特開2023-166817浸透素子、浸透装置、及び浸透素子を用いた浸透方法

発明の名称　浸透素子、浸透装置、及び浸透素子を用いた浸透方法

出願人　日本ゼオン株式会社　（識別番号 229117）

　　　　特許公開件数ランキング 330 位（93件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 182 位（156件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-166817

公報発行日　2023年11月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-166817

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