特開2023-159957静電チャック及びその製造方法

発明の名称　静電チャック及びその製造方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 804 位（28件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 512 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-159957

公報発行日　2023年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-159957

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