特開2023-162143排気ダクトを含む基材処理装置

発明の名称　排気ダクトを含む基材処理装置

出願人　エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー　（識別番号 519237203）

　　　　特許公開件数ランキング 306 位（98件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 381 位（64件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-162143

公報発行日　2023年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-162143

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