特開2023-145538有機アミノシラン前駆体およびこれを含む膜の堆積方法

発明の名称　有機アミノシラン前駆体およびこれを含む膜の堆積方法

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 807 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 792 位（9件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-145538

公報発行日　2023年10月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-145538

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