特開 2023-160100 液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023160100

(43)【公開日】2023-11-02

(54)【発明の名称】液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20231026BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20231026BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20231026BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20231026BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20231026BHJP

   B41J 2/17 20060101ALI20231026BHJP

【ＦＩ】

B05C5/00 101

B05C11/10

B05C11/00

B05D1/26 Z

B05D3/00 A

B05D3/00 D

B41J2/17 101

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022070186

(22)【出願日】2022-04-21

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 一仁

(72)【発明者】

【氏名】林 輝幸

(72)【発明者】

【氏名】三根 陽介

【テーマコード（参考）】

2C056

4D075

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2C056EA14

2C056EA15

2C056EC08

2C056EC54

2C056FA04

2C056FA15

2C056FB02

2C056FB05

2C056FD10

2C056FD20

2C056HA58

2C056JC11

2C056JC13

4D075AC06

4D075AC09

4D075AC84

4D075AC88

4D075AC93

4D075AC95

4D075BB56Y

4D075CA47

4D075CA48

4D075DA06

4D075EA05

4D075EA33

4F041AA02

4F041AA05

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA23

4F042AA02

4F042AA06

4F042AB00

4F042BA08

4F042DE01

4F042DE06

4F042DH01

(57)【要約】

【課題】乾燥による吐出不良を抑制する。
【解決手段】本開示による液滴吐出装置は、ステージと、吐出ヘッドと、移動部と、フラッシング部とを備える。吐出ヘッドは、機能液を吐出する複数のノズルを有し、ノズルからステージの上に位置する基板に対して機能液を吐出する。移動部は、ステージの上に位置する基板と吐出ヘッドとを相対移動させる。フラッシング部は、移動部による相対移動中において吐出ヘッドが基板の上方に位置する前に吐出ヘッドから吐出された機能液を受ける。フラッシング部は、機能液を受けるパッドと、パッドによって受け止められた機能液を排出する排液管とを備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ステージと、
機能液を吐出する複数のノズルを有し、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する吐出ヘッドと、
前記ステージの上に位置する前記基板と前記吐出ヘッドとを相対移動させる移動部と、
前記移動部による相対移動中において前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と
を備え、
前記フラッシング部は、
前記機能液を受けるパッドと、
前記パッドによって受け止められた前記機能液を排出する排液管と
を備える、液滴吐出装置。

【請求項2】

前記フラッシング部は、
前記排液管に接続され、前記パッドによって受け止められた前記機能液を負圧を利用して前記排液管に引き込む吸引部
を備える、請求項１に記載の液滴吐出装置。

【請求項3】

ステージと、
機能液を吐出する複数のノズルを有し、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する吐出ヘッドと、
前記ステージの上に位置する前記基板と前記吐出ヘッドとを相対移動させる移動部と、
前記移動部による相対移動中において前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と
を備え、
前記フラッシング部は、前記機能液を受けるパッドを備え、
前記移動部による相対移動の方向における前記パッドの幅は、０．５ｍｍ以上である、液滴吐出装置。

【請求項4】

ステージと、
機能液を吐出する複数のノズルを有し、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する吐出ヘッドと、
前記ステージの上に位置する前記基板と前記吐出ヘッドとを相対移動させる移動部と、
前記移動部による相対移動中において前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液を受けるフラッシング部と
を備え、
前記フラッシング部は、前記機能液を受けるパッドを備え、
前記パッドは、多孔質体または網状体である、液滴吐出装置。

【請求項5】

前記パッドは、多孔質樹脂、金属多孔質体または多孔質セラミックスである、請求項４に記載の液滴吐出装置。

【請求項6】

前記フラッシング部は、前記相対移動の方向における前記基板の両端部側に位置する、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項7】

前記フラッシング部は、前記相対移動の方向に並べられた複数の前記パッドを備える、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項8】

複数の前記パッドは、それぞれ異なる種類の機能液を受ける、請求項７に記載の液滴吐出装置。

【請求項9】

前記フラッシング部は、前記パッドを収容するケーシングを備え、
前記ケーシングは、前記パッドの上方かつ平面視において前記パッドと重なる位置にパッド抑え部を備える、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項10】

前記フラッシング部は、
前記パッドを収容するケーシングと、
前記ケーシングの長手方向に沿って複数設けられ、前記ケーシングの高さを調整する高さ調整機構と
を備える、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項11】

前記フラッシング部は、
前記相対移動の方向と直交する方向に並べられた複数の前記パッドを備える、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項12】

前記フラッシング部は、前記パッドを収容するケーシングを備え、
前記ケーシングの下方に、前記ケーシングから漏洩した前記機能液を検知する漏液センサを備える、請求項１～５のいずれか一つに記載の液滴吐出装置。

【請求項13】

ステージの上に位置する基板と、機能液を吐出する複数のノズルを有する吐出ヘッドとを相対移動させる工程と、
前記相対移動させる工程において、前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液をフラッシング部を用いて受ける工程と、
前記相対移動させる工程中かつ前記受ける工程の後に、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する工程と
を含み、
前記フラッシング部は、
前記機能液を受けるパッドと、
前記パッドによって受け止められた前記機能液を排出する排液管と
を備える、液滴吐出方法。

【請求項14】

ステージの上に位置する基板と、機能液を吐出する複数のノズルを有する吐出ヘッドとを相対移動させる工程と、
前記相対移動させる工程において、前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液をフラッシング部を用いて受ける工程と、
前記相対移動させる工程中かつ前記受ける工程の後に、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する工程と
を含み、
前記フラッシング部は、前記機能液を受けるパッドを備え、
前記相対移動の方向における前記パッドの幅は、０．５ｍｍ以上である、液滴吐出方法。

【請求項15】

ステージの上に位置する基板と、機能液を吐出する複数のノズルを有する吐出ヘッドとを相対移動させる工程と、
前記相対移動させる工程において、前記吐出ヘッドが前記基板の上方に位置する前に前記吐出ヘッドから吐出された前記機能液をフラッシング部を用いて受ける工程と、
前記相対移動させる工程中かつ前記受ける工程の後に、前記ノズルから前記ステージの上に位置する基板に対して前記機能液を吐出する工程と
を含み、
前記フラッシング部は、前記機能液を受けるパッドを備え、
前記パッドは、多孔質体または網状体である、液滴吐出方法。

【請求項16】

コンピュータ上で動作し、液滴吐出装置を制御するプログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記プログラムは、実行時に、請求項１３～１５のいずれか一つに記載の液滴吐出方法が行われるように、コンピュータに前記液滴吐出装置を制御させる、記憶媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、搬送される基板に対して機能液の液滴をインクジェット方式で吐出する液滴吐出装置が知られている。たとえば、基板を吸着保持するステージ部と、かかるステージ部に保持される基板に対して上方から機能液の液滴を滴下する複数の吐出ヘッドとを備えた液滴吐出装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－００７９０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、乾燥による吐出不良を抑制することができる技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様による液滴吐出装置は、ステージと、吐出ヘッドと、移動部と、フラッシング部とを備える。吐出ヘッドは、機能液を吐出する複数のノズルを有し、ノズルからステージの上に位置する基板に対して機能液を吐出する。移動部は、ステージの上に位置する基板と吐出ヘッドとを相対移動させる。フラッシング部は、移動部による相対移動中において吐出ヘッドが基板の上方に位置する前に吐出ヘッドから吐出された機能液を受ける。フラッシング部は、機能液を受けるパッドと、パッドによって受け止められた機能液を排出する排液管とを備える。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、乾燥による吐出不良を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す左側面図である。

【図2】図２は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。

【図3】図３は、実施形態に係るキャリッジの平面図である。

【図4】図４は、実施形態に係る吐出ヘッドを斜め下方から見た斜視図である。

【図5】図５は、実施形態に係るフラッシング部の平面図である。

【図6】図６は、フラッシング部の一部を拡大した斜視図である。

【図7】図７は、実施形態に係るフラッシング部の一部を示す正面図である。

【図8】図８は、実施形態に係るフラッシング部の一部を示す正面図である。

【図9】図９は、実施形態に係るフラッシング部の一部を示す正面図である。

【図10】図１０は、実施形態に係る液滴吐出装置が実行する処理の手順を示すフローチャートである。

【図11】図１１は、変形例に係るフラッシング部の平面図である。

【図12】図１２は、図１１に示すＸＩＩ部の拡大図である。

【図13】図１３は、図１２に示すＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線矢視における断面図である。

【図14】図１４は、フラッシング部の端部の拡大斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、添付図面を参照して、本願の開示する液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態により本開示が限定されるものではない。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。さらに、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

【0009】

インクジェット方式で機能液を吐出する液滴吐出装置では、描画パターンに依存して不使用ノズルが発生する。不使用ノズルとは、液滴の吐出が行われないノズルのことである。不使用ノズルの不使用時間が長くなると不使用ノズルが乾燥し、次にその不使用ノズルを使用するときに吐出不良が発生するおそれがある。このため、乾燥による吐出不良を抑制することができる技術が期待されている。

【0010】

＜液滴吐出装置の構成＞
まず、実施形態に係る液滴吐出装置１の構成について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す左側面図であり、図２は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す平面図である。

【0011】

なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｙ軸方向を基板Ｓの搬送方向、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする。

【0012】

液滴吐出装置１は、基板Ｓを搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って搬送しながら、インクジェット方式で基板Ｓに描画を行う描画装置である。基板Ｓは、たとえば、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である。

【0013】

液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容される。チャンバルーム１００には、不活性ガス（たとえば、窒素ガスなど）が供給される。液滴吐出装置１は、不活性ガス雰囲気で機能液を基板Ｓに吐出し、基板Ｓに描画を行う。なお、液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容されない装置であってもよい。

【0014】

機能液には、インクの他に、たとえば、正孔注入層（ＨＩＬ：Hole Injection Layer）や、正孔輸送層（ＨＴＬ：Hole Transport Layer）などを形成する液が含まれる。また、機能液には、それぞれ色が異なる複数種類のインクが含まれる。たとえば、機能液には、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクが含まれる。

【0015】

図２に示すように、チャンバルーム１００には、制御装置９などが収容される電気室１０１が併設される。また、チャンバルーム１００には、機能液が貯留される図示しない機能液タンクを交換するための交換室１０２が設けられる。

【0016】

図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、架台２と、２つの第１ガイドレール３と、基板搬送機構４と、２つの第２ガイドレール５と、複数の塗布部６と、検査機構７と、複数（ここでは、２つ）のフラッシング部８と、制御装置９とを備える。

【0017】

架台２は、基板Ｓの搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って延びるように配置される。架台２の上面は水平である。

【0018】

２つの第１ガイドレール３は、架台２の上面に配置される。２つの第１ガイドレール３は、基板Ｓの搬送方向に沿って直線状に延在する。２つの第１ガイドレール３は、搬送方向と直交する水平方向（Ｘ軸方向）に間隔をあけて配置される。

【0019】

基板搬送機構４は、基板Ｓを保持し、保持した基板Ｓを搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って搬送する。具体的には、基板搬送機構４は、ステージ４０と、回転部４１と、移動部４２とを備える。

【0020】

ステージ４０は、たとえば、真空吸着ステージであり、基板Ｓの下面（描画される面の反対に位置する面）を吸着する。回転部４１は、ステージ４０の下方に設けられ、鉛直軸（Ｚ軸）まわりにステージ４０を回動させる。なお、ステージ４０の上方には、ステージ４０上の基板Ｓのアライメントマークを撮像するワークアライメントカメラ（図示せず）が設けられる。回転部４１は、ワークアライメントカメラによって撮像された画像に基づいて回動することで、基板Ｓの位置を補正する。

【0021】

移動部４２は、回転部４１の下方に設けられ、回転部４１およびステージ４０を支持する。移動部４２は、２つの第１ガイドレール３に取り付けられ、２つの第１ガイドレール３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（図示せず）、たとえば、リニアモータによって一対の第１ガイドレール３に沿って移動可能である。

【0022】

基板搬送機構４は、移動部４２を２つの第１ガイドレール３に沿って移動させることにより、ステージ４０およびステージ４０に吸着保持された基板Ｓを搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させることができる。

【0023】

２つの第２ガイドレール５は、基板Ｓの搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って直線状に延在する。２つの第２ガイドレール５は、基板Ｓの搬送方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて配置される。２つの第２ガイドレール５は、架台２の上方かつステージ４０よりも高い位置に配置された支持部５ａ上に配置される。

【0024】

２つの第２ガイドレール５は、平面視において架台２の外方（側方）にまで延びている。架台２の側方かつ２つの第２ガイドレール５の間には、たとえば、メンテナンス部５０が配置される。メンテナンス部５０は、後述する吐出ヘッド６３のメンテナンスを行い、吐出ヘッド６３の吐出不良などを解消、または防止する。後述する塗布部６は、架台２の上方位置である描画位置と、メンテナンス部５０の上方であるメンテナンス位置との間で移動可能である。

【0025】

塗布部６は、基板Ｓの搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って複数配置される。たとえば、塗布部６は、Ｘ軸方向に沿って３個配置される。なお、塗布部６の数は、３個に限定されない。各塗布部６は、キャリッジプレート６０と、キャリッジ回動部６１と、キャリッジ６２と、複数の吐出ヘッド６３とを備える。吐出ヘッド６３は、吐出ヘッドの一例である。

【0026】

キャリッジプレート６０は、２つの第２ガイドレール５に取り付けられる。キャリッジプレート６０は、２つの第２ガイドレール５のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（図示せず）、たとえば、リニアモータによって２つの第２ガイドレール５に沿って移動可能である。

【0027】

キャリッジ回動部６１は、キャリッジプレート６０の下方に配置される。キャリッジ回動部６１は、搬送方向（Ｙ軸方向）におけるキャリッジプレート６０の中央に取り付けられる。キャリッジ回動部６１の下端には、キャリッジ６２が取り付けられる。キャリッジ回動部６１は、キャリッジ６２を鉛直軸（Ｚ軸）まわりに回動自在に支持する。

【0028】

なお、キャリッジ回動部６１は、ステージ４０に設けられたキャリッジアライメントカメラ（図示せず）によって撮像された画像に基づいて、上下方向と平行な軸を中心にキャリッジ６２を回動させる。これにより、キャリッジ６２の位置が補正される。

【0029】

複数の吐出ヘッド６３は、キャリッジ６２に設けられる。各吐出ヘッド６３は、図示しない供給チューブを介して図示しない機能液タンクに接続され、機能液タンクから供給チューブを介して機能液が供給され、基板Ｓに機能液の液滴を吐出する。各吐出ヘッド６３は、たとえば、複数種類の機能液を吐出することができる。

【0030】

複数の吐出ヘッド６３は、基板Ｓの搬送方向（Ｙ軸方向）および搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に間隔をあけて配置される（図３参照）。

【0031】

検査機構７は、検査フィルム７３によって機能液の液滴を受けて、液滴の吐出状態を検査する。検査フィルム７３は、撥水性の検査フィルムである。具体的には、検査フィルム７３は、表面（液滴が吐出される面）が撥水性を有する検査フィルムである。

【0032】

検査機構７は、移動部７０と、検査台７１と、フィルム送り部７２と、検査フィルム７３と、撮像部７４とを備える。

【0033】

移動部７０は、２つの第１ガイドレール３に取り付けられる。移動部７０は、２つの第１ガイドレール３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（図示せず）によって２つの第１ガイドレール３に沿って移動可能である。移動部７０は、基板Ｓの搬送方向に沿って設定される吐出位置、撮像位置、および待機位置間を移動する。吐出位置は、複数の吐出ヘッド６３の下方となる位置である。撮像位置は、撮像部７４の下方となる位置である。待機位置は、塗布部６の外方の位置である。

【0034】

検査台７１は、移動部７０の上面中央に取り付けられる。検査台７１は、移動部７０とともに移動する。すなわち、検査台７１は、吐出位置、撮像位置、および待機位置の間を移動する。検査台７１の長さは、塗布部６によって機能液の液滴が各検査フィルム７３に吐出される吐出エリアよりも長い。

【0035】

検査台７１は、上面に吸着板（図示せず）を有する。検査台７１の吸着板は、たとえば、多孔質の部材によって構成される。また、検査台７１の内部には、吸引装置（図示せず）が収容される。検査台７１は、吸引装置によって吸着板を吸引することで、検査フィルム７３を吸着する。

【0036】

フィルム送り部７２は、移動部７０の上方に設けられる。フィルム送り部７２は、複数の吐出ヘッド６３から吐出される検査用の液滴を受ける検査フィルム７３（検査用媒体）を左右方向（搬送方向に直交する方向）に送る。

【0037】

撮像部７４は、図１に示すように、第２ガイドレール５にベース７４ａを介して取り付けられる。ベース７４ａには、撮像部７４を左右方向に移動させる移動機構（図示せず）が設けられる。撮像部７４は、２つの第２ガイドレール５のうち、後方に配置された第２ガイドレール５に取り付けられる。

【0038】

撮像部７４は、検査フィルム７３に吐出された機能液の液滴を撮像する。なお、撮像部７４を複数設け、検査フィルム７３に吐出された機能液の液滴を複数の撮像部７４によって撮像してもよい。この場合、撮像部７４を左右方向に移動可能とはせずに、第２ガイドレール５に固定してもよい。

【0039】

検査機構７では、検査フィルム７３に吐出された機能液の液滴を、撮像部７４によって撮像した結果に基づいて、吐出ヘッド６３における液滴の吐出状態が検査される。

【0040】

複数（ここでは、２つ）のフラッシング部８は、基板Ｓの搬送方向（Ｙ軸方向）におけるステージ４０の両端部にそれぞれ設けられる。言い換えれば、２つのフラッシング部８は、搬送方向（Ｙ軸方向）における基板Ｓの両端部側にそれぞれ設けられている。

【0041】

フラッシング部８は、フラッシング処理に用いられる。フラッシング処理は、基板Ｓに対する液滴吐出処理において基板Ｓに機能液が吐出される直前に、言い換えれば、吐出ヘッド６３が基板Ｓの上方に位置する直前に、吐出ヘッド６３から機能液を吐出する処理である。すなわち、フラッシング部８は、フラッシング処理において吐出ヘッド６３から吐出された機能液を受ける部材である。フラッシング部８の詳細については後述する。

【0042】

制御装置９は、たとえば、コンピュータであり、制御部９１と記憶部９２とを備える。記憶部９２は、たとえば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ（Flash Memory）などの半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスクなどの記憶装置によって実現される。

【0043】

制御部９１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ、入出力ポート等を含むマイクロコンピュータや各種回路を含む。マイクロコンピュータのＣＰＵは、ＲＯＭに記憶されているプログラムを読み出して実行することにより、液滴吐出装置１内の各部の制御を実現する。

【0044】

なお、プログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されており、記憶媒体から制御装置９の記憶部９２にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。

【0045】

＜キャリッジの構成＞
次に、キャリッジ６２の構成について図３を参照して説明する。図３は、実施形態に係るキャリッジ６２の平面図である。

【0046】

図３に示すように、キャリッジ６２は、平板状の部材である。キャリッジ６２は、複数の開口部６２１を有する。たとえば、図３に示す例において、キャリッジ６２には、合計１２個の開口部６２１が主搬送方向および副搬送方向に沿ってマトリクス状に設けられている。なお、ここでは、キャリッジ６２に１２個の開口部６２１が設けられる場合の例を示したが、開口部６２１の個数は、１２個より多くてもよいし少なくてもよい。

【0047】

複数の開口部６２１には、吐出ヘッド６３が１つずつ収められている。吐出ヘッド６３は、開口部６２１を覆うようにキャリッジ６２に設置される。

【0048】

＜吐出ヘッドの構成＞
次に、吐出ヘッドの構成例について図４を参照して説明する。図４は、実施形態に係る吐出ヘッド６３を斜め下方から見た斜視図である。

【0049】

図４に示すように、吐出ヘッド６３は、ヘッド本体６０２と、ヘッド本体６０２から側方にせり出したフランジ部６０３とを備える。吐出ヘッド６３は、たとえばキャリッジ６２の上方から開口部６２１に差し込まれる。これにより、吐出ヘッド６３のうち、ヘッド本体６０２が開口部６２１内に配置される。また、吐出ヘッド６３のうち、フランジ部６０３が、キャリッジ６２の上面に当接する。これにより、吐出ヘッド６３は、キャリッジ６２に係止された状態となる。また、吐出ヘッド６３は、キャリッジ６２に係止された状態で、キャリッジ６２に設けられた図示しない固定部によって固定される。

【0050】

吐出ヘッド６３は、たとえばピエゾ方式のノズルヘッドである。ヘッド本体６０２の下面６１５には、複数のノズル６１６が形成される。複数のノズル６１６は、例えば主搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って２列に形成される。また、各列には、複数のノズル６１６が、副搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って等間隔に配置される。

【0051】

ヘッド本体６０２は、図示しないポンプ部を有する。ポンプ部は、機能液を貯めるキャビティ、キャビティの体積を変化させる圧電素子や振動板等を含んで構成され、圧電素子に電圧を印加して振動板を振動させることにより、キャビティの体積を変化させて各吐出穴から機能液の液滴を吐出させる。その他、吐出ヘッド６３には、供給チューブを介して機能液タンクに接続される機能液導入部や、フレキシブルフラットケーブルを介して制御装置９（図１参照）に接続されるヘッド基板等が設けられている。

【0052】

＜フラッシング部の構成例＞
次に、フラッシング部８の構成例について図５および図６を参照して説明する。図５は、実施形態に係るフラッシング部８の平面図である。図６は、フラッシング部８の一部を拡大した斜視図である。

【0053】

図５に示すように、フラッシング部８は、複数のパッド８０と、複数のパッド８０を収容するケーシング８１とを備える。

【0054】

（パッドについて）
パッド８０は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する板状部材である。複数のパッド８０は、ケーシング８１内において互いに接した状態で搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に並べられている。これにより、複数のパッド８０は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する実質的に１つの長尺状のパッドを構成している。このように、フラッシング部８は、１つの長尺状のパッドを複数のパッド８０に分割した構成を有する。個々のパッド８０は、１つの長尺状のパッドと比較して、たとえば真直度を確保し易い等の点から製造容易である。

【0055】

パッド８０は、ノズル６１６から吐出された機能液を受ける。パッド８０は、機能液を受ける液受面と、液受面の反対に位置する排液面とが１つのまたは複数の孔で連通した構成を有することが好ましい。このようなパッド８０を構成する部材としては、たとえば、多孔質体または網状体を用いることができる。

【0056】

多孔質体は、たとえば、多孔質樹脂、金属多孔質体（ポーラスメタル）または多孔質セラミックスであってもよい。多孔質樹脂は、金属多孔質体および多孔質セラミックスと比較してコスト面で優れる。多孔質樹脂としては、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、フッ素樹脂等のプラスチック焼結多孔質体を用いることができる。なお、これらの中で、ポリエチレンはコスト面で優れ、フッ素樹脂は耐薬性の面で優れる。

【0057】

金属多孔質体としては、たとえば、多孔質状に形成されたステンレス鋼（ステンレス多孔質体）を用いることができる。なお、金属多孔質体としては、ステンレス多孔質体に限らず、たとえば、チタン多孔質体、ニッケル多孔質体、アルミ多孔質体等であってもよい。多孔質セラミックスとしては、たとえば、多孔質アルミナセラミックス、多孔質ＳｉＣセラミックス等を用いることができる。

【0058】

網状体としては、たとえば、ステンレスメッシュを用いることができる。なお、網状体は、ステンレスメッシュに限らず、チタンメッシュ、ニッケルメッシュ、アルミメッシュ等であってもよい。

【0059】

搬送方向（Ｙ軸方向）におけるパッド８０の幅Ｄは、たとえば０．５ｍｍ以上であってもよい。

【0060】

ステージ４０の移動速度すなわちスキャン速度は、一般的に、３００ｍｍ／ｓｅｃである。また、機能液の吐出周波数の最大値は、たとえば３０ｋＨｚ（１秒間に３万ショット）である。また、フラッシング処理において、ノズル６１６の乾燥を抑制するために必要な各ノズル６１６からの最低限の吐出回数（ショット数）は、たとえば５０ショットである。これらの条件でフラッシング処理を行う場合に必要となるパッド８０の幅Ｄは、最小で０．５ｍｍである（５０×（１／３００００）×３００＝０．５ｍｍ）。したがって、パッド８０の幅Ｄを０．５ｍｍ以上とすることで、ノズル６１６の乾燥を好適に抑制することができる。なお、図５に示す構成におけるパッド８０の幅Ｄは、たとえば２０ｍｍ以上である。

【0061】

（ケーシングについて）
ケーシング８１は、たとえば、１つの底部および４つの側壁部を有し、上方が開放された容器形状を有する。ケーシング８１は、これら１つの底部および４つの側壁部によって形成される収容空間８１０に複数のパッド８０を収容する。具体的には、収容空間８１０は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在しており、複数のパッド８０は、かかる収容空間８１０において搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に隙間なく並べられた状態で収容される。ケーシング８１は、たとえば金属で形成される。

【0062】

図５および図６に示すように、ケーシング８１の上縁面８１１には、複数の第１パッド抑え部８１２と、複数の第２パッド抑え部８１３とが設けられている。第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３は、収容空間８１０に収容されたパッド８０の上面（液受面）と対向するように設けられている。具体的には、第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３は、パッド８０の上方であって平面視において且つパッド８０と重なる位置に設けられている。

【0063】

たとえばパッド８０の反りがある場合、パッド８０がステージ４０の上面よりも高い位置にせり上がることでノズル６１６とパッド８０とが接触してしまうおそれがある。これに対し、第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３を設けることで、仮にパッド８０に反りがある場合であっても、かかるパッド８０の反りを第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３によって抑えることができる。これにより、パッド８０とノズル６１６との接触を好適に抑制しつつ、パッド８０をステージ４０とほぼ同じ高さに配置することができる。また、パッド８０の脱落を防止することができる。

【0064】

第１パッド抑え部８１２は、たとえば、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する２つの側壁部のうち、ステージ４０に近い側壁部の上縁面８１１に設けられており、他方の（ステージ４０から遠い）側壁部に向かって水平に突出している。第１パッド抑え部８１２は、ケーシング８１と一体的に形成されている。

【0065】

第２パッド抑え部８１３は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する２つの側壁部のうち、ステージ４０から遠い側壁部の上縁面８１１に設けられており、他方の（ステージ４０に近い）側壁部に向かって水平に突出している。第２パッド抑え部８１３は、パッド８０の上面に当接する第１部位８１３ａと、パッド８０の側面に当接する第２部位８１３ｂとを有する。第２部位８１３ｂを有することで、第２パッド抑え部８１３は、搬送方向（Ｙ軸方向）におけるパッド８０の位置ズレを抑制することができる。

【0066】

第１パッド抑え部８１２と第２パッド抑え部８１３とは、互いに向かい合う位置に配置されている。図５に示す例において、ケーシング８１は、１つのパッド８０に対して二組の第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３を有する。これに限らず、ケーシング８１は、１つのパッド８０に対して三組以上の第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３を有していてもよい。また、ケーシング８１は、１つのパッド８０に対して一組の第１パッド抑え部８１２および第２パッド抑え部８１３を有していてもよい。

【0067】

第２パッド抑え部８１３は、ケーシング８１から着脱可能である。たとえば、第２パッド抑え部８１３は、締結部材８１３ｃ（たとえば、ネジ）によってケーシング８１に固定されている。これにより、ケーシング８１は、パッド８０の着脱が容易である。すなわち、たとえばパッド８０の交換を行う際、第２パッド抑え部８１３をケーシング８１から取り外すことにより、使用済みのパッド８０をケーシング８１から容易に取り出すことができる。また、新品のパッド８０をケーシング８１に収容した後で、第２パッド抑え部８１３をケーシング８１に取り付けることで、パッド８０をケーシング８１に容易に収容することができる。

【0068】

図６に示すように、液滴吐出装置１は、漏液センサ８２を備える。漏液センサ８２は、たとえば、ケーシング８１の下方（直下）に設けられる。漏液センサ８２は、フラッシング部８から漏洩した機能液を検知する。漏液センサ８２としては、光学式の漏液センサまたは電極間抵抗検知方式の漏液センサ等を用いることができる。

【0069】

漏液センサ８２による検知信号は、制御装置９に出力される。これにより、制御部９１は、フラッシング部８からの機能液の漏液を検知することができる。

【0070】

（排液部について）
フラッシング部８は、さらに、パッド８０によって受け止められた機能液をケーシング８１から排出するための排出部を備える。かかる排出部の構成について図７～図９を参照して説明する。図７～図９は、実施形態に係るフラッシング部８の一部を示す正面図である。図７～図９には、フラッシング部８のうち、それぞれ、Ｘ軸正方向側の端部領域、Ｘ軸負方向側の端部領域、および、Ｘ軸方向における中央領域を示している。

【0071】

図７～図９に示すように、排液部８３は、排液管８３０を備える。排液管８３０は、複数の個別排液管８３１と、複数の第１共通排液管８３２と、第２共通排液管８３３とを備える。

【0072】

複数の個別排液管８３１は、複数のパッド８０に対応して設けられている。具体的には、ケーシング８１の底部には、複数の排液口８１５が設けられている。各排液口８１５は、パッド８０の下面（排液面）と対向する位置に設けられている。個別排液管８３１は、排液口８１５に接続される。

【0073】

複数の第１共通排液管８３２は、複数の個別排液管８３１のうち２以上の個別排液管８３１に接続される。図示の例では、第１共通排液管８３２は、隣り合う２つの個別排液管８３１に接続される。この例に限らず、第１共通排液管８３２は、３つ以上の個別排液管８３１に接続されてもよい。

【0074】

第１共通排液管８３２の中途部には、開閉弁８３５が設けられている。開閉弁８３５は、第１共通排液管８３２を開閉する。開閉弁８３５としては、たとえば、エアオペレートバルブを用いることができる。

【0075】

第２共通排液管８３３は、複数の第１共通排液管８３２に接続される。ここでは、フラッシング部８が３つの第１共通排液管８３２を備えており、第２共通排液管８３３がこれら３つの第１共通排液管８３２に接続される場合の例を示している。なお、第２共通排液管８３３に接続される第１共通排液管８３２の数、言い換えれば、フラッシング部８が備える第１共通排液管８３２の数は、３つに限定されず、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。

【0076】

第２共通排液管８３３は、吸引部８３６に接続される。吸引部８３６としては、たとえば真空ポンプ等を用いることができる。吸引部８３６および上述した複数の開閉弁８３５は、制御部９１によって制御される。

【0077】

パッド８０によって受け止められた機能液は、パッド８０が有する孔を通ってパッド８０の上面（液受面）から下面（排液面）に案内される。その後、機能液は、ケーシング８１に設けられた排液口８１５から個別排液管８３１に流入する。個別排液管８３１に流入した機能液は、第１共通排液管８３２を通過し、さらに第２共通排液管８３３を通過して外部に排出される。

【0078】

制御部９１は、全ての開閉弁８３５を閉じた状態で、吸引部８３６を駆動させることにより、複数の開閉弁８３５と吸引部８３６との間に位置する複数の第１共通排液管８３２および第２共通排液管８３３を負圧にする。そして、制御部９１は、開閉弁８３５を開くことにより、開かれた開閉弁８３５の上流側に位置する個別排液管８３１に、負圧を利用して機能液を引き込む。

【0079】

制御部９１は、上述した処理、すなわち、全ての開閉弁８３５を閉じた状態で吸引部８３６を駆動させて開閉弁８３５よりも下流側を負圧にする準備処理と、開閉弁８３５を開いて機能液を個別排液管８３１に引き込む吸引処理とを、開閉弁８３５ごとに行う。これにより、全ての開閉弁８３５を一斉に開く場合と比較して、個別排液管８３１をより強力に吸引することができるとともに、複数の個別排液管８３１管で吸引力にバラツキが生じることを抑制することができる。

【0080】

（高さ調整機構について）
図７～図９に示すように、フラッシング部８は、さらに、複数の高さ調整機構８４を備える。複数の高さ調整機構８４は、ケーシング８１の長手方向すなわち搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って互いに間隔をあけて配置される。複数の高さ調整機構８４は、ケーシング８１の下部に設けられており、ケーシング８１の底部を上方へ引き上げたり下方へ引き下げたりすることで、ケーシング８１およびケーシング８１に収容された複数のパッド８０の高さを調整することができる。

【0081】

このように、フラッシング部８は、複数の高さ調整機構８４を備えることで、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）におけるケーシング８１および複数のパッド８０の高さのバラツキを抑制することができる。すなわち、ケーシング８１および複数のパッド８０を水平に保つことができるとともに、ケーシング８１および複数のパッド８０がノズル６１６と衝突することを抑制することができる。

【0082】

（液滴吐出装置の動作）
次に、実施形態に係る液滴吐出装置１の動作について図１０を参照して説明する。図１０は、実施形態に係る液滴吐出装置１が実行する処理の手順を示すフローチャートである。

【0083】

図１０に示す各処理手順は、制御装置９による制御に従って実行される。なお、図１０では、液滴吐出処理を２回行う（第１液滴吐出処理および第２液滴吐出処理）場合の例を示している。すなわち、図１０では、基板Ｓを往復移動させつつ、往路および復路の各々において液滴吐出処理を行う場合の例を示している。これに限らず、液滴吐出処理の回数は１回でもよい。また、液滴吐出処理の回数は、３回以上であってもよい。

【0084】

図１０に示すように、液滴吐出装置１では、まず、搬入処理が行われる（ステップＳ１０１）。

【0085】

搬入処理の開始時において、基板搬送機構４は、液滴吐出処理の開始位置よりもさらに搬送方向上流の搬入位置に配置されている（図１参照）。図１に示す例において、搬入位置は、基板Ｓの搬送経路の最上流の位置である。

【0086】

搬入処理において、制御部９１は、搬送ロボット等の図示しない搬送手段を制御して、基板Ｓをステージ４０上に載置する。つづいて、制御部９１は、ステージ４０を制御して基板Ｓをステージ４０の上面に吸着させる。

【0087】

つづいて、第１フラッシング処理が行われる（ステップＳ１０２）。第１フラッシング処理において、制御部９１は、基板搬送機構４の移動部４２を制御して、ステージ４０をＹ軸正方向に移動させる。その後、制御部９１は、ステージ４０のＹ軸正方向側に設けられたフラッシング部８が吐出ヘッド６３の直下に到達するタイミングで、吐出ヘッド６３を制御して、パッド８０の直上に位置する複数のノズル６１６からパッド８０に対して機能液を吐出させる。複数のノズル６１６は、搬送方向（Ｙ軸方向）および搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に並べられている。機能液の吐出は、たとえば、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に並べられた１列分のノズル６１６ごとに行われる。また、機能液の吐出は、最もＹ軸負方向側に位置する列のノズル６１６から順に行われる。制御部９１は、全てのノズル６１６から機能液を吐出させる。

【0088】

機能液のパッド８０への吐出位置（着弾位置）は、各ノズル列で同じであっても良いし、ノズル列ごとに異ならせても良い。着弾位置をノズル列ごとに異ならせた場合、パッド８０の局所的な劣化や機能液の漏液を好適に抑制することができる。

【0089】

つづいて、第１液滴吐出処理が行われる（ステップＳ１０３）。第１液滴吐出処理において、制御部９１は、第１フラッシング処理に引き続きステージ４０をＹ軸正方向に移動させつつ、吐出ヘッド６３を制御して、所定のノズル６１６から基板Ｓに対して機能液を吐出させる。第１液滴吐出処理では、塗布部６が有する複数のノズル６１６のうち一部のノズル６１６が使用される。第１液滴吐出処理において何れのノズル６１６が使用されるかは、描画パターンに依る。

【0090】

つづいて、第２フラッシング処理が行われる（ステップＳ１０４）。第１液滴吐出処理の終了時点において、ステージ４０は、塗布部６よりもＹ軸正方向に位置した状態となっている。第２フラッシング処理において、制御部９１は、基板搬送機構４の移動部４２を制御して、ステージ４０をＹ軸負方向に移動させる。その後、制御部９１は、ステージ４０のＹ軸負方向側に設けられたフラッシング部８が吐出ヘッド６３の直下に到達するタイミングで、吐出ヘッド６３を制御して、パッド８０の直上に位置する複数のノズル６１６からパッド８０に対して機能液を吐出させる。機能液の吐出は、たとえば、最もＹ軸正方向側に位置する列のノズル６１６から順に行われる。制御部９１は、全てのノズル６１６から機能液を吐出させる。

【0091】

つづいて、第２液滴吐出処理が行われる（ステップＳ１０５）。第２液滴吐出処理において、制御部９１は、第２フラッシング処理に引き続きステージ４０をＹ軸負方向に移動させつつ、吐出ヘッド６３を制御して、所定のノズル６１６から基板Ｓに対して機能液を吐出させる。第２液滴吐出処理では、塗布部６が有する複数のノズル６１６のうち一部のノズル６１６が使用される。第２液滴吐出処理において何れのノズル６１６が使用されるかは、描画パターンによって変化する。

【0092】

つづいて、搬出処理が行われる（ステップＳ１０６）。第２液滴吐出処理の終了時点において、ステージ４０は、塗布部６よりもＹ軸負方向に位置した状態となっている。搬出処理において、制御部９１は、基板搬送機構４の移動部４２を制御して、ステージ４０をＹ軸正方向に移動させる。これにより、制御部９１は、塗布部６よりもＹ軸正方向に位置する搬出位置にステージ４０を配置させる。つづいて、制御部９１は、ステージ４０による基板Ｓの吸着保持を解除する。つづいて、制御部９１は、図示しない搬送ロボットを制御して、基板Ｓをステージ４０から取り出す。その後、制御部９１は、基板搬送機構４の移動部４２を制御して、ステージ４０を搬入位置に戻す。

【0093】

このように、液滴吐出処理が開始される直前にフラッシング処理を行うことで、ノズル６１６の乾燥を抑制することができる。したがって、実施形態に係る液滴吐出装置１によれば、ノズル６１６の乾燥による吐出不良を抑制することができる。また、基板Ｓが吐出ヘッド６３の直下に位置するタイミングよりも所定時間前から、機能液の液滴の吐出を開始することにより、液滴吐出処理時における機能液の吐出を安定化させることができる。

【0094】

また、フラッシング処理において機能液を受けるフラッシング部８は、排液部８３を備えており、パッド８０で受けた機能液をケーシング８１から排出することができる。したがって、実施形態に係るフラッシング部８によれば、たとえば人手による排液作業を減らすことができる。

【0095】

フラッシング部８が備えるパッド８０は、多孔質体である。かかるパッド８０は、液受面で受けた機能液をケーシング８１の底面に導くことができる。特に、金属多孔質体からなるパッド８０は、耐久性が高いことから交換頻度が低いためメンテナンスが容易である。

【0096】

ここでは、第１フラッシング処理および第２フラッシング処理のいずれにおいても、全てのノズル６１６から機能液を吐出することとした。これに限らず、制御部９１は、第１フラッシング処理において、塗布部６が備える全てのノズル６１６のうちの一部から機能液を吐出させ、第２フラッシング処理において、残りのノズル６１６から機能液を吐出させてもよい。すなわち、第１フラッシング処理と第２フラッシング処理とで機能液を吐出させるノズル６１６を分けてもよい。また、第１フラッシング処理と第２フラッシング処理とで異なる種類の機能液を吐出させてもよい。

【0097】

（フラッシング部の変形例）
次に、上述したフラッシング部８の変形例について説明する。図１１は、変形例に係るフラッシング部８Ａの平面図である。図１２は、図１１に示すＸＩＩ部の拡大図である。

【0098】

図１１および図１２に示すように、変形例に係るフラッシング部８Ａは、複数のパッド８０Ａと、ケーシング８１Ａとを備える。

【0099】

複数のパッド８０Ａは、吐出ヘッド６３から吐出される異なる種類の機能液に対応している。たとえば、図１１に示す例において、フラッシング部８Ａは、３つのパッド８０Ａを備えている。これら３つのパッド８０Ａは、たとえば、吐出ヘッド６３から吐出されるＲ（赤）のインク、Ｇ（緑）のインク、Ｂ（青）のインクにそれぞれ対応している。

【0100】

このように、フラッシング部８Ａは、異なる種類の機能液を受ける複数のパッド８０Ａを備えていてもよい。機能液の種類によっては、異なる種類の機能液と混ざり合うことでゲル化するものがある。これに対し、変形例に係るフラッシング部８Ａによれば、種類が異なる機能液を異なるパッド８０Ａで受けることで、機能液同士が混ざり合うことによる機能液のゲル化を抑制することができる。

【0101】

なお、ここでは図示を省略するが、フラッシング部８Ａは、複数のパッド８０Ａに対応する複数の排液部８３を備えている。かかる構成とすることにより、排液部８３において異なる種類の機能液が混ざり合うことを抑制することができる。

【0102】

パッド８０Ａは、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延在する部材である。パッド８０Ａは、上述した多孔質体または網状体を用いることができる。

【0103】

パッド８０Ａの上面（液受面）の搬送方向（Ｙ軸方向）における幅Ｄは、たとえば０．５ｍｍ以上であってもよい。具体的には後述するように、変形例に係るフラッシング部８Ａには、ケーシング８１Ａの本体部８１４に形成された溝にパッド８０Ａを側方から挿入する方式が採用されている。かかる構成とすることにより、たとえば実施形態に係るケーシング８１が有する第２パッド抑え部８１３のように取り外し可能な固定部を設ける必要がなくなる。このため、パッド８０Ａの幅Ｄをたとえば０．５ｍｍ以上１ｍｍ未満の薄型に形成した場合であっても、かかる薄型のパッド８０Ａを比較的簡易な構成で固定することができる。また、複数のパッド８０Ａを比較的狭い間隔で配置することが可能となるため、フラッシング部８Ａ全体を薄型化することができる。

【0104】

ケーシング８１Ａは、本体部８１４と、２つの側壁部８１７とを備える。

【0105】

本体部８１４は、搬送方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する部材である。本体部８１４は、複数の溝部８１４ａを有する。各溝部８１４ａは、搬送方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在している。溝部８１４ａの一端は、本体部８１４の長手方向（Ｙ軸方向）の一端に到達しており、溝部８１４ａの他端は、本体部８１４の長手方向（Ｙ軸方向）の他端に到達している。複数の溝部８１４ａは、搬送方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をあけて並べられている。

【0106】

ここで、パッド８０Ａおよび溝部８１４ａの構成例について図１３を参照して説明する。図１３は、図１２に示すＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線矢視における断面図である。

【0107】

図１３に示すように、パッド８０Ａは、上端に段差部８５を有する。段差部８５は、パッド８０ＡのＹ軸正方向側の上端およびＹ軸負方向側の端部にそれぞれ設けられている。段差部８５は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って延在している。

【0108】

溝部８１４ａは、断面視においてパッド８０Ａと略同形状かつパッド８０Ａよりも僅かに大きく形成される。具体的には、ケーシング８１Ａの本体部８１４は、パッド抑え部８１４ｂを有する。パッド抑え部８１４ｂは、溝部８１４ａの上方開口縁部に設けられている。本体部８１４は、搬送方向（Ｙ軸方向）における両方の開口縁部正方向側の開口縁部に設けられている。各パッド抑え部８１４ｂは、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って延在しており、パッド８０Ａの段差部８５と対向する。

【0109】

このように、パッド８０Ａに段差部８５を設けるとともに、ケーシング８１Ａにパッド抑え部８１４ｂを設けることで、仮にパッド８０Ａに反りがある場合でも、かかるパッド８０Ａの反りを溝部８１４ａによって抑えることができる。これにより、パッド８０Ａとノズル６１６との接触を好適に抑制することができる。

【0110】

各溝部８１４ａの底部には、少なくとも１つの排液口８１５が設けられており、排液口８１５には、排液部８３の個別排液管８３１が接続される。

【0111】

図１１および図１２に示すように、側壁部８１７は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）における溝部８１４ａの開口端を封鎖する部材である。側壁部８１７は、本体部８１４に対して着脱自在である。たとえば、側壁部８１７は、図示しない締結部材（ネジ等）によって本体部８１４に固定される。

【0112】

図１４は、フラッシング部８Ａの端部の拡大斜視図である。なお、図１４では、本体部８１４から側壁部８１７が取り外された状態におけるフラッシング部８Ａの端部を示している。パッド８０Ａは、本体部８１４から側壁部８１７を取り外すことで、本体部８１４から着脱が可能である。図１４に示すように、パッド８０Ａは、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）における溝部８１４ａの開口端から溝部８１４ａに挿入することができる。

【0113】

なお、パッド８０Ａは、複数のパッド片に分割されていてもよい。かかる構成とすることにより、パッド８０Ａの反りの影響を低減することができる。

【0114】

（その他の変形例）
上述してきた実施形態では、吸着式のステージ４０を用いて基板Ｓを保持する場合の例について説明したが、液滴吐出装置１は、吸着式のステージ４０に代えて、浮上式のステージを備えていてもよい。浮上式のステージを備えた液滴吐出装置としては、たとえば、特開２０２２－１１０８３号公報に記載された構成を用いることができる。この場合、たとえば、浮上ステージの外方に配置されたレールに沿ってフラッシング部８を移動可能に構成してもよい。

【0115】

液滴吐出装置１は、ステージ４０のＹ軸正方向側の端部またはＹ軸負方向側の端部に、図５～図９に示すフラッシング部８を機能液の種類ごとに複数備えていてもよい。

【0116】

上述してきたように、実施形態に係る液滴吐出装置（一例として、液滴吐出装置１）は、ステージ（一例として、ステージ４０）と、吐出ヘッド（一例として、吐出ヘッド６３）と、移動部（一例として、移動部４２）と、フラッシング部（一例として、フラッシング部８，８Ａ）とを備える。吐出ヘッドは、機能液を吐出する複数のノズル（一例として、ノズル６１６）を有し、ノズルからステージの上に位置する基板（一例として、基板Ｓ）に対して機能液を吐出する。移動部は、ステージの上に位置する基板と吐出ヘッドとを相対移動させる。フラッシング部は、移動部による相対移動中において吐出ヘッドが基板の上方に位置する前に吐出ヘッドから吐出された機能液を受ける。フラッシング部は、機能液を受けるパッド（一例として、パッド８０，８０Ａ）と、パッドによって受け止められた機能液を排出する排液管（一例として、排液管８３０）とを備える。

【0117】

また、実施形態に係る液滴吐出装置は、ステージと、吐出ヘッドと、移動部と、フラッシング部とを備える。吐出ヘッドは、機能液を吐出する複数のノズルを有し、ノズルからステージの上に位置する基板に対して機能液を吐出する。移動部は、ステージの上に位置する基板と吐出ヘッドとを相対移動させる。フラッシング部は、移動部による相対移動中において吐出ヘッドが基板の上方に位置する前に吐出ヘッドから吐出された機能液を受ける。フラッシング部は、機能液を受けるパッドを備える。移動部による相対移動の方向におけるパッドの幅は、０．５ｍｍ以上である。

【0118】

また、実施形態に係る液滴吐出装置は、ステージと、吐出ヘッドと、移動部と、フラッシング部とを備える。吐出ヘッドは、機能液を吐出する複数のノズルを有し、ノズルからステージの上に位置する基板に対して機能液を吐出する。移動部は、ステージの上に位置する基板と吐出ヘッドとを相対移動させる。フラッシング部は、移動部による相対移動中において吐出ヘッドが基板の上方に位置する前に吐出ヘッドから吐出された機能液を受ける。フラッシング部は、機能液を受けるパッドを備える。パッドは、多孔質体または網状体である。

【0119】

したがって、実施形態に係る液滴吐出装置によれば、ノズルの乾燥による機能液の吐出不良を抑制することができる。

【0120】

フラッシング部は、相対移動の方向（一例として、Ｙ軸方向）における基板の両端部側に位置していてもよい。かかる構成とすることにより、たとえば吐出ヘッドに対して基板を往復させて液滴吐出処理を行う場合に、往路および復路の両方においてフラッシング処理を行うことができる。また、異なる種類の機能液のフラッシング処理を往路と復路とで分けて実行することも可能である。

【0121】

フラッシング部は、相対移動の方向に並べられた複数のパッド（一例として、パッド８０Ａ）を備えていてもよい。かかる構成とすることにより、種類が異なる機能液を異なるパッドで受けることができ、これにより、たとえば機能液同士が混ざり合うことによる機能液のゲル化を抑制することができる。

【0122】

フラッシング部は、パッドを収容するケーシング（一例として、ケーシング８１，８１Ａ）を備えていてもよい。ケーシングは、パッドの上方かつ平面視においてパッドと重なる位置にパッド抑え部（一例として、第１パッド抑え部８１２、第２パッド抑え部８１３、パッド抑え部８１４ｂ）を備えていてもよい。かかる構成とすることにより、仮にパッドに反りがある場合であっても、かかるパッドの反りをパッド抑え部によって抑えることができる。これにより、パッドとノズルとの接触を好適に抑制しつつ、パッドをステージとほぼ同じ高さに配置することができる。また、パッドの脱落を防止することができる。

【0123】

フラッシング部は、パッドを収容するケーシングと、ケーシングの長手方向（一例として、Ｘ軸方向）に沿って複数設けられ、ケーシングの高さを調整する高さ調整機構（一例として、高さ調整機構８４）とを備えていてもよい。かかる構成とすることにより、ケーシング８１およびパッド８０を水平に保つことができ、ケーシングおよびパッドがノズルと衝突することを抑制することができる。

【0124】

フラッシング部は、相対移動の方向と直交する方向（一例として、Ｘ軸方向）に並べられた複数のパッド（一例として、複数のパッド８０）を備えていてもよい。これにより、１つの長尺状のパッドを用いる場合と比較して、反りの影響を小さくすることができる。

【0125】

フラッシング部は、パッドを収容するケーシングを備えていてもよい。また、実施形態に係る液滴吐出装置は、ケーシングの下方に、ケーシングから漏洩した機能液を検知する漏液センサを備えていてもよい。これにより、仮にケーシングから機能液が漏洩したとしても、かかる機能液の漏洩を即座に検知することができる。

【0126】

今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実に、上記した実施形態は多様な形態で具現され得る。また、上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0127】

１ 液滴吐出装置
２ 架台
３ 第１ガイドレール
４ 基板搬送機構
５ 第２ガイドレール
６ 塗布部
７ 検査機構
８ フラッシング部
９ 制御装置
４０ ステージ
４１ 回転部
４２ 移動部
５０ メンテナンス部
６０ キャリッジプレート
６１ キャリッジ回動部
６２ キャリッジ
６３ 吐出ヘッド
７０ 移動部
８０ パッド
８１ ケーシング
８２ 漏液センサ
８３ 排液部
８４ 調整機構
８５ 段差部
９１ 制御部
９２ 記憶部
６１６ ノズル
８１２ 第１パッド抑え部
８１３ 第２パッド抑え部
８１４ 本体部
８１５ 排液口
８１７ 側壁部
８３０ 排液管
８３１ 個別排液管
８３２ 第１共通排液管
８３３ 第２共通排液管
８３５ 開閉弁
８３６ 吸引部
Ｓ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】