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特開2023-155361接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023155361
(43)【公開日】2023-10-20
(54)【発明の名称】接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/16 20060101AFI20231013BHJP
【ＦＩ】
B41J2/16 503
【審査請求】有
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023138946
(22)【出願日】2023-08-29
(62)【分割の表示】P 2019134194の分割
【原出願日】2019-07-20
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】230100631
【弁護士】
【氏名又は名称】稲元 富保
(72)【発明者】
【氏名】三輪 圭史
(57)【要約】
【課題】接合状態を容易に評価できる接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置を提供する。
【解決手段】接合部材１００を構成するアクチュエータ基板２には、保持基板５０の対向面部構造体２０４に対向する面部構造体１１５が設けられ、面部構造体１１５は、第１の面部１１５ａを有し、第１の面部１１５ａは、アクチュエータ基板２の保持基板５０の接合面５９との接合面２９よりも低く、保持基板５０の対向面部構造体２０４には、第１の面部１１５ａの一部に対向して開口し、第１の面部の面積よりも断面積が狭い貫通穴２０７が設けられている。
【選択図】図１４
【解決手段】接合部材１００を構成するアクチュエータ基板２には、保持基板５０の対向面部構造体２０４に対向する面部構造体１１５が設けられ、面部構造体１１５は、第１の面部１１５ａを有し、第１の面部１１５ａは、アクチュエータ基板２の保持基板５０の接合面５９との接合面２９よりも低く、保持基板５０の対向面部構造体２０４には、第１の面部１１５ａの一部に対向して開口し、第１の面部の面積よりも断面積が狭い貫通穴２０７が設けられている。
【選択図】図１４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１部材と第２部材とが接着剤で接合された接合部材であって、
前記第１部材には、前記第２部材との接合面の高さよりも低い第１の面部が設けられ、
前記第２部材には、前記第１の面部の一部に対向して開口し、前記第１の面部の面積より断面積が狭い貫通穴が設けられている
ことを特徴とする接合部材。
前記第１部材には、前記第２部材との接合面の高さよりも低い第１の面部が設けられ、
前記第２部材には、前記第１の面部の一部に対向して開口し、前記第１の面部の面積より断面積が狭い貫通穴が設けられている
ことを特徴とする接合部材。
【請求項2】
前記第１部材には、前記第１の面部の高さよりも低い第２の面部が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項１に記載の接合部材。
【請求項3】
前記第１部材には、前記第１の面部よりも低く、前記第２の面部よりも高い第３の面部が設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項２に記載の接合部材。
【請求項4】
前記第１部材には、前記第２部材との接合面の高さと同じ高さの第４の面部が設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合部材。
【請求項5】
前記第２部材には、前記接着剤が付与され、前記第１部材の前記面部に対向する対向面部が設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の接合部材。
【請求項6】
前記第２部材の前記対向面部は、前記第１部材との接合面の高さと同じ高さである
ことを特徴とする請求項５に記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項５に記載の接合部材。
【請求項7】
前記第２部材は、前記第１部材の前記面部毎に対応する前記対向面部を有し、
前記対向面部は、相互に架橋部で架橋されている
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の接合部材。
前記対向面部は、相互に架橋部で架橋されている
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の接合部材。
【請求項8】
前記第２部材の前記対向面部の周囲の少なくとも一部には前記対向面部よりも低い部分が設けられている
ことを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の接合部材。
ことを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の接合部材。
【請求項9】
請求項１ないしの８いずれかに記載の接合部材を含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項10】
請求項９に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項11】
請求項９に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１０に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は接合部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば、液体吐出ヘッドとして、ノズル板、流路板、壁面部材、保持基板（保護部材）、共通流路部材などを接着剤で接合した接合部材（貼り合わせ部材）を含んで構成するものがある。
【0003】
従来、複数の電気機械変換素子が設けられた基板上に接着剤で保持基板をするとき、保持基板に、接着剤によって基板上に接着される接着状態確認用脚部を設けることが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１８－０６９６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、２つの部材を接着剤で接合した場合、接合状態を容易に判定できることが好ましい。
【0006】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接合状態を容易に判定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するため、本発明に係る接合部材は、
第１部材と第２部材とが接着剤で接合された接合部材であって、
前記第１部材には、前記第２部材との接合面の高さよりも低い第１の面部が設けられ、
前記第２部材には、前記第１の面部の一部に対向して開口し、前記第１の面部の面積より断面積が狭い貫通穴が設けられている
構成とした。
第１部材と第２部材とが接着剤で接合された接合部材であって、
前記第１部材には、前記第２部材との接合面の高さよりも低い第１の面部が設けられ、
前記第２部材には、前記第１の面部の一部に対向して開口し、前記第１の面部の面積より断面積が狭い貫通穴が設けられている
構成とした。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、接合状態を容易に判定できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図2】同じく平面説明図である。
【図3】同じくノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図4】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図5】同実施形態における接合部材の断面説明図である。
【図6】保持基板の平面説明図である。
【図7】保持基板の脚部における接着剤のはみだしの説明に供する説明図である。
【図8】アクチュエータ基板の平面説明図である。
【図9】保持基板の接合面側から見た平面説明図である。
【図10】アクチュエータ基板の面部構造体の平面説明図である。
【図12】保持基板の対向面部構造体の平面説明図である。
【図15】接合部材の接合状態の他の例の説明に供する断面説明図である。
【図16】接合部材の接合状態の他の例の説明に供する断面説明図である。
【図17】接合部材の接合状態の他の例の説明に供する断面説明図である。
【図18】比較例１の断面説明図である。
【図19】本発明の第２実施形態に係る接合部材における保持基板の対向面部構造体に接着剤を付与した状態の平面説明図である。
【図21】本発明の第３実施形態に係る接合部材におけるアクチュエータ基板の面部構造体の平面説明図である。
【図22】同じく面部構造体の断面説明図である。
【図23】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの圧力室部分の断面説明図である。
【図24】本発明の第５実施形態に係る接合部材の断面説明図である。
【図25】本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例の要部平面説明図である。
【図26】同装置の要部側面説明図である。
【図27】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図28】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。図１は同ヘッドの斜視説明図、図２は同じく平面説明図、図３は同じくノズル配列方向に沿う断面説明図、図４は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【0011】
液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０と、流路板２０と、壁面部材である振動板部材３０と、圧力発生素子である圧電素子４０と、保持基板（保護基板、供給経路基板）５０などを備えている。
【0012】
ここで、流路板２０、振動板部材３０及び圧電素子４０で構成される部分がアクチュエータ基板２となる。
【0013】
ノズル板１０には、液体を吐出する複数のノズル１１が形成されている。ここでは、ノズル１１配列したノズル列を２列配置した構成としている。
【0014】
流路板２０は、ノズル板１０及び振動板部材３０とともに、ノズル１１が通じる圧力室２１、圧力室２１に通じる流体抵抗部を兼ねた個別供給流路２２、２以上の個別供給流路２２に通じる中間供給流路２３を形成している。
【0015】
この中間供給流路２３は、振動板部材３０の開口３９を介して、保持基板５０に設けた開口部５１を介して共通流路部材で形成される共通流路に通じている。保持基板５０の開口部５１は、すべての中間供給流路２３に通じて共通流路の一部を構成してもよい。
【0016】
振動板部材３０は、圧力室２１の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３１を形成している。そして、この振動板部材３０の振動領域３１の圧力室２１と反対側の面には、振動領域３１と一体的に圧電素子４０が設けられている。
【0017】
圧電素子４０は、振動領域３１側から下部電極４１、圧電層（圧電体）４２及び上部電極４３を順次積層形成して構成している。この圧電素子４０上には絶縁膜２５が形成されている。
【0018】
複数の圧電素子４０の共通電極となる下部電極４１は共通電極電源配線パターンに接続されている。なお、下部電極４１は、ノズル配列方向ですべての圧電素子４０に跨って形成される１つの電極層である。
【0019】
また、圧電素子４０の個別電極となる上部電極４３は、個別配線４６及び電極パッド４７を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。個別配線４６などは絶縁膜２６によって被覆されている。
【0020】
そして、アクチュエータ基板２の振動板部材３０側には、アクチュエータ基板２上の圧電素子４０を覆っている保持基板５０が接着剤１１４で接合されている。
【0021】
保持基板５０には、共通流路と圧力室２１を通じる流路の一部となる開口部５１と、圧電素子４０を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が設けられている。開口部５１は、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴であり、ここでは共通液室の一部を構成している。
【0022】
この保持基板５０は、圧電素子４０を収容する各凹部５２、５２間の脚部５０ａなどの接合面５９をアクチュエータ基板２の接合面２９に接着剤１１４で接合している。
【0023】
この液体吐出ヘッド１においては、ドライバＩＣ５００から圧電素子４０の上部電極４３と下部電極４１の間に電圧を与えることで、圧電層４２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３１と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域３１の下部電極４１側に引っ張り応力が発生し、振動領域３１が圧力室２１側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル１１から液体が吐出される。
【0024】
次に、本実施形態に係る接合部材を構成するアクチュエータ基板と保持基板の接合と接合状態の確認方法について図５ないし図７を参照して説明する。図５は同接合部材の断面説明図、図６は保持基板の平面説明図、図７は保持基板の脚部における接着剤のはみだしの説明に供する説明図である。
【0025】
接合部材１００は、アクチュエータ基板２に保持基板５０を接合した部材であり、以下の説明において、アクチュエータ基板２を第１部材とし、保持基板５０を第２部材とする。
【0026】
接合部材１００は、保持基板５０に設けられた凹部５２、５２間の脚部５０ａや凹部５３側及び開口部５１側の壁部５０ｂ（図４参照）など接合面５９とアクチュエータ基板２の接合面２９とを接着剤１１４で接合して構成している。このとき接着剤１１４の量が適切であることが重要である。
【0027】
そのため、保持基板５０の接合面５９とアクチュエータ基板２の接合面２９との間を接着する接着剤１１４に関し、接着剤１１４の過剰なはみ出しがあるか否か、接着剤１１４の不足箇所があるか否かなどの接合状態を確認することが求められる。
【0028】
この接合状態は、例えば接着剤１１４のフィレット形状を見ることで判断することが可能である。しかしながら、保持基板５０の圧電素子４０、４０間に位置する脚部５０ａとこれに対向するアクチュエータ基板２の接合面２９との接合箇所については、保持基板５０の存在により外部から視認することができない。
【0029】
このように視認できない接合箇所における接合状態は、例えば、赤外顕微鏡（ＩＲ顕微鏡）を使用して、保持基板５０越しに当該接合箇所を観測するという方法が挙げられる。しかしながら、ＩＲ顕微鏡で観測される画像が不鮮明であるため、接着剤１１４のフィレット形状を確認することまではできない。
【0030】
また、例えば、図７に示すように、接着剤１１４が脚部５０ａの側壁面に沿って移動した場合、ＩＲ顕微鏡で保持基板５０越しに接着剤１１４のフィレット形状を観察しようとしても、側壁面に沿って移動した余剰接着剤１１４Ａのためにフィレット形状を確認することができなない。
【0031】
このように、ＩＲ顕微鏡を使用して、保持基板５０を介して、保持基板５０越しに脚部５０ａの接合面５９と接合面２９との間の接着剤１１４のフィレット形状を確認して接合状態を判断することは容易でない。
【0032】
次に、本実施形態における接合部材１００の接合状態のモニタリングに関わる構成について図８ないし図１３を参照して説明する。図８はアクチュエータ基板の平面説明図、図９は保持基板の接合面側から見た平面説明図、図１０はアクチュエータ基板の面部構造体の平面説明図、図１１は図１０のＡ－Ａ線に沿う断面説明図である。図１２は保持基板の対向面部構造体の平面説明図、図１３は図１２のＣ－Ｃ線に沿う断面説明図、図１４は図１０のＡ－Ａ線及び図１２のＢ－Ｂ線に相当する接合部材の断面説明図である。
【0033】
前述したように、アクチュエータ基板２を第１部材とし、保持基板５０を第２部材とする接合部材１００で説明する。なお、アクチュエータ基板２及び保持基板５０は、例えば、シリコンウェハを使用して複数個を面取りして作製し、ウェハの段階で接着剤１１４の付与を行って接合した後、分割するが、これに限定されるものではない。したがって、ここでは、アクチュエータ基板２と保持基板５０との単位で説明し、ウェハによる多数個取りと関係するときにはその旨を追記する。
【0034】
第１部材であるアクチュエータ基板２には、第２部材である保持基板５０の接合面５９を接着剤１１４で接合する面側に、面部構造体１１５が設けられている。一方、保持基板５０には、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５に対応して対向面部構造体２０４が設けられ、対向面部構造体２０４を貫通する貫通穴２０７が形成されている。
【0035】
ここで、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５は、第１の面部１１５ａ、第２の面部１１５ｂ、第３の面部１１５ｃ、第４の面部１１５ｄと、囲い部１１５ｅとを有している。これらの第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５は、保持基板５０に対向する面の高さ方向の位置が異なっている。
【0036】
第１の面部１１５ａは、アクチュエータ基板２の保持基板５０の接合面５９との接合面２９よりも低い。第２の面部１１５ｂは、第１の面部１１５ａよりも低い。第３の面部１１５ｃは、第１の面部１１５ａよりも低く、第２の面部１１５ｂよりも高い。
【0037】
第４の面部１１５ｄは、アクチュエータ基板２の保持基板５０の脚部５０ａとの接合面２９と同じ高さである。囲い部１１５ｅも、接合面２９と同じ高さである。
【0038】
例えば、第４の面部１１５ｄ及び囲い部１１５ｅの高さは４μｍ（接合面２９の高さと同じ）、第１面部１１５ａの高さは３μｍであり、第２面部１１５ｂの高さは１μｍであり、第３面部１１５ｃの高さは２μｍである。
【0039】
なお、本実施形態の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄの並び順序は、本実施形態に限定されるものではない。また、第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄは、独立した凸部の先端面としているが、高さが異なれば、第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄを一体の凸部で形成することもできる。
【0040】
また、囲い部１１５ｅは、接合面であり、接着剤１１４によって、保持基板５０の対向面部構造体２０４の囲い部２０４ｅと接合される。この囲い部１１５ｅの高さは、第４の面部１１５ｄの高さと同じであり、第４の面部１１５ｄと同様の機能を果たすことが可能である。
【0041】
保持基板５０の対向面部構造体２０４は、接着剤１１４により、アクチュエータ基板２の構造体１１５上の第１面部１１５ａ～第４面部１１５ｄにそれぞれ対向する対向面部である第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄが同じ高さ平面で構成されている。第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄは接合面５９と同じ高さである。
【0042】
第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄの周囲の少なくとも一部は、当該第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄよりも高さの低い部分を形成する凹部２０４ｆを設けている。
【0043】
また、本実施形態においては、各幅広部２０４ａ～２０４ｄの間、並びに、第１幅広部２０４ａと囲い部２０４ｅとの間、及び、第２幅広部２０４ｂと囲い部２０４ｅとの間には、狭窄部である架橋部２０４ｇを設けて架橋している。
【0044】
さらに、保持基板５０には、第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄに、第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄのそれぞれに対向する開口を有する貫通穴２０７を形成している。貫通穴２０７は、対向面部構造体２０４を含めて保持基板５０を厚み方向に貫通する。
【0045】
本実施形態では、アクチュエータ基板２と保持基板５０とを貼り合わせるための接着剤１１４は、例えば、フレキソ印刷により、保持基板５０に薄膜転写することにより付与される。
【0046】
本実施形態の対向面部構造体２０４は、凹部２０４ｆ以外の第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄ、架橋部２０４ｇ、囲い部２０４ｅは、いずれも同じ高さであり、接着剤１１４が付与される。一方、凹部２０４ｆ及び貫通穴２０７には接着剤１１４が付与されない。
【0047】
なお、本実施形態において、架橋部２０４ｇを設けているのは、第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄを補強するためである。架橋部２０４ｇを設けることで、幅広部が孤立して存在するより場合も強度が向上し、ウェハ単位で接着剤１１４をフレキソ印刷により薄膜転写するときに幅広部の破損を防ぐことができる。
【0048】
また、本実施形態において、第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄの周囲に凹部２０４ｆを形成しているのは、アクチュエータ基板２と保持基板５０とを接合したとき、保持基板５０の対向面部構造体２０４に付与された余分な接着剤１１４が凹部２０４ｆへ逃げられるようにするためである。
【0049】
このような凹部２０４ｆを設けずに保持基板５０の対向面部構造体２０４の全域を一様な平面で形成してもよいが、この場合、余分な接着剤１１４が、面方向へ移動して、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５における４つの第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄのうち、本来は接着剤１１４が接触しないはずの面部に向かってしまい、接着状態の評価を正確に行うことができないおそれが生じる。
【0050】
本実施形態のように凹部２０４ｆを設けることで、このような事態が生じるのを抑制することができ、より正確に接合状態（接着状態）を評価することができるようになる。
【0051】
次に、アクチュエータ基板２と保持基板５０の接合状態の評価について説明する。
【0052】
アクチュエータ基板２と保持基板５０とを接着剤１１４で接合し、保持基板５０側からＩＲ顕微鏡６００などを使用して、アクチュエータ基板２の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄに接着剤１１４が付与されているかを確認することができる。
【0053】
つまり、第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄのいずれまで接着剤１１４で保持基板５０の対向面部構造体２０４と接合されている（接触している）かを確認することで、接合状態の適否、例えば、接着剤１１４が不足状態、過多状態である、接着が適切である、というような評価を行うことができる。
【0054】
なお、保持基板５０がシリコン基板のように赤外光を透過する光透過性を有することで保持基板５０を透過させて観察することができる。
【0055】
例えば、図１４に示す例では、面部構造体１１５のうち、アクチュエータ基板２の接合面２９と同じ高さの第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅが対向面部構造体２０４の接合面５９と同じ高さの第４幅広部２０４ｄ、囲い部２０４ｅと接着剤１１４で接合されている。さらに、第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅよりも低い第１の面部１１５ａが第１幅広部２０４ａと接着剤１１４で接合されている。
【0056】
一方、第１の面部１１５ａの次に低い第３の面部１１５ｃは接着剤１１４で第３幅広部２０４ｃと接合されておらず、その次に低い第２面部１１５ｂも接着剤１１４で第２幅広部２０４ｂと接合されていない。これにより、少なくとも所定の潰し量ε（例えば１μｍ）が得られていることが確認できる。
【0057】
ここでいう潰し量εとは、アクチュエータ基板２と保持基板５０とを接合したとき、保持基板５０の対向面部構造体２０４の囲い部２０４ｅに付着する接着剤１１４がアクチュエータ基板２の面部構造体１１５の囲い部１１５ｅによって潰された量（潰された高さ）を意味する。
【0058】
アクチュエータ基板２の面部構造体１１５の囲い部１１５ｅの高さは、アクチュエータ基板２の接合面２９と同じ高さであり、保持基板５０の対向面部構造体２０４の囲い部２０４ｅの高さは接合面５９の高さと同じである。したがって、前記潰し量εは、接合面２９と接合面５９との接合部分における接着剤１１４の潰し量εに相当する。
【0059】
例えば、接着剤１１４の目標厚みを平均で３μｍとし、潰し量εが１μｍ以上であるときに、アクチュエータ基板２の接合面２９と保持基板５０の接合面５９との間に隙間がなく、接着不足ではないと評価するものとする。
【0060】
そうすると、上記の図１４の例では、前述したように、少なくとも所定の潰し量ε（例えば１μｍ）が得られているので、接着不足ではない状態であると評価される。
【0061】
つまり、少なくとも、アクチュエータ基板２の第１の面部１１５ａが第２部材である保持基板５０側に接着剤１１４で接合されているときには、接合部材１００は接合不足ではない状態にある。
【0062】
ここで、本実施形態では、第２部材である保持基板５０の対向面部構造体２０４の第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄに、第１部材であるアクチュエータ基板２の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄに開口する貫通穴２０７をそれぞれ設けている。
【0063】
これにより、アクチュエータ基板２と保持基板５０とを接合するとき、貫通穴２０７から接着剤１１４中のボイド（気泡）が抜けるので、ＩＲ顕微鏡６００で観察するとき、鮮明な画像が得られる。その結果、接合状態の確認の信頼性が向上する。
【0064】
つまり、図１８に示す比較例１のように、貫通穴２０７を設けない構成にあっては、接着剤１１４のボイドが抜けないので、ＩＲ顕微鏡６００で観察するとき、鮮明な画像が得られない。
【0065】
また、実際に封止が必要な振動板部材３０の開口３９周りも、開口３９によって接着剤１１４中のボイドが逃げることができ、赤外線顕微鏡で封止状態を確認したときにボイドはなく鮮明な画像が得られる。実際に封止が必要な箇所の構造と、上記接合モニタの構造を同じにすることで、より鮮明な画像が得られるようになり、検査信頼性をあげることができる。
【0066】
なお、接着剤１１４は、その種類によっては保持基板５０への塗布後に波打った形状になる場合がある。例えば、接着剤１１４の厚みが平均で３μｍであったとしても、実際は２．５μｍ以上３．５μｍ以下の範囲内で厚みのばらつきが生じることがある。このような場合でも、１μｍ以上の潰し量が得られていれば、接着剤１１４の厚みが最も薄い２．５μｍの箇所でも、０．５μｍ以上の潰し量が確保され、接着の不足状態を回避することができる。また、波打った形状部分に気泡が噛み込んでも、貫通穴から気泡が排出され鮮明な接着状態の判別が可能になる。なお、潰し量εの閾値は、接着剤の種類、接着剤の付与方法などに応じて設定される。
【0067】
【0068】
図１５に示す接合状態は、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５のうち、アクチュエータ基板２の接合面２９と同じ高さの第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅが対向面部構造体２０４の接合面５９と同じ高さの第４幅広部２０４ｄ、囲い部２０４ｅと接着剤１１４で接合されている。
【0069】
さらに、第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅよりも低い第１の面部１１５ａが第１幅広部２０４ａと接着剤１１４で接合され、第１の面部１１５ａの次に低い第３の面部１１５ｃも接着剤１１４で第３幅広部２０４ｃと接合されている。しかしながら、第３の面部１１５ｃの次に低い第２面部１１５ｂは接着剤１１４で第２幅広部２０４ｂと接合されていない。
【0070】
そこで、このような接合状態は、例えば良好であると評価することができる。
【0071】
これに対し、図１６に示す接合状態は、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５のうち、アクチュエータ基板２の接合面２９と同じ高さの第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅが対向面部構造体２０４の接合面５９と同じ高さの第４幅広部２０４ｄ、囲い部２０４ｅと接着剤１１４で接合されている。
【0072】
しかしながら、第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅよりも低い第１の面部１１５ａ～第３の面部１１５ｃは、いずれも、接着剤１１４で第１幅広部２０４ａ～第３幅広部２０４ｃと接合されていない。
【0073】
そこで、このような接合状態は、接着剤が不足しているとして不良であると評価することができる。
【0074】
また、図１７に示す接合状態は、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅのすべてが、接着剤１１４で、第１幅広部２０４ａ～第４幅広部２０４ｄ、囲い部２０４ｅに接合されている。
【0075】
そこで、このような接合状態は、接着剤が過多であるとして不良と評価することができる。
【0076】
次に、本発明の第２実施形態に係る接合部材について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同実施形態における保持基板の対向面部構造体に接着剤を付与した状態の平面説明図、図２０は同じく図１９のＤ－Ｄ線に沿う断面説明図である。
【0077】
本実施形態では、保持基板の対向面部構造体２０４は、接合面５９と同じ高さの一つの対向面２０４ｈとしている。
【0078】
そして、対向面部構造体２０４の対向面２０４ｈに接着剤１１４を付与するとき、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅとほぼ同じ形状を有する第１の形状部１１４ａ～第４形状部１１４ｄ、囲い部１１４ｅと、架橋形状部１１４ｇにパターニングする。
【0079】
これにより、前述した第１実施形態における凹部２０４ｆを設けないでも、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５における４つの第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄのうち、接着剤１１４が本来は接触しないはずの面部に向かうことがなくなる。
【0080】
したがって、フレキソ印刷で接着剤を扶養する場合のように、接着剤がはみ出すことで接合状態の評価を正確に行うことができなくなるおそれは生じない。
【0081】
【0082】
本実施形態では、アクチュエータ基板２の面部構造体１１５は、アクチュエータ基板２の他の構成要素と同じ材料で構成している。これにより、面部構造体１１５の第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅをアクチュエータ基板２の圧電素子等を形成する成膜工程で簡単に作成することができる。
【0083】
本実施形態では、振動板部材３０は、流路板２０側からＳｉＯ２膜３０ａとＳｉ層３０ｂとＳｉＯ２膜３０ｃの三層構造を有している。また、絶縁膜２５は、Ａｌ２Ｏ３膜２５ａと、ＳｉＮ膜２５ｂとからなる２層構造である。配線膜４６ＡはＡｌの単層である。絶縁膜２６はＳｉＮの単層である。
【0084】
第４の面部１１５ｄ及び囲い部１１５ｅは、振動板部材３０と、２層構造の絶縁膜２５と、引き出し配線４６の配線膜４６Ａと、絶縁膜２６とを積層した構造体である。
【0085】
第２の面部１１５ｂは、３層構造の振動板部材３０のうちのＳｉＯ２膜３０ａとＳｉ層３０ｂとを積層した構造体である。第２の面部１１５ｂは、第４の面部１１５ｄ及び囲い部１１５ｅよりも、振動板部材３０のうちのＳｉＯ２膜３０ｃと、絶縁膜２５と、配線膜４６Ａと、絶縁膜２６との層厚分だけ高さが低い。
【0086】
第１の面部１１５ａは、振動板部材３０と、絶縁膜２５と、配線膜４６Ａとを積層した構造体である。第１の面部１１５ａは、第４の面部１１５ｄ及び囲い部１１５ｅよりも、絶縁膜２６の層厚分だけ高さが低い。
【0087】
第３の面部１１５ｃは、振動板部材３０と、絶縁膜２５と、絶縁膜２６とを積層した構造体である。第３の面部１１５ｃは、第４の面部１１５ｄ及び囲い部１１５ｅよりも、絶縁膜２２と、配線膜４６Ａの一部の層厚分だけ高さが低い。
【0088】
また、本実施形態では、第１の面部１１５ａ～第４の面部１１５ｄ、囲い部１１５ｅは相互に架橋部１１５ｇによって架橋されている。
【0089】
【0090】
本実施形態では、圧電素子４０を構成する下部電極４１を個別電極とし、上部電極４３を共通電極としている。
【0091】
【0092】
本実施形態では、保持基板５０の対向面部構造体２０４を構成する囲い部２０４ａにも貫通穴２０７を設けている。
【0093】
これにより、囲い部２０４を接合する接着剤１１４のボイドを逃がすことができる。
【0094】
なお、上記各実施形態においては、接合部材が液体吐出ヘッドのアクチュエータ基板と保持基板とを接合した部材である例で説明したが、液体吐出ヘッド以外の部材であっても
【0095】
【0096】
この印刷装置４００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【0097】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０のヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【0098】
この印刷装置４００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【0099】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着してヘッド１に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【0100】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【0101】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【0102】
維持回復機構４２０は、例えばヘッド１のノズル面をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【0103】
主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【0104】
このように構成したこの印刷装置４００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【0105】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じてヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
する。
【0106】
【0107】
この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、ヘッド１で構成されている。
【0108】
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【0109】
【0110】
この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられたヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【0111】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【0112】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【0113】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【0114】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【0115】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【0116】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【0117】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【0118】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【0119】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【0120】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【0121】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【0122】
なお、ここでは、「液体吐出ユニット」について、液体吐出ヘッドとの組み合わせで説明しているが、「液体吐出ユニット」には上述した液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールやヘッドユニットと上述したような機能部品、機構が一体化したものも含まれる。
【0123】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【0124】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【0125】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【0126】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【0127】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【0128】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【0129】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【0130】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【0131】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【0132】
１ 液体吐出ヘッド
２ アクチュエータ基板（第１部材）
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
２９ 接合面
３０ 振動板部材
５０ 保持基板（第２部材）
５９ 接合面
１００ 接合部材
１１４ 接着剤
１１５ 面部構造体
１１５ａ～１１５ｄ 第１の面部～第４の面部
２０４ 対向面部構造体
２０４ａ～２０４ｄ 第１幅広部～第４幅広部
２０７ 貫通穴
４００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
２ アクチュエータ基板（第１部材）
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
２９ 接合面
３０ 振動板部材
５０ 保持基板（第２部材）
５９ 接合面
１００ 接合部材
１１４ 接着剤
１１５ 面部構造体
１１５ａ～１１５ｄ 第１の面部～第４の面部
２０４ 対向面部構造体
２０４ａ～２０４ｄ 第１幅広部～第４幅広部
２０７ 貫通穴
４００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】