特開2023-147819静電チャック部材、静電チャック装置及び静電チャック部材の製造方法

発明の名称　静電チャック部材、静電チャック装置及び静電チャック部材の製造方法

出願人　住友大阪セメント株式会社　（識別番号 183266）

　　　　特許公開件数ランキング 502 位（57件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 522 位（42件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-147819

公報発行日　2023年10月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-147819

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