特開2023-161935基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（570件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（757件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-161935

公報発行日　2023年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-161935

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-161935「基板処理装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録