一例を示す概略図である。

【図7】メッシュ上に載せた試料の状態を平面視で示す図、および部分拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

＜本開示の一態様＞
以下、本開示の一態様について図１から図７を参照しながら説明する。

【0016】

（１）分析用試料の作製方法
本開示における分析方法では、
試料台に固定されたメッシュの上に試料を載せる工程（工程Ａ）と、
試料を冷却して凍結試料を調整する工程（工程Ｂ）と、
収束イオンビームを照射して凍結試料の断面を表出させる工程（工程Ｃ）と、を行う。

【0017】

（工程Ａ：メッシュの上に試料を載せる工程）
工程Ａでは、図１のように、試料台１０に固定されたメッシュ２２上に、液体を含む試料２３を載せる。まず、試料２３を観察するための試料台１０を用意する。試料台１０としては、走査型電子顕微鏡における観察に利用できる任意の試料台１０を利用してよい。試料台１０の材質は、アルミ製、真鍮製、カーボン製等の任意のものを使用してよく、好ましくは、アルミ製を使用する。試料台１０の形状は、走査型電子顕微鏡観察に用いられている公知のものでよく、例えば円柱状等のものを利用できる。

【0018】

試料２３は、金属ペースト等、粘性を有していることが好ましい。これにより、メッシュ２２上で、試料２３が液滴の形状を保ちやすくなる。試料２３の粘度は、メッシュ２２上で液滴の形状を保つことができる程度であればよく、具体的には、２０Ｐａ・ｓ以上６０Ｐａ・ｓ以下が例示される。

【0019】

図２に示すように、試料台１０に固定されたメッシュ２２上に載せた試料２３は、メッシュ２２に対して垂直方向における試料２３の厚みＴが、試料２３の種類に応じて好適な厚みをもつように配置することが好ましい。

【0020】

本開示におけるメッシュ２２としては、図３に示すように、貫通孔２２Ｈが複数形成されているものを使用できる。貫通孔２２Ｈは、メッシュ２２において、網状に配置されていることが好ましい。例えば、図３のように、メッシュ２２として、網部２２Ｍを規則的に配置することにより、貫通孔２２Ｈが網目状に複数形成されたものを使用できる。

【0021】

メッシュ２２は好ましくは金属製のシートである。メッシュ２２の材質は、特に限定されず、例えば、銅、モリブデン、ステンレス、白金等の材質からなるものを使用できる。メッシュ２２は、好ましくは、モリブデンからなるものを使用できる。メッシュ２２の外形の形状（枠の形状）は限定されず、任意の形状であってよい。好ましくは、メッシュ２２の外形は円形状である。

【0022】

貫通孔２２Ｈは、シート状のメッシュ２２において、２つの主面をつなぐ厚み方向に形成されている。貫通孔２２Ｈの形状は、種々の形状であってよい。例えば、貫通孔２２Ｈの形状は、円形、正方形、長方形、または、細長いスリット状の形状であってよい。例えば、図３におけるメッシュ２２は、複数の正方形の貫通孔２２Ｈを有している。貫通孔２２Ｈの大きさは、観察対象とする試料２３の粘度等に応じて、後述するメッシュに試料を載せる工程で、試料がメッシュ上に留まりやすいものを適宜選択してよい。また、図３のように、メッシュ２２の端部付近に、形状が正方形でない貫通孔２２Ｈが存在する場合も、本開示におけるメッシュ２２として、網状に配置された貫通孔２２Ｈを有するものに含まれる。

【0023】

以上説明したメッシュ２２は、少なくとも一部が試料台１０に固定された状態で設置される。メッシュ２２は、任意の方法で試料台１０に固定してよい。また、試料台１０に対し、メッシュ２２の少なくとも一部が固定されていればよく、メッシュ２２の複数の個所が試料台１０に固定されていても良い。このように試料台１０と、この試料台１０に少なくとも一部が固定されているメッシュ２２と、を備える分析用治具は、本態様の分析方法に用いるために好適である。

【0024】

また、図４に示すように、試料台１０に設置した固定用シート２１に、前記メッシュ２２の少なくとも一部が接するように配置して固定することが好ましい。また、固定用シート２１は、メッシュ２２に対して非対称に配置してもよい。例えば、図４に示すように、固定用シート２１を、円形のシート状であるメッシュ２２に対し、メッシュ２２の外縁上の一部分のみに接するように配置する等の方法が挙げられる。

【0025】

固定用シート２１としては、走査型電子顕微鏡の試料観察に使用される任意のテープを使用してよい。例えば、固定用シート２１として、カーボンテープ、アルミ箔テープ、銅箔テープ、布テープ等を使用してよい。固定用シート２１は、好ましくはカーボンテープである。カーボンテープを用いる場合、メッシュ２２を固定できる範囲内で、カーボンテープの使用面積は小さい方が好ましい。

【0026】

以上の方法により、図１のように、試料台１０に固定されたメッシュ２２上に試料２３を配置する。例えば、プローブ２４を用いて、試料２３を垂らすようにメッシュ２２上に載せることができる。試料２３は、メッシュ２２の中央付近に接するように載せることが好ましい。試料２３が、メッシュ２２の外形（枠）から、はみ出さないように載せることが好ましい。

【0027】

以上の方法により、メッシュ２２上に載せた試料２３を観察した場合の断面の模式図を図５に示している。メッシュ２２は、試料台１０上の固定用シート２１と接する部分（図５における図に向かって左側）において、他の部分よりも試料台１０と間隔を空けて配置されている。すなわち、メッシュ２２は、試料台１０の上側の主面に対し、固定用シート２１の厚みに応じて、傾斜をもって配置されている。

【0028】

上述のように、メッシュ２２は、試料台１０の上側の主面に対し、傾斜をもって配置されていることが好ましい。これにより、図５に示すように、試料台１０と試料２３との間に、隙間２５を設けることができる。隙間２５を設けることで、後述の工程Ｂにおいて、試料２３を凍結する際、ひび割れ等の発生を抑制することができる。メッシュ２２の傾斜角は、特に限定されないが、試料２３がメッシュ２２からはみ出さない程度の角度（例えば、０度超１０度以下）であればよい。

【0029】

本態様では、固定用シート２１の厚みを利用して、メッシュ２２が傾斜をもって配置されるようにしたが、固定用シート２１とは別に、試料台１０上に傾斜用スペーサーを配置し、傾斜用スペーサー上にメッシュ２２の外周部を配置することで、メッシュ２２が傾斜をもって配置されるようにしてもよい。本態様では、図５に示すように、試料台１０上に固定用シート２１を貼り付け、固定用シート２１上にメッシュ２２の外周部を貼り付けているため、固定用シート２１が傾斜用スペーサーの役割を兼ねていると言える。

【0030】

（工程Ｂ：試料を冷却して凍結試料を調整する工程）
以上の工程Ａでメッシュ２２上に試料２３を載せた後、試料２３を冷却して凍結試料を調整する。試料２３を凍結する方法としては、試料２３の種類に応じて、試料内部まで凍結することが可能な任意の方法を利用してよい。例えば、試料２３を冷却するために、液体窒素等の冷媒を外部容器等に入れ、その中へ試料２３を載せた試料台１０を入れ、試料２３を浸して急速冷凍する方法等を利用してよい。また、試料２３を急速冷凍させる容器と、後述する走査型電子顕微鏡の観察装置とが、一体型として同一装置内に配置された装置を使用してもよい。

【0031】

以上説明した、メッシュ２２の上に試料２３を載せる工程（工程Ａ）と、試料２３を冷却して凍結試料を調整する工程（工程Ｂ）によって、本態様の分析方法に用いるための分析試料を作製できる。

【0032】

（工程Ｃ：収束イオンビームを照射して断面を表出させる工程）
以上の工程Ｂで凍結試料を調整した後、収束イオンビーム（ＦＩＢ）を照射して試料２３の断面２３ｃを表出させる加工を行う。収束イオンビームとしては、周知のイオンビームを利用してよく、好ましくは、ガリウム（Ｇａ）イオンビーム等を使用する。ガリウムイオン等を試料表面に照射すると、ガリウムと共に試料表面を構成している原子や分子が真空中にはじき出され、スパッタリング現象を生じ、試料２３の断面２３ｃを表出させることができる。

【0033】

そして、上記により表出させた試料２３の断面２３ｃは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察する。ここで、本態様における分析方法では、収束イオンビームを照射する装置と、走査型電子顕微鏡とが、一体型となった複合装置（ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置）を用いて分析してもよい。収束イオンビームにより試料２３の断面２３ｃを表出させる加工と、走査型電子顕微鏡による断面観察とは、交互に繰り返して行ってもよく、加工と観察を同時に行ってもよい。

【0034】

ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置を用いる場合、収束イオンビームを照射する装置（ＦＩＢ）と、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）とが、任意の角度で配置されたものを使用してよく、配置する角度は特に限定されない。例えば、図６に示すように、ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置として、ＳＥＭ３２に対して、ＦＩＢ３１が角度θ傾けて配置されたものを本発明の分析方法に使用してもよい。図６において、試料２３はＦＩＢ３１に対して、試料表面２３ｆが垂直方向になるように配置されている。ＦＩＢ３１によって試料２３に収束イオンビームを照射することにより、試料２３の断面２３ｃが表出する。そして、ＳＥＭ３２によって、表出した試料の断面２３ｃの視野範囲Ｖを観察する。以上は、ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置の一例であり、ＦＩＢ３１とＳＥＭ３２の角度θが５０°以上６０°以下の場合について説明したが、例えば角度θが９０°（垂直）であってもよい。

【0035】

図５に示すように、ＦＩＢ３１が収束イオンビームを照射する位置は、試料２３の外周部（Ｒ形状を有する位置）であることが好ましく、固定用シート２１（傾斜用スペーサー）が配置されている位置とは反対側の外周部（図５、図７で示す位置Ｐ）であることがより好ましい。本態様では、メッシュ２２上で試料２３を凍結させているため、試料２３は凍結状態でも液滴形状が保たれており、外周部はＲ形状を有している。このような位置に収束イオンビームを照射することで、試料２３の断面出しを容易に行うことができる。また、固定用シート２１（傾斜用スペーサー）が配置されている位置とは反対側の外周部は、試料台１０に試料２３が接しており、冷却されやすいため、収束イオンビームを照射した際にきれいな断面２３ｃを出しやすくなる。

【0036】

（２）試料
本態様では、液体を含む試料を観察対象とする。観察対象は、水、油、または有機溶媒等の液体を含むものであれば、特に限定されず、各種ペースト、塗料、食品等を観察対象としてもよい。本態様の分析方法は、例えば、液体中に特定の粒子を含む試料を観察対象として、液体中における試料の分散状態を確認するために利用できる。例えば、水または有機溶剤に金属粒子が分散した金属ペースト等を観察対象として、ペースト中における金属粒子の分散状態を観察対象としてもよい。ここで、工程Ａにおいて、メッシュ２２に形成されている貫通孔２２Ｈについて説明したが、上記した試料中に含まれる溶媒の種類、粒子の種類または大きさ、試料の粘度等に応じて、貫通孔２２Ｈの大きさとして好適なものを適宜選択してよい。

【0037】

（３）効果
本態様によれば、以下に示す１つまたは複数の効果が得られる。

【0038】

（ａ）従来の分析方法では、試料２３を急速冷凍する際に、試料台１０から試料２３が剥がれ落ちること、または、収束イオンビームによる加工時に試料２３が剥がれ落ちることがあった。特に、試料台１０に乗せた試料２３を、液体窒素等の冷媒中に浸して急速冷凍する方法では、凍結時に試料２３から気泡が発生することがあり、その際に特に試料台１０から試料２３が剥がれやすい傾向にあった。

【0039】

これに対し、本態様の分析方法では、少なくとも一部が固定されたメッシュ２２上に、試料２３を載せて凍結試料を調整することにより、試料２３が剥がれにくいものとなる。

【0040】

（ｂ）本態様は、液体中に特定の粒子を含む試料２３を分析する場合に、粒子が液体中に分散している状況等を観察するために適した分析方法である。メッシュ２２上に試料２３を載せることにより、図２に示すように、試料２３をある程度の厚みＴを有するように配置できる。このため、試料２３を凍結させて、収束イオンビームで厚みＴ方向の断面を表出させて観察する場合に、粒子の分散状況を観察するために十分な視野範囲を確保しやすい。

【0041】

（ｃ）図７に示すように、メッシュ２２に載せた試料２３が、メッシュ２２の網部２２Ｍで形成されている貫通孔２２Ｈに入り込むように（貫通孔２２Ｈに試料２３が満たされるように）配置されていると、凍結時に試料２３が特に剥がれにくい傾向になる。試料２３に含まれる溶媒の種類、粒子の種類または大きさ、試料の粘度等に応じて、メッシュ２２の貫通孔２２Ｈのサイズとして適宜なものを選択することにより、上記したような試料２３が貫通孔２２Ｈに入り込みやすい状況で分析できる。

【0042】

＜他の態様＞
以上、本開示の態様を具体的に説明した。但し、本開示は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

【0043】

例えば、凍結試料を調整する工程において、液体窒素等の冷媒中に試料２３を載せた試料台１０を入れる方法について説明したが、これに限定されない。例えば、メッシュ２２を固定した試料台１０を予め冷却しておき、その上に試料２３を載せる方法であってもよい。

【0044】

収束イオンビームを照射する装置と、走査型電子顕微鏡とが、一体型となった複合装置について説明したが、これに限定されない。例えば、各装置は別々の異なる装置であってよく、その場合には、収束イオンビームにより試料２３の断面２３ｃを表出させる加工を行った後に、走査型電子顕微鏡による断面観察を行うことができる。

【0045】

また、液体を含む試料２３として、各種ペースト、塗料、食品等を例示したが、これに限定されない。観察対象の試料２３は、例えば、生物試料等であってもよい。

【実施例0046】

以下、実験例１から実験例３を参照しながら本態様についてより具体的に説明する。

【0047】

＜実験例１＞
まず、アルミ製で円柱状（直径１０ｍｍ、厚さ約８ｍｍ）の試料台を準備した。その上に、略矩形状に裁断したカーボンテープ（日新ＥＭ株式会社製、ＳＥＭ用カーボン両面テープ（アルミ基材））を貼付した。

【0048】

上記カーボンテープ上にメッシュ（応研商事、５０－Ａメッシュ）を配置した。メッシュとしては、正方形の貫通孔が形成されており、貫通孔の一辺の長さが４５０μｍ（メッシュの枠の直径：３ｍｍ、メッシュの厚み：１５μｍ、材質：モリブデン、貫通孔のピッチ：５００μｍ、網部の径（バー）：５０μｍ）のものを使用した。メッシュは、図４のように、カーボンテープの一部のみに、メッシュの外縁の一部が接するように配置した。

【0049】

そして、観察対象である試料として、金属ペーストを用いた。この金属ペーストを、上記で試料台に固定したメッシュ上に、プローブで滴下した。このとき、メッシュ上に載せた試料の厚みの一番厚い部分は、およそ２０μｍ程度であった。

【0050】

メッシュ上に載せた試料は、試料台ごとクライオ加工装置（Ｑｕｏｒｕｍ製、ＰＰ３０１０Ｔ）を用いて、液体窒素中に浸し、凍結試料を準備した。

【0051】

その後、収束イオンビームを照射する装置と走査型電子顕微鏡との複合装置（ＦＥＩ製、Ｓｃｉｏｓ）により、上記で凍結させた試料の断面の表出と、断面観察を同時に行った。

【0052】

＜実験例２＞
実験例１において用いたメッシュに代えて、貫通孔の一辺の長さが１１７μｍである１５０－Ａメッシュ（応研商事、メッシュの枠の直径：３ｍｍ、メッシュの厚み：１５μｍ、材質：モリブデン、貫通孔のピッチ：１６７μｍ、網部の径：５０μｍ）を用いて分析を行った。メッシュ以外の条件は、全て実験例１と同様にした。

【0053】

＜実験例３＞
実施例１において用いたメッシュに代えて、貫通孔が円形で１つのみであり、貫通孔の直径が０．８ｍｍの単孔φ０．８ｍｍの金属シート（応研商事、シートの直径：３ｍｍ、シートの厚み：１５μｍ、材質：モリブデン、単孔）を用いて分析を行った。金属シート以外の条件は、全て実験例１と同様にした。

【0054】

以上の結果、上記の金属ペーストを試料として分析する場合には、実験例１におけるメッシュを用いることで、凍結試料を調整する際において、試料が全く剥がれることなく分析することができた。実験例２のメッシュを用いた場合、凍結試料の断面観察を行うことは可能であったものの、凍結試料を調整する際に試料の一部に剥離がみられた。一方、実験例３のように単孔の金属シートを用いた場合、凍結試料を調整する際に、試料がメッシュより剥離し、断面観察を行うことができなかった。

【符号の説明】

【0055】

１０ 試料台
２１ カーボンテープ
２２ メッシュ
２３ 試料
２４ プローブ
２５ 隙間
３１ ＦＩＢ
３２ ＳＥＭ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】