特開2023-157895顕微鏡検査システムにおける干渉補償

発明の名称　顕微鏡検査システムにおける干渉補償

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 495 位（52件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 580 位（35件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-157895

公報発行日　2023年10月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-157895

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