特開 2023-166136 ウェーハ洗浄装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023166136

(43)【公開日】2023-11-21

(54)【発明の名称】ウェーハ洗浄装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20231114BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 644G

H01L21/304 643A

H01L21/304 643C

H01L21/304 644B

H01L21/304 644C

H01L21/304 622Q

H01L21/304 621E

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022076948

(22)【出願日】2022-05-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】小木 智史

(72)【発明者】

【氏名】小西 洋輔

【テーマコード（参考）】

5F057

5F157

【Ｆターム（参考）】

5F057AA14

5F057AA21

5F057CA16

5F057DA39

5F057FA37

5F157AB02

5F157AB14

5F157AB33

5F157AB90

5F157AC01

5F157AC13

5F157BA07

5F157BA13

5F157BA31

5F157BB22

5F157BB37

5F157CE25

5F157CE27

5F157DB02

(57)【要約】

【課題】トリミング部分を含むウェーハの両面を、短時間で洗浄する。
【解決手段】トリミング部分１０３が形成されているウェーハ１００の表面１０１を洗浄する際、第１スポンジ３１を、表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動させる。第１スポンジ３１がトリミング部分１０３に接触することが抑制されるため、トリミング部分１０３によって第１スポンジ３１が削られることを抑制することができる。このため、第１スポンジ３１を交換する頻度を減らすことが可能である。また、第１スポンジ３１の削り屑の発生が抑えられるので、この削り屑を洗い流す工程が不要となる。したがって、ウェーハ１００を短時間で洗浄することが可能となる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の面の外周部分に他方の面に至らない環状のトリミング部分を有するウェーハの外周縁を支持して該ウェーハを回転させ、該ウェーハの一方の面と他方の面と該トリミング部分とを洗浄するウェーハ洗浄装置であって、
ウェーハの外周縁を支持する少なくとも３つの支持ローラと、
該支持ローラのうちの少なくとも１つを回転駆動させ、他を従動回転させて、該ウェーハを従動回転させるウェーハ回転機構と、
該ウェーハの一方の面に接触する第１スポンジと、
該ウェーハの他方の面に接触する第２スポンジと、
該第１スポンジと該第２スポンジとを、該ウェーハを挟むように対向配置させ、該ウェーハの径方向に移動させる径方向移動機構と、
該ウェーハの一方の面に垂直な方向に延在する回転軸で該第１スポンジを回転させる第１回転機構と、
該ウェーハの他方の面に垂直な方向に延在する回転軸で該第２スポンジを回転させる第２回転機構と、
該トリミング部分に水とエアとの混合流体である二流体を噴射して該トリミング部分を洗浄する二流体ノズルと、を備え、
該径方向移動機構によって、該第１スポンジが、ウェーハの一方の面の中心と該トリミング部分の手前との間で移動され、該第２スポンジが、ウェーハの他方の面の中心と外周との間で移動される、ウェーハ洗浄装置。

【請求項2】

該第１回転機構の回転軸と該第２回転機構の回転軸とが同一軸上に配置され、
該径方向移動機構によって、該第１スポンジを、ウェーハの中心から該トリミング部分の手前に移動させた際に、該第２スポンジが、ウェーハの中心から外周に移動するよう、該第２スポンジが該第１スポンジより大きい、
請求項１に記載のウェーハ洗浄装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハ洗浄装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１～３に開示のように、ウェーハの上下面を洗浄する洗浄装置は、ウェーハの外周縁に接触する複数のローラによってウェーハを支持し、ローラを回転させることによってウェーハを従動回転させる。さらに、ウェーハの上面および下面のそれぞれにスポンジを接触させた状態で、スポンジを回転させつつウェーハの径方向に移動させることにより、ウェーハの上面と下面とを洗浄している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３－０９２２７８号公報

【特許文献2】特開２００３－０７７８８１号公報

【特許文献3】特開２００２－１７０８０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、例えば、ウェーハの上面側の外周部分が砥石によってトリミングされている場合には、トリミングされている部分にスポンジが接触して、そのトリミングされている部分の角でスポンジが削られるため、スポンジを交換する頻度が多くなる。

【0005】

また、削られたスポンジの屑がウェーハの上面に付着しないように、洗浄水をかけて洗い流す時間が必要となるため、洗浄時間が長くなる。

【0006】

したがって、本発明の目的は、トリミング部分を有するウェーハを洗浄する際、トリミング部分を含むウェーハの両面を、短時間で洗浄することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明のウェーハ洗浄装置（本ウェーハ洗浄装置）は、一方の面の外周部分に他方の面に至らない環状のトリミング部分を有するウェーハの外周縁を支持して該ウェーハを回転させ、該ウェーハの一方の面と他方の面と該トリミング部分とを洗浄するウェーハ洗浄装置であって、ウェーハの外周縁を支持する少なくとも３つの支持ローラと、該支持ローラのうちの少なくとも１つを回転駆動させ、他を従動回転させて、該ウェーハを従動回転させるウェーハ回転機構と、該ウェーハの一方の面に接触する第１スポンジと、該ウェーハの他方の面に接触する第２スポンジと、該第１スポンジと該第２スポンジとを、該ウェーハを挟むように対向配置させ、該ウェーハの径方向に移動させる径方向移動機構と、該ウェーハの一方の面に垂直な方向に延在する回転軸で該第１スポンジを回転させる第１回転機構と、該ウェーハの他方の面に垂直な方向に延在する回転軸で該第２スポンジを回転させる第２回転機構と、該トリミング部分に水とエアとの混合流体である二流体を噴射して該トリミング部分を洗浄する二流体ノズルと、を備え、該径方向移動機構によって、該第１スポンジが、ウェーハの一方の面の中心と該トリミング部分の手前との間で移動され、該第２スポンジが、ウェーハの他方の面の中心と外周との間で移動される。
本ウェーハ洗浄装置では、該第１回転機構の回転軸と該第２回転機構の回転軸とが同一軸上に配置されていてもよく、該径方向移動機構によって、該第１スポンジを、ウェーハの中心から該トリミング部分の手前に移動させた際に、該第２スポンジが、ウェーハの中心から外周に移動するよう、該第２スポンジが該第１スポンジより大きくてもよい。

【発明の効果】

【0008】

本ウェーハ洗浄装置では、トリミング部分が形成されているウェーハの一方の面を洗浄する際、第１スポンジを、一方の面の中心とトリミング部分の手前との間で移動させている。したがって、第１スポンジがトリミング部分に接触することが抑制されるため、トリミング部分によって第１スポンジが削られることを抑制することができる。このため、第１スポンジを交換する頻度を減らすことが可能である。また、第１スポンジの削り屑の発生が抑えられるので、この削り屑を洗い流す工程が不要となる。したがって、ウェーハを短時間で洗浄することが可能となる。

【0009】

さらに、本ウェーハ洗浄装置では、第１スポンジおよび第２スポンジをウェーハの径方向に移動させてウェーハの両面を洗浄している際に、二流体ノズルから噴射された二流体によって、トリミング部分を洗浄することが可能である。したがって、ウェーハの両面とトリミング部分とを同時に洗浄することができる。したがって、洗浄時間が長くなることを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】洗浄装置の構成を示す斜視図である。

【図2】洗浄装置の構成および動作を示す説明図である。

【図3】洗浄装置の構成および動作を示す説明図である。

【図4】洗浄装置の他の構成を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

図１に示すように、本実施形態にかかるウェーハ洗浄装置１は、ウェーハ１００を洗浄するための装置である。

【0012】

ウェーハ１００は、図１および図２に示すように、一方の面である表面１０１側の外周部分に、他方の面である裏面１０２に至らない環状のトリミング部分１０３を備えている。このトリミング部分１０３は、ウェーハ１００における表面１０１の外周縁に形成された、段状に凹んだ部分である。このトリミング部分１０３により、ウェーハ１００では、表面１０１の径が、裏面１０２の径よりも小さくなっている。

【0013】

ウェーハ洗浄装置１は、このようなウェーハ１００の外周縁を支持してウェーハ１００を回転させ、ウェーハ１００の表面１０１と裏面１０２とトリミング部分１０３とを洗浄するウェーハ洗浄装置である。なお、ウェーハ１００は、トリミング部分１０３の形成されている表面１０１が上向きとなるように、ウェーハ洗浄装置１に設置される。

【0014】

ウェーハ洗浄装置１は、図１に示すように、ウェーハ１００の外周縁を支持する支持ローラとして、第１回転ローラ１１、第２回転ローラ１２、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２を有している。

【0015】

第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２は、ウェーハ１００を支持して回転させるための支持ローラである。図１に示すように、第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２は、ウェーハ１００の外周縁を支持する回転ローラ部１３、円柱状のローラ回転軸１４、および、ローラ回転軸１４を回転駆動させるローラ回転用モータ１５を有している。

【0016】

回転ローラ部１３は、図１および図２に示すように、円柱状のローラ本体１６、および、ローラ本体１６の上面１６１の中央に設けられた円柱状の凸部１７を備えている。そして、回転ローラ部１３は、ウェーハ１００の外周縁を、ローラ本体１６の上面１６１および凸部１７の側面１７１によって支持するように構成されている。

【0017】

また、回転ローラ部１３は、ローラ回転軸１４の先端に固定されており、ローラ回転用モータ１５によって、ウェーハ１００の外周縁を支持した状態で、図２に矢印５０１によって示すように、ローラ回転軸１４とともに回転すること可能である。

【0018】

第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２は、ウェーハ１００の回転に伴って回転する従動ローラである。図１および図２に示すように、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２は、ウェーハ１００の外周縁を支持する従動ローラ部２３、および、従動ローラ部２３を回転可能に支持する従動ローラ台２４を有している。

【0019】

従動ローラ部２３は、第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２の回転ローラ部１３と同様に、円柱状のローラ本体２６、および、ローラ本体２６の上面２６１の中央に設けられた円柱状の凸部２７を備えている。そして、従動ローラ部２３は、ウェーハ１００の外周縁を、ローラ本体２６の上面２６１および凸部２７の側面２７１によって支持するように構成されている。

【0020】

また、従動ローラ台２４は、細板形状を有しており、その両端部によって、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２の従動ローラ部２３を回転可能に支持している。したがって、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２の従動ローラ部２３は、ウェーハ１００を支持した状態で、ウェーハ１００の回転に伴って、図２に矢印５０２によって示すように回転すること可能である。

【0021】

このように、ウェーハ洗浄装置１は、４つの支持ローラとしての第１回転ローラ１１、第２回転ローラ１２、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２によって、ウェーハ１００を支持している。そして、第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２の回転ローラ部１３が回転することにより、ウェーハ１００を、ウェーハ１００の中心を通る回転軸を中心として従動回転させることが可能である。

【0022】

なお、第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２のローラ回転用モータ１５およびローラ回転軸１４、ならびに、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２における従動ローラ台２４は、支持ローラのうちの少なくとも１つを回転駆動させ、他を従動回転させて、ウェーハ１００を従動回転させるウェーハ回転機構の一例である。

【0023】

また、ウェーハ洗浄装置１は、図１および図２に示すように、ウェーハ洗浄装置１に支持されているウェーハ１００の表面１０１を洗浄するための第１洗浄機構３０、ウェーハ１００の裏面１０２を洗浄するための第２洗浄機構４０、ならびに、第１洗浄機構３０の第１スポンジ３１および第２洗浄機構４０の第２スポンジ４１を旋回させる径方向移動機構５０を備えている。

【0024】

第１洗浄機構３０は、ウェーハ１００の上方に配置されている。第１洗浄機構３０は、ウェーハ１００の表面１０１に接触する第１スポンジ３１、第１スポンジ３１を支持して回転する第１スポンジシャフト３２、第１スポンジ３１および第１スポンジシャフト３２を支持してウェーハ１００の上方で旋回する第１アーム３３、ならびに、洗浄水を噴射する第１洗浄水ノズル３５を有している。

【0025】

第１スポンジ３１は、ウェーハ１００の表面１０１に接触して表面１０１を洗浄するためのスポンジであり、第１スポンジシャフト３２の下端に支持されている。第１スポンジシャフト３２は、ウェーハ１００の表面１０１に垂直な方向に延在している。第１スポンジシャフト３２は、第１スポンジ３１を支持した状態で、第１スポンジ３１と一体的に回転可能なように構成されている。

【0026】

第１アーム３３は、先端に第１スポンジ３１および第１スポンジシャフト３２を支持している一方、径方向移動機構５０の旋回シャフト５１によって基端側を支持されている。

【0027】

第１洗浄水ノズル３５は、洗浄水源２００に接続されており、ウェーハ洗浄装置１に支持されているウェーハ１００の表面１０１に向けて洗浄水を噴射するために用いられる。

【0028】

一方、第２洗浄機構４０は、ウェーハ１００の下方に配置されている。第２洗浄機構４０は、ウェーハ１００の裏面１０２に接触する第２スポンジ４１、第２スポンジ４１を支持して回転する第２スポンジシャフト４２、第２スポンジ４１および第２スポンジシャフト４２を支持してウェーハ１００の下方で旋回する第２アーム４３、ならびに、洗浄水を噴射する第２洗浄水ノズル４５を有している。

【0029】

第２スポンジ４１は、ウェーハ１００の裏面１０２に接触して裏面１０２を洗浄するためのスポンジであり、第２スポンジシャフト４２の上端に支持されている。第２スポンジ４１は、図２に示すように、第１スポンジ３１よりも大きい径を有している。第２スポンジシャフト４２は、ウェーハ１００の裏面１０２に垂直な方向に延在している。第２スポンジシャフト４２は、第２スポンジ４１を支持した状態で、第２スポンジ４１と一体的に回転可能なように構成されている。

【0030】

第２アーム４３は、先端に第２スポンジ４１および第２スポンジシャフト４２を支持している一方、旋回シャフト５１によって基端側を支持されている。また、第２アーム４３は、第１洗浄機構３０の第１アーム３３と同一方向に延びるように、旋回シャフト５１によって支持されている。したがって、第１洗浄機構３０の第１スポンジ３１と、第２洗浄機構４０の第２スポンジ４１とは、ウェーハ１００を挟むように対向配置されている。

【0031】

また、本実施形態では、第２スポンジ４１は、図２に示すように、第１スポンジ３１よりも大きい径を有している。具体的には、第２スポンジ４１の直径は、ウェーハ１００におけるトリミング部分１０３の径方向の幅の２倍（すなわち、表面１０１の直径と裏面１０２の直径との差）だけ、第１スポンジ３１の直径よりも大きく形成されている。

【0032】

第２洗浄水ノズル４５は、洗浄水源２００に接続されており、ウェーハ洗浄装置１に支持されているウェーハ１００の裏面１０２に向けて洗浄水を噴射するために用いられる。

【0033】

径方向移動機構５０は、図１および図２に示すように、第１洗浄機構３０の第１アーム３３および第２洗浄機構４０の第２アーム４３、これら第１アーム３３および第２アーム４３を支持する旋回シャフト５１、旋回シャフト５１を回転させるための旋回用モータ５２、旋回用モータ５２に取り付けられた主動ギア５３、および、旋回シャフト５１の下端に取り付けられた従動ギア５４を含んでいる。

【0034】

旋回シャフト５１は、ウェーハ洗浄装置１に支持されているウェーハ１００の表面１０１に対して垂直に延在している。旋回用モータ５２が主動ギア５３を回転駆動することで、主動ギア５３に歯合されている従動ギア５４が回転する。従動ギア５４が回転することで、旋回シャフト５１が回転する。

【0035】

そして、旋回シャフト５１が回転することにより、旋回シャフト５１に支持されている第１洗浄機構３０の第１アーム３３および第２洗浄機構４０の第２アーム４３が、旋回シャフト５１を旋回軸として旋回する。

【0036】

これにより、第１アーム３３に第１スポンジシャフト３２を介して支持されている第１スポンジ３１が、ウェーハ１００の表面１０１上で、表面１０１の中心を通るように、ウェーハ１００の径方向に移動する。さらに、第２アーム４３に第２スポンジシャフト４２を介して支持されている第２スポンジ４１も、ウェーハ１００の裏面１０２上で、裏面１０２の中心を通るように、ウェーハ１００の径方向に移動する。

【0037】

このように、径方向移動機構５０は、第１スポンジ３１と第２スポンジ４１とを、ウェーハ１００を挟むように対向配置させ、ウェーハ１００の径方向に移動させるように構成されている。

【0038】

また、ウェーハ洗浄装置１は、図２に示すように、第１スポンジ３１をウェーハ１００の表面１０１に垂直な方向に延在する回転軸で回転させる第１回転機構６０、および、第２スポンジ４１をウェーハ１００の裏面１０２に垂直な方向に延在する回転軸で回転させる第２回転機構７０を有している。

【0039】

第１回転機構６０は、図２に示すように、スポンジ回転用モータ６１、スポンジ回転用モータ６１に取り付けられた回転シャフト６２、回転シャフト６２の先端に取り付けられた第１主動プーリ６３、第１主動プーリ６３に対して第１無端ベルト６４を介して接続されている第１従動プーリ６５、および、第１従動プーリ６５に取り付けられた上述の第１スポンジシャフト３２を含んでいる。

【0040】

スポンジ回転用モータ６１が回転シャフト６２を回転駆動することで、その先端の第１主動プーリ６３が回転され、第１主動プーリ６３の回転に伴って第１無端ベルト６４が回動する。そして、第１無端ベルト６４が回動することで、第１従動プーリ６５および第１スポンジシャフト３２が回転する。これにより、第１スポンジシャフト３２の先端に取り付けられた第１スポンジ３１が、ウェーハ１００の表面１０１に垂直な方向に延在する第１スポンジシャフト３２を回転軸として、矢印５０３に示すように回転される。

【0041】

第２回転機構７０は、図２に示すように、上述したスポンジ回転用モータ６１および回転シャフト６２に加えて、回転シャフト６２の基端側に取り付けられた第２主動プーリ７３、第２主動プーリ７３に対して第２無端ベルト７４を介して接続されている第２従動プーリ７５、および、第２従動プーリ７５に取り付けられた上述の第２スポンジシャフト４２を含んでいる。

【0042】

スポンジ回転用モータ６１が回転シャフト６２を回転駆動することで、第２主動プーリ７３が回転され、第２主動プーリ７３の回転に伴って第２無端ベルト７４が回動する。そして、第２無端ベルト７４が回動することで、第２従動プーリ７５および第２スポンジシャフト４２が回転する。これにより、第２スポンジシャフト４２の先端に取り付けられた第２スポンジ４１が、ウェーハ１００の裏面１０２に垂直な方向に延在する第２スポンジシャフト４２を回転軸として、矢印５０４に示すように回転される。

【0043】

なお、本実施形態では、第１回転機構６０の回転軸である第１スポンジシャフト３２と、第２回転機構７０の回転軸である第２スポンジシャフト４２とは、同一軸上に配置されている。

【0044】

また、ウェーハ洗浄装置１は、ウェーハ１００のトリミング部分１０３に水とエアとの混合流体である二流体を噴射してトリミング部分１０３を洗浄する二流体ノズル８０を備えている。図１および図２に示すように、二流体ノズル８０は、第１洗浄機構３０の第１アーム３３の基端側に、取付板３７を介して下向きに取り付けられている。

【0045】

二流体ノズル８０は、水とエアとの混合流体である二流体を噴射するように構成されている。すなわち、図１および図２に示すように、二流体ノズル８０は、エア源９１に連通可能なエア配管８１、および、水源９２に連通可能な水配管８２を有している。二流体ノズル８０は、エア配管８１介して供給されるエアと水配管８２を介して供給される水とを混合することにより、二流体を生成することができる。また、二流体ノズル８０は、その下端に、二流体を下向きに噴射する噴射口８３を備えている。

【0046】

二流体ノズル８０は、第１回転機構６０による第１アーム３３の旋回に伴って、ウェーハ１００の表面１０１上で移動することにより、ウェーハ１００のトリミング部分１０３の上方に配置されて、噴射口８３からトリミング部分１０３に、二流体を噴射することが可能である。

【0047】

また、ウェーハ洗浄装置１は、その内部に、ウェーハ洗浄装置１の制御のための制御部７を有している。制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、各種の処理を実行し、ウェーハ洗浄装置１の各構成要素を統括制御する。たとえば、制御部７は、ウェーハ洗浄装置１の上述した各部材を制御して、ウェーハ１００に対する洗浄処理を実行する。

【0048】

以下に、本実施形態におけるウェーハ洗浄装置１による洗浄処理について説明する。

【0049】

ウェーハ洗浄装置１による洗浄処理では、まず、作業者が、ウェーハ１００を、トリミング部分１０３の形成されている表面１０１が上向きとなるように、ウェーハ洗浄装置１の第１回転ローラ１１、第２回転ローラ１２、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２に支持させる。次に、制御部７が、径方向移動機構５０を制御して、第１洗浄機構３０の第１スポンジ３１をウェーハ１００の表面１０１に接触させるとともに、第２洗浄機構４０の第２スポンジ４１を裏面１０２に接触させる。

【0050】

次に、制御部７が、第１回転ローラ１１および第２回転ローラ１２の回転ローラ部１３を、ローラ回転用モータ１５を用いて回転させる。これにより、ウェーハ１００が、ウェーハ１００の中心を通る回転軸を中心として従動回転する。

【0051】

さらに、制御部７は、第１洗浄機構３０の第１洗浄水ノズル３５および第２洗浄機構４０の第２洗浄水ノズル４５を、洗浄水源２００に連通させる。これにより、ウェーハ１００の表面１０１および裏面１０２のそれぞれに向けて、洗浄水が噴射される。

【0052】

次に、制御部７は、第１回転機構６０および第２回転機構７０のスポンジ回転用モータ６１を駆動することにより、ウェーハ１００の表面１０１に接触している第１洗浄機構３０の第１スポンジ３１、および、裏面１０２に接触している第２洗浄機構４０の第２スポンジ４１を回転させる。

【0053】

続いて、制御部７は、二流体ノズル８０のエア配管８１にエア源９１を連通させるとともに、水配管８２に水源９２を連通させる。これにより、二流体ノズル８０の噴射口８３から、水とエアとの混合流体である二流体が噴射される。

【0054】

次に、制御部７は、径方向移動機構５０の旋回用モータ５２を駆動することにより、図３に矢印５０５によって示すように、旋回シャフト５１を回転させる。これにより、第１洗浄機構３０の第１アーム３３および第２洗浄機構４０の第２アーム４３が、旋回シャフト５１を旋回軸として旋回する。

【0055】

これにより、第１アーム３３に支持されて回転している第１スポンジ３１が、ウェーハ１００の表面１０１上で、表面１０１の中心を通るように、ウェーハ１００の径方向に移動する。さらに、第２アーム４３に支持されて回転している第２スポンジ４１も、ウェーハ１００の裏面１０２上で、裏面１０２の中心を通るように、ウェーハ１００の径方向に移動する。

【0056】

この際、制御部７は、径方向移動機構５０を用いて、第１スポンジ３１を、ウェーハ１００の表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動させる。

【0057】

ここで、上述したように、第１スポンジ３１と第２スポンジ４１とは、ウェーハ１００を挟むように対向配置されているとともに、第２スポンジ４１の直径は、トリミング部分１０３の径方向の幅の２倍分だけ、第１スポンジ３１の直径よりも大きい。したがって、第１スポンジ３１をウェーハ１００の表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動させることによって、第２スポンジ４１を、ウェーハ１００の裏面１０２の中心と外周との間で移動させることができる。

【0058】

このようにして、本実施形態では、制御部７の制御により、径方向移動機構５０によって、第１スポンジ３１が、ウェーハ１００の表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動され、第２スポンジ４１が、ウェーハ１００の裏面１０２の中心と外周との間で移動される。これにより、洗浄水が噴射されている表面１０１および裏面１０２の全面に、回転している第１スポンジ３１および第２スポンジ４１を接触させて、表面１０１および裏面１０２の全面を洗浄することができる。

【0059】

また、第１回転機構６０による第１アーム３３の旋回に伴って、二流体ノズル８０も、ウェーハ１００の表面１０１上で移動する。そして、二流体ノズル８０がトリミング部分１０３の上方に配置されたときに、噴射口８３の二流体がトリミング部分１０３に噴射される。これにより、トリミング部分１０３が二流体により洗浄される。

【0060】

以上のように、本実施形態では、トリミング部分１０３が形成されているウェーハ１００の表面１０１を洗浄する際、第１スポンジ３１を、表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動させている。したがって、第１スポンジ３１がトリミング部分１０３に接触することが抑制されるため、トリミング部分１０３によって第１スポンジ３１が削られることを抑制することができる。このため、第１スポンジ３１を交換する頻度を減らすことが可能である。また、第１スポンジ３１の削り屑の発生が抑えられるので、この削り屑を洗い流す工程が不要となる。したがって、ウェーハ１００を短時間で洗浄することが可能となる。

【0061】

さらに、本実施形態では、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１をウェーハ１００の径方向に移動させて表面１０１および裏面１０２を洗浄している際に、二流体ノズル８０から噴射した二流体によって、トリミング部分１０３を洗浄している。したがって、表面１０１および裏面１０２とトリミング部分１０３とを同時に洗浄することができる。したがって、洗浄時間が長くなることを抑制することができる。

【0062】

また、本実施形態では、二流体ノズル８０が、第１洗浄機構３０の第１アーム３３の基端側に取り付けられている。したがって、二流体ノズル８０と第１スポンジ３１および第２スポンジ４１とが離れているため、二流体ノズル８０から噴出される二流体によってトリミング部分１０３が洗浄されたときに、トリミング部分１０３を洗浄した汚れを含む二流体が、第１スポンジ３１または第２スポンジ４１にかかることを抑制することができる。

【0063】

また、本実施形態では、径方向移動機構５０によって、第１スポンジ３１をウェーハ１００の中心からトリミング部分１０３の手前に移動させた際に、第２スポンジ４１が、ウェーハ１００の中心から外周に移動するよう、第２スポンジ４１が第２スポンジ４１よりも大きく形成されている。したがって、第１スポンジ３１がウェーハ１００のトリミング部分１０３に接触することを回避しながら、ウェーハ１００の表面１０１の全面および裏面１０２の全面を、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１によって容易に洗浄することが可能である。

【0064】

なお、制御部７は、二流体ノズル８０がトリミング部分１０３の上方に配置されていないときには、二流体ノズル８０から水のみを噴出させるか、二流体ノズル８０からの流体の噴出を停止してもよい。

【0065】

また、本実施形態では、ウェーハ洗浄装置１は、ウェーハ１００の外周縁を支持する支持ローラとして、４つの支持ローラ、すなわち、第１回転ローラ１１、第２回転ローラ１２、第１従動ローラ２１および第２従動ローラ２２を有している。これに関し、ウェーハ洗浄装置１には、少なくとも３つの支持ローラが備えられていればよい。したがって、ウェーハ１００の外周縁を支持する支持ローラの数は、３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。なお、支持ローラにおける少なくとも１つは、ローラ回転用モータ１５を含む回転ローラである。

【0066】

また、本実施形態では、二流体ノズル８０が第１洗浄機構３０の第１アーム３３の基端側に取り付けられている一方、第１スポンジ３１が、第１アーム３３の先端に取り付けられており、二流体ノズル８０と第１スポンジ３１とが比較的に離れている。これに関し、たとえば先端が２つに分かれたＶ字状あるいはＹ字状の第１アーム３３を用いることなどにより、第１スポンジ３１と二流体ノズル８０とが互いに隣接するように配置されてもよい。

【0067】

この場合、制御部７は、二流体ノズル８０がトリミング部分１０３の上方に配置されていないときには、二流体ノズル８０から水のみを噴出させるか、二流体ノズル８０からの流体の噴出を停止する一方、二流体ノズル８０がトリミング部分１０３の上方に配置されたときには、二流体ノズル８０から二流体を噴射させて、トリミング部分１０３を洗浄するような制御を実施してもよい。

【0068】

また、本実施形態では、第１スポンジ３１がウェーハ１００のトリミング部分１０３に接触することを回避しながら、表面１０１および裏面１０２の全面を洗浄するために、第２スポンジ４１が第１スポンジ３１よりも大きく形成されている。これに関し、第２スポンジ４１を第１スポンジ３１よりも大きく形成することに代えて、第１スポンジ３１を支持している第１アーム３３を、第２スポンジ４１を支持している第２アーム４３よりも短くしてもよい。

【0069】

すなわち、本実施形態では、径方向移動機構５０によって、第１スポンジ３１をウェーハ１００の中心からトリミング部分１０３の手前に移動させた際に、第２スポンジ４１が、ウェーハ１００の中心から外周に移動するよう、第１スポンジ３１を支持している第１アーム３３が、第２スポンジ４１を支持している第２アーム４３よりも短く形成されていてもよい。

【0070】

あるいは、制御部７は、第１スポンジ３１がウェーハ１００のトリミング部分１０３に接触することを回避しながら、表面１０１および裏面１０２の全面を洗浄できるように、第１スポンジ３１を支持している第１アーム３３と、第２スポンジ４１を支持している第２アーム４３とを、個別に旋回させてもよい。

【0071】

また、本実施形態では、ウェーハ１００が、トリミング部分１０３の形成されている表面１０１が上向きとなるように、ウェーハ洗浄装置１に設置されている。
これに関し、ウェーハ１００は、トリミング部分１０３の形成されている表面１０１が下向きとなるように、ウェーハ洗浄装置１に設置されてもよい。この場合、表面１０１を洗浄する第１スポンジ３１を含む第１洗浄機構３０がウェーハ１００の下方に配置される一方、裏面１０２を洗浄する第２スポンジ４１を含む第２洗浄機構４０がウェーハ１００の上方に配置される。そして、二流体ノズル８０は、第１洗浄機構３０の第１アーム３３に、噴射口８３から上方に向けて二流体を噴射するように、上向きに配置される。

【0072】

また、本実施形態では、第２スポンジ４１の直径は、図２に示すように、ウェーハ１００におけるトリミング部分１０３の径方向の幅の２倍（すなわち、表面１０１の直径と裏面１０２の直径との差）だけ、第１スポンジ３１の直径よりも大きく形成されている。これに関し、図４に示すように、第２スポンジ４１の直径は、ウェーハ１００におけるトリミング部分１０３の径方向の幅（すなわち、表面１０１の半径と裏面１０２の半径との差）Ｄ１だけ、第１スポンジ３１の直径よりも大きく形成されていてもよい。

【0073】

この場合、第１スポンジ３１の外周の一部と第２スポンジ４１の外周の一部とが、径方向において同じ位置になるように、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１が配置されているとよい。たとえば、図４に示す例では、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１がウェーハ１００の中央付近に配置されているときに、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１の外周における＋Ｙ方向側の端部が重なっている。すなわち、このような重なりが生じるように、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１の中心どうしが互いにずれている。

【0074】

この場合にも、図４に矢印５０６によって示すように、旋回シャフト５１が回転することにより、第１アーム３３に支持されている第１スポンジ３１が、ウェーハ１００の表面１０１の中心とトリミング部分１０３の手前との間で移動されたときに、第２アーム４３に支持されている第２スポンジ４１が、ウェーハ１００の裏面１０２の中心と外周との間で移動されて、表面１０１および裏面１０２の全面を洗浄することができる。したがって、第１スポンジ３１がウェーハ１００のトリミング部分１０３に接触することを回避しながら、ウェーハ１００の表面１０１の全面および裏面１０２の全面を、第１スポンジ３１および第２スポンジ４１によって容易に洗浄することが可能である。

【符号の説明】

【0075】

１：ウェーハ洗浄装置、７：制御部、１１：第１回転ローラ、１２：第２回転ローラ、
１３：回転ローラ部、１４：ローラ回転軸、１５：ローラ回転用モータ、
１６：ローラ本体、１７：凸部、２１：第１従動ローラ、２２：第２従動ローラ、
２３：従動ローラ部、２４：従動ローラ台、２６：ローラ本体、２７：凸部、
３０：第１洗浄機構、３１：第１スポンジ、３２：第１スポンジシャフト、
３３：第１アーム、３５：第１洗浄水ノズル、３７：取付板、４０：第２洗浄機構、
４１：第２スポンジ、４２：第２スポンジシャフト、４３：第２アーム、
４５：第２洗浄水ノズル、５０：径方向移動機構、５１：旋回シャフト、
５２：旋回用モータ、５３：主動ギア、５４：従動ギア、６０：第１回転機構、
６１：スポンジ回転用モータ、６２：回転シャフト、６３：第１主動プーリ、
６４：第１無端ベルト、６５：第１従動プーリ、７０：第２回転機構、
７３：第２主動プーリ、７４：第２無端ベルト、７５：第２従動プーリ、
８０：二流体ノズル、８１：エア配管、８２：水配管、８３：噴射口、
９１：エア源、９２：水源、２００：洗浄水源、
１００：ウェーハ、１０１：表面、１０２：裏面、１０３：トリミング部分

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】