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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023155003
(43)【公開日】2023-10-20
(54)【発明の名称】多層磁性シート
(51)【国際特許分類】
H01F 27/25 20060101AFI20231013BHJP
H01F 38/14 20060101ALI20231013BHJP
H01F 41/02 20060101ALI20231013BHJP
H02J 50/10 20160101ALI20231013BHJP
B60M 7/00 20060101ALI20231013BHJP
B60L 5/00 20060101ALI20231013BHJP
B60L 53/12 20190101ALI20231013BHJP
【ＦＩ】
H01F27/25
H01F38/14
H01F41/02 C
H02J50/10
B60M7/00 X
B60L5/00 B
B60L53/12
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022064699
(22)【出願日】2022-04-08
(71)【出願人】
【識別番号】000005083
【氏名又は名称】株式会社プロテリアル
(74)【代理人】
【識別番号】110000578
【氏名又は名称】名古屋国際弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】栗山 安男
(72)【発明者】
【氏名】宮野 興平
(72)【発明者】
【氏名】小川 雄一
【テーマコード（参考）】
5E062
5H105
5H125
【Ｆターム（参考）】
5E062AA02
5H105AA17
5H105BA09
5H105BB05
5H105DD10
5H105EE12
5H125AA01
5H125AC12
5H125AC26
5H125DD02
5H125FF15
(57)【要約】
【課題】工数が多大となりにくい多層磁性シートを提供する。
【解決手段】短辺と長辺とを有する帯状に形成された磁性薄帯が積層された積層基体３００を複数個備え、複数の積層基体３００は、長辺３００Ｌが隣り合って短辺が延びる方向に板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の積層基体３００が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置され、長辺３００Ｌが隣り合って短辺が延びる方向に並ぶ複数の積層基体において、積層基体の長辺部分が互いに重なり合っている多層磁性シート。
【選択図】 図２
【解決手段】短辺と長辺とを有する帯状に形成された磁性薄帯が積層された積層基体３００を複数個備え、複数の積層基体３００は、長辺３００Ｌが隣り合って短辺が延びる方向に板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の積層基体３００が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置され、長辺３００Ｌが隣り合って短辺が延びる方向に並ぶ複数の積層基体において、積層基体の長辺部分が互いに重なり合っている多層磁性シート。
【選択図】 図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
短辺と長辺とを有する帯状に形成された複数の磁性薄帯が積層された積層基体を複数個備え、
複数の前記積層基体は、前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の前記積層基体が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置され、
前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に並ぶ複数の前記積層基体において、前記積層基体の前記長辺部分が互いに重なり合っている多層磁性シート。
複数の前記積層基体は、前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の前記積層基体が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置され、
前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に並ぶ複数の前記積層基体において、前記積層基体の前記長辺部分が互いに重なり合っている多層磁性シート。
【請求項2】
前記多層磁性シートに積層された前記磁性薄帯の合計が１０層以上であり、
前記多層磁性シートの前記磁性薄帯の積層方向の少なくとも一部分において、前記積層基体で構成される層を備え、
前記多層磁性シートの前記磁性薄帯の積層方向の少なくとも一部分において、前記積層基体の前記長辺部分が互いに重なり合っている請求項１に記載の多層磁性シート。
前記多層磁性シートの前記磁性薄帯の積層方向の少なくとも一部分において、前記積層基体で構成される層を備え、
前記多層磁性シートの前記磁性薄帯の積層方向の少なくとも一部分において、前記積層基体の前記長辺部分が互いに重なり合っている請求項１に記載の多層磁性シート。
【請求項3】
前記積層基体は前記磁性薄帯が２層以上積層されている請求項１または２に記載の多層磁性シート。
【請求項4】
前記多層磁性シートの幅が１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、長さが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である請求項１または２に記載の多層磁性シート。
【請求項5】
前記磁性薄帯が、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯である請求項１または２に記載の多層磁性シート。
【請求項6】
前記磁性薄帯はナノ結晶合金薄帯であり、複数の小片を含んでいる請求項１または２に記載の多層磁性シート。
【請求項7】
前記積層基体における隣接する前記磁性薄帯の間には、帯状に形成された支持体、及び、前記支持体における第１面および第２面に設けられた粘着剤を有する粘着層が設けられた請求項１記載の多層磁性シート。
【請求項8】
前記積層基体が積層された方向において、隣接する前記積層基体の間には、帯状に形成された支持体、及び、前記支持体における第１面および第２面に設けられた粘着剤を有する複数の粘着層が２層配置されている請求項１記載の幅広多層磁性シート。
【請求項9】
前記積層基体が積層された方向において、
第１積層端部の前記磁性薄帯、又は、前記第１積層端部と反対側の第２積層端部の前記磁性薄帯には、
帯状に形成された支持体、及び、前記支持体における第１面および第２面に設けられた粘着剤を有する複数の粘着層と、
樹脂を用いて形成された膜状部材であって、前記粘着層に接着された樹脂シートが設けられている請求項１記載の幅広多層磁性シート。
第１積層端部の前記磁性薄帯、又は、前記第１積層端部と反対側の第２積層端部の前記磁性薄帯には、
帯状に形成された支持体、及び、前記支持体における第１面および第２面に設けられた粘着剤を有する複数の粘着層と、
樹脂を用いて形成された膜状部材であって、前記粘着層に接着された樹脂シートが設けられている請求項１記載の幅広多層磁性シート。
【請求項10】
前記粘着層における寸法であって、前記粘着層の長手方向と交差する方向の寸法を幅Ａ、
前記磁性薄帯における寸法であって、前記磁性薄帯の長手方向と交差する方向の寸法を幅Ｂとした場合に、
０．２ｍｍ≦（幅Ａ－幅Ｂ）≦３ｍｍの関係を満たす請求項７から９のいずれか１項に記載の多層磁性シート。
前記磁性薄帯における寸法であって、前記磁性薄帯の長手方向と交差する方向の寸法を幅Ｂとした場合に、
０．２ｍｍ≦（幅Ａ－幅Ｂ）≦３ｍｍの関係を満たす請求項７から９のいずれか１項に記載の多層磁性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、例えば、自動車の２次電池を充電するための非接触充電装置に用いることができる多層磁性シートに関する。
【背景技術】
【0002】
近年、給電側と受電側の両方に伝送コイルを設け、電磁誘導を利用した電力伝送によって充電する非接触充電が注目されている。非接触充電において、給電装置の一次伝送コイルに発生した磁束は給電装置と受電装置の筐体を介して受電装置の二次伝送コイルに起電力を発生させることで給電が行われる。
【0003】
非接触充電は、例えば、タブレット型情報端末や、ミュージックプレイヤーや、スマートフォンや、携帯電話等の電子機器に対して普及し始めている。また、非接触充電は、上述以外の電子機器や、電気自動車や、ドローンに適用可能な技術である。また、フォークリフト、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）等の運搬車、鉄道、路面電車等にも適用可能な技術である。
【0004】
非接触充電において電力伝送効率を高めるために、伝送コイルにおける給電装置と受電装置の接触面とは反対側に、コイルヨークとして磁性シートが設置される場合がある。このように配置される磁性シートには、充電時における磁束の漏れを防ぐ磁気シールド材としての役割や、充電中にコイルで発生した磁束を還流させるヨーク部材としての役割などがある。
【0005】
上述の磁性シートを製造する方法として、種々の方法が提案されている（例えば、特許文献１から３参照。）。特許文献１から３には、Ｑ値の向上または渦電流損の低減を目的とした、磁性シートに含まれる薄板状磁性体や、非晶質合金またはナノ結晶粒合金のリボン等（以下「合金薄帯」とも表記する。）を複数に分割する工程を含む製造方法が開示されている。
【0006】
スマートフォン等の電子機器と比較して、電気自動車等に使用される非接触充電の場合、１次コイルと２次コイルとを近接して配置することが難しい。例えば、比較して広い間隔がある状態で１次コイルと２次コイルとを電磁結合させる必要がある。
【0007】
また、１次コイルと２次コイルの間で伝送する電力も比較して大きくする必要がある。具体的には、１次コイルに流す電流も比較して大きくなり、１次コイルと２次コイルの間の磁束も比較して大きくする必要が生じる。
【0008】
そのため、１次コイルと２次コイルが比較して大きくなり、スマートフォン等の電子機器に用いていた磁性シートでは大きさが足りないという問題があった。また、磁束が比較して大きくなるため、磁束が他の機器へ漏れやすいという問題があった。
【0009】
また、磁性シートに含まれる合金薄帯は帯状に延びる形状を有している。合金薄帯における長手方向と直交する方向の寸法である幅は、電気自動車等に使用される非接触充電には狭いという問題があった。
【0010】
これに対して、複数の合金薄帯を板形状に並べるとともに、板形状に並べた複数の合金宇薄帯を更に厚さ方向に重ねる技術も知られている（例えば、特許文献４参照。）。特許文献４に記載の技術では、合金薄帯が配置される面の幅も広くしやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0011】
【特許文献1】特開２００８－１１２８３０号公報
【特許文献2】特表２０１５－５０５１６６号公報
【特許文献3】国際公開第２０２０－２３５６４２号公報
【特許文献4】特表２０１９－５２２３５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0012】
特許文献４に記載の技術は、単層の合金薄帯を積み重ねる方法である。そのため、１０層以上の合金薄帯が積層された磁性シート（多層磁性シートとも表記する。）を構成するには、工数が多大となるという問題があった。
【0013】
本開示は、工数が多大となりにくい多層磁性シートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0014】
本発明者は、多層磁性シートを作製するために、いくつかの磁性薄帯を積層して作製した積層基体を作製しておき、その積層基体を並べ、及び積み重ねて、多層磁性シートを作製することが工数低減に役立つことを思いついた。積層基体を用いて多層磁性シートを作製したとき、積層基体間に生じる磁気ギャップが積層方向に連続して生じた場合、透磁率の低下、及び、Ｑ値の低下が生じることを見出した。そこで、積層方向に磁気ギャップが連続して形成されず、及び工数が多大とならない構成を検討し、本開示の構成を発明した。
【0015】
本開示の多層磁性シートは、短辺と長辺とを有する帯状に形成された複数の磁性薄帯が積層された積層基体を複数個備え、複数の前記積層基体は、前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の前記積層基体が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置され、前記長辺が隣り合って前記短辺が延びる方向に並ぶ複数の前記積層基体において、前記積層基体の前記長辺部分が互いに重なり合っている。
【0016】
本開示の多層磁性シートによれば、複数の磁性薄帯が積層された複数の積層基体を板形状に並べ、かつ、厚さ方向に積み重ねた幅広で多層の磁性シートが構成される。複数の積層基体を板形状に並べ、かつ、複数の板形状の積層基体を厚さ方向に積み重ねるため、磁性薄帯を並べて積層させる構成と比較して、製造する際の工数が多大となりにくい。
【0017】
また、長辺が隣り合って短辺が延びる方向に並ぶ複数の積層基体において、積層基体の長辺部分が互いに重なり合っているので、積層された方向から見て、積層基体の間の隙間（磁気ギャップとも表記する。）がない構造となるので、多層磁性シートにおける磁気特性の悪化を防ぎやすい。
【発明の効果】
【0018】
本開示の多層磁性シートによれば、磁性薄帯が積層された複数の積層基体を板形状に並べ、かつ、厚さ方向に積み重ねた構成を有するため、製造する際の工数が多大となりにくいという効果を奏する。また、積層された方向から見て、積層基体の間の隙間（磁気ギャップ）がない構造となるので、多層磁性シートにおける磁気特性の悪化を防ぎやすく、透磁率が高く、Ｑ値が高い多層磁性シートが得られる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】本開示による多層磁性シートの構造を説明する平面視図である。
【図2】多層磁性シートの構造を説明するＸ－Ｘ線矢視の部分拡大断面視図である。
【図3】積層基体の構成を説明する断面視図である。
【図4】多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図5】粘着層および磁性薄帯の構成を説明する部分拡大断面視図である。
【図6】磁性シートの製造方法を説明する模式図である。
【図7】第１巻出しロールから供給される積層体の構成を説明する断面視図である。
【図8】第１巻出しロールから供給され、樹脂シートが剥離された積層体の構成を説明する断面視図である。
【図9】第２巻出しロールから供給される磁性薄帯の構成を説明する断面視図である。
【図10】貼付けロールにより、磁性薄帯が粘着層に接着された状態を説明する断面視図である。
【図11】クラックロールにより磁性薄帯にクラックが形成された状態を説明する断面視図である。
【図12】積層基体の製造方法を説明する模式図である。
【図13】実施例１の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図14】実施例２の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図15】実施例３の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図16】比較例の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図17】実施例４の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図18】実施例５の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図19】実施例６の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図20】実施例７の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図21】実施例８の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【図22】実施例９の多層磁性シートの構成を説明する断面視図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
この開示の一実施形態に係る多層磁性シート４００について、図１から図１２を参照しながら説明する。一実施形態に係る多層磁性シート４００は、非接触方式の充電機器に用いられる。充電機器の給電装置に用いられてもよいし、受電装置に用いられてもよい。
【0021】
本実施形態では、多層磁性シート４００がスマートフォンなどの情報処理機器や電子機器よりも消費電力が大きな機器に対する非接触充電に用いられる例に適用して説明する。例えば、多層磁性シート４００が自動車などの移動体への非接触充電に用いられる例に適用して説明する。なお、多層磁性シート４００は、情報処理機器や電子機器などの非接触充電に用いられてもよい。また、フォークリフト、ＡＧＶ等の運搬車、鉄道、路面電車等にも適用可能である。
【0022】
図１は、多層磁性シート４００の構造を説明する平面視図である。図２は、多層磁性シート４００の構造を説明するＸ－Ｘ線矢視の部分拡大断面視図である。
多層磁性シート４００は、図１および図２に示すように複数の帯状に形成された積層基体３００が板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の積層基体３００が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置された構成を有している。
多層磁性シート４００は、図１および図２に示すように複数の帯状に形成された積層基体３００が板形状に並んで配置され、板形状に並んで配置された複数の積層基体３００が、厚さ方向に複数個積み重ねて配置された構成を有している。
【0023】
また、図２に示すように、横に並んだ積層基体３００の長辺３００Ｌ及びその近傍部分（以下、長辺部分とも表記する。）が、互いに重なり合っている。言い換えると、積層基体３００は、長辺３００Ｌの近傍部分が板形状に並んで配置された（言い換えると、図２における左右方向に並んで配置された）隣接する積層基体３００の厚さ方向に重なっている。
【0024】
近傍部分は、隣接する積層基体３００が重なり合う部分であり、積層基体３００における長辺３００Ｌを含み、長辺３００Ｌに沿って延びる部分である。近傍部分には、図２における積層基体３００が傾斜している部分は含まれない。
【0025】
厚さ方向は、積層基体３００が積層された方向とも表記する。積層基体３００は、２つの長辺３００Ｌおよび２つの短辺３００Ｓを有する帯状または矩形状の形状を有する。
【0026】
図１に示すように、多層磁性シート４００は、平面視において矩形状に形成された板状またはシート状の形状を有する。複数の積層基体３００は短辺３００Ｓが延びる方向に並んで配置され、長辺部分が互いに重なり合っている。なお、図１では長辺部分の重なりの記載は割愛している。
【0027】
多層磁性シート４００において積層基体３００は、短辺３００Ｓが延びる方向に２以上２０以下の数が並んで配置されていることが好ましい。なお、２０以上並んで配置されていてもよい。本実施形態では、５個の積層基体３００が並べて配置されている例に適用して説明する。
【0028】
本実施形態では、長辺３００Ｌが延びる方向に１つの積層基体３００が配置されている例に適用して説明する。なお、長辺３００Ｌが延びる方向に積層基体３００が配置される数は１つよりも多くてもよい。
【0029】
本実施形態では、積層基体３００における長辺３００Ｌが延びる方向の長さＬが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下の範囲であり、短辺３００Ｓが延びる方向の幅Ｗｒが１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下の範囲である例に適用して説明する。なお、積層基体３００における長辺３００Ｌが延びる方向の長さＬが上述の範囲以外であってもよいし、短辺３００Ｓが延びる方向の幅Ｗｒが上述の範囲以外であってもよい。また、ここで言う短辺３００Ｓが延びる方向の幅Ｗｒは、重なりを生じていない場合の長さである。
【0030】
本実施形態では、多層磁性シート４００における長さＬが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下の範囲であり、幅Ｗｓが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下の範囲である例に適用して説明する。
【0031】
ここで、長さＬは、多層磁性シート４００を構成する積層基体３００の長辺３００Ｌが延びる方向の寸法であり、幅Ｗｓは、積層基体３００の短辺３００Ｓが延びる方向の寸法である。なお、多層磁性シート４００における長さＬが上述の範囲以外であってもよいし、幅Ｗｓが上述の範囲以外であってもよい。
【0032】
図２に示すように、多層磁性シート４００は、断面視において複数の積層基体３００を厚さ方向に重ねた構成を有する。多層磁性シート４００の積層方向の上端部または下端部には、樹脂シートが設けられていてもよい。樹脂シートは、樹脂を用いて形成された膜状部材である。また、多層磁性シート４００の積層方向の上端部または下端部に、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯、もしくは、他の磁性材や、アルミニウム等の金属箔、並びに樹脂シート等を貼り付けてもよい。
【0033】
多層磁性シート４００における厚さ方向に重ねられる積層基体３００の数は２以上２０以下であることが好ましい。図２の部分拡大断面視図では積層基体３００が厚さ方向に２層重ねられた構成を有する。なお、図２は部分拡大断面視図のため２層で記載しているが、積層基体３００が重ねられる数は、２層に限らない。３つより多くてもよい。好ましくは３つ以上であり、より好ましくは４つ以上であり、更に好ましくは５つ以上である。また、多層磁性シート４００における厚さ方向に重ねられる積層基体３００の数は２０よりも多くてもよいが、好ましくは２０以下である。
【0034】
積層基体３００の長辺部分の重なり（言い換えると、長辺部分における近傍部分の寸法）は、短辺方向の寸法で、１ｍｍ以上が好ましい。また、２ｍｍ以上がより好ましい。さらに、３ｍｍ以上が好ましい。また、重なり部分の寸法の上限は特になく、長くてもよい。例えば、下側の積層基体の幅方向の半分程度まで及んでいてもよい。
【0035】
積層基体３００の長辺部分の重なりにより、積層方向からみた積層基体３００の間に生じる磁気ギャップがなくなり、磁気特性の向上（例えば、μ´が高く、Ｑが大きい）が図れる。
【0036】
図２には、隣り合う積層基体３００における長辺３００Ｌが重なり合う例が図示されている。具体的には、図２において左右方向における中央の１層目（下側の層とも表記する。）の積層基体３００に対して、１層目に配置された積層基体３００であって、中央の積層基体３００の両側（右隣および左隣とも標記する。）に配置された積層基体３００は、その長辺３００Ｌ及び近傍部分が中央の積層基体３００の長辺部分に重なる状態で積層されている。
【0037】
言い換えると、１層目において、中央に配置された積層基体３００の長辺部分と、左右に配置された積層基体３００の長辺部分とが、厚さ方向に重なって積層されている。左右に配置された積層基体３００の長辺部分は、中央に配置された積層基体３００の２層目側に重ねられている。
【0038】
そして、中央の２層目（上側の層とも表記する。）の積層基体３００が中央の１層目の積層基体３００の上に積層される。中央の２層目の積層基体３００の長辺３００Ｌ及び近傍部分が１層目の両側の積層基体３００の長辺部分の重なり合う部分に重なるように積層されている。
【0039】
さらに、２層目の両側の積層基体３００が、それぞれ１層目の両側の積層基体３００に積層される。２層目の両側の積層基体３００における長辺３００Ｌ及び近傍部分が中央の２層目の積層基体３００の長辺部分と重なるように積層されている。
【0040】
積層基体３００の長辺３００Ｌの重なりは、図２に示した例に限定されない。例えば、1層目の両側の積層基体３００における長辺３００Ｌ及び近傍部分の上（２層目側とも表記する。）に、中央の1層目の積層基体３００の長辺３００Ｌ及び近傍部分を重ねてもよい。
【0041】
また、中央の積層基体３００において、左右の長辺３００Ｌ及び近傍部分で異なる重ね方としてもよい。例えば、１層目の中央の積層基体３００において、右側の長辺３００Ｌ及び近傍部分は、１層目に属する右隣の積層基体３００の２層目側に積層され（言い換えると、上側に積層され）、左側の長辺３００Ｌ及び近傍部分は、１層目に属する左隣の積層基体３００の長辺３００Ｌ及び近傍部分が積層され（言い換えると、下側に積層され）てもよい。
【0042】
図３は、積層基体３００の構成を説明する断面視図である。
積層基体３００は、複数の粘着層１０と、複数の磁性薄帯２０と、が交互に積層された多層構造を有している。本実施形態では、図３に示すように、６層の粘着層１０と、５層の磁性薄帯２０と、が交互に積層された多層構造を有している例について説明する。
積層基体３００は、複数の粘着層１０と、複数の磁性薄帯２０と、が交互に積層された多層構造を有している。本実施形態では、図３に示すように、６層の粘着層１０と、５層の磁性薄帯２０と、が交互に積層された多層構造を有している例について説明する。
【0043】
具体的には、粘着層１０、磁性薄帯２０、粘着層１０、磁性薄帯２０、粘着層１０、磁性薄帯２０、粘着層１０、磁性薄帯２０、粘着層１０、磁性薄帯２０、粘着層１０の順に積層された多層構造を有している。
なお、図３では、積層基体３００の上下に樹脂シート１５を記載しているが、この積層基体３００を積み重ねるときは、適宜樹脂シート１５は外して積層される。
なお、図３では、積層基体３００の上下に樹脂シート１５を記載しているが、この積層基体３００を積み重ねるときは、適宜樹脂シート１５は外して積層される。
【0044】
なお、積層基体３００に含まれる磁性薄帯２０の数は、上述のように５層であってもよいし、５層以外の２層以上から４層であってもよいし、６層以上の任意の数であってもよい。積層基体３００に含まれる磁性薄帯２０の数は３層以上が好ましく、４層以上が好ましく、５層以上が好ましい。なお、上限は、製造できる限り、何層でもよい。例えば、図１２で説明する製造装置を用いる場合、積層基体３００に含まれる磁性薄帯２０の数は２０層以下が好ましく、１５層以下が好ましく、１０層以下が好ましい。また、長辺部分を重ね合わせる上で、作業性を考慮すると、２０層以下が好ましく、１５層以下が好ましい。
【0045】
図４は、多層磁性シート４００の構成を説明する断面図である。
図４では、積層基体３００が積み重ねられている状態を示している。
積層基体３００が隣接する位置には、粘着層１０が連続して２層積層されている。また、他の部分において、粘着層１０が２層積層されていてもよい。また、粘着層１０が３層以上積層されていてもよいが、全体として厚くなるため、粘着層１０が積層される場合、２層以下が好ましい。
図４では、積層基体３００が積み重ねられている状態を示している。
積層基体３００が隣接する位置には、粘着層１０が連続して２層積層されている。また、他の部分において、粘着層１０が２層積層されていてもよい。また、粘着層１０が３層以上積層されていてもよいが、全体として厚くなるため、粘着層１０が積層される場合、２層以下が好ましい。
【0046】
多層磁性シート４００における積層された磁性薄帯２０の合計は適宜設定することができる。例えば、１０層以上であることが好ましく、１５層以上であることがより好ましく、２０層以上であることがより好ましく、２５層以上であることが更に好ましい。また、積層された磁性薄帯２０の合計は２００層以下であることが好ましい。また、１５０層以下であることが好ましい。また、１００層以下であってもよい。
【0047】
図５は、粘着層１０および磁性薄帯２０の構成を説明する部分拡大断面視図である。
粘着層１０は、図５に示すように、磁性薄帯２０が貼り付けられる部材である。また粘着層１０は長尺状に形成された部材、例えば長方形状に形成された膜状の部材である。粘着層１０には、支持体１１と、粘着剤１２と、が主に設けられている。
粘着層１０は、図５に示すように、磁性薄帯２０が貼り付けられる部材である。また粘着層１０は長尺状に形成された部材、例えば長方形状に形成された膜状の部材である。粘着層１０には、支持体１１と、粘着剤１２と、が主に設けられている。
【0048】
支持体１１は、長尺状に形成された帯状の膜部材、例えば長方形状に形成された膜部材である。支持体１１は、可撓性を有する樹脂材料を用いて形成されている。樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）を用いることができる。
【0049】
粘着剤１２は、支持体１１における第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂに膜状または層状に設けられている。
粘着剤１２は、例えば、感圧性接着剤を用いることができる。例えば、アクリル系の接着剤、シリコーン系の接着剤、ウレタン系の接着剤、合成ゴム、天然ゴム等の、公知の接着剤を粘着剤１２として用いることができる。アクリル系の接着剤は、耐熱性、耐湿性に優れ、かつ、接着可能な材質も幅広いため、粘着剤１２として好ましい。
粘着剤１２は、例えば、感圧性接着剤を用いることができる。例えば、アクリル系の接着剤、シリコーン系の接着剤、ウレタン系の接着剤、合成ゴム、天然ゴム等の、公知の接着剤を粘着剤１２として用いることができる。アクリル系の接着剤は、耐熱性、耐湿性に優れ、かつ、接着可能な材質も幅広いため、粘着剤１２として好ましい。
【0050】
粘着剤１２は、支持体１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂに、層状に設けられている。本実施形態では、支持体１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂの全面に粘着剤１２が設けられた例に適用して説明する。
【0051】
磁性薄帯２０は、磁性を有する材料を用いて長尺状の帯状に形成された薄帯である。磁性薄帯２０にはクラック２１が形成されている。磁性薄帯２０は、クラック２１により複数の小片２２に分割されている。言い換えると、磁性薄帯２０は複数の小片２２を含む。クラック２１とは、磁性薄帯２０に形成される磁気的なギャップを指し、例えば、磁性薄帯２０の割れ及び／又はひびが包含される。
【0052】
磁性薄帯２０にクラック２１を形成することで、多層磁性シート４００をインダクタ用磁性体として用いる場合にＱ値の向上を図りやすくなる。また、多層磁性シート４００を磁気シールド用磁性体として用いる場合には、磁性薄帯２０の電流路を分断して渦電流損を低減しやすくなる。
【0053】
磁性薄帯２０を形成する材料としては、合金組成がＦｅ基又はＣｏ基の合金を使用でき、ナノ結晶合金又はアモルファス合金を使用できる。磁性薄帯２０は、特にナノ結晶合金を材料として形成された薄帯（以下、「ナノ結晶合金薄帯」とも表記する。）であることが好ましい。
【0054】
ナノ結晶合金薄帯としては、ナノ結晶化が可能な非晶質合金薄帯にナノ結晶化の熱処理を行って得られたナノ結晶合金薄帯を用いることができる。ナノ結晶化の熱処理の際、ナノ結晶化が可能な非晶質合金薄帯に張力を付与した状態でナノ結晶化の熱処理を行うことが好ましい。なお、アモルファス合金を材料として形成された薄帯をアモルファス合金薄帯、または、非晶質合金薄帯とも表記する。
【0055】
ナノ結晶合金薄帯は、次の一般式により表される組成を有することが好ましい。
一般式：（Ｆｅ１－ａＭａ）１００－ｘ－ｙ－ｚ－α－β－γＣｕｘＳｉｙＢｚＭ’αＭ”βＸγ（原子％）
一般式：（Ｆｅ１－ａＭａ）１００－ｘ－ｙ－ｚ－α－β－γＣｕｘＳｉｙＢｚＭ’αＭ”βＸγ（原子％）
【0056】
上記の一般式中で、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ’はＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ及びＷからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、Ｍ”はＡｌ、白金族元素、Ｓｃ、希土類元素、Ｚｎ、Ｓｎ、及びＲｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ＸはＣ、Ｇｅ、Ｐ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂｅ、及びＡｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５、０．１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦３０、０≦ｚ≦２５、５≦ｙ＋ｚ≦３０、０≦α≦２０、０≦β≦２０及び０≦γ≦２０を満たす。
好ましくは、上記一般式において、ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β及びγは、それぞれ０≦ａ≦０．１、０．７≦ｘ≦１．３、１２≦ｙ≦１７、５≦ｚ≦１０、１．５≦α≦５、０≦β≦１及び０≦γ≦１である。
好ましくは、上記一般式において、ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β及びγは、それぞれ０≦ａ≦０．１、０．７≦ｘ≦１．３、１２≦ｙ≦１７、５≦ｚ≦１０、１．５≦α≦５、０≦β≦１及び０≦γ≦１である。
【0057】
本実施形態では磁性薄帯２０が、Ｆｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）の例に適用して説明する。なお、磁性薄帯２０は、上記の一般式により表される他の組成を有するナノ結晶合金薄帯であってもよいし、アモルファス合金薄帯であってもよい。
【0058】
磁性薄帯２０がナノ結晶合金薄帯である場合は、磁性薄帯２０がアモルファス合金薄帯である場合よりも機械的に脆い。磁性薄帯２０がナノ結晶合金薄帯である場合は、磁性薄帯２０に直接外力を付与してクラック２１を形成する際に、小さな外力でクラック２１を形成することができる。
【0059】
磁性薄帯２０がナノ結晶合金薄帯である場合は、磁性薄帯２０の表面に凹凸を実質的に形成することなくクラック２１を形成できる。そのため、磁性薄帯２０の平面状態を良好な状態とすることができる。磁性薄帯２０と粘着層１０とを貼り合わせて積層基体３００とした後に発生する磁性薄帯２０の形状の経時変化が小さくなる。積層基体３００や磁性薄帯２０における磁気特性の経時変化を抑制することができる。
【0060】
磁性薄帯２０としては、例えば、ロール急冷により製造された厚さが１００μｍ以下の合金薄帯を用いることができる。磁性薄帯２０の厚さは、５０μｍ以下が好ましく、更に３０μｍ以下が好ましく、特に２５μｍ以下が好ましく、特に２０μｍ以下が好ましい。また、厚さが薄いと磁性薄帯２０の取り扱いが困難となるため、磁性薄帯２０の厚さは、５μｍ以上であることが好ましく、更に１０μｍ以上が好ましい。
【0061】
磁性薄帯２０は、粘着層１０の粘着剤１２に接着されている。本実施形態では、粘着層１０の第１面１１Ａに設けられた粘着剤１２に磁性薄帯２０が接着されている。また、磁性薄帯２０と粘着層１０とは次式の関係を満たす形状を有していることが好ましい。
【0062】
０．２ｍｍ≦（幅Ａ－幅Ｂ）≦３ｍｍ
幅Ａは、粘着層１０に関する寸法であって、より好ましくは粘着層１０における磁性薄帯２０が接着される粘着剤１２が設けられた領域に関する寸法である。幅Ｂは、磁性薄帯２０に関する寸法である。なお、粘着剤１２が粘着層１０の支持体１１の全面に設けられている場合には、幅Ａは、粘着層１０または支持体１１に関する寸法である。
幅Ａは、粘着層１０に関する寸法であって、より好ましくは粘着層１０における磁性薄帯２０が接着される粘着剤１２が設けられた領域に関する寸法である。幅Ｂは、磁性薄帯２０に関する寸法である。なお、粘着剤１２が粘着層１０の支持体１１の全面に設けられている場合には、幅Ａは、粘着層１０または支持体１１に関する寸法である。
【0063】
ここで、（幅Ａ－幅Ｂ）の下限は、０．５ｍｍであることが好ましく、更に１．０ｍｍであることが好ましい。また、（幅Ａ－幅Ｂ）の上限は、２．５ｍｍであることが好ましく、更に２．０ｍｍであることが好ましい。
【0064】
また、磁性薄帯２０と粘着層１０とは、別の次式の関係を満たすように配置されていることが好ましい。
０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂ
０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂ
【0065】
隙間ａおよび隙間ｂは、粘着層１０の端部から磁性薄帯２０の端部までの距離である。具体的には隙間ａは、粘着層１０の第１粘着層端部１０Ｘから、磁性薄帯２０の第１薄帯端部２０Ｘまでの距離である。隙間ｂは、粘着層１０の第２粘着層端部１０Ｙから、磁性薄帯２０の第２薄帯端部２０Ｙまでの距離である。
【0066】
第１薄帯端部２０Ｘは、磁性薄帯２０における第１粘着層端部１０Ｘと同じ側の端部である。第２粘着層端部１０Ｙは、粘着層１０の第１粘着層端部１０Ｘと反対側の端部である。第２薄帯端部２０Ｙは、磁性薄帯２０における第２粘着層端部１０Ｙと同じ側の端部である。
【0067】
幅Ａ、幅Ｂ、隙間ａ、および隙間ｂは、積層基体３００の長手方向と交差する方向、より好ましくは直交する方向の寸法である。積層基体３００の長手方向と、粘着層１０の長手方向は同じ方向である。また、積層基体３００の長手方向と、磁性薄帯２０の長手方向は同じ方向である。
【0068】
本実施形態では、磁性薄帯２０の長手方向の長さが２０，０００ｍである例に適用して、多層磁性シートの製造方法について説明する。また、粘着層１０または支持体１１に関する寸法である幅Ａが３２ｍｍであり、磁性薄帯２０に関する寸法である幅Ｂが３０ｍｍであり、幅Ａ－幅Ｂは２ｍｍである例に適用して説明する。
【0069】
樹脂シート１５は樹脂を用いて形成された膜状の部材であり、保護フィルム、リリースフィルムまたはライナーとも表記される部材である。樹脂シート１５は、磁性薄帯２０や多層磁性シート４００の保護に用いられる部材である。
【0070】
樹脂シート１５は、磁性薄帯２０に意図しない外力が加わることにより、後述するクラック２１（または複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラック）が不要に増えることを抑制する機能を有する。また、磁性薄帯２０の小片２２が脱落することを抑制する機能や、磁性薄帯２０が錆びることを抑制する機能を有する。
【0071】
また、樹脂シート１５は、多層磁性シート４００を所定の形状に加工する際に、不要な変形が発生することを抑制する機能を有する。不要な変形としては、表面の凹凸などを例示することができる。樹脂シート１５は、上述のように粘着層１０とともに積層されてもよいし、単体で積層されてもよい。
【0072】
樹脂シート１５は、樹脂を用いて形成された膜状の部材であることが好ましく、弾力性を有する樹脂を用いて形成された部材であることがより好ましい。樹脂シート１５が樹脂を用いて形成された部材であると、樹脂シート１５の弾性力により、磁性薄帯２０の表面における凹凸の発生を抑制しやすくなる。
【0073】
磁性薄帯２０の表面に凹凸が発生しても、樹脂シート１５の弾性力により、磁性薄帯２０の凹凸が平坦になりやすい。磁性薄帯２０の平面状態を凹凸が少ない良好な状態にすることができる。多層磁性シート４００における磁気特性の経時変化を小さくしやすい。
【0074】
樹脂シート１５は、引張弾性率の下限が０．１ＧＰａの樹脂を使用できる。樹脂の引張弾性率が０．１ＧＰａ以上であれば、上記の効果が十分に得られやすい。引張弾性率の下限は、０．５ＧＰａが好ましく、１．０ＧＰａがさらに好ましい。
【0075】
樹脂の引張弾性率の上限は１０ＧＰａとすることが好ましい。１０ＧＰａを超えると、後述するクラック２１を形成する際、合金薄帯の変形を抑制してしまうことがある。引張弾性率の上限は９ＧＰａが好ましく、８ＧＰａがさらに好ましい。
【0076】
樹脂シート１５は、樹脂シート１５の厚みが１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。樹脂シート１５の厚みが増すと、多層磁性シート４００が変形し難くなる。多層磁性シート４００を曲面又は屈曲面に倣って配置しにくくなることがある。
【0077】
樹脂シート１５の厚さが１μｍ未満であると、樹脂シート１５の変形が容易となる。樹脂シート１５の扱いが難しくなり、樹脂シート１５による磁性薄帯２０を支持する機能が十分に得られない場合がある。樹脂シート１５が保護フィルムである場合には、樹脂シート１５の強度が弱くなり、磁性薄帯２０などを保護する機能が十分でなくなる場合もある。
【0078】
樹脂シート１５は、樹脂として、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリスルホン、ポリエーテルケトン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、フッ素樹脂、アクリル樹脂、セルロース等を用いることができる。耐熱性及び誘電損失の観点から、ポリアミド及びポリイミドが樹脂シート１５を形成する樹脂として特に好ましい。
【0079】
【0080】
図６は、磁性シート１００の製造方法を説明する模式図である。
磁性シート１００は積層基体３００および多層磁性シート４００を構成する磁性シートである。磁性シート１００は、図６に示す製造装置５００を用いて製造される。製造装置５００には、製造工程の上流から下流に向かって、第１巻出しロール５１０と、第１巻取りロール５２０と、第２巻出しロール５３０と、貼付けロール５４０と、クラックロール５５０と、平坦化ロール５６０と、第３巻取りロール５７０と、が主に設けられている。製造装置５００には、さらに複数の誘導ロール５８０が設けられてもよい。なお、誘導ロール５８０は記載していない位置でも必要に応じて配置することができる。
磁性シート１００は積層基体３００および多層磁性シート４００を構成する磁性シートである。磁性シート１００は、図６に示す製造装置５００を用いて製造される。製造装置５００には、製造工程の上流から下流に向かって、第１巻出しロール５１０と、第１巻取りロール５２０と、第２巻出しロール５３０と、貼付けロール５４０と、クラックロール５５０と、平坦化ロール５６０と、第３巻取りロール５７０と、が主に設けられている。製造装置５００には、さらに複数の誘導ロール５８０が設けられてもよい。なお、誘導ロール５８０は記載していない位置でも必要に応じて配置することができる。
【0081】
図７は、第１巻出しロール５１０から供給される積層体の構成を説明する断面視図である。
第１巻出しロール５１０には、図７に示すように、粘着層１０の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂに樹脂シート１５が積層された積層体が巻き付けられている。第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５は保護シートであり、第２面１１Ｂに配置された樹脂シート１５はライナーとも表記する。第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５は、第２面１１Ｂに配置された樹脂シート１５よりも厚さが薄いシートである。
第１巻出しロール５１０には、図７に示すように、粘着層１０の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂに樹脂シート１５が積層された積層体が巻き付けられている。第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５は保護シートであり、第２面１１Ｂに配置された樹脂シート１５はライナーとも表記する。第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５は、第２面１１Ｂに配置された樹脂シート１５よりも厚さが薄いシートである。
【0082】
図８は、第１巻出しロール５１０から供給され、樹脂シート１５が剥離された積層体の構成を説明する断面視図である。
第１巻出しロール５１０から巻き出された積層体は、図８に示すように、第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離される。剥離された樹脂シート１５は、図６に示すように、第１巻取りロール５２０に巻き取られる。
第１巻出しロール５１０から巻き出された積層体は、図８に示すように、第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離される。剥離された樹脂シート１５は、図６に示すように、第１巻取りロール５２０に巻き取られる。
【0083】
図９は、第２巻出しロール５３０から供給される磁性薄帯２０の構成を説明する断面視図である。
第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離された積層体は、複数の誘導ロール５８０により、貼付けロール５４０に導かれる。貼付けロール５４０には、さらに第２巻出しロール５３０から巻き出された磁性薄帯２０が導かれている。貼付けロール５４０に導かれる磁性薄帯２０には、図９に示すように、クラック２１は形成されていない。
第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離された積層体は、複数の誘導ロール５８０により、貼付けロール５４０に導かれる。貼付けロール５４０には、さらに第２巻出しロール５３０から巻き出された磁性薄帯２０が導かれている。貼付けロール５４０に導かれる磁性薄帯２０には、図９に示すように、クラック２１は形成されていない。
【0084】
ここで、第２巻出しロール５３０から巻き出される磁性薄帯２０の製造方法について説明する。例えば、磁性薄帯２０がナノ結晶合金である場合について説明する。磁性薄帯２０は、合金溶湯を急冷して、ナノ結晶化が可能なアモルファス合金薄帯を得る工程と、このアモルファス合金薄帯を結晶化開始温度以上で熱処理して微細な結晶粒を形成させる熱処理工程と、を含む製造方法によって製造される。
【0085】
上述の急冷は、回転する冷却ロール上に溶湯を吐出して急冷凝固させる単ロール法により行われる。磁性薄帯２０は冷却ロールの回転方向に沿った方向が長手方向となる長尺形状を有する。磁性薄帯２０の長手方向の長さは、例えば２０，０００ｍを挙げることができる。
【0086】
上述の熱処理の温度は、合金組成により異なるが、一般的には４５０℃以上である。微細な結晶粒は、例えば、Ｓｉなどが固溶した体心立方格子構造のＦｅである。この微細な結晶粒の分析は、Ｘ線回折及び透過電子顕微鏡を用いて行うことができる。
【0087】
ナノ結晶合金においては、ナノ結晶合金の少なくとも５０体積％が、最大寸法で測定した粒径の平均が１００ｎｍ以下の微細な結晶粒で占められる。また、ナノ結晶合金のうちで微細結晶粒以外の部分は主に非晶質である。微細結晶粒の割合は実質的に１００体積％であってもよい。
【0088】
図１０は、貼付けロール５４０により、磁性薄帯２０が粘着層１０に接着された状態を説明する断面視図である。
貼付けロール５４０は、図６に示すように、樹脂シート１５が剥離された積層体に磁性薄帯２０を押し付けて接着する。具体的には、対向して配置された２つのロールの間に、積層体と磁性薄帯２０とを導き、２つのロールを用いて、図１０に示すように、粘着層１０の第１面１１Ａに磁性薄帯２０を押し付けて接着する。
貼付けロール５４０は、図６に示すように、樹脂シート１５が剥離された積層体に磁性薄帯２０を押し付けて接着する。具体的には、対向して配置された２つのロールの間に、積層体と磁性薄帯２０とを導き、２つのロールを用いて、図１０に示すように、粘着層１０の第１面１１Ａに磁性薄帯２０を押し付けて接着する。
【0089】
磁性薄帯２０は、粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。磁性薄帯２０が接着された積層体は、図６に示すように、貼付けロール５４０からクラックロール５５０に導かれる。
【0090】
図１１は、クラックロール５５０により磁性薄帯２０にクラック２１が形成された状態を説明する断面視図である。
クラックロール５５０は、粘着層１０に接着された磁性薄帯２０にクラック２１を形成する。具体的には、対向して配置された２つのロールの間に、磁性薄帯２０が接着された積層体を導き、２つのロールのうちの突起が設けられたロールを磁性薄帯２０に押し付けて、図１１に示すようにクラック２１を形成する。
クラックロール５５０は、粘着層１０に接着された磁性薄帯２０にクラック２１を形成する。具体的には、対向して配置された２つのロールの間に、磁性薄帯２０が接着された積層体を導き、２つのロールのうちの突起が設けられたロールを磁性薄帯２０に押し付けて、図１１に示すようにクラック２１を形成する。
【0091】
２つのロールのうちの突起が設けられていないロールは、樹脂シート１５が剥離された積層体側に配置されている。クラック２１が形成された磁性薄帯２０には複数の小片２２が含まれる。複数の小片２２は、粘着層１０に接着される。
【0092】
ここで、クラックロール５５０の構成について説明する。クラックロール５５０は、複数の凸状部材を周面に配置したロールである。クラックロール５５０の凸状部材の端部の先端は、平坦、錐状、中央が窪む逆錐状、又は筒状でもよい。複数の凸状部材は、規則的に配置されてもよいし、不規則に配置されてもよい。
【0093】
長尺の磁性薄帯２０をクラックロール５５０に押し付けたり、又は長尺の磁性薄帯２０を２つのクラックロール５５０の間に通したりすることで、磁性薄帯２０にクラック２１が連続的に形成される。また、磁性薄帯２０の表面の複数箇所にクラックロール５５０の凸状部材が押し付けられ、磁性薄帯２０に複数のクラック２１が形成される。
【0094】
クラックロール５５０を用いたクラックの形成では、さらに、複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラックを形成することが好ましい。具体的には、磁性薄帯２０にクラックロール５５０を押しつけて複数のクラック２１を形成した後、上記複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラックを形成する工程を有することが好ましい。
【0095】
例えば、クラックロール５５０を用いて磁性薄帯２０に直接外力を付与してクラック２１を形成した後、磁性薄帯２０を湾曲したり、巻き取ったりする等の手段によって第２の外力を付与して、複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラックを形成してもよい。クラック２１同士を繋ぐクラック（クラック同士を繋ぐ磁気的なギャップ）は、クラック２１を脆性破壊及び／又は亀裂破壊の起点として形成される。
【0096】
複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラックを形成する工程では、上記のような第２の外力を付与しなくてもよい。第２の外力を付与しない場合には、複数のクラック２１が形成される過程で、複数のクラック２１同士を網目状に繋ぐクラックが形成される。
【0097】
クラックロール５５０から平坦化ロール５６０に導かれた積層体は、平坦化ロール５６０により平坦化処理が行われる。なお、平坦化ロール５６０は整形ロールとも表記する。
【0098】
具体的には、平坦化ロール５６０における対向して配置された２つのロールの間に積層体が導かれ、積層体が２つのローラに挟まれて押圧される。これにより、クラック２１が形成された磁性薄帯２０の表面が平坦化される。
【0099】
平坦化処理が行われた後の積層体が磁性シート１００となる。磁性シート１００は、誘導ロール５８０を経由して第３巻取りロール５７０に導かれる。磁性シート１００は、第３巻取りロール５７０に巻き取られる。
【0100】
図１２は、積層基体３００の製造方法を説明する模式図である。
積層基体３００は、図１２に示す製造装置６００を用いて製造される。図１２には、５層の磁性薄帯２０を含む積層基体３００を製造する製造装置６００が示されている。
積層基体３００は、図１２に示す製造装置６００を用いて製造される。図１２には、５層の磁性薄帯２０を含む積層基体３００を製造する製造装置６００が示されている。
【0101】
製造装置６００には、製造工程の上流から下流に向かって、供給ロール６０１と、樹脂シート巻取りロール６０２と、第１磁性シート巻出しロール６１１と、第１巻取りロール６１２と、第１貼付けロール６１３と、第２磁性シート巻出しロール６２１と、第２巻取りロール６２２と、第２貼付けロール６２３と、第３磁性シート巻出しロール６３１と、第３巻取りロール６３２と、第３貼付けロール６３３と、第４磁性シート巻出しロール６４１と、第４巻取りロール６４２と、第４貼付けロール６４３と、第５磁性シート巻出しロール６５１と、第５貼付けロール６５３と、平坦化ロール６６３と、積層基体巻取りロール６７０と、が主に設けられている。製造装置６００には、さらに複数の誘導ロール６８０が設けられてもよい。なお、誘導ロール６８０は記載していない位置でも必要に応じて配置することができる。
【0102】
なお、製造装置６００は、磁性薄帯２０の数が２層以上２０層以下の積層基体３００を製造してもよい。また、２０層以上の積層基体３００を製造してもよい。この場合、上述の第１磁性シート巻出しロール６１１等の数が磁性薄帯２０の数に応じて変更される。磁性薄帯２０の層数は、適宜決定すればよい。ただし、積層基体３００を巻き取る場合、磁性薄帯２０の層数が多いと、巻き取ることが困難になったり、巻き取るときに形状不良が生じたりすることがある。そのため、積層基体３００を巻き取る場合、層数は１５層以下が好ましい。よく好ましくは１０層以下である。また、磁性薄帯２０の層数は３層以上が好ましく、４層以上がより好ましく、５層以上がより好ましい。また、２０層を超える積層基体３００を作製することも可能であるが、装置が大型となり過ぎるため、２０層以下が好ましい。
【0103】
供給ロール６０１には、図７に示すように、粘着層１０の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂに樹脂シート１５が積層された積層体が巻き付けられている。
供給ロール６０１から巻き出された積層体は、図８に示すように、第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離される。剥離された樹脂シート１５は、図１２に示すように、樹脂シート巻取りロール６０２に巻き取られる。
供給ロール６０１から巻き出された積層体は、図８に示すように、第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離される。剥離された樹脂シート１５は、図１２に示すように、樹脂シート巻取りロール６０２に巻き取られる。
【0104】
第１面１１Ａに配置された樹脂シート１５が剥離された積層体は、誘導ロール６８０により、第１貼付けロール６１３に導かれる。第１貼付けロール６１３には、さらに第１磁性シート巻出しロール６１１から巻き出された磁性シート１００が導かれている。
【0105】
第１貼付けロール６１３は、樹脂シート１５が剥離された積層体に磁性シート１００を押し付けて接着する。具体的には、対向して配置された２つのロールの間に、積層体と磁性シート１００とを導き、２つのロールを用いて、粘着層１０の第１面１１Ａに磁性シート１００の磁性薄帯２０を押し付けて接着する。
【0106】
磁性シート１００の接着される磁性薄帯２０は、粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。
【0107】
第１貼付けロール６１３により接着された磁性シート１００の樹脂シート１５は、磁性シート１００から剥離されて第１巻取りロール６１２に巻き取られる。樹脂シート１５が第１巻取りロール６１２に巻き取られた後の積層体は、第２貼付けロール６２３に導かれる。第２貼付けロール６２３には、さらに第２磁性シート巻出しロール６２１から巻き出された磁性シート１００が導かれている。
【0108】
第２貼付けロール６２３は、第１貼付けロール６１３から導かれた積層体に磁性シート１００を押し付けて接着する。磁性シート１００の接着される磁性薄帯２０は、第１貼付けロール６１３から導かれた積層体の粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。
【0109】
この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。第２貼付けロール６２３により接着された磁性シート１００の樹脂シート１５は、磁性シート１００から剥離されて第２巻取りロール６２２に巻き取られる。
【0110】
樹脂シート１５が第２巻取りロール６２２に巻き取られた後の積層体は、第３貼付けロール６３３に導かれる。第３貼付けロール６３３には、さらに第３磁性シート巻出しロール６３１から巻き出された磁性シート１００が導かれている。
【0111】
第３貼付けロール６３３は、第２貼付けロール６２３から導かれた積層体に磁性シート１００を押し付けて接着する。磁性シート１００の接着される磁性薄帯２０は、第２貼付けロール６２３から導かれた積層体の粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。
【0112】
この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。第３貼付けロール６３３により接着された磁性シート１００の樹脂シート１５は、磁性シート１００から剥離されて第３巻取りロール６３２に巻き取られる。
【0113】
樹脂シート１５が第３巻取りロール６３２に巻き取られた後の積層体は、第４貼付けロール６４３に導かれる。第４貼付けロール６４３には、さらに第４磁性シート巻出しロール６４１から巻き出された磁性シート１００が導かれている。
【0114】
第４貼付けロール６４３は、第３貼付けロール６３３から導かれた積層体に磁性シート１００を押し付けて接着する。磁性シート１００の接着される磁性薄帯２０は、第３貼付けロール６３３から導かれた積層体の粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。
【0115】
この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。第４貼付けロール６４３により接着された磁性シート１００の樹脂シート１５は、磁性シート１００から剥離されて第４巻取りロール６４２に巻き取られる。
【0116】
樹脂シート１５が第４巻取りロール６４２に巻き取られた後の積層体は、第５貼付けロール６５３に導かれる。第５貼付けロール６５３には、さらに第５磁性シート巻出しロール６５１から巻き出された磁性シート１００が導かれている。
【0117】
第５貼付けロール６５３は、第４貼付けロール６４３から導かれた積層体に磁性シート１００を押し付けて接着する。磁性シート１００の接着される磁性薄帯２０は、第４貼付けロール６４３から導かれた積層体の粘着層１０と幅方向において中心が一致するように配置されもよいし、中心が離れて配置されてもよい。
【0118】
この場合、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されている。第５貼付けロール６５３から平坦化ロール６６３に導かれた積層体は、平坦化ロール６６３により平坦化処理が行われる。
【0119】
磁性薄帯２０と粘着層１０との関係は、上記のとおり、０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されていることが好ましい。しかしながら、磁性シート１００と積層体との積層工程において、位置関係のズレが生じる場合がある。この位置関係のズレが生じた場合、磁性薄帯２０と粘着層１０との関係において、例えば、隙間ａがマイナスとなる場合が生じ得る。つまり、磁性薄帯２０の一面側において、粘着層１０の端部より磁性薄帯２０の端部が突出する場合が生じ得る。磁性薄帯２０の一面側において、粘着層１０の端部より磁性薄帯２０の端部が突出する場合が生じたとしても、磁性薄帯２０の他面側において、磁性薄帯２０と粘着層１０との関係が０ｍｍ＜隙間ａ、および、０ｍｍ＜隙間ｂの関係（図５参照。）を満たすように配置されておれば、磁性薄帯２０は粘着層１０に接着された状態を維持できる。
【0120】
図３は、積層基体３００の構成を説明する断面視図である。
平坦化処理が行われた後の積層体が、図３に示す積層基体３００となる。積層基体３００は、誘導ロール６８０を経由して積層基体巻取りロール６７０に導かれる。積層基体３００は、積層基体巻取りロール６７０に巻き取られる。
なお、積層基体３００は、積層基体巻取りロール６７０に巻き取られる方法以外に、連続的に所要の長さに切断してもよい。
平坦化処理が行われた後の積層体が、図３に示す積層基体３００となる。積層基体３００は、誘導ロール６８０を経由して積層基体巻取りロール６７０に導かれる。積層基体３００は、積層基体巻取りロール６７０に巻き取られる。
なお、積層基体３００は、積層基体巻取りロール６７０に巻き取られる方法以外に、連続的に所要の長さに切断してもよい。
【0121】
製造装置６００により製造された積層基体３００は、図１に示すように、長辺３００Ｌが延びる方向の寸法が長さＬとなるように切断される。切断された積層基体３００は、短辺３００Ｓが延びる方向に並べて板状に配置され、長辺３００Ｌ部分で重ね合される。例えば、積層基体３００は、図２に示すように厚さ方向に重ねられる。このように配置された積層基体３００を用いて、多層磁性シート４００を構成することができる。
【0122】
なお、本開示の多層磁性シート４００において、磁性薄帯２０の積層方向の下端から上端までを図２で示す構造で構成してもよい。
【0123】
また、本開示の多層磁性シート４００において、磁性薄帯２０の積層方向の少なくとも一部分が積層基体３００で構成されていてもよく、積層基体３００で構成されていない部分は、磁性薄帯２０で構成されていてもよい。なお、磁性薄帯２０で構成されるとは、１層の磁性薄帯２０を並べたり、積層したりして構成するものである。
【0124】
また、本開示の多層磁性シート４００において、積層基体３００の長辺部分が互いに重なり合っている部分が、磁性薄帯２０の積層方向の少なくとも一部分であってもよい。このとき、積層基体３００の長辺部分が互いに重なり合っていない部分は、積層基体３００を長辺部分が重ならないように並べて構成したり、それを積み重ねて構成したりてもよいし、１層の磁性薄帯２０を並べたり、積層したりして構成してもよい。
【0125】
また、本開示の多層磁性シート４００は磁性薄帯２０が合計で１０層以上積層されていることが好ましい。より好ましくは１５層以上であり、更に、２０層以上であることがより好ましく、２５層以上であることがより好ましい。また、積層された磁性薄帯２０の合計は２００層以下であることが好ましい。また、１５０層以下であることが好ましい。また、１００層以下であってもよい。
【0126】
（実施例１）
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１３に示す構造を有する実施例１の多層磁性シート４００を作成した。
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１３に示す構造を有する実施例１の多層磁性シート４００を作成した。
【0127】
具体的には、２個の積層基体３００を、長辺部分を約４ｍｍ重ね合わせる。重ね合わせた積層基体３００を、厚さ方向に４層積層して実施例１である多層磁性シート４００を作製した。
【0128】
（実施例２）
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１４に示す構造を有する実施例２の多層磁性シート４００を作成した。
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１４に示す構造を有する実施例２の多層磁性シート４００を作成した。
【0129】
具体的には、２個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを突き合わせて）並べる。並べた積層基体３００を厚さ方向に２層積層する。厚さ方向から見て、１層目（言い換えると、図１４における下側の層）の積層基体３００と２層目（言い換えると、図１４における上側の層）の積層基体３００とは、互いの長辺３００Ｌの位置がずらして配置されている。なお、ずらす量は４ｍｍとした。その上に、長辺部分を約４ｍｍ重ね合わせた積層基体３００を、厚さ方向に２層積層して実施例２である多層磁性シート４００を作製した。
【0130】
（実施例３）
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を９個作製する。９個の積層基体３００を用いて、図１５に示す構造を有する実施例３の多層磁性シート４００を作成した。
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を９個作製する。９個の積層基体３００を用いて、図１５に示す構造を有する実施例３の多層磁性シート４００を作成した。
【0131】
具体的には、１層目（図１５の一番下の層）では、３個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを付き合わせて）並べる。２層目（図１５の下から２番目の層）では、２個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを付き合わせて）並べる。１層目の積層基体３００と２層目の積層基体３００とは、互いの長辺３００Ｌの位置がずらして配置されている。ずらす量は積層基体３００の幅の半分程度とした。その上に、長辺部分を約４ｍｍ重ね合わせた積層基体３００を、厚さ方向に２層積層して実施例３である多層磁性シート４００を作製した。
【0132】
（比較例）
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１６に示す構造を有する比較例の多層磁性シートを作成した。
幅３０ｍｍのＦｅ－Ｃｕ－Ｎｂ－Ｓｉ－Ｂ系のナノ結晶合金である薄帯（日立金属株式会社製ＦＴ－３）である磁性薄帯２０を用いる。磁性薄帯２０を図３に示すように粘着層１０（幅が３２ｍｍ）を介して５層積層し、幅が３２ｍｍ、長さが１００ｍｍの積層基体３００を８個作製する。８個の積層基体３００を用いて、図１６に示す構造を有する比較例の多層磁性シートを作成した。
【0133】
具体的には、２個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを突き合わせて）並べる。並べた積層基体３００を厚さ方向に４層積層して比較例である多層磁性シートを作製した。
【0134】
各実施例と比較例とは、磁性薄帯２０の積層方向の全体の総数が２０層となるように構成されている。また、各実施例と比較例とにおいて、磁性薄帯２０にはクラックが形成されている。各実施例と比較例とにおいて、μ´とＱとを評価した。表１に各実施例のμ´とＱとの評価結果を示す。本開示の実施例によれば、比較例に対し、μ´が３倍以上高く、Ｑが２倍以上大きい。本開示により、優れた磁気特性の多層磁性シート４００が得られることが分かる。
【0135】
【表1】
【0136】
なお、μ´とＱの測定方法は以下のとおりである。
実施例、及び比較例の多層磁性シート４００を外径２０ｍｍ、内径９ｍｍのリング状に打ち抜き、評価用サンプルとした。評価用サンプルは、多層磁性シート４００における多層磁性シート３００を２個並べた境界部分がリング状のおおよそ直径部分になるように打ち抜いた。評価用サンプルを用い、インピーダンス（Ｚ）と直列等価回路のインダクタンス（ＬＳ）をインピーダンスアナライザ（キーサイト・テクノロジー社製Ｅ４９９０Ａ、測定治具：１６４５４Ａ）にて、ＯＳＣレベルを０．０３Ｖとし、２５℃の温度で８４ｋＨｚの周波数で測定し、以下の式に基づいて算出する。
μ´＝２π×ＬＳ／（μ０×ｔ×ｎ×ｌｎ（ＯＤ／ＩＤ））
Ｚ：インピーダンスの絶対値
ｔ：薄帯厚み（ｍ）
ｎ：層数
μ０：真空透磁率（４×π×１０－７Ｈ／ｍ）
ＯＤ：外径（ｍ）
ＩＤ：内径（ｍ）
Ｑ＝μ´／μ´´
実施例、及び比較例の多層磁性シート４００を外径２０ｍｍ、内径９ｍｍのリング状に打ち抜き、評価用サンプルとした。評価用サンプルは、多層磁性シート４００における多層磁性シート３００を２個並べた境界部分がリング状のおおよそ直径部分になるように打ち抜いた。評価用サンプルを用い、インピーダンス（Ｚ）と直列等価回路のインダクタンス（ＬＳ）をインピーダンスアナライザ（キーサイト・テクノロジー社製Ｅ４９９０Ａ、測定治具：１６４５４Ａ）にて、ＯＳＣレベルを０．０３Ｖとし、２５℃の温度で８４ｋＨｚの周波数で測定し、以下の式に基づいて算出する。
μ´＝２π×ＬＳ／（μ０×ｔ×ｎ×ｌｎ（ＯＤ／ＩＤ））
Ｚ：インピーダンスの絶対値
ｔ：薄帯厚み（ｍ）
ｎ：層数
μ０：真空透磁率（４×π×１０－７Ｈ／ｍ）
ＯＤ：外径（ｍ）
ＩＤ：内径（ｍ）
Ｑ＝μ´／μ´´
【0137】
【数1】
ｆ：周波数（Ｈｚ）
【0138】
図１７から図２０に、実施例４から実施例７の多層磁性シート４００の構成を示す。
実施例４の多層磁性シート４００は、図１７に示すように、磁性薄帯２０の総数が１０層の積層基体３００を４つ有する。実施例４の多層磁性シート４００は、２個の積層基体３００の長辺部分を重ね合わせ、重ね合わせた積層基体３００を厚さ方向に２層積層した構造を有する。
実施例４の多層磁性シート４００は、図１７に示すように、磁性薄帯２０の総数が１０層の積層基体３００を４つ有する。実施例４の多層磁性シート４００は、２個の積層基体３００の長辺部分を重ね合わせ、重ね合わせた積層基体３００を厚さ方向に２層積層した構造を有する。
【0139】
実施例５の多層磁性シート４００は、図１８に示すように、磁性薄帯２０の総数が５層の積層基体３００を４つ有する。さらに、積層基体３００とは別に２０個の磁性薄帯２０を有する。
【0140】
１層目（図１８の一番下の層）から１０層目（図１８の下から１０番目の層）では、２個の磁性薄帯２０は重ねないで（言い換えると、長辺を付き合わせて）並べられる。１層目から１０層目までの磁性薄帯２０は、互いの長辺の位置がずらして配置されている。１層目から５層目まで、長辺部分の位置を同じ方向にずらし、６層目から１０層目までを１層目から５層目までと同様な位置関係で繰り返している。そして、１１層目（図１８の下から１１番目の層）から上に、４つの積層基体３００を積層し、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置され、それを２層積層している。
【0141】
実施例６の多層磁性シート４００は、図１９に示すように、磁性薄帯２０の総数が５層の積層基体３００を４つ有する。さらに、積層基体３００とは別に２５個の磁性薄帯２０を有する。
【0142】
１，３，５，７，９層目（図１９の一番下の層、下から３，５，７，９番目の層）において、３個の磁性薄帯２０は重ねられないで（言い換えると、長辺を付き合わせて）並べられている。２，４，６，８，１０層目（図１９の下から２，４，６，８，１０番目の層）において、２個の磁性薄帯２０は重ねられないで（言い換えると、長辺を付き合わせて）並べられている。奇数層目の磁性薄帯２０と偶数層目の磁性薄帯２０とは、互いの長辺の位置がずらして配置されている。ずらす量は磁性薄帯２０の幅の半分程度とされる。１１層目（図１９の下から１１番目の層）から上に、４つの積層基体３００を積層し、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置され、それを２層積層している。
【0143】
実施例７の多層磁性シート４００は、図２０に示すように、磁性薄帯２０の総数が１０層の積層基体３００を４つ有する。１層目（図２０の一番下の層）では、２個の積層基体３００は重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを付き合わせて）並べられている。２層目（図２０の下から２番目の層）では、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置されている。
【0144】
実施例８の多層磁性シート４００は、図２１に示すように、磁性薄帯２０の総数が５層の積層基体３００を８つ有する。１層目（図２１の一番下の層）では、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置されている。２層目（図２１の下から２番目の層）および３層目（図２１の下から３番目の層）では、２個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを突き合わせて）並べる。並べた積層基体３００を厚さ方向に２層積層する。厚さ方向から見て、２層目の積層基体３００と３層目の積層基体３００とは、互いの長辺３００Ｌの位置がずらして配置されている。そして、４層目（図２１の一番上の層）では、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置されている。
【0145】
実施例９の多層磁性シート４００は、図２２に示すように、磁性薄帯２０の総数が５層の積層基体３００を８つ有する。１層目（図２１の一番下の層）では、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置されている。２層目（図２１の下から２番目の層）および３層目（図２１の下から３番目の層）では、２個の積層基体３００を重ねないで（言い換えると、長辺３００Ｌを突き合わせて）並べる。並べた積層基体３００を厚さ方向に２層積層する。厚さ方向から見て、２層目の積層基体３００と３層目の積層基体３００とは、互いの長辺３００Ｌの位置が同じに配置されている。そして、４層目（図２１の一番上の層）では、２個の積層基体３００は長辺部分を重ね合わせて配置されている。実施例８と比較すると、１層目の長辺部分の重ね合わせ方が異なっており、２層目および３層目の長辺３００Ｌの位置を変えている。実施例８，９の構成によれば、長辺部分の重ね合わせによる多層磁性シートの厚さの変化を積層方向の上側と下側とに分散することができる。
【0146】
この実施例４から９においても、μ´が高く、Ｑが大きい多層磁性シートが得られる。実施例１から９は、多層磁性シートの部分的な構造を示しており、多層磁性シートの大きさ（磁性薄帯の積層数や、板形状に並べる数）に応じて、種々の構成の組み合わせが可能である。
【0147】
図４に示す多層磁性シート４００において、第１積層端部４０１および第２積層端部４０２に配置された積層基体３００には、それぞれ１層の樹脂シート１５が積層されている。言い換えると、多層磁性シート４００には、合計で２層の樹脂シート１５が設けられている。樹脂シート１５は、最外層の粘着層１０に接着されている。
この樹脂シートは、磁性薄帯２０を保護することや、積層基体３００の長辺部分を重ねることにより形成される異形部をカバーし、平坦性を向上させることができる。
また、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２には樹脂シート１５が積層されていなくてもよい。磁性薄帯２０が露出していてもよいし、例えば、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２に、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯、もしくは、他の磁性材や、アルミニウム等の金属箔、並びに樹脂シート等を貼り付けてもよい。
この樹脂シートは、磁性薄帯２０を保護することや、積層基体３００の長辺部分を重ねることにより形成される異形部をカバーし、平坦性を向上させることができる。
また、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２には樹脂シート１５が積層されていなくてもよい。磁性薄帯２０が露出していてもよいし、例えば、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２に、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯、もしくは、他の磁性材や、アルミニウム等の金属箔、並びに樹脂シート等を貼り付けてもよい。
【0148】
上記の構成の多層磁性シート４００によれば、磁性薄帯２０が積層された複数の積層基体３００を板形状に並べ、かつ、厚さ方向に積み重ねた幅広で多層の多層磁性シート４００が構成される。複数の積層基体３００を板形状に並べ、かつ、複数の板形状の積層基体３００を厚さ方向に積み重ねるため、磁性薄帯２０を並べて積層させる構成と比較して、工数が多大となりにくい。
【0149】
また、隣り合う積層基体３００の間で、長辺部分が互いに重なり合っている。言い換えると、積層された方向から見て、積層基体３００の間の隙間（磁気ギャップ）が揃わない（連続しないとも表記する。）。積層された方向から見て、磁気ギャップが連続しないため、多層磁性シート４００における磁気特性の悪化を防ぎ、μ´が高く、Ｑが大きい多層磁性シート４００が得られやすい。
【0150】
多層磁性シート４００の幅が１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、長さが１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下とすることにより、多層磁性シート４００を所望の大きさに形成することができる。
【0151】
磁性薄帯２０をアモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯とすることにより、磁性薄帯２０を軟磁性薄帯とすることが可能となる。また、合金を用いて磁性薄帯２０を形成することができる。
【0152】
磁性薄帯２０に複数の小片２２を含ませることにより、多層磁性シート４００の特性を向上させやすくなる。具体的には、多層磁性シート４００をインダクタ用磁性体として用いる場合にＱ値の向上を図りやすくなる。また、多層磁性シート４００を磁気シールド用磁性体として用いる場合には、磁性薄帯２０の電流路を分断して渦電流損を低減しやすくなる。
【0153】
隣接する磁性薄帯２０の間に粘着層１０を設けることにより、隣接する磁性薄帯２０を粘着層１０により保持することができる。
【0154】
隣接する磁性薄帯２０の間に２層の粘着層１０を設けることにより、複数の板形状の積層基体３００を厚さ方向に積み重ねやすくなる。
【0155】
第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２に樹脂シート１５を設けることにより、製造された多層磁性シート４００を保護しやすくなる。例えば、製造した後の多層磁性シート４００を搬送する際に、粘着層１０や磁性薄帯２０が損傷することを防ぎやすい。また、長辺部分の重ね合わせによる異形状態を緩和させることができる。
また、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２に、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯、もしくは、他の磁性材や、アルミニウム等の金属箔、並びに樹脂シート等を貼り付けてもよい。
また、第１積層端部４０１又は第２積層端部４０２に、アモルファス合金薄帯、又は、ナノ結晶合金薄帯、もしくは、他の磁性材や、アルミニウム等の金属箔、並びに樹脂シート等を貼り付けてもよい。
【0156】
粘着層１０における粘着剤１２が設けられた領域の幅Ａが、磁性薄帯２０の幅Ｂよりも広くなる。粘着層１０に磁性薄帯２０を貼り付ける際に、粘着層１０や磁性薄帯２０に蛇行が生じても、磁性薄帯２０の全面に粘着層１０の粘着剤１２が配置されやすくなる。
【0157】
幅Ａから幅Ｂを引いた値を０．２ｍｍ以上とすることにより、粘着層１０に磁性薄帯２０を貼り付ける際に、磁性薄帯２０に粘着剤１２が配置されない部分の発生を防ぎやすい。幅Ａから幅Ｂを引いた値を３ｍｍ以下とすることにより、磁性シート１００における磁性薄帯２０が配置されていない部分が大きくなることを防ぎやすい。
【0158】
なお、本開示の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、本開示に係る多層磁性シート４００は、誘導素子などとして使用することができる。
【符号の説明】
【0159】
１０…粘着層、 １１…支持体、 １１Ａ…第１面、 １１Ｂ…第２面、 １２…粘着剤、 １５…樹脂シート、 ２０…磁性薄帯、 ２２…小片、 ３００…積層基体、 ３００Ｌ…長辺、 ３００Ｓ…短辺、 ４００…多層磁性シート、 ４０１…第１積層端部、 ４０２…第２積層端部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】