特開 2023-166110 装置及び該装置の取り扱い方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023166110

(43)【公開日】2023-11-21

(54)【発明の名称】装置及び該装置の取り扱い方法

(51)【国際特許分類】

   B23Q 1/28 20060101AFI20231114BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20231114BHJP

   B23Q 1/58 20060101ALI20231114BHJP

   B23Q 1/00 20060101ALI20231114BHJP

【ＦＩ】

B23Q1/28 C

H01L21/78 F

B23Q1/28 B

B23Q1/58 Z

B23Q1/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022076907

(22)【出願日】2022-05-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】飯塚 健太呂

【テーマコード（参考）】

3C048

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C048AA03

3C048BB03

3C048BC08

3C048DD01

5F063AA29

5F063CA04

(57)【要約】

【課題】搬送前に可動体を固定する固定部材を介在させる作業、搬送後の該固定部材を外し回収、処分する作業が必要となり、該作業が面倒で煩わしいという問題を解消する装置を提供する。
【解決手段】レール体２ｂ、２ｂと、レール体２ｂ、２ｂに移動可能に配設された可動体５３と、を含む装置１であって、膨張することによりレール体２ｂ、２ｂに可動体５３を固定するバルーン４０と、バルーン４０にエアー１００を供給するエアー供給部及びバルーン４０からエアーを排出するエアー排出部を兼ねる開口部２２と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

レール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置であって、
膨張することにより該レール体に該可動体を固定するバルーンと、該バルーンにエアーを供給するエアー供給部と、該バルーンからエアーを排出するエアー排出部と、
を備えた装置。

【請求項2】

該エアー供給部は、エアーを供給する開口部と、該開口部から該バルーンに連通する連通路と、該連通路に配設された逆止弁と、から構成され、
該エアー排出部は、該開口部から該逆止弁を押圧して該バルーンのエアーを該開口部から排出するエアー抜き器を含む請求項１に記載の装置。

【請求項3】

該エアー抜き器は、吸引源を備える請求項２に記載の装置。

【請求項4】

請求項１に記載の装置の取り扱い方法であって、
該エアー供給部からエアーを供給して該バルーンを膨張させて該レール体に該可動体を固定する固定ステップと、
該装置を設置場所まで移動する移動ステップと、
該設置場所において、該エアー排出部からエアーを排出して該バルーンを収縮させて該可動体の固定を解除する固定解除ステップと、
を含み構成される装置の取り扱い方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、レール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置及び該装置の取り扱い方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが、分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向及びＹ軸方向と直交するＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸送り手段と、複数のウエーハを収容したカセットを載置し上下動するカセットテーブルと、カセットから仮受けテーブルまでウエーハを搬出する搬出手段と、該仮受けテーブルから該チャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送手段と、を含み構成されている（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１１１６２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記のダイシング装置を搬送元（例えば製造工場）から貨物トラック等により設置場所まで搬送する際には、Ｘ軸送り手段、Ｙ軸送り手段、Ｚ軸送り手段等によりレール体に沿って移動させられる可動体が動かないように固定する必要がある。そのため、搬送前に該可動体を固定する固定部材を介在させる作業を実施すると共に、設置場所に到着した後、該固定部材を外し、該固定部材を回収、又は処分する作業が必要となり、該作業が面倒で煩わしいという問題がある。このような問題は、上記したダイシング装置に限らず、レーザー加工装置や、その他のレール体と該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置全般に起こり得る問題である。

【0006】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、搬送前に可動体を固定する固定部材を介在させる作業を実施すると共に、設置場所に到着した後、該固定部材を外し、該固定部材を回収、又は処分する作業が必要となり、該作業が面倒で煩わしいという問題を解消する装置、及び該装置の取り扱い方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、レール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置であって、膨張することにより該レール体に該可動体を固定するバルーンと、該バルーンにエアーを供給するエアー供給部と、該バルーンからエアーを排出するエアー排出部と、を備えた装置が提供される。

【0008】

該エアー供給部は、エアーを供給する開口部と、該開口部から該バルーンに連通する連通路と、該連通路に配設された逆止弁と、から構成され、該エアー排出部は、該開口部から該逆止弁を押圧して該バルーンのエアーを該開口部から排出するエアー抜き器を含むようにすることが好ましい。また、該エアー抜き器は、吸引源を備えるようにしてもよい。

【0009】

また、本発明によれば、上記した装置の取り扱い方法であって、該エアー供給部からエアーを供給して該バルーンを膨張させて該レール体に該可動体を固定する固定ステップと、該装置を設置場所まで移動する移動ステップと、該設置場所において、該エアー排出部からエアーを排出して該バルーンを収縮させて該可動体の固定を解除する固定解除ステップと、を含み構成される装置の取り扱い方法が提供される。

【発明の効果】

【0010】

本発明の装置は、レール体と、該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置であって、膨張することにより該レール体に該可動体を固定するバルーンと、該バルーンにエアーを供給するエアー供給部と、該バルーンからエアーを排出するエアー排出部と、を備えていることから、該装置を搬送元から設置場所まで搬送する間、該装置が揺れたり、振動したりしても、可動体がレール体に固定されて動くことが防止可能になり、可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外して固定部材を処分したり回収したりする作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題を解消することが可能になる。

【0011】

また、本発明の装置の取り扱い方法は、該装置の該エアー供給部からエアーを供給して該バルーンを膨張させて該レール体に該可動体を固定する固定ステップと、該装置を設置場所まで移動する移動ステップと、該設置場所において、該エアー排出部からエアーを排出して該バルーンを収縮させて該可動体の固定を解除する固定解除ステップと、を含み構成されることから、該装置を搬送元から設置場所まで搬送する間、該装置が揺れたり、振動したりしても、可動体がレール体に固定されて動くことが防止され、可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外して固定部材を処分したり回収したりする作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題が解消される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】ダイシング装置の全体斜視図である。

【図2】（ａ）図１に記載のダイシング装置に装着された第２の可動体の一部が断面とされた正面図、（ｂ）（ａ）に示す第２の開口部及び逆止弁を拡大して示す断面図である。

【図3】（ａ）本実施形態の固定ステップの実施態様を示す第２の可動体の一部を断面で示す正面図、（ｂ）（ａ）に示す第２の可動体の第２の開口部及び逆止弁の拡大断面図である。

【図4】本実施形態の固定解除ステップの実施態様を示す第２の可動体の一部拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に基づいて構成される装置及び該装置の取り扱い方法に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0014】

図１には、本発明の装置に係る実施形態として開示するダイシング装置１の全体斜視図が示されている。ダイシング装置１は、静止基台２上に配設されており、被加工物を保持する保持手段３と、保持手段３に保持された被加工物に切削加工を施す切削手段５と、保持手段３を図中矢印Ｘで示すＸ軸方向に加工送りする第１の送り手段６と、切削手段５を該Ｘ軸方向と直交する図中矢印Ｙで示すＹ軸方向に割り出し送りする第２の送り手段７と、を備えている。

【0015】

静止基台２の上面２ｃには、Ｘ軸方向に沿う一対の第１のレール体２ａ、２ａと、Ｙ軸方向に沿う一対の第２のレール体２ｂ、２ｂが配設されている。保持手段３は、該第１のレール体２ａ、２ａに移動可能に配設された第１の可動体３１と、第１の可動体３１の上面３１ａに固定された円柱部材３２と、円柱部材３２の上部に固定されたカバー部材３３と、カバー部材３３の上面に突出し、被加工物を吸引保持するチャックテーブル３４と、チャックテーブル３４の外周に均等な間隔で複数（本実施形態では４つ）配設され被加工物を支持するフレーム（図示は省略している）を把持するクランプ３５と、を備えている。

【0016】

第１の送り手段６は、モータ６１とボールスクリュー６２とを含む。ボールスクリュー６２の一端部にモータ６１が配設され、他端部は、基台２の上面２ｃに配設された軸受部６３により回転自在に支持されている。モータ６１の回転運動は、ボールスクリュー６２を介して第１の可動体３１の下面側に配設された図示を省略するナット部材にボールねじ機構により伝達されて直線運動に変換される。これにより、第１の可動体３１の下面側の摺動溝３１ｂ、３１ｂが摺動自在に係合する第１のレール体２ａ、２ａに沿って第１の可動体３１をＸ軸方向において進退させる。

【0017】

切削手段５は、第２の可動体５３によって支持されて、保持手段３がＸ軸方向において移動する領域のＹ軸方向に隣接した後方位置に配設されている。切削手段５はスピンドルユニット５０を備えている。スピンドルユニット５０の先端側には、ブレードカバー５２が配設され、スピンドルユニット５０によって回転自在に支持された回転スピンドルの先端部に固定された切削ブレード５１を保護している。スピンドルユニット５０の後端側には図示を省略するサーボモータ等の回転駆動源が収容されており、該サーボモータを回転させることで切削ブレード５１を回転させる。また、スピンドルユニット５０には、保持手段３に保持される被加工物を撮像し加工すべき領域を検出する撮像手段４が一体的に配設されている。

【0018】

第２の可動体５３は、水平壁部５３ａと、水平壁部５３ａに立設された垂直壁部５３ｂとを備え、水平壁部５３ａの下面側に配設されたレール係合部５３ｃ、５３ｃが、第２のレール体２ｂ、２ｂに摺動自在に係合し、第２の送り手段７によって移動可能に構成されている。第２の送り手段７は、サーボモータ７１と、基台２上に配設された軸受部７３に端部が回転自在に支持されたボールスクリュー７２とを備え、サーボモータ７１の回転運動を、水平壁部５３ａの下面側に配設された図示を省略するナット部材に伝達し、ボールねじ機構を介して直線運動に変換し、第２のレール体２ｂ、２ｂに沿って第２の可動体５３をＹ軸方向において進退させる。

【0019】

第２の可動体５３の垂直壁部５３ｂの側面には、矢印Ｚで示すＺ軸方向（上下方向）に沿って支持された一対の第３のレール体５４、５４が設けられている（一部を破線で示す）。第３のレール体５４、５４には、スピンドルユニット５０を支持する支持部材として機能する第３の可動体５５が摺動可能に取り付けられている。上記した垂直壁部５３ｂには、サーボモータ５６が配設されており、サーボモータ５６の回転を、軸受部に一端部が回転自在に支持された図示を省略するボールスクリューを介して、ボールねじ機構により直線運動に変換し、第３の可動体５５に伝達する。サーボモータ５６を正転、又は逆転させることにより、第３の可動体５５をＺ軸方向に進退させる。

【0020】

ダイシング装置１には、図示を省略する制御手段が配設されている。制御手段は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算処理を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を一時的に格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている（詳細についての図示は省略する）。該制御手段は、ダイシング装置１の各作動部を制御すると共に、撮像手段４によって撮像された画像に基づき、アライメントを行うことができる。

【0021】

本実施形態のダイシング装置１の第１の可動体３１には、膨張することにより第１のレール体２ａ、２ａに第１の可動体３１を固定するバルーンが配設され、第２の可動体５３の水平壁部５３ａにも、膨張することにより第２のレール体２ｂ、２ｂに第２の可動体５３を固定するバルーンが配設されている。さらに、第１の可動体３１、水平壁部５３ａのそれぞれに、各バルーンにエアーを供給するエアー供給部と、該バルーンからエアーを排出するエアー排出部とが配設されている。

【0022】

本実施形態では、図１に示す第１の可動体３１の上面３１ａに配設された第１の開口部３１ｃ、及び水平壁部５３ａの上面５３ｄに配設された第２の開口部２２のそれぞれが、上記したエアー供給部とエアー排出部とを兼ねている。

【0023】

図２（ａ）には、上記した第２の可動体５３の水平壁部５３ａの第２の開口部２２が形成された領域の一部のみをＸ軸方向に切った断面とした正面図が示されている。図示のように、該水平壁部５３ａの下面側には、バルーン４０が配設され、上記の第２の開口部２２をエアー供給部としてバルーン４０にエアーが供給されると共に、第２の開口部２２をエアー排出部としてバルーン４０からエアーが排出される。さらに、本実施形態では、第２の開口部２２は、逆止弁２０を備えている。上記した図２（ａ）と、逆止弁２０を含む第２の開口部２２が形成された領域を拡大した図２（ｂ）を参照しながら以下に説明する。

【0024】

図２（ｂ）に示すように、第２の開口部２２の下方側には、バルーン４０に連通する連通路２３、逆止弁２０が形成されている。逆止弁２０は、例えばボール弁タイプの逆止弁である。逆止弁２０は、連通路２３に形成された弁座２４と、該弁座２４に当接する金属製の球体からなるボール弁２６と、該ボール弁２６を閉弁する方向に押圧する圧縮コイルばね２７と、圧縮コイルばね２７を保持するばね座２８ａを備え、バルーン４０の開口部４２を保持する連結部材２８と、を備えている。第２の可動体５３の水平壁部５３ａに対してバルーン４０を配設する場合は、該水平壁部５３ａの連通路２３に下方側からねじ込むことにより配設する。該バルーン４０は、図２（ａ）に示すように、開口部４２、蛇腹部４３、及び下面部４４を備えるものであり、バルーン４０の内部に圧縮空気が導入されず、該内部が大気に開放された場合には、蛇腹部４３の作用により収縮し、図２（ａ）に示すように、下面部４４が静止基台２の上面２ｃから大きく離反した状態になる。

【0025】

なお、上記した実施形態において配設された第２の開口部２２は、エアー供給部とエアー排出部とを兼ねているが、本発明はこれに限定されず、水平壁部５３ａの上面５３ｄに開口部を二つ形成し、一方をエアー供給部とし、他方をエアー排出部としてもよい。

【0026】

また、第１の可動体３１の第１の開口部３１ｃにも上記した逆止弁２０と同様の逆止弁を配設し、第１の開口部３１ｃ及び該逆止弁を介して、上記したバルーン４０と同様のバルーンに対してエアーが供給され、該第１の開口部３１ｃ及び逆止弁を介して該バルーンからエアーが排出される（詳細な説明は省略する）。

【0027】

本実施形態のダイシング装置１は、概ね上記したとおりであり、上記したダイシング装置１を、搬送元、例えば、ダイシング装置１の組み立て工場から、所望の設置場所（例えば、半導体ウエーハを切削加工する加工工場）に移動して設置する際の本装置の取り扱い方法について説明する。

【0028】

搬送元からダイシング装置１を搬送する前に、第１のレール体２ａ、２ａに第１の可動体３１を固定し、第２のレール体２ｂ、２ｂに第２の可動体５３を固定するための固定ステップを実施する。該固定ステップについて、第２のレール体２ｂ、２ｂ及び第２の可動体５３を示す図３を参照しながらより具体的に説明する。

【0029】

該固定ステップを実施するに際し、予め第１の可動体３１及び第２の可動体５３を、所定の固定位置に移動させておく。次いで、搬送元（例えば組み立て工場）において、図３（ａ）に示すエアー供給装置８を用意する。エアー供給装置８は、高圧のエアー１００を噴出する供給ノズル８１と、エアー供給路８２と、該エアー供給路８２上に配設される開閉弁８３と、エアー供給路８２にエアー１００を供給するエアーポンプ８４とを備えている。エアー供給装置８を用意したならば、第１の可動体３１、及び第２の可動体５３を該固定位置に移動させた状態で、開閉弁８３を開放すると共に、エアーポンプ８４を作動し、エアー供給路８２にエアー１００を供給する。そして、供給ノズル８１を、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、水平壁部５３ａの第２の開口部２２に位置づけて、高圧のエアー１００を導入する。これにより、図３（ｂ）に示すように、ボール弁２６が弁座２４から離れて逆止弁２０を開放し、連通路２３にエアー１００が通過する通路を形成し、バルーン４０の内部に該エアー１００を導入して、バルーン４０を膨張させる。この結果、バルーン４０の下面部４４が静止基台２の上面２ｃに当接する。これにより、第２の可動体５３は、第２のレール体２ｂ、２ｂに対して固定される。この手順と同様の手順を、第１の可動体３１の上面３１ａ上に形成された第１の開口部３１ｃに対しても実行して、上記したエアー供給装置８の供給ノズル８１から、第１の開口部３１ｃ、及び図示を省略する逆止弁を介して第１の可動体３１の下面に配設されたバルーンにエアー１００を供給する。これにより、上記のバルーン４０と同様に、該バルーンを膨張させて、静止基台２の上面２ｃに当接させて、第１のレール体２ａ、２ａに、第１の可動体３１を固定する。以上により、固定ステップが完了する。

【0030】

上記のように、固定ステップを実施したならば、該ダイシング装置１を、所望の設置場所まで移動する移動ステップを実施する。該装置移動ステップの詳細は省略するが、貨物トラック等の運送車両に載せる等して設置場所に搬送する。

【0031】

該設置場所にダイシング装置１を搬送したならば、適宜の組み立て作業等を経て以下に説明する固定解除ステップを実施する。

【0032】

固定解除ステップを実行するに際し、本実施形態では、図４に示すエアー抜き器９を使用する。エアー抜き器９は、上下に貫通する通路９１を備えると共に該通路９１の上端に環状鍔部９２を有する中空円筒状の基部９３を備えている。該基部９３の下端側には、図示の如き下方に向け凹状に切り欠いた複数の切り欠け部９４（本実施形態では、均等な間隔で４つ）が形成されている。基部９３の直径は、上記した第２の開口部２２の直径より若干小さい径で形成されている。上記したエアー抜き器９を用意し、図４に示すように、エアー抜き器９の基部９３を第２の開口部２２に挿入し、基部９３の切り欠け部９４側を、ボール弁２６に当接して押し下げる。これにより、ボール弁２６が弁座２４から離れて、逆止弁２０が開放され、バルーン４０の内部に蓄圧されていた圧縮エアー１００が、連通路２３を介して、外部に排出される。この結果、バルーン４０は、蛇腹部４３の作用により収縮して、下面部４４が、静止基台２の上面２ｃから離反し、第２の可動体５３の第２のレール体２ｂ、２ｂへの固定が解除される。これと同様の手順により、第２の開口部２２と同一の直径に形成された第１の開口部３１ｃに上記のエアー抜き器９を挿入して、第１の可動体３１の下面側に配設された図示を省略するバルーンから圧縮エアー１００を排出して収縮させ、第１の可動体３１の第１のレール体２ａ、２ａへの固定を解除する。以上により固定解除ステップが完了し、ダイシング装置１を、搬送元、例えば、ダイシング装置１の組み立て工場から、所望の設置場所（例えば、半導体ウエーハを切削加工する加工工場）に搬送して設置するまでの本装置の取り扱い方法が完了する。

【0033】

なお、本発明は、必ずしも上記した形態のエアー抜き器９を使用することに限定されない。例えば、第２の開口部２２よりも細い棒状部材により、逆止弁２０のボール弁２６を押し下げることによっても、逆止弁２０を開放することが可能である。

【0034】

上記した本実施形態のダイシング装置１によれば、ダイシング装置１を搬送元から設置場所まで搬送する間、該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第１の可動体３１、及び第２の可動体５３が第１のレール体２ａ、２ａ、及び第２のレール体２ｂ、２ｂに固定されて動くことが防止可能になる。さらに、各可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外して固定部材を処分したり回収したりする作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題を解消することが可能になる。

【0035】

さらに、上記のダイシング装置１の取り扱い方法を実施することにより、ダイシング装置１を搬送元から設置場所まで搬送する間、該ダイシング装置１が揺れたり、振動したりしても、第１の可動体３１、及び第２の可動体５３が第１のレール体２ａ、２ａ、第２のレール体２ｂ、２ｂに固定されることから、搬送中に動くことを防止することができ、各可動体が動かないように、別途の固定部材を介在する作業、及び設置場所に到着した後に、固定部材を外して該固定部材を処分したり回収したりする作業が不要となり、設置作業が面等で煩わしいという問題を解消することができる。

【0036】

なお、本発明は、上記した実施形態に限定されない。上記した実施形態のバルーン４０は、蛇腹部４３を有することで、膨張・収縮するものであったが、本発明のバルーンはこれに限定されず、例えば、蛇腹部４３を有しない合成ゴムから形成される風船状のバルーンであってもよい。また、上記した実施形態では、固定解除ステップを実施する際に、エアー抜き器９を別途用意して、バルーン４０からエアー１００を排出すべく第２の開口部２２に挿入するようにしたが、該エアー抜き器９を、予め第２の開口部２２に対して装着しておき、エアー排出部の一部として構成するようにしてもよい。

【0037】

また、上記した実施形態では、エアー抜き器９を使用して、エアー抜き器９の通路９１からエアー１００を排出したが、該エアー抜き器９に対して、図示を省略する吸引源を備えるようにしてもよい。エアー抜き器９に吸引源を配設した場合には、上記の固定解除ステップを実施する際に、該吸引源を作動することで、バルーン４０から速やかに且つ十分にエアー１００を排出して、確実に固定解除ステップを実施することができる。

【0038】

さらに、上記した実施形態では、第１のレール体２ａ、２ａと第１の可動体３１との間、及び第２のレール体２ｂ、２ｂと第２の可動体５３の水平壁部５３ａとの間に、本発明に基づき構成したバルーンを配設し、該バルーンにエアーを供給するエアー供給部と、該バルーンからエアーを排出するエアー排出部とを設ける例を示したが、上記したダイシング装置１の第３のレール体５４、５４と第３の可動体５５との間にも同様のバルーンを配設すると共に、第３の可動体５５に対し、該バルーンにエアーを供給するエアー供給部及び該バルーンからエアーを排出するエアー排出部に相当する開口部を配設し、上記した取り扱い方法の固定ステップ、及び固定解除ステップを実施するようにしてもよい。

【0039】

また、上記した実施形態では、本発明に基づき構成する装置を、ダイシング装置１に適用する例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、レーザー加工装置に適用することも可能であり、また、レール体と該レール体に移動可能に配設された可動体と、を含む装置全般に適用することも可能である。

【符号の説明】

【0040】

１:ダイシング装置
２：静止基台
２ａ：第１のレール体
２ｂ：第２のレール体
２ｃ：上面
３：保持手段
３１：第１の可動体
３１ａ：上面
３１ｂ：摺動溝
３１ｃ：第１の開口部
３２：円柱部材
３３：カバー部材
３４：チャックテーブル
３５：クランプ
４：撮像手段
５：切削手段
５０：スピンドルユニット
５１：切削ブレード
５２：ブレードカバー
５３：第２の可動体
５３ａ：水平壁部
５３ｂ：垂直壁部
５３ｃ：レール係合部
５３ｄ：上面
５４：第３のレール体
５５：第３の可動体
５６：サーボモータ
６：第１の送り手段
６１：モータ
６２：ボールスクリュー
６３：軸受部
７：第２の送り手段
７１：サーボモータ
７２：ボールスクリュー
８：エアー供給装置
８１：供給ノズル
８２：エアー供給路
８３：開閉弁
８４：エアーポンプ
９：エアー抜き器
９１：通路
９２：環状鍔部
９３：基部
９４：切り欠け部
２０：逆止弁
２２：第２の開口部
２３：連通路
２４：弁座
２５：連通路
２６：ボール弁
２７：圧縮コイルばね
２８：連結部材
４０：バルーン
４２：開口部
４３：蛇腹部
４４：下面部
１００：エアー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】