特開 2023-144209 装置及び装置の取り扱い方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023144209

(43)【公開日】2023-10-11

(54)【発明の名称】装置及び装置の取り扱い方法

(51)【国際特許分類】

   B23Q 1/28 20060101AFI20231003BHJP

   F16H 25/24 20060101ALI20231003BHJP

   B24B 47/04 20060101ALI20231003BHJP

【ＦＩ】

B23Q1/28 A

F16H25/24 Z

B24B47/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022051076

(22)【出願日】2022-03-28

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】飯塚 健太呂

【テーマコード（参考）】

3C034

3C048

3J062

【Ｆターム（参考）】

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB32

3C034BB73

3C034BB83

3C034BB93

3C034CA22

3C034DD20

3C048BC02

3C048CC17

3J062AA27

3J062AB21

3J062AC07

3J062BA35

3J062CD02

3J062CD22

(57)【要約】

【課題】別途の固定部材を可動体周辺に設置する作業が発生せず、該装置を設置場所に搬送し設置作業を実施する際に、該固定部材を外す作業の必要がない装置を提供する。
【解決手段】ボールスクリュー６２の回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリュー６２の回転を規制する締結状態に変位するテーパー部６４ａが先端に形成されたチャック体６４と、チャック体６４をボールスクリュー６２に配設するブラケット６３と、可動体３１に形成されチャック体６４のテーパー部６４ａに係合して締結状態にする逆テーパー部３１１ｃと、を備えている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、
該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部が先端に形成されたチャック体と、該チャック体を該ボールスクリューに配設するブラケットと、該可動体に形成され該チャック体の該テーパー部に係合して該締結状態にする逆テーパー部と、を備えた装置。

【請求項2】

基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、
該可動体に形成され該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部を先端に備えたチャック体と、該ボールスクリューに配設され該チャック体の該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態にする逆テーパー部と、を備えた装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の装置の取り扱い方法であって、
該ボールスクリューを正回転して該逆テーパー部を該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態として該ボールスクリューを固定するボールスクリュー固定ステップと、
該装置を設置場所まで移動する装置移動ステップと、
該設置場所において、該ボールスクリューを逆回転して該チャック体を開放状態にして該ボールスクリューの固定を解除する固定解除ステップと、
を含み構成される装置の取り扱い方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置、及び該装置の取り扱い方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが、分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向及びＹ軸方向と直交するＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸送り手段と、複数のウエーハを収容したカセットを載置し上下動するカセットテーブルと、カセットから仮受けテーブルまでウエーハを搬出する搬出手段と、該仮受けテーブルから該チャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送手段と、を含み構成されている（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１１１６２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記したダイシング装置をトラック等の運送車両により設置場所に搬送する際は、搬送時の揺れや振動に起因して、上記のＸ軸送り手段、Ｙ軸送り手段、Ｚ軸送り手段等により移動させられるチャックテーブル等の可動体が動くことで、ダイシング装置の破損、故障等が生じる恐れがあり、別途の固定部材を用意して、該可動体の周辺に該固定部材が介在するように配置し、該可動体を固定状態として搬送することが行われている。

【0006】

しかし、上記の如く可動体が動かないように固定部材を使用する場合は、該固定部材を可動体周辺に設置する作業が発生すると共に、該装置が設置場所に到着して設置作業を実施する際に、該固定部材を外す作業が必要であり、さらには、外した固定部材を処分するか、又は再利用すべく回収する必要があることから、該設置作業が面倒で煩わしいという問題がある。このような問題は、ダイシング装置に限定されるものではなく、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を備えたあらゆる装置、例えばレーザー加工装置においても発生し得る。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、装置における可動体が動かないように固定する場合に、別途の固定部材を可動体周辺に設置する作業が発生せず、該装置を設置場所に搬送し設置作業を実施する際に、該固定部材を外す作業の必要がない装置を提供すると共に、該装置の取り扱い方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部が先端に形成されたチャック体と、該チャック体を該ボールスクリューに配設するブラケットと、該可動体に形成され該チャック体の該テーパー部に係合して該締結状態にする逆テーパー部と、を備えた装置が提供される。

【0009】

また、本発明によれば、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、該可動体に形成され該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部を先端に備えたチャック体と、該ボールスクリューに配設され該チャック体の該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態にする逆テーパー部と、を備えた装置が提供される。

【0010】

さらに、本発明によれば、上記の装置の取り扱い方法であって、該ボールスクリューを正回転して該逆テーパー部を該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態として該ボールスクリューを固定するボールスクリュー固定ステップと、該装置を設置場所まで移動する装置移動ステップと、該設置場所において、該ボールスクリューを逆回転して該チャック体を開放状態にして該ボールスクリューの固定を解除する固定解除ステップと、を含み構成される装置の取り扱い方法が提供される。

【発明の効果】

【0011】

本発明の装置は、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部が先端に形成されたチャック体と、該チャック体を該ボールスクリューに配設するブラケットと、該可動体に形成され該チャック体の該テーパー部に係合して該締結状態にする逆テーパー部と、を備えていることにより、可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外し、更には該固定部材を処分する作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題を解消することができる。

【0012】

また、本発明の装置は、基台に支持されたレール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む装置であって、該可動体に形成され該ボールスクリューの回転を許容する開放状態から外力によって該ボールスクリューの回転を規制する締結状態に変位するテーパー部を先端に備えたチャック体と、該ボールスクリューに配設され該チャック体の該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態にする逆テーパー部と、を備えていることにより、可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外し、更には該固定部材を処分する作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題を解消することができる。

【0013】

さらに、本発明の装置の取り扱い方法は、該ボールスクリューを正回転して該逆テーパー部を該テーパー部に係合して該チャック体を締結状態として該ボールスクリューを固定するボールスクリュー固定ステップと、該装置を設置場所まで移動する装置移動ステップと、該設置場所において、該ボールスクリューを逆回転して該チャック体を開放状態にして該ボールスクリューの固定を解除する固定解除ステップと、を含み構成されることにより、可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外し、更には該固定部材を処分する作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題が解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施形態のダイシング装置の全体斜視図である。

【図2】図１に示すダイシング装置に配設されたチャック体、逆テーパー部を備えたナット部材を示す斜視図である。

【図3】（ａ）図２に示すチャック体が開放状態である断面図、（ｂ）図２に示すチャック体が締結状態とされた断面図、（ｃ）図２の別の実施態様を示す断面図である。

【図4】図１に示すダイシング装置に配設されるチャック体、ナット部材の別の実施形態を示す斜視図である。

【図5】（ａ）図４に示すチャック体が開放状態である断面図、（ｂ）図４に示すチャック体が締結状態とされた断面図である。

【図6】（ａ）図４に示すチャック体、ナット部材の実施形態の変形例であり、チャック体が開放状態である状態を示す断面図、（ｂ）（ａ）に示すチャック体が締結状態とされた断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明に基づいて構成される装置に係る実施形態、及び該装置の取り扱い方法に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0016】

図１には、本発明の装置に係る実施形態として開示されたダイシング装置１の全体斜視図が示されている。ダイシング装置１は、基台２上に配設されており、被加工物を保持する保持手段３と、保持手段３に保持された被加工物に切削加工を施す切削手段５と、保持手段３と切削手段５とを相対的に図中矢印Ｘで示すＸ軸方向に加工送りする第１の送り手段６と、切削手段５を、該Ｘ軸方向と直交する図中矢印Ｙで示すＹ軸方向に割り出し送りする第２の送り手段７と、を備えている。

【0017】

基台２には、Ｘ軸方向に沿う一対の第１のレール体２ａ、２ａと、Ｙ軸方向に沿う一対の第２のレール体２ｂ、２ｂが支持されている。保持手段３は、該第１のレール体２ａ、２ａに移動可能に配設された第１の可動体３１と、第１の可動体３１の上面に固定された円柱部材３２と、円柱部材３２の上部に固定されたカバー部材３３と、カバー部材３３の上面に突出し、被加工物を吸引保持するチャックテーブル３４と、チャックテーブル３４の外周に均等な間隔で複数（本実施形態では４つ）配設され被加工物を支持するフレームを把持するクランプ３５と、を備えている。

【0018】

第１の送り手段６は、モータ６１とボールスクリュー６２とを含む。ボールスクリュー６２の一端部にモータ６１が配設され、他端部は、基台２上に配設された軸受部６３により回転自在に支持されている。モータ６１の回転運動は、ボールスクリュー６２を介して第１の可動体３１の下面側に配設された後述するナット部材３１１（図２も併せて参照）にボールねじ機構により伝達されて直線運動に変換される。これにより、基台２上の第１のレール体２ａ、２ａに沿って第１の可動体３１をＸ軸方向において進退させる。

【0019】

切削手段５は、Ｙ軸方向に沿う第２のレール体２ｂ、２ｂに沿って移動可能に配設された第２の可動体５３によって支持されて、保持手段３がＸ軸方向において移動する領域のＹ軸方向に隣接した後方位置に配設されている。切削手段５はスピンドルユニット５０を備え、スピンドルユニット５０先端側には、回転スピンドルの先端部に固定され外周に切り刃を有する切削ブレード５１を保護するブレードカバー５２が配設されている。スピンドルユニット５０の後端側には図示を省略するモータ等の回転駆動源が収容されており、該モータを回転させることで切削ブレード５１を回転させる。また、スピンドルユニット５０には、保持手段３に保持される被加工物を撮像し加工すべき領域を検出する撮像手段４が一体的に配設されている。

【0020】

第２の可動体５３は、図に示すように、第２のレール体２ｂ、２ｂに摺動自在に配設された水平壁部５３ａと、水平壁部５３ａに立設された垂直壁部５３ｂとを備えている。スピンドルユニット５０は、垂直壁部５３ｂに昇降自在に支持されている。第２の可動体５３は、第２の送り手段７によってＹ軸方向に沿って移動可能に構成されている。第２の送り手段７は、モータ７１と、基台２上に配設された軸受部７３に端部が回転自在に支持されたボールスクリュー７２とを備える。第２の送り手段７は、モータ７１の回転運動を、水平壁部５３ａの下面側に配設された図示を省略するナット部材に伝達し、ボールねじ機構を介して直線運動に変換し、基台２上の第２のレール体２ｂ、２ｂに沿って第２の可動体５３をＹ軸方向において進退させる。

【0021】

第２の可動体５３の垂直壁部５３ｂの側面には、矢印Ｚで示すＺ軸方向（上下方向）に沿って支持された一対の第３のレール体５４、５４が設けられている（一部を細線で示す）。第３のレール体５４、５４には、スピンドルユニット５０を支持する支持部材として機能する第３の可動体５５が摺動可能に取り付けられている。上記した垂直壁部５３ｂには、モータ５６が配設されており、モータ５６の回転を、図示を省略する軸受部に一端部が回転自在に支持されたボールスクリューを介して、ボールねじ機構により直線運動に変換し、第３の可動体５５に伝達する。モータ５６を正転、又は逆転させることにより、第３の可動体５５をＺ軸方向に進退させる。

【0022】

ダイシング装置１には、図示を省略する制御手段が配設されている。制御手段は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算処理を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を一時的に格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている（詳細についての図示は省略する）。該制御手段は、ダイシング装置１の各作動部を制御すると共に、撮像手段４によって撮像された画像に基づき、アライメントを行うことができる。

【0023】

図２に示すように、本実施形態のボールスクリュー６２には、第１の可動体３１の下面側に配設されたナット部材３１１が螺合しており、ボールスクリュー６２を矢印Ｒ１で示す方向（正回転方向）に回転させることでナット部材３１１を矢印Ｒ２で示す方向に移動させることができる。なお、図２では、ナット部材３１１の上面３１１ａに連結される第１の可動体３１を、説明の都合上省略している。また、ボールスクリュー６２には、チャック体６４が配設されている。チャック体６４には、ボールスクリュー６２の回転を許容する開放状態から外力によってボールスクリュー６２の回転を規制する締結状態に変位するテーパー部６４ａが先端に形成されている。このチャック体６４は、長手方向においてテーパー部６４ａと反対側の後端側に軸部６４ｂを備え、該軸部６４ｂの後端部が軸受部６３に固定されている。すなわち、軸受部６３は、チャック体６４をボールスクリュー６２に配設する機能を有するブラケットである。チャック体６４には、テーパー部６４ａと軸部６４ｂとを貫通しボールスクリュー６２が挿通される貫通孔６４ｃが形成されている。なお、該貫通孔６４ｃの内径は、テーパー部６４ａに外力が付与されていない状態では、ボールスクリュー６２の外径よりも０．１～０．５ｍｍと僅かに大きく、ボールスクリュー６２を固定しない寸法に設定されている。チャック体６４は、例えば、硬質のウレタン樹脂等で形成され、軸部６４ｂの後端側（軸受部６３側）の一部を除きテーパー部６４ａと軸部６４ｂに跨る割断部６４ｄが均等な間隔で複数（本実施形態では４つ）形成されている。なお、チャック体６４は必ずしもウレタン樹脂で形成されることに限定されず、他の樹脂であっても良く、さらには、金属で形成されてもよい。ただし、チャック体６４を金属で形成する際には、チャック体６４が後述する締結状態とされたときにボールスクリュー６２を損傷させないように、締結状態でボールスクリュー６２と当接する部位に樹脂の被覆を施すことが好ましい。

【0024】

図２に加え、図３から理解されるように、第１の可動体３１の下面に形成されたナット部材３１１において、該チャック体６４と対向する平面３１１ｂには、上記したチャック体６４のテーパー部６４ａと係合する環状の逆テーパー部３１１ｃが形成されている。

【0025】

本実施形態のダイシング装置１は、概ね上記したとおりであり、上記したダイシング装置１を、搬送元、例えば、ダイシング装置１の組み立て工場から、所望の設置場所（例えば、半導体ウエーハを切削加工する加工工場）に移動して設置する際の取り扱い方法について説明する。

【0026】

搬送元からダイシング装置１を搬送する前に、第１の可動体３１を搬送時の揺れや振動に起因して、第１の可動体３１が動くことを防止するためのボールスクリュー固定ステップを実施する。ボールスクリュー固定ステップでは、まず、第１の送り手段６のモータ６１を作動して、矢印Ｒ１で示す方向にボールスクリュー６２を正回転させる。この際にモータ６１に供給される電力（例えば５０Ｗ）は、ダイシング装置１が切削加工を実施する際の供給電力（例えば１００Ｗ）よりも小さい電力でよい。これにより、ナット部材３１１と共に第１の可動体３１を、図３（ａ）に矢印Ｒ２で示す方向に移動し、図３（ｂ）に示すように、ナット部材３１１に形成された逆テーパー部３１１ｃを、チャック体６４のテーパー部６４ａに係合させる。該係合後もモータ６１の作動を所定のトルクに達するまで継続し、その後モータ６１の電源をＯＦＦにすることで、逆テーパー部３１１ｃからチャック体６４のテーパー部６４ａに外力が付与される。そして、上記の割断部６４ｄが形成されていることで、チャック体６４の先端側が、図３（ｂ）に示す矢印Ｒ３の方向に撓み、チャック体６４の貫通孔６４ｃが縮径してボールスクリュー６２が固定されて締結状態とされる。以上により、ボールスクリュー固定ステップが完了する。このようにボールスクリュー固定ステップが施されることで、モータ６１の電源をＯＦＦにしてもボールスクリュー６２の固定状態が維持され、搬送時に該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第１の可動体３１が動いたりすることが防止される。

【0027】

上記のように、ボールスクリュー固定ステップを実施して、チャック体６４を締結状態としたならば、該ダイシング装置１を、所望の設置場所まで移動する装置移動ステップを実施する。該装置移動ステップの詳細は省略するが、トラック等の運送車両に載せる等して設置場所に搬送される。

【0028】

該設置場所にダイシング装置１を設置したならば、適宜の組み立て作業等を経て、ダイシング装置１に電源を投入する。そして、モータ６１を作動して、ボールスクリュー６２を、図２の矢印Ｒ１とは反対方向に逆回転させる。このとき、モータ６１に投入される電力は、ボールスクリュー固定ステップを実行する際に投入される電力よりも大きい電力（例えば１００Ｗ）とすることが好ましい。これにより、ナット部材３１１が軸受部６３に固定されたチャック体６４から離反して図３（ａ）に示す状態となり、チャック体６４のテーパー部６４ａに付与されていた外力が解除されて、上記した締結状態から、開放状態に復帰する。このように、チャック体６４を開放状態にし、ボールスクリュー６２の固定が解除されて固定解除ステップが完了する。上記したボールスクリュー固定ステップにおいて、ナット部材３１１の逆テーパー部３１１ｃがチャック体６４のテーパー部６４ａに係合する領域は、ダイシング装置１が被加工物に切削加工を実施する通常作業時には、第１の可動体３１が達しない領域であり、切削加工を実施している最中に、意図せずにボールスクリュー６２が固定され、第１の可動体３１が不動状態になることはない。なお、上記したボールスクリュー固定ステップと固定解除ステップは、上記の制御手段に制御プログラムとして記憶されており、オペレータの指示により実行される。

【0029】

なお、上記した説明では、チャック体６４と、第１の可動体３１のナット部材３１１に形成された逆テーパー部３１１ｃの作用についてのみ説明したが、これらに相当する構成を、第２のレール体２ｂ、２ｂ上を移動する第２の可動体５３と第２の可動体５３を移動させるボールスクリュー７２とに配設すると共に、第３のレール体５４、５４上を移動する第３の可動体５５と、第３の可動体５５を移動させる図示を省略するボールスクリューとに配設する。これにより、上記の装置移動ステップの前にボールスクリュー固定ステップを、装置移動ステップの後に固定解除ステップをそれぞれにおいて実施することで、第２の可動体５３と、第３の可動体５５も、別途の固定部材を介在することなく固定される。

【0030】

上記した実施形態によれば、各可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外して固定部材を処分したり回収したりする作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題が解消する。

【0031】

上記した実施形態では、チャック体６４を、ブラケットとして機能する軸受部６３によってボールスクリュー６２に配設し、チャック体６４のテーパー部６４ａに係合する逆テーパー部３１１ｃを第１の可動体３１のナット部材３１１に形成した例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図３（ｃ）に示すように、上記したチャック体６４と同様のテーパー部６４ａ’、軸部６４ｂ’、貫通孔６４ｃ’、割断部６４ｄ’を有するチャック体６４’を、第１の可動体３１のナット部材３１１に配設し、該チャック体６４’のテーパー部６４ａ’に係合する環状の逆テーパー部６５ａを有するブロック体６５を軸受部６３に配設するようにしてもよい。このような構成によっても、上記した実施形態と同様に、ボールスクリュー６２を正回転して逆テーパー部６５ａをチャック体６４’のテーパー部６４ａ’に係合してチャック体６４’に外力を付与することにより締結状態としてボールスクリュー６２を固定するボールスクリュー固定ステップを実施することが可能であり、上記した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

【0032】

本発明は、上記した実施形態に限定されず、図４～６に基づき説明する他の実施形態を含む。なお、図４～６に示す他の実施形態に係る装置は、図１に示すダイシング装置１の一部のみを変更したものであり、全体の斜視図は省略すると共に同一の構成に関する説明については省略する。

【0033】

図４には、ボールスクリュー６２の回転を許容する開放状態から外力によってボールスクリュー６２の回転を規制する締結状態に変位するテーパー部６６ａが先端に形成されたチャック体６６と、チャック体６６をボールスクリュー６２に配設するブラケットとして機能するチャック体保持部材６７と、第１の可動体３１のナット部材３１１に形成されチャック体６６のテーパー部６６ａに係合して外力を付与して締結状態にする環状の逆テーパー部３１１ｃとが、分解斜視図によって示されている。

【0034】

チャック体６６は、テーパー部６６ａの後側に軸部６６ｂを備え、軸部６６ｂの中央には、四角柱状のガイド部６６ｃが形成されている。チャック体保持部材６７は、図示の如く略立方体形状をなし、側壁６７ａに囲まれて手前側が開放され、該チャック体６６を収容する収容空間６７ｂが形成されている。また、チャック体保持部材６７の底部６７ｃには、チャック体６７のガイド部６６ｃが摺動可能に挿入されるガイド孔６７ｄが形成されている。

【0035】

チャック体６６には、テーパー部６６ａと、軸部６６ｂ及びガイド部６６ｃを貫通しボールスクリュー６２が挿通される貫通孔６６ｅが形成されている。なお、該貫通孔６６ｅの内径は、後述する外力が付与されていない状態では、ボールスクリュー６２の外径よりも０．１～０．５ｍｍと僅かに大きい寸法になるように設定されている。チャック体６６は、例えば、硬質のウレタン樹脂等で形成され、テーパー部６６ａと軸部６６ｂに跨る割断部６６ｆが均等な間隔で複数（本実施形態では４つ）形成されている。

【0036】

チャック体６６の軸部６６ｂ側をチャック体保持部材６７の収容空間６７ｂに挿入し、該軸部６６ｂ、ガイド部６６ｃをガイド孔６７ｄから外方に突出させて、図示のように、スプリングＳを介在して、リングナット６６ｈを、軸部６６ｂの端部に形成した雄ねじ６６ｄに螺合して、スプリングＳを保持する（図５（ａ）も参照）。チャック体保持部材６７の開放端部６７ｅは、第１の可動体３１のナット部材３１１の平面３１１ｂ側に適宜の固定手段により固着され、上記した各部材は一体とされる。図５（ａ）から理解されるように、チャック体６６が開放状態であるときは、上記のスプリングＳの作用により、チャック体６６のテーパー部６６ａは、ナット部材３１１の逆テーパー部３１１ｃから、２～１０ｍｍと僅かに離間した状態とされる。以上の構成により、チャック体６６は、チャック体保持部材６７によりナット部材３１１に保持されると共にボールスクリュー６２に配設された状態となる。

【0037】

上記した構成に基づき実施されるボールスクリュー固定ステップの実施態様について説明する。

【0038】

図４～５に示す構成において実施されるボールスクリュー固定ステップでは、まず、図５（ａ）に示すように、チャック体６６が、軸受部６３から離間した状態で、上記した第１の送り手段６のモータ６１を作動して、矢印Ｒ１で示す正回転方向にボールスクリュー６２を回転させる。この際にモータ６１に供給される電力（例えば５０Ｗ）は、ダイシング装置１が切削加工を実施する際の供給電力（例えば１００Ｗ）よりも小さい電力でよい。これにより、ナット部材３１１を、図５（ａ）に矢印Ｒ２で示す方向に移動させる。そして、ナット部材３１１が軸受部６３に接近し、図５（ｂ）に示すように、チャック体６６の軸部６６ｂの後端部６６ｇが、軸受部６３に当接する。さらに、モータ６１の作動を継続することにより、ナット部材３１１が矢印Ｒ２で示す方向に移動することで、チャック体６６が押されてスプリングＳが圧縮され、ナット部材３１１に形成された逆テーパー部３１１ｃを、チャック体６６のテーパー部６６ａに係合させる。さらに、モータ６１の作動を所定のトルクに達するまで継続することで、チャック体６６のテーパー部６６ａに逆テーパー部３１１ｃから外力が付与され、上記の割断部６６ｆが形成されていることでチャック体６６の先端側が、図５（ｂ）に示す矢印Ｒ３の方向に撓む。これにより、チャック体６６の貫通孔６６ｅが縮径してボールスクリュー６２を固定する締結状態とされる。以上により、ボールスクリュー固定ステップが完了する。このようにボールスクリュー固定ステップが施されることで、モータ６１の作動を停止してもボールスクリュー６２が固定され続け、搬送時に該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第１の可動体３１が動いたりすることが防止される。

【0039】

上記のように、ボールスクリュー固定ステップを実施して、チャック体６６を締結状態としたならば、該ダイシング装置１を、所望の設置場所まで移動する装置移動ステップを実施する。該装置移動ステップの詳細は省略するが、トラック等の運送車両に載せる等して設置場所に搬送される。

【0040】

該設置場所にダイシング装置１を設置したならば、先に説明した実施形態と同様に、適宜の組み立て作業等を経て、ダイシング装置１に電源を投入して、モータ６１を作動して、ボールスクリュー６２を、図４の矢印Ｒ１とは反対方向に逆回転させる。このとき、モータ６１に投入される電力は、ボールスクリュー固定ステップを実行する際に投入される電力よりも大きい電力（例えば１００Ｗ）とすることが好ましい。これにより、ナット部材３１１の逆テーパー部３１１ｃがチャック体６６のテーパー部６６ａから離反して、チャック体６６のテーパー部６６ａに付与されていた外力が解除されて、上記した締結状態から、図５（ａ）に示す開放状態に復帰する。このように、チャック体６６を開放状態にすることで、ボールスクリュー６２の固定を解除する固定解除ステップが完了する。

【0041】

なお、先に説明した実施形態と同様に、上記したチャック体６６と、チャック体６６のテーパー部６６ａに係合して締結状態にする逆テーパー部３１１ｃに相当する構成を、第２のレール体２ｂ、２ｂ上を移動する第２の可動体５３と第２の可動体５３を移動させるボールスクリュー７２とに配設すると共に、第３のレール体５４、５４上を移動する第３の可動体５５と、第３の可動体５５を移動させる図示を省略するボールスクリューとに配設する。これにより、上記の装置移動ステップの前に、ボールスクリュー固定ステップを実施することで、第２の可動体５３と、第３の可動体５５も、別途の固定部材を介在することなく固定することができる。

【0042】

上記した実施形態によっても、各可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外し、更には該固定部材を処分する作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題が解消する。

【0043】

上記の如く、図４、５に基づき説明した実施形態については、さらに変形することが可能である。説明の都合上、斜視図については省略するが、図６にその断面図を示すように、ボールスクリュー６２の回転を許容する開放状態から外力によってボールスクリュー６２の回転を規制する締結状態に変位する先端にテーパー部６８ａが形成されたチャック体６８を、第１の可動体３１側のナット部材３１１に配設するようにしてもよい。チャック体６８は、図２、３に基づき説明したチャック体６４と略同様の構成を備えたものであり、テーパー部６８ａと軸部６８ｂを備え、該軸部６８ｂの後端側が、ナット部材３１１の平面３１１ｂに固定されている。チャック体６８には、テーパー部６８ａと軸部６８ｂとを貫通しボールスクリュー６２が挿通される貫通孔６８ｃが形成され、貫通孔６８ｃの内径は、テーパー部６８ａに外力が付与されていない状態では、ボールスクリュー６２の外径よりも０．１～０．５ｍｍと僅かに大きい寸法に設定されている。チャック体６８は、例えば、硬質のウレタン樹脂等で形成され、軸部６８ｂの後端側（ナット部材３１１側）の一部を除きテーパー部６８ａと軸部６８ｂに跨る割断部６８ｄが均等な間隔で複数形成されている。

【0044】

さらに、ボールスクリュー６２には、チャック体６８のテーパー部６８ａに係合してチャック体６８を締結状態にする機能を奏する環状の逆テーパー部６９ａを備えたブロック体６９が配設される。ブロック体６９は、上記したチャック体保持部材６７と略同様の立方体形状からなるブロック体保持部材８０の内部空間８１に収容され、該ブロック体保持部材８０は、ナット部材３１１に固定される。該ブロック体６９における、逆テーパー部６９ａとは反対側の軸部６９ｂを、ブロック体保持部材８０のガイド孔８２から露出させ、後端部６９ｃにリングナット６９ｄを螺合してブロック体保持部材８０との間にスプリングＳを保持する。図６（ａ）に示すように、ナット部材３１１が軸受部６３から離間した状態では、該スプリングＳの作用により、逆テーパー部６９ａがチャック体６８のテーパー部６８ａから２～１０ｍｍと僅かに離間した状態が維持される。

【0045】

図６（ａ）に示す構成によって上記のボールスクリュー固定ステップを実施する場合は、上記した第１の送り手段６のモータ６１を作動し、上記の矢印Ｒ１で示す正回転方向にボールスクリュー６２を回転させる。この際にモータ６１に供給される電力（例えば５０Ｗ）は、ダイシング装置１が切削加工を実施する際の供給電力（例えば１００Ｗ）よりも小さい電力でよい。これにより、ナット部材３１１を、図６（ａ）に矢印Ｒ２で示す方向に移動させる。そして、ナット部材３１１が軸受部６３に接近することで、図６（ｂ）に示すように、逆テーパー部６９ａを備えたブロック体６９の後端部６９ｃが、軸受部６３に当接する。モータ６１の作動を継続することにより、スプリングＳが圧縮されて、該ブロック体６９がチャック体６８側に移動し、ブロック体６９に形成された逆テーパー部６９ａを、チャック体６８のテーパー部６８ａに係合させる。さらに、モータ６１の作動を所定のトルクに達するまで継続することで、該ブロック体６９の逆テーパー部６９ａからチャック体６８のテーパー部６８ａに外力が付与され、上記の割断部６８ｄが形成されていることにより、チャック体６８の先端側が、図６（ｂ）に示す矢印Ｒ３の方向に撓む。そして、チャック体６８の貫通孔６８ｃが縮径してボールスクリュー６２を固定する締結状態とされ、ボールスクリュー固定ステップが完了する。

【0046】

上記のようにボールスクリュー固定ステップが施されることで、モータ６１の作動を停止してもボールスクリュー６２が固定され続け、搬送時に該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第１の可動体３１が動いたりすることが防止される。また、図６に示すのと同様の構成を第２の可動体５３、第３の可動体５５にも配設することにより、第１の可動体３１と同様に、搬送時に該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第２の可動体５３、第３の可動体５５が動いたりすることが防止される。

【0047】

本発明は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態は、本発明の装置をダイシング装置１に適用した例を示したものであるが、基台に支持されたレール体を備え、該レール体に移動可能に配設された可動体と、該可動体を移動させるボールスクリューと、を含む他のあらゆる加工装置（例えばレーザー加工装置、研削装置、検査装置、被加工物搬送装置等）に適用可能である。

【符号の説明】

【0048】

１：ダイシング装置
２：基台
２ａ、２ａ：第１のレール体
２ｂ、２ｂ：第２のレール体
３：保持手段
３１：第１の可動体
３１１：ナット部材
３１１ａ：上面
３１１ｂ：平面
３１１ｃ：逆テーパー部
３２：円柱部材
３３：カバー部材
３４：チャックテーブル
３５：クランプ
４：撮像手段
５：切削手段
５１：スピンドルユニット
５２：ブレードカバー
５３：第２の可動体
５３ａ：水平壁部
５３ｂ：垂直壁部
５４、５４：第３のレール体
５５：第３の可動体
５６：モータ
６：第１の送り手段
６１：モータ
６２：ボールスクリュー
６３：軸受部（ブラケット）
６４、６４’：チャック体
６４ａ、６４ａ’：テーパー部
６４ｂ、６４ｂ’：軸部
６４ｃ、６４ｃ’：貫通孔
６４ｄ、６４ｄ’：割断部
６５：ブロック体
６５ａ：逆テーパー部
６６：チャック体
６６ａ：テーパー部
６６ｂ：軸部
６６ｃ：ガイド部
６６ｄ：雄ねじ
６６ｅ：貫通孔
６６ｆ：割断部
６６ｇ：後端部
６６ｈ：リングナット
６７：チャック体保持部材
６７ａ：側壁
６７ｂ：収容空間
６７ｃ：ガイド部
６７ｄ：ガイド孔
６７ｅ：開放端部
６８：チャック体
６８ａ：テーパー部
６８ｂ：軸部
６８ｃ：貫通孔
６８ｄ：割断部
６９：ブロック体
６９ａ：逆テーパー部
６９ｂ：軸部
６９ｃ：後端部
７：第２の送り手段
７１：モータ
７２：ボールスクリュー
７３：軸受部（ブラケット）
８０：ブロック体保持部材
８２：ガイド孔
Ｓ：スプリング

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】