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特開2023-166903マイクロＬＥＤ表示素子用アンダーフィル材、アンダーフィル膜、アンダーフィル膜の製造方法およびマイクロＬＥＤ表示素子
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023166903
(43)【公開日】2023-11-22
(54)【発明の名称】マイクロＬＥＤ表示素子用アンダーフィル材、アンダーフィル膜、アンダーフィル膜の製造方法およびマイクロＬＥＤ表示素子
(51)【国際特許分類】
G03F 7/023 20060101AFI20231115BHJP
G03F 7/004 20060101ALI20231115BHJP
H01L 33/56 20100101ALI20231115BHJP
C08F 212/14 20060101ALI20231115BHJP
【ＦＩ】
G03F7/023
G03F7/004 501
G03F7/004 504
H01L33/56
C08F212/14
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022077758
(22)【出願日】2022-05-10
(71)【出願人】
【識別番号】000003986
【氏名又は名称】日産化学株式会社
(72)【発明者】
【氏名】後藤 耕平
(72)【発明者】
【氏名】遠藤 歳幸
(72)【発明者】
【氏名】杉浦 規生
【テーマコード（参考）】
2H225
4J100
5F142
【Ｆターム（参考）】
2H225AE06P
2H225AF05P
2H225AM22P
2H225AM23P
2H225AM25P
2H225AM38P
2H225AM39P
2H225AN38N
2H225BA22P
2H225CA21
2H225CB02
2H225CC03
2H225CC21
4J100AB07P
4J100AL03Q
4J100AL04Q
4J100AL05Q
4J100AL08P
4J100AL08Q
4J100AL08R
4J100AL09Q
4J100AL10Q
4J100AL11R
4J100AL16R
4J100AM21P
4J100AM49P
4J100BA02Q
4J100BA02R
4J100BA03P
4J100BA03Q
4J100BA04R
4J100BA05Q
4J100BA06Q
4J100BC43P
4J100BC43R
4J100BC49R
4J100BC53Q
4J100CA04
4J100CA05
4J100JA38
4J100JA44
5F142CG13
5F142CG42
(57)【要約】
【課題】感光性、フラックス性と接着性を有し、パターニングによりアレイ基板上の必要な箇所のみに膜を形成することで、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル材を提供すること。
【解決手段】 下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分および（Ｄ）成分を含有する熱硬化可能なポジ型感光性粘着組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂。
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
【選択図】なし
【解決手段】 下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分および（Ｄ）成分を含有する熱硬化可能なポジ型感光性粘着組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂。
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、及び（Ｄ）溶剤を含有するポジ型感光性粘着組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
【請求項2】
前記（Ａ）成分が、単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を含む重合体である請求項１に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【請求項3】
前記（Ａ）成分が、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）、及び単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である請求項２に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【請求項4】
前記フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）が、ｐ－ヒドロキシスチレン、ｍ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレンおよび、下記式（１）で表される化合物からなる群から選ばれる、請求項３に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（１）中、Ｐは（メタ）アクリル基、（メタ）アクリルアミド基、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド基、またはマレイミド基を表し、ｂ１は単結合、または炭素数１～１２の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、ｃ１は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、ｄ１は置換または非置換のヒドロキシフェニル基を表す。
【化1】
【請求項5】
前記単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）が、下記式（２）で表される化合物である請求項３～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（２）中、Ｒ２は水素原子またはメチル基を表し、ａ２は酸素原子または硫黄原子を表し、ｂ２は炭素数２～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、該アルキレン基中の－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ２は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、ｄ２は水素原子または水酸基を表す。
【化2】
【請求項6】
前記（Ａ）成分が、さらに下記式（３）で表される芳香族炭化水素基を含有するモノマー（Ａ３）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である請求項１～５のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（３）中、Ｒ３は水素原子またはメチル基を表し、ａ３は酸素原子、硫黄原子、－ＮＨ－、または－Ｎ（ＣＨ３）－を表し、ｂ３は単結合、または炭素数１～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、該アルキレン基中の－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ３は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－Ｎ（ＣＨ３）ＣＯ－、または－ＣＯＮ（ＣＨ３）－を表し、ｄ３は炭素数６～１０の置換または非置換の芳香族炭化水素基を表す。
【化3】
【請求項7】
（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｂ）成分が５～６０質量部である請求項１～６のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【請求項8】
（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｃ）成分が１０～１００質量部である請求項１～７のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【請求項9】
（Ｅ）成分として、界面活性剤を更に（Ａ）成分の１００質量部に対して０．０１～１．０質量部含有する、請求項１～８のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【請求項10】
請求項１～９のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物を硬化してなる硬化膜。
【請求項11】
請求項１０に記載の硬化膜をアンダーフィル材として有するＬＥＤ表示素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マイクロＬＥＤ表示素子用アンダーフィル材、アンダーフィル膜、アンダーフィル膜の製造方法およびマイクロＬＥＤ表示素子に関し、特に、マイクロＬＥＤ表示素子に用いられるアンダーフィル材、アンダーフィル膜の製造方法、その製造方法によって得られるアンダーフィル膜およびそのアンダーフィル膜を使用したマイクロＬＥＤ表示素子に関する。
【背景技術】
【0002】
現在、携帯電話、モニタやＴＶに使用されるフラットパネルディスプレイには液晶表示素子（ＬＣＤ）や有機発光ダイオード表示素子（ＯＬＥＤ）が主に用いられている。ＬＣＤは既に量産技術が十分に確立されており安価で大型化も可能な一方、表示にバックライトを使用する必要があることからフォームファクターやフレキシブル性に劣る。また、ＯＬＥＤはフレキシブル性に優れるものの表示素子の輝度を高くすると寿命が短くなるといった課題がある。これら欠点を解決できる表示素子として、近年、無機発光ダイオードをアレイ基板の各画素上に並べて表示を行うマイクロＬＥＤ表示素子が開発されている。マイクロＬＥＤ表示素子はマイクロメートルサイズの無機発光ダイオードを発光源として用いるため、ＬＣＤやＯＬＥＤと比べて輝度を高くすることができ、色純度も高く寿命も長い。また、画素毎にＬＥＤを配列させるため、各画素を独立させることが可能であり、フレキシブル性にも優れる。
【0003】
発光源のＬＥＤ素子は、例えばサファイア基板上に半導体層をエピタキシャル成長させて電極を形成した後、ダイシングすることで小片として供給される。マイクロＬＥＤ表示素子は、このようにして製造されたＬＥＤ素子を、高精度でアレイ基板上に並べる必要がある。ＬＥＤ素子をアレイ基板上に並べる手法として、これまで、各ＬＥＤ素子を一つずつ設置するＰｉｃｋ ＆ Ｐｌａｃｅ方式が検討されてきた。しかしながら、本手法ではＬＥＤの設置に膨大な時間が必要なため、大量生産には不向きであった。
【0004】
そこで、近年、接着性のある基材（スタンプ）で多量のＬＥＤ素子をサファイア基板から一度に取り上げ、アレイ基板にマストランスファした後、ボンディングヘッドによりＬＥＤ素子をアレイ基板の電極と熱圧着、またはレーザー加熱により金属接合するスタンプ方式が提案されている（非特許文献１、２）。この方式を用いると、一度に大量のＬＥＤ素子をアレイ基板上に並べ、アレイ基板と接合出来るため、Ｐｉｃｋ ＆ Ｐｌａｃｅ方式と比べてスループットの大幅な改善が見込まれている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0005】
【非特許文献1】Ａｄｖ．Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍａｔｅｒ．２０１５，３，１３１３－１３３５
【非特許文献2】ＳＩＤ ２０１７ ＤＩＧＥＳＴ，２５７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
以上のように、スタンプを用いたマストランスファ方式はＬＥＤ素子を一つずつアレイ基板上に並べるＰｉｃｋ ＆ Ｐｌａｃｅ方式と比べて大幅にスループットを改善出来る可能性を備えている。
しかしながら、本手法はアレイ基板とＬＥＤ素子との接着性とスタンプとＬＥＤ素子との接着性の差により、ＬＥＤ素子をサファイア基板からアレイ基板にマストランスファする方式であるため、アレイ基板上に接着性を有する膜が必要となる。一方で、マストランスファのためにアレイ基板上に膜を形成した場合、その後に配線が取り出し難いといった課題も浮上している。
しかしながら、本手法はアレイ基板とＬＥＤ素子との接着性とスタンプとＬＥＤ素子との接着性の差により、ＬＥＤ素子をサファイア基板からアレイ基板にマストランスファする方式であるため、アレイ基板上に接着性を有する膜が必要となる。一方で、マストランスファのためにアレイ基板上に膜を形成した場合、その後に配線が取り出し難いといった課題も浮上している。
【0007】
また、マストランスファされたＬＥＤ素子を熱圧着やレーザー加熱によりアレイ基板と金属接合する際、アレイ基板やＬＥＤ素子の電極部に酸化被膜が形成されていると金属接合できず導通不良が生じることが知られている。そのため、通常、ＬＥＤ素子を接合する際はボンディング前に金属の酸化被膜を除去するフラックス処理が必要となっていた。
【0008】
そこで、本発明は、感光性、フラックス性と接着性を有し、パターニングによりアレイ基板上の必要な箇所のみに膜を形成することで、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル材の提供を目的とする。
【0009】
また、本発明は、そのアンダーフィル材を用いて、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とする、アレイ基板上にパターニングされたアンダーフィル膜の提供を目的とする。
【0010】
さらに、本発明は、そのアンダーフィル材を用いて、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル膜の製造方法を提供することを目的とする。
【0011】
そして、本発明は、そのＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル膜を備えたマイクロＬＥＤ表示素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明者は、上記の課題を解決するべく鋭意研究を行った結果、本発明を見出すに至った。すなわち、本発明は下記に関する。
１．下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、及び（Ｄ）溶剤を含有するポジ型感光性粘着組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
２．前記（Ａ）成分が、単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を含む重合体である１に記載のポジ型感光性粘着組成物。
３．前記（Ａ）成分が、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）、及び単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である２に記載のポジ型感光性粘着組成物。
４．前記フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）が、ｐ－ヒドロキシスチレン、ｍ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレンおよび、下記式（１）で表される化合物からなる群から選ばれる、３に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（１）中、Ｐは（メタ）アクリル基、（メタ）アクリルアミド基、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド基、またはマレイミド基を表し、ｂ１は単結合、または炭素数１～１２の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、ｃ１は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、ｄ１は置換または非置換のヒドロキシフェニル基を表す。
５．前記単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）が、下記式（２）で表される化合物である３～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（２）中、Ｒ２は水素原子またはメチル基を表し、ａ２は酸素原子または硫黄原子を表し、ｂ２は炭素数２～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、該アルキレン基中の－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ２は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、ｄ２は水素原子または水酸基を表す。
６．前記（Ａ）成分が、さらに下記式（３）で表される芳香族炭化水素基を含有するモノマー（Ａ３）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である１～５のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
式（３）中、Ｒ３は水素原子またはメチル基を表し、ａ３は酸素原子、硫黄原子、－ＮＨ－、または－Ｎ（ＣＨ３）－を表し、ｂ３は単結合、または炭素数１～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、該アルキレン基中の－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ３は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－Ｎ（ＣＨ３）ＣＯ－、または－ＣＯＮ（ＣＨ３）－を表し、ｄ３は炭素数６～１０の置換または非置換の芳香族炭化水素基を表す。
７．（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｂ）成分が５～６０質量部である１～６のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
８．（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｃ）成分が１０～１００質量部である１～７のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
９．（Ｅ）成分として、界面活性剤を更に（Ａ）成分の１００質量部に対して０．０１～１．０質量部含有する、１～８のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
１０．１～９のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物を硬化してなる硬化膜。
１１．１０に記載の硬化膜をアンダーフィル材として有するＬＥＤ表示素子。
１．下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、及び（Ｄ）溶剤を含有するポジ型感光性粘着組成物。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
２．前記（Ａ）成分が、単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を含む重合体である１に記載のポジ型感光性粘着組成物。
３．前記（Ａ）成分が、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）、及び単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である２に記載のポジ型感光性粘着組成物。
４．前記フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）が、ｐ－ヒドロキシスチレン、ｍ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレンおよび、下記式（１）で表される化合物からなる群から選ばれる、３に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【化1】
５．前記単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）が、下記式（２）で表される化合物である３～４のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【化2】
６．前記（Ａ）成分が、さらに下記式（３）で表される芳香族炭化水素基を含有するモノマー（Ａ３）に由来する構成単位を構成成分として含有するアクリル重合体である１～５のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
【化3】
７．（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｂ）成分が５～６０質量部である１～６のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
８．（Ａ）成分の１００質量部に対して、（Ｃ）成分が１０～１００質量部である１～７のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
９．（Ｅ）成分として、界面活性剤を更に（Ａ）成分の１００質量部に対して０．０１～１．０質量部含有する、１～８のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物。
１０．１～９のいずれか一項に記載のポジ型感光性粘着組成物を硬化してなる硬化膜。
１１．１０に記載の硬化膜をアンダーフィル材として有するＬＥＤ表示素子。
【発明の効果】
【0013】
本発明のポジ型感光性粘着組成物は、感光性、フラックス性と接着性を有し、パターニングによりアレイ基板上の必要な箇所のみに膜を形成することで、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル材を形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【0014】
本発明のポジ型感光性粘着組成物は、下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、及び（Ｄ）溶剤を含有するポジ型感光性粘着組成物である。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
以下、各成分の詳細を説明する。
（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂
（Ｂ）成分：架橋剤
（Ｃ）成分：キノンジアジドを有する感光剤
（Ｄ）成分：溶剤
以下、各成分の詳細を説明する。
【0015】
＜（Ａ）成分＞
（Ａ）成分は、フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂は、好ましくはアクリル重合体である。
（Ａ）成分は、フェノール性水酸基を有し、該重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が６０℃以下であるアルカリ可溶性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂は、好ましくはアクリル重合体である。
【0016】
本発明において、アクリル重合体とはアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン、マレイミド等の重合性不飽和基、すなわち、構造中に炭素－炭素二重結合を含む重合性基を有するモノマーを用いて得られる重合体を指す。
（Ａ）成分のアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性アクリル重合体が好ましく、上記アクリル重合体を構成する高分子の主鎖の骨格及び側鎖の種類などについて特に限定されない。
（Ａ）成分のアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性アクリル重合体が好ましく、上記アクリル重合体を構成する高分子の主鎖の骨格及び側鎖の種類などについて特に限定されない。
【0017】
（Ａ）成分のアルカリ可溶性樹脂は、重量平均分子量が２０，０００未満で過小なものであると、リソグラフィーのアルカリ現像工程でアルカリ耐性が低下し、所望のパターンが形成できない場合がある一方、重量平均分子量が１５０，０００を超えて過大なものであると、現像時に残渣が残る場合がある。これらパターニング性の観点から、上記アルカリ可溶性樹脂の好ましい重量平均分子量は２０，０００～１５０，０００の範囲であり、より好ましくは３０，０００～１００，０００の範囲にあるものである。
【0018】
（Ａ）成分のアルカリ可溶樹脂の合成方法は、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマー（Ａ１）、及び単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマー（Ａ２）を含むモノマー混合物を共重合する方法が簡便である。ここで単独重合体とは、（Ａ２）モノマー単独の高分子を示し、所望により重合開始剤等を共存させた溶剤中において、５０～１１０℃の温度下で重合反応させることにより、得られるか、（Ａ２）モノマーと光ラジカル発生剤等を共存させた状態で、紫外線を照射し重合反応させることで得られる重量平均分子量が３０００以上の高分子である。
【0019】
以下（Ａ）成分の構成モノマーに関する詳細を述べる。
モノマー（Ａ１）は、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマーであり、好ましくはｐ－ヒドロキシスチレン、ｍ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレン、および下記式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種のモノマーである。
式（１）中、Ｐは（メタ）アクリル基、（メタ）アクリルアミド基、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド基、またはマレイミド基を表し、好ましくは（メタ）アクリル基である。ｂ１は単結合、または炭素数１～１２の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、好ましくは単結合、または炭素数１～６の直鎖状アルキレン基である。ｃ１は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、好ましくは単結合または－Ｏ－である。ｄ１は置換または非置換のヒドロキシフェニル基を表し、好ましくはｐ－ヒドロキシフェニル基である。該ヒドロキシフェニル基への置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１～３のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数１～３のアルコキシ基、炭素数１～３のフルオロアルキル基、炭素数２～３のフルオロアルケニル基、炭素数１～３のフルオロアルコキシ基、炭素数２～３のアルキルオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基等が挙げられる。これらヒドロキシフェニル基を有することにより、（Ａ）成分がアルカリ可溶性となることに加え、フラックス性を発現する。
モノマー（Ａ１）は、フェノール性水酸基と重合性不飽和基とを有するモノマーであり、好ましくはｐ－ヒドロキシスチレン、ｍ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレン、および下記式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種のモノマーである。
【化4】
【0020】
モノマー（Ａ１）としては、例えば、ｐ－ヒドロキシスチレン、α－メチル－ｐ－ヒドロキシスチレン、Ｎ－（ｐ－ヒドロキシフェニル）マレイミド、Ｎ－（ｐ－ヒドロキシフェニル）アクリルアミド、Ｎ－（ｐ－ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド、ｐ－ヒドロキシフェニルアクリレート、ｐ－ヒドロキシフェニルメタクリレート等が挙げられ、これらは単独又は２種以上を組み合わせて使用できる。中でも、ｐ－ヒドロキシフェニルアクリレートおよびｐ－ヒドロキシフェニルメタクリレートから選ばれるモノマーが好ましい。
【0021】
モノマー（Ａ２）は、単独重合体のＴｇが０℃以下となるモノマーであり、好ましくは下記式（２）で表される化合物である。
式（２）中、Ｒ２は水素原子またはメチル基を表す。ａ２は酸素原子または硫黄原子を表し、好ましくは酸素原子である。炭素数２～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基を表し、好ましくは炭素数２～１２の直鎖、分岐、または環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基であり、より好ましくは炭素数２～１２の直鎖または分岐のアルキレン基である。なお、ｂ２の該アルキレン基中の－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ２は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－を表し、好ましくは単結合または－Ｏ－を表す。ｄ２は水素原子または水酸基を表す。
【化5】
【0022】
モノマー（Ａ２）としては、具体的には、エチルアクリレート、ｎ－プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、ｎ－ブチルアクリレート、ｔｅｒｔ－ブチルアクリレート、ｎ－ペンチルアクリレート、ｎ－ヘキシルアクリレート、ｎ－ヘキシルメタクリレート、ｎ－へプチルアクリレート、ｎ－へプチルメタクリレート、ｎ－オクチルアクリレート、ｎ－オクチルメタクリレート、ノニルアクリレート、ノニルメタクリレート、イソノニルアクリレート、イソノニルメタクリレート、ラウリルアクリレート、ラウリルメタクリレート、２－エチルヘキシルアクリレート、２－エチルヘキシルメタクリレート、２－ヒドロキシエチルアクリレート、３－ヒドロキシプロピルアクリレート、４－ヒドロキシブチルアクリレート、エチルカルビトールアクリレート、グリシジルアクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、２－メトキシエチルアクリレート、２－メトキシエチルメタクリレート、２－エトキシエチルアクリレート、２－エトキシエチルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、３－メトキシブチルアクリレート、３－メトキシブチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノアクリレート、ジエチレングリコールモノメタクリレート等が挙げられ、これらは単独又は２種以上を組み合わせて使用できるが、これらに限られるわけではない。
【0023】
本発明の効果を好適に得る観点から、成分（Ａ）中のモノマー（Ａ１）に由来する構成単位は、モノマー（Ａ１）に由来する構成単位およびモノマー（Ａ２）に由来する構成単位の合計に対して１０～５０質量％含むことが好ましく、成分（Ａ）中のモノマー（Ａ２）に由来する構成単位は、モノマー（Ａ１）に由来する構成単位およびモノマー（Ａ２）に由来する構成単位の合計に対して５０～９０質量％含むことが好ましい。
【0024】
また、本発明においては、（Ａ）成分のアクリル重合体を得る際に、下記式（３）で表される芳香族炭化水素基を含有するモノマー（Ａ３）を含有するのが好ましい。
式（３）中、Ｒ３は水素原子またはメチル基を表す。ａ３は酸素原子、硫黄原子、－ＮＨ－、または－Ｎ（ＣＨ３）－を表し、好ましくは酸素原子または－ＮＨ－であり、より好ましくは酸素原子である。ｂ３は単結合、または炭素数１～２０の直鎖、分岐、もしくは環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基であり、好ましくは炭素数２～１２の直鎖、分岐、または環状、およびその組み合わせからなるアルキレン基であり、より好ましくは炭素数２～８の直鎖状アルキレン基である。なお、ｂ３の該アルキレン基中の隣り合わない－ＣＨ２－は、互いに隣り合わないことを条件に、酸素原子に置き換えられても良い。ｃ３は単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－Ｎ（ＣＨ３）ＣＯ－、または－ＣＯＮ（ＣＨ３）－を表し、好ましくは単結合、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、または－ＯＣＯ－であり、より好ましくは単結合または－Ｏ－である。ｄ３は炭素数６～１０の置換または非置換の芳香族炭化水素基を表し、好ましくは置換または非置換のフェニル基である。該芳香族炭化水素基への置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１～３のアルキル基、炭素数２～３のアルケニル基、炭素数１～３のアルコキシ基、炭素数１～３のフルオロアルキル基、炭素数２～３のフルオロアルケニル基、炭素数１～３のフルオロアルコキシ基、炭素数２～３のアルキルオキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基等が挙げられる。式（３）に示す芳香族炭化水素基を有するモノマーに由来する構成単位を構成成分として成分（Ａ）に含有すると、露光後の現像工程で未露光部のアルカリ耐性が向上し、パターニングした際のコントラスト比が改善できる。
【化6】
【0025】
モノマー（Ａ３）の具体例としては、２－フェノキシエチルアクリレート、２－フェノキシエチルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、４－メチルフェニルアクリレート、４－メチルフェニルメタクリレート、３－フェノキシプロピルアクリレート、３－フェノキシプロピルメタクリレート、４－フェノキシブチルアクリレート、４－フェノキシブチルメタクリレート、６－フェノキシヘキシルアクリレート、８－フェノキシオクチルアクリレート、２－フェノキシプロピル ２－メチル－２－プロぺノエート、２－（１－メチル－２－フェノキシエトキシ）エチル ２－メチル－２－プロペノエート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、４－エトキシベンジルメタクリレート、ナフチルアクリレート、ナフチルメタクリレート等が挙げられ、これらは単独又は２種以上を組み合わせて使用できるが、これらに限られるわけではない。中でも、２－フェノキシエチルアクリレート、２－フェノキシエチルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、４－メチルフェニルアクリレート、３－フェノキシプロピルアクリレート、３－フェノキシプロピルメタクリレート、４－フェノキシブチルアクリレート、４－フェノキシブチルメタクリレート、ベンジルメタクリレートが好ましい。
【0026】
成分（Ａ）中にモノマー（Ａ３）に由来する構成単位を含有する場合、本発明の効果を好適に得る観点から、成分（Ａ）中のモノマー（Ａ１）に由来する構成単位およびモノマー（Ａ２）に由来する構成単位の合計は、モノマー（Ａ１）に由来する構成単位、モノマー（Ａ２）に由来する構成単位およびモノマー（Ａ３）に由来する構成単位の合計に対して４０～１００質量％が好ましく、４０～８０質量％がより好ましく、５０～７０質量％がさらに好ましい。成分（Ａ）中のモノマー（Ａ３）に由来する構成単位は、モノマー（Ａ１）に由来する構成単位、モノマー（Ａ２）に由来する構成単位およびモノマー（Ａ３）に由来する構成単位の合計に対して０～６０質量％が好ましく、２０～６０質量％がより好ましく、３０～５０質量％がさらに好ましい。
【0027】
また、本発明においては、（Ａ）成分のアクリル重合体を得る際に、上記モノマー（Ａ１）～（Ａ３）と共重合可能な、その他モノマーを併用することができる。上記その他モノマーの具体例としては、アクリル酸エステル化合物、メタクリル酸エステル化合物、マレイミド、アクリルアミド化合物、アクリロニトリル、スチレン化合物及びビニル化合物等が挙げられる。以下、当該その他モノマーの具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。
【0028】
上記アクリル酸エステル化合物としては、例えば、メチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソボルニルアクリレート、２－メチル－２－アダマンチルアクリレート、アントリルアクリレート、アントリルメチルアクリレート、２，２，２－トリフルオロエチルアクリレート、２－アミノエチルアクリレート、２－プロピル－２－アダマンチルアクリレート、カプロラクトン２－（アクリロイルオキシ）エチルエステル、ポリ（エチレングリコール）エチルエーテルアクリレート等が挙げられる。
【0029】
上記メタクリル酸エステル化合物としては、例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート 、ｎ－プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、ｎ－ブチルメタクリレート、ｔｅｒｔ－ブチルメタクリレート、ｎ－ペンチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、２－メチル－２－アダマンチルメタクリレート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、アントリルメタクリレート、アントリルメチルメタクリレート、２，２，２－トリフルオロエチルメタクリレート、２－アミノメチルメタクリレート、γ－ブチロラクトンメタクリレート、２－プロピル－２－アダマンチルメタクリレート、カプロラクトン２－（メタクリロイルオキシ）エチルエステル、ポリ（エチレングリコール）エチルエーテルメタクリレート等が挙げられる。
【0030】
上記アクリルアミド化合物としては、例えば、Ｎ－メチルアクリルアミド、Ｎ－メチルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルメタクリルアミド、Ｎ－メトキシメチルアクリルアミド、Ｎ－メトキシメチルメタクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチルアクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチルメタクリルアミド等が挙げられる。
【0031】
上記ビニル化合物としては、例えば、メチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、アリルグリシジルエーテル、３－エテニル－７－オキサビシクロ［４．１．０］ヘプタン、１，２－エポキシ－５－ヘキセン、１，７－オクタジエンモノエポキサイド等が挙げられる。
【0032】
上記スチレン化合物としては、ヒドロキシ基を有しないスチレン、例えば、スチレン、α－メチルスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン等が挙げられる。
【0033】
本発明に用いるアルカリ可溶性樹脂を得る方法は特に限定されないが、例えば、モノマー（Ａ１）並びにモノマー（Ａ２）、所望によりモノマー（Ａ３）並びに上記その他モノマー、及び所望により重合開始剤等を共存させた溶剤中において、５０～１１０℃の温度下で重合反応させることにより、得られる。その際、用いられる溶剤は、アルカリ可溶性樹脂を構成するモノマー及びアルカリ可溶性樹脂を溶解するものであれば特に限定されない。具体例としては、後述する（Ｄ）溶剤に記載する溶剤が挙げられる。
【0034】
このようにして得られるアルカリ可溶性樹脂（以下、特定共重合体ともいう）は、通常、溶剤に溶解した溶液の状態である。
【0035】
また、上記のようにして得られた特定共重合体の溶液を、ジエチルエーテルや水等の撹拌下に投入して再沈殿させ、生成した沈殿物を濾過・洗浄した後、常圧又は減圧下で、常温あるいは加熱乾燥することで、特定共重合体の粉体とすることができる。このような操作により、特定共重合体と共存する重合開始剤や未反応モノマーを除去することができ、その結果、精製した特定共重合体の粉体を得られる。一度の操作で充分に精製できない場合は、得られた粉体を溶剤に再溶解して、上記の操作を繰り返し行えば良い。
本発明においては、上記特定共重合体の粉体をそのまま用いても良く、あるいはその粉体を、たとえば後述する（Ｄ）溶剤に再溶解して溶液の状態として用いても良い。
また、本発明においては、（Ａ）成分のアルカリ可溶性樹脂は、複数種の特定共重合体の混合物であってもよい。
本発明においては、上記特定共重合体の粉体をそのまま用いても良く、あるいはその粉体を、たとえば後述する（Ｄ）溶剤に再溶解して溶液の状態として用いても良い。
また、本発明においては、（Ａ）成分のアルカリ可溶性樹脂は、複数種の特定共重合体の混合物であってもよい。
【0036】
＜（Ｂ）成分＞
（Ｂ）成分は架橋剤であり、より具体的には、（Ａ）成分と熱反応により橋架け構造を形成しうる構造を有する化合物である。以下、具体例を挙げるがこれらに限定されるものではない。熱架橋剤は、例えば、（Ｂ１）後述する式（４）または式（５）で表される架橋性化合物、および（Ｂ２）イソシアヌレート骨格を有する架橋剤から選ばれるものが好ましい。これらの架橋剤は単独または２種以上の組み合わせで使用することができる。
（Ｂ）成分は架橋剤であり、より具体的には、（Ａ）成分と熱反応により橋架け構造を形成しうる構造を有する化合物である。以下、具体例を挙げるがこれらに限定されるものではない。熱架橋剤は、例えば、（Ｂ１）後述する式（４）または式（５）で表される架橋性化合物、および（Ｂ２）イソシアヌレート骨格を有する架橋剤から選ばれるものが好ましい。これらの架橋剤は単独または２種以上の組み合わせで使用することができる。
【0037】
（Ｂ１）成分として、式（４）または式（５）で表される架橋性化合物を含有することができる。
式（４）中、ｋは２～１０の整数であり、ｍは０～４の整数であり、Ｘ４はｋ価の有機基を表す。複数個のｍは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式（５）中、ｋは２～１０の整数であり、Ｘ５はｋ価の有機基を表す。
【化7】
【化8】
【0038】
（Ｂ１）成分は、式（４）で表されるシクロアルケンオキサイド構造を有する化合物や式（５）で表されるグリシジル構造を有する化合物であれば特に限定されない。その具体例としては、下記式Ｅ－２－１及びＥ－２－２や、以下に示す市販品等が挙げられる。
【化9】
【化10】
【0039】
市販品としては、エポリードＧＴ－４０１、同ＧＴ－４０３、同ＧＴ－３０１、同ＧＴ－３０２、セロキサイド２０２１、セロキサイド３０００（（株）ダイセル製 商品名）、脂環式エポキシ樹脂であるデナコールＥＸ－２５２（ナガセケムッテクス（株）製 商品名）、ＣＹ１７５、ＣＹ１７７、ＣＹ１７９（以上、ＣＩＢＡ－ＧＥＩＧＹ Ａ．Ｇ製 商品名）、アラルダイトＣＹ－１８２、同ＣＹ－１９２、同ＣＹ－１８４（以上、ＣＩＢＡ－ＧＥＩＧＹ Ａ．Ｇ製 商品名）、エピクロン２００、同４００（以上、ＤＩＣ（株）製 商品名）、エピコート（以上、油化シェルエポキシ（株）製 商品名）、ＥＤ－５６６１、ＥＤ－５６６２（以上、セラニーズコーティング（株）製 商品名）、エポカリックＤＥ－１０２、ＤＥ－１０３（以上、ＥＮＥＯＳ（株）製）、ｊＥＲ１５２、同８７１、同８７２（三菱ケミカル（株）製）、ＯＧＳＯＬ－ＣＧ５００（大阪ガスケミカル（株）製）等を挙げることができる。また、これらの架橋性化合物は、単独または２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【0040】
これらのうち、耐熱性、耐溶剤性、耐長時間焼成耐性等の耐プロセス性、および透明性の観点からシクロヘキセンオキサイド構造を有する、上記式Ｅ－２－１及び式Ｅ－２－２で表される化合物、エポリードＧＴ－４０１、同ＧＴ－４０３、同ＧＴ－３０１、同ＧＴ－３０２、セロキサイド２０２１、セロキサイド３０００、エポカリックＤＥ－１０２、同ＤＥ－１０３が好ましい。
【0041】
上記架橋剤として（Ｂ１）成分を選択した場合の含有量は、（Ａ）成分の１００質量部に対して１０～６０質量部、好ましくは１０～５０質量部、より好ましくは２０～４０質量部である。
【0042】
また本発明のポジ型感光性粘着組成物は、（Ｂ２）成分として、イソシアヌレート骨格とを有する化合物を含有することができる。イソシアヌレート骨格と２個以上の重合性不飽和二重結合とを有する化合物としては、例えば、トリメタリルイソシアヌレート、トリス（２－アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリス（２－メタクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート等のイソシアヌレート骨格と２個以上の重合性不飽和二重結合とを有する化合物、トリグリシジルイソシアヌレート、ＴＥＰＩＣ－ＦＬ、ＴＥＰＩＣ－ＶＬ（以上、日産化学（株）製）等のイソシアヌレート骨格と２個以上のエポキシ部位を有する化合物が挙げられる。これらイソシアヌレート骨格を有する化合物を本発明のポジ型感光性粘着組成物に含有させると、マストランスファされたＬＥＤチップの接着性が向上するため、マストランスファ工程における工程不良を低減できる可能性がある。
【0043】
これらの化合物は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる
【0044】
本発明のポジ型感光性粘着組成物における（Ｂ２）成分の含有量は、（Ａ）成分の１００質量部に対して、好ましくは５～６０質量部、より好ましくは１０～５０質量部である。
【0045】
＜（Ｃ）成分＞
（Ｃ）成分はキノンジアジドを有する感光剤であり、好ましくは１，２－ナフトキノンジアジドを有する感光剤である。キノンジアジド化合物としては、水酸基又はアミノ基のいずれか一方か、水酸基及びアミノ基の両方を有する化合物であって、これらの水酸基又はアミノ基（水酸基とアミノ基の両方を有する場合は、それらの合計量）のうち、好ましくは１０～１００モル％、特に好ましくは２０～９５モル％がキノンジアジドスルホン酸でエステル化、またはアミド化された化合物を用いることができる。
（Ｃ）成分はキノンジアジドを有する感光剤であり、好ましくは１，２－ナフトキノンジアジドを有する感光剤である。キノンジアジド化合物としては、水酸基又はアミノ基のいずれか一方か、水酸基及びアミノ基の両方を有する化合物であって、これらの水酸基又はアミノ基（水酸基とアミノ基の両方を有する場合は、それらの合計量）のうち、好ましくは１０～１００モル％、特に好ましくは２０～９５モル％がキノンジアジドスルホン酸でエステル化、またはアミド化された化合物を用いることができる。
【0046】
上記水酸基を有する化合物としては例えば、フェノール、ｏ－クレゾール、ｍ－クレゾール、ｐ－クレゾール、ハイドロキノン、レゾルシノール、カテコール、ガリック酸メチル、ガリック酸エチル、１，３，３－トリス（４－ヒドロキシフェニル）ブタン、２，２－ビス（４－ヒドロキシフェニル）プロパン、１，１－ビス（４－ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、４，４’－ジヒドロキシフェニルスルホン、４，４－ヘキサフルオロイソプロピリデンジフェノール、１，１，１－トリス（４－ヒドロキシフェニル）エタン、４，４’－［１－［４－［１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール、２，４－ジヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４－トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’－テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’－テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，４’－ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，５－ビス（２－ヒドロキシ－５－メチルベンジル）ベンゼンなどのフェノール化合物、エタノール、２－プロパノール、４－ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、２－メトキシエタノール、２－ブトキシエタノール、２－メトキシプロパノール、２－ブトキシプロパノール、乳酸エチル、乳酸ブチルなどの脂肪族アルコール類を挙げることができる。
【0047】
また、上記アミノ基を含有する化合物としては、アニリン、ｏ－トルイジン、ｍ－トルイジン、ｐ－トルイジン、４－アミノジフェニルメタン、４－アミノジフェニル、ｏ－フェニレンジアミン、ｍ－フェニレンジアミン、ｐ－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノジフェニルエーテル、などのアニリン類、アミノシクロヘキサンを挙げることができる。
【0048】
さらに、水酸基とアミノ基両方を含有する化合物としては、例えば、ｏ－アミノフェノール、ｍ－アミノフェノール、ｐ－アミノフェノール、４－アミノレゾルシノール、２，３－ジアミノフェノール、２，４－ジアミノフェノール、４，４’－ジアミノ－４’’－ヒドロキシトリフェニルメタン、４－アミノ－４’，４’’－ジヒドロキシトリフェニルメタン、ビス（４－アミノ－３－カルボキシ－５－ヒドロキシフェニル）エーテル、ビス（４－アミノ－３－カルボキシ－５－ヒドロキシフェニル）メタン、２，２－ビス（４－アミノ－３－カルボキシ－５－ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－アミノ－３－カルボキシ－５－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンなどのアミノフェノール類、２－アミノエタノール、３－アミノプロパノール、４－アミノシクロヘキサノールなどのアルカノールアミン類を挙げることができる。
【0049】
これらのキノンジアジド化合物は単独または２種以上の組み合わせで使用することができる。
【0050】
本発明のポジ型感光性粘着組成物における（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）成分の１００質量部に対して、好ましくは１０～１００質量部、より好ましくは１５～５０質量部、更に好ましくは２０～４０質量部である。１０質量部未満の場合、ポジ型感光性粘着組成物の露光部と未露光部の現像液への溶解速度差が小さくなり、現像によるパターニングが困難である場合がある。また、１００質量部を超えると、短時間での露光でキノンジアジド化合物が十分に分解されないため感度が低下する場合や、（Ｃ）成分が光を吸収してしまい硬化膜の透明性を低下させてしまう場合がある。
【0051】
＜（Ｄ）溶剤＞
本発明に用いる（Ｄ）溶剤は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を溶解し、且つ所望により添加される後述の（Ｅ）成分などを溶解するものであり、斯様な溶解能を有する溶剤であれば、その種類及び構造などは特に限定されるものでない。
本発明に用いる（Ｄ）溶剤は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を溶解し、且つ所望により添加される後述の（Ｅ）成分などを溶解するものであり、斯様な溶解能を有する溶剤であれば、その種類及び構造などは特に限定されるものでない。
【0052】
斯様な（Ｄ）溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、２－ブタノン、３－メチル－２－ペンタノン、２－ペンタノン、２－ヘプタノン、γ－ブチロラクトン、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル、２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－３－メチルブタン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及びＮ－メチル－２－ピロリドン等が挙げられる。
【0053】
これらの溶剤は、一種単独で、または二種以上の組合せで使用することができる。
これら（Ｄ）溶剤の中、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２－ヘプタノン、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル等が、塗膜性が良好で安全性が高いという観点より好ましい。これら溶剤は、一般にフォトレジスト材料のための溶剤として用いられている。
これら（Ｄ）溶剤の中、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２－ヘプタノン、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル等が、塗膜性が良好で安全性が高いという観点より好ましい。これら溶剤は、一般にフォトレジスト材料のための溶剤として用いられている。
【0054】
＜（Ｅ）成分＞
（Ｅ）成分は、界面活性剤である。本発明のポジ型感光性粘着組成物にあっては、その塗布性を向上させるという目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、更に界面活性剤を含有することができる。
（Ｅ）成分は、界面活性剤である。本発明のポジ型感光性粘着組成物にあっては、その塗布性を向上させるという目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、更に界面活性剤を含有することができる。
【0055】
（Ｅ）成分の界面活性剤としては、特に制限されないが、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などが挙げられる。この種の界面活性剤としては、例えば、スリーエムジャパン（株）製、ＤＩＣ（株）製或いはＡＧＣセイミケミカル（株）製等の市販品を用いることができる。これら市販品は、容易に入手することができるので、好都合である。その具体的な例としては、ポリフォックスＰＦ－１３６Ａ、１５１、１５６Ａ、１５４Ｎ、１５９、６３６、６３２０、６５６、６５２０（Ｏｍｎｏｖａ社製）、メガファックＲ３０、Ｒ０８、Ｒ４０、Ｒ４１、Ｒ４３、Ｆ２５１、Ｆ４７７、Ｆ５５２、Ｆ５５３、Ｆ５５４、Ｆ５５５、Ｆ５５６、Ｆ５５７、Ｆ５５８、Ｆ５５９、Ｆ５６０、Ｆ５６１、Ｆ５６２、Ｆ５６３、Ｆ５６５、Ｆ５６７、Ｆ５７０（ＤＩＣ（株）製）、ＦＣ４４３０、ＦＣ４４３２（スリーエムジャパン（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ－３８６、Ｓ－６１１、Ｓ－６５１、（ＡＧＣセイミケミカル（株）製）、フタージェントＦＴＸ－２１８、ＤＦＸ－１８、２２０Ｐ、２５１、２１２Ｍ、２１５Ｍ（（株）ネオス製）等のフッ素系界面活性剤、ＢＹＫ－３００、３０２、３０６、３０７、３１０、３１３、３１５、３２０、３２２、３２３、３２５、３３０、３３１、３３３、３４２、３４５、３４６、３４７、３４８、３４９、３７０、３７７、３７８、３４５５（ビックケミージャパン（株）製）、ＳＨ３７４６、ＳＨ３７４９、ＳＨ３７７１、ＳＨ８４００、ＳＨ８４１０、ＳＨ８７００、ＳＦ８４２８（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＫＦ－３５１、ＫＦ－３５２、ＫＦ－３５３、ＫＦ－３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－６１５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６１８、ＫＦ－６０１１、ＫＦ－６０１５（信越化学工業（株）製）等のシリコーン系界面活性剤が挙げられる。
（Ｅ）成分の界面活性剤は、一種単独で、または二種以上の組合せで使用することができる。
（Ｅ）成分の界面活性剤は、一種単独で、または二種以上の組合せで使用することができる。
【0056】
界面活性剤が使用される場合、その含有量は、（Ａ）成分１００質量部に基づいて通常０．０１～１.０質量部であり、好ましくは０．０２～０．８質量部である。
【0057】
＜その他添加剤＞
更に、本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、レオロジー調整剤、顔料、染料、保存安定剤、消泡剤、または多価フェノール、多価カルボン酸等の溶解促進剤等を含有することができる。また、本発明のポジ型感光性粘着組成物にあっては、（Ａ）成分のフラックス効果を補助する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、更にフラックス剤を含有することができる。フラックス剤としては、非共有電子対を有する含窒素化合物（イミダゾール類、アミン類等）、カルボン酸、フェノール類、アルコールなどが挙げられる。具体例としては、たとえば、８－キノリノール、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、グルタル酸、スベリン酸、アジピン酸、セバシン酸等のカルボン酸類、エチレンジアミン、２メチルイミダゾール、２エチルイミダゾール、２フェニルイミダゾール、アルキルベンズイミダゾール（タフエースＦ２シリーズ：四国化成製）、ジフェニルグアニジン臭化水素酸塩、シクロヘキシルアミン臭化水素酸塩、ジエチルアミン塩酸塩、トリエタノールアミン臭化水素酸塩、モノエタノールアミン臭化水素酸塩等が挙げられる。
更に、本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、レオロジー調整剤、顔料、染料、保存安定剤、消泡剤、または多価フェノール、多価カルボン酸等の溶解促進剤等を含有することができる。また、本発明のポジ型感光性粘着組成物にあっては、（Ａ）成分のフラックス効果を補助する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、更にフラックス剤を含有することができる。フラックス剤としては、非共有電子対を有する含窒素化合物（イミダゾール類、アミン類等）、カルボン酸、フェノール類、アルコールなどが挙げられる。具体例としては、たとえば、８－キノリノール、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、グルタル酸、スベリン酸、アジピン酸、セバシン酸等のカルボン酸類、エチレンジアミン、２メチルイミダゾール、２エチルイミダゾール、２フェニルイミダゾール、アルキルベンズイミダゾール（タフエースＦ２シリーズ：四国化成製）、ジフェニルグアニジン臭化水素酸塩、シクロヘキシルアミン臭化水素酸塩、ジエチルアミン塩酸塩、トリエタノールアミン臭化水素酸塩、モノエタノールアミン臭化水素酸塩等が挙げられる。
【0058】
＜ポジ型感光性粘着組成物＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分の（Ａ１）～（Ａ２）及び所望により（Ａ３）を共重合させて得られる共重合体、（Ｂ）成分の架橋剤、（Ｃ）成分の１，２－キノンジアジド化合物が（Ｄ）溶剤に溶解したものであり、且つ、それぞれ所望により、（Ｅ）成分の界面活性剤、及びその他添加剤のうち一種以上を更に含有することができる組成物である。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分の（Ａ１）～（Ａ２）及び所望により（Ａ３）を共重合させて得られる共重合体、（Ｂ）成分の架橋剤、（Ｃ）成分の１，２－キノンジアジド化合物が（Ｄ）溶剤に溶解したものであり、且つ、それぞれ所望により、（Ｅ）成分の界面活性剤、及びその他添加剤のうち一種以上を更に含有することができる組成物である。
【0059】
本発明のポジ型感光性粘着組成物における固形分の割合は、各成分が均一に溶剤に溶解している限り、特に限定されるものではないが、例えば１～８０質量％であり、また例えば５～６０質量％であり、または１０～５０質量％である。ここで、固形分とは、ポジ型感光性粘着組成物の全成分から（Ｄ）溶剤を除いたものをいう。
【0060】
本発明のポジ型感光性粘着組成物の調製方法は、特に限定されないが、その調製法としては、例えば、（Ａ）成分（アルカリ可溶性樹脂）を（Ｄ）溶剤に溶解し、この溶液に（Ｂ）成分の架橋剤、（Ｃ）成分の１，２－キノンジアジド化合物を所定の割合で混合し、均一な溶液とする方法、或いは、この調製法の適当な段階において、必要に応じて（Ｅ）成分（界面活性剤）及びその他添加剤を更に添加して混合する方法が挙げられる。
【0061】
本発明のポジ型感光性粘着組成物の調製にあたっては、（Ｄ）溶剤中における重合反応によって得られる共重合体の溶液をそのまま使用することができ、この場合、この（Ａ）成分の溶液に上記と同様に（Ｂ）成分、（Ｃ）成分などを入れて均一な溶液とする際に、濃度調整を目的としてさらに（Ｄ）溶剤を追加投入してもよい。このとき、特定共重合体の形成過程で用いられる（Ｄ）溶剤と、ポジ型感光性粘着組成物の調製時に濃度調整のために用いられる（Ｄ）溶剤とは同一であってもよいし、異なってもよい。
【0062】
而して、調製されたポジ型感光性粘着組成物の溶液は、孔径が０.２～５．０μｍ程度のフィルタなどを用いて濾過した後、使用することが好ましい。
【0063】
＜塗膜及び硬化膜＞
本発明のポジ型感光性粘着組成物を半導体基板（例えば、シリコン／二酸化シリコン被覆基板、シリコンナイトライド基板、金属例えばアルミニウム、モリブデン、クロムなどが被覆された基板、ガラス基板、石英基板、ＩＴＯ基板等）の上に、回転塗布、流し塗布、ロール塗布、スリット塗布、スリットに続いた回転塗布、インクジェット塗布などによって塗布し、その後、ホットプレートまたはオーブン等で予備乾燥することにより、塗膜を形成することができる。その後、この塗膜を加熱処理することにより、ポジ型感光性粘着膜が形成される。
本発明のポジ型感光性粘着組成物を半導体基板（例えば、シリコン／二酸化シリコン被覆基板、シリコンナイトライド基板、金属例えばアルミニウム、モリブデン、クロムなどが被覆された基板、ガラス基板、石英基板、ＩＴＯ基板等）の上に、回転塗布、流し塗布、ロール塗布、スリット塗布、スリットに続いた回転塗布、インクジェット塗布などによって塗布し、その後、ホットプレートまたはオーブン等で予備乾燥することにより、塗膜を形成することができる。その後、この塗膜を加熱処理することにより、ポジ型感光性粘着膜が形成される。
【0064】
この加熱処理の条件としては、例えば、温度７０～１６０℃、時間０．３～６０分間の範囲の中から適宜選択された加熱温度及び加熱時間が採用される。加熱温度及び加熱時間は、好ましくは８０℃～１４０℃、０．５～１０分間である。
【0065】
また、ポジ型感光性粘着組成物から形成されるポジ型感光性粘着膜の膜厚は、例えば０．１～３０μｍであり、また例えば１．０～１０μｍであり、更に例えば２．０～８μｍである。
【0066】
上記で得られた塗膜上に、所定のパターンを有するマスクを装着して紫外線等の光を照射し、アルカリ現像液で現像することで、露光部が洗い出されて端面のシャープなパターンが得られる。
【0067】
使用されうるアルカリ性現像液としては、例えば、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどのアルカリ金属水酸化物の水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリンなどの水酸化第四級アンモニウムの水溶液、エタノールアミン、プロピルアミン、エチレンジアミンなどのアミン水溶液等のアルカリ性水溶液が挙げられる。さらに、これらの現像液には、界面活性剤などを加えることもできる。
【0068】
上記の中、水酸化テトラエチルアンモニウム０．１～２．３８質量％水溶液は、フォトレジストの現像液として一般に使用されており、本発明の感光性粘着組成物においても、このアルカリ性現像液を用いて、膨潤などの問題をひき起こすことなく良好に現像することができる。
【0069】
また、現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法など、いずれも用いることができる。その際の現像時間は、通常、１５～１８０秒間である。
【0070】
現像後、ポジ型感光性粘着膜に対して流水による洗浄を例えば２０～１２０秒間行い、続いて圧縮空気もしくは圧縮窒素を用いてまたはスピニングにより風乾することにより、基板上の水分が除去され、そしてパターン形成された膜が得られる。
【0071】
続いて、斯かるパターン形成膜に対して、熱硬化のためにポストベークを行うことにより、具体的にはホットプレート、オーブンなどを用いて加熱することにより、耐熱性、透明性、平坦化性、低吸水性、耐薬品性などに優れ、良好なパターンを有する膜が得られる。
【0072】
ポストベークとしては、一般に、温度１４０～２７０℃の範囲の中から選択された加熱温度にて、ホットプレート上の場合には５～３０分間、オーブン中の場合には３０～９０分間処理するという方法が採られる。
【0073】
而して、斯かるポストべークにより、目的とする、良好なパターン形状を有する硬化膜を得ることができる。
【0074】
以上のように、本発明のポジ型感光性粘着組成物から得られる膜は、感光性、フラックス性と接着性を有し、パターニングによりアレイ基板上の必要な箇所のみに膜を形成することで、ＬＥＤ素子のマストランスファと金属接合の効率化を可能とするアンダーフィル材等の用途で好適に用いることができる。
【実施例0075】
以下に実施例を挙げ、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、これらに限定して解釈されるものではない。使用した化合物の略号及び各物性の測定方法は、以下の通りである。
（モノマー）
ＨＱＭＡ：ｐ－ヒドロキシフェニルメタクリレート
ＰＥＡ：２－フェノキシエチルアクリレート
ＮＯＡＡ：ｎ－オクチルアクリレート
２ＥＨＡ：２－エチル－ｎ－ヘキシルアクリレート
ＢＡ：ｎ－ブチルアクリレート
ＡＡ：アクリル酸
ＭＡＡ：メタクリル酸
ＭＭＡ：メチルメタクリレート
ＨＥＭＡ：２－ヒドロキシエチルメタクリレート
ＮＨＰＭＡ：Ｎ－（４－ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド
ＣＨＭＩ：Ｎ－シクロヘキシルマレイミド
上記モノマーのうち、ＨＱＭＡ、ＰＥＡ、及びＮＨＰＭＡはモノマー（Ａ１）に該当し、ＮＯＡＡ、２ＥＨＡ、及びＢＡはモノマー（Ａ２）に該当し、ＡＡ、ＭＡＡ、ＭＭＡ、ＨＥＭＡ、及びＣＨＭＩはその他モノマーに該当する。
（ラジカル重合開始剤）
ＡＩＢＮ：α，α’－アゾビスイソブチロニトリル
（感光剤）
ＱＤ：４，４’－[１－[４－[１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールと６－ジアゾ－５，６－ジヒドロ－５－オキソ－１－ナフタレンスルホン酸とのエステル（東洋合成工業（株）製）
（架橋性化合物）
Ｔ１：エポリードＧＴ－４０１（ブタンテトラカルボン酸 テトラ（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル) 修飾ε－カプロラクトン、（株）ダイセル製）
Ｔ２：エポカリックＤＥ－１０２（ＥＮＥＯＳ（株）製）
Ｔ３：ＴＥＰＩＣ－ＦＬ（日産化学（株）製）
（溶剤）
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル
（モノマー）
ＨＱＭＡ：ｐ－ヒドロキシフェニルメタクリレート
ＰＥＡ：２－フェノキシエチルアクリレート
ＮＯＡＡ：ｎ－オクチルアクリレート
２ＥＨＡ：２－エチル－ｎ－ヘキシルアクリレート
ＢＡ：ｎ－ブチルアクリレート
ＡＡ：アクリル酸
ＭＡＡ：メタクリル酸
ＭＭＡ：メチルメタクリレート
ＨＥＭＡ：２－ヒドロキシエチルメタクリレート
ＮＨＰＭＡ：Ｎ－（４－ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド
ＣＨＭＩ：Ｎ－シクロヘキシルマレイミド
上記モノマーのうち、ＨＱＭＡ、ＰＥＡ、及びＮＨＰＭＡはモノマー（Ａ１）に該当し、ＮＯＡＡ、２ＥＨＡ、及びＢＡはモノマー（Ａ２）に該当し、ＡＡ、ＭＡＡ、ＭＭＡ、ＨＥＭＡ、及びＣＨＭＩはその他モノマーに該当する。
（ラジカル重合開始剤）
ＡＩＢＮ：α，α’－アゾビスイソブチロニトリル
（感光剤）
ＱＤ：４，４’－[１－[４－[１－（４－ヒドロキシフェニル）－１－メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールと６－ジアゾ－５，６－ジヒドロ－５－オキソ－１－ナフタレンスルホン酸とのエステル（東洋合成工業（株）製）
（架橋性化合物）
Ｔ１：エポリードＧＴ－４０１（ブタンテトラカルボン酸 テトラ（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル) 修飾ε－カプロラクトン、（株）ダイセル製）
Ｔ２：エポカリックＤＥ－１０２（ＥＮＥＯＳ（株）製）
Ｔ３：ＴＥＰＩＣ－ＦＬ（日産化学（株）製）
（溶剤）
ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル
【0076】
＜分子量の測定＞
重合体の分子量は、常温ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）装置（ＧＰＣ－１０１）（昭和電工社製）、カラム（ＫＤ－８０３，ＫＤ－８０５の直列）（昭和電工社製）を用いて、以下のようにして測定した。
カラム温度：５０℃
溶離液：Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（添加剤として、臭化リチウム一水和物（ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ）が３０ｍｍｏｌ／Ｌ（リットル）、リン酸・無水結晶（ｏ－リン酸）が３０ｍｍｏｌ／Ｌ、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）が１０ｍＬ／Ｌ）
流速：１．０ｍｌ／分
検量線作成用標準サンプル：ＴＳＫ 標準ポリエチレンオキサイド（分子量；約９００，０００、１５０，０００、１００，０００及び３０，０００）（東ソー社製）及びポリエチレングリコール（分子量；約１２，０００、４，０００及び１，０００）（ポリマーラボラトリー社製）。
重合体の分子量は、常温ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）装置（ＧＰＣ－１０１）（昭和電工社製）、カラム（ＫＤ－８０３，ＫＤ－８０５の直列）（昭和電工社製）を用いて、以下のようにして測定した。
カラム温度：５０℃
溶離液：Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド（添加剤として、臭化リチウム一水和物（ＬｉＢｒ・Ｈ２Ｏ）が３０ｍｍｏｌ／Ｌ（リットル）、リン酸・無水結晶（ｏ－リン酸）が３０ｍｍｏｌ／Ｌ、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）が１０ｍＬ／Ｌ）
流速：１．０ｍｌ／分
検量線作成用標準サンプル：ＴＳＫ 標準ポリエチレンオキサイド（分子量；約９００，０００、１５０，０００、１００，０００及び３０，０００）（東ソー社製）及びポリエチレングリコール（分子量；約１２，０００、４，０００及び１，０００）（ポリマーラボラトリー社製）。
【0077】
＜ガラス転移温度（Ｔｇ）の測定＞
合成例により得られたポリマーのＴｇは示差走査熱量測定（ＤＳＣ）ＤＳＣ１（ＭＥＴＴＬＥＲ ＴＯＲＥＤＯ社製）を用いて以下の条件で測定した。
昇温速度：１０℃／ｍｉｎ
測定温度：－５０℃～１５０℃
測定回数：２回。Ｔｇは２回目の昇温結果から算出。
合成例により得られたポリマーのＴｇは示差走査熱量測定（ＤＳＣ）ＤＳＣ１（ＭＥＴＴＬＥＲ ＴＯＲＥＤＯ社製）を用いて以下の条件で測定した。
昇温速度：１０℃／ｍｉｎ
測定温度：－５０℃～１５０℃
測定回数：２回。Ｔｇは２回目の昇温結果から算出。
【0078】
＜アクリル重合体の合成＞
（合成例１）
アクリル重合体を構成するモノマー成分として、ＨＱＭＡ（６．０ｇ）、ＰＥＡ（６．０ｇ）、およびＮＯＡＡ（８．０ｇ）を使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ（０．２ｇ）を使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥ（１６．８ｇ）中において温度６０℃で重合反応させることにより、Ｍｎ（数平均分子量）：８，１００、Ｍｗ（重量平均分子量）：５０，０００であるアルカリ可溶性アクリル重合体成分（特定共重合体）の溶液Ｐ１（アクリル重合体濃度：３０．０質量％）を得た。この特定重合体の溶液を水中で再沈殿させた後、５０℃で真空乾燥することで粘性の樹脂を得た。得られたアクリル重合体のＴｇは－１℃であった。
（合成例１）
アクリル重合体を構成するモノマー成分として、ＨＱＭＡ（６．０ｇ）、ＰＥＡ（６．０ｇ）、およびＮＯＡＡ（８．０ｇ）を使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ（０．２ｇ）を使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥ（１６．８ｇ）中において温度６０℃で重合反応させることにより、Ｍｎ（数平均分子量）：８，１００、Ｍｗ（重量平均分子量）：５０，０００であるアルカリ可溶性アクリル重合体成分（特定共重合体）の溶液Ｐ１（アクリル重合体濃度：３０．０質量％）を得た。この特定重合体の溶液を水中で再沈殿させた後、５０℃で真空乾燥することで粘性の樹脂を得た。得られたアクリル重合体のＴｇは－１℃であった。
【0079】
（合成例２）～（合成例６）
使用したアクリル重合体を構成するモノマー成分とラジカル重合開始剤の比率（質量比）を表１に記載のように変更した以外は合成例１と同様に重合反応させ、表１に記載の分子量およびＴｇのアクリル重合体の溶液Ｐ２～Ｐ６（アクリル重合体濃度：３０．０質量％）を得た。
使用したアクリル重合体を構成するモノマー成分とラジカル重合開始剤の比率（質量比）を表１に記載のように変更した以外は合成例１と同様に重合反応させ、表１に記載の分子量およびＴｇのアクリル重合体の溶液Ｐ２～Ｐ６（アクリル重合体濃度：３０．０質量％）を得た。
【0080】
（合成例７）
アクリル重合体を構成するモノマー成分として、ＮＨＰＭＡ（４．０ｇ）、ＨＥＭＡ（２．０ｇ）、およびＣＨＭＩ（４．０ｇ）を使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ（０．２ｇ）を使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥ（４６．５ｇ）中において温度９０℃で重合反応させることにより、Ｍｎ（数平均分子量）：５，６００、Ｍｗ（重量平均分子量）：９，３００であるアルカリ可溶性アクリル重合体成分（特定共重合体）の溶液Ｐ７（アクリル重合体濃度：１８．０質量％）を得た。得られたアクリル重合体は１５０℃までに明確なＴｇは確認できなかった。
アクリル重合体を構成するモノマー成分として、ＮＨＰＭＡ（４．０ｇ）、ＨＥＭＡ（２．０ｇ）、およびＣＨＭＩ（４．０ｇ）を使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ（０．２ｇ）を使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥ（４６．５ｇ）中において温度９０℃で重合反応させることにより、Ｍｎ（数平均分子量）：５，６００、Ｍｗ（重量平均分子量）：９，３００であるアルカリ可溶性アクリル重合体成分（特定共重合体）の溶液Ｐ７（アクリル重合体濃度：１８．０質量％）を得た。得られたアクリル重合体は１５０℃までに明確なＴｇは確認できなかった。
【0081】
【表1】
【0082】
＜ポジ型感光性粘着組成物の調製＞
（実施例１－１）
樹脂溶液として、上記合成例１で得られたアクリル重合体溶液（Ｐ１）に、感光剤、架橋性化合物、および溶剤を加えた後、室温で２時間撹拌して表２に示す組成のポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を調製した。
（実施例１－１）
樹脂溶液として、上記合成例１で得られたアクリル重合体溶液（Ｐ１）に、感光剤、架橋性化合物、および溶剤を加えた後、室温で２時間撹拌して表２に示す組成のポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を調製した。
【0083】
（実施例１－２～１－５）および（比較例１－１～１－３）
樹脂溶液、感光剤、架橋性化合物、溶剤の種類及び量を表２のように変更して加えた後、室温で２時間撹拌して、表２に示す組成のポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ５およびＲＶ１～ＲＶ３を調製した。
樹脂溶液、感光剤、架橋性化合物、溶剤の種類及び量を表２のように変更して加えた後、室温で２時間撹拌して、表２に示す組成のポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ５およびＲＶ１～ＲＶ３を調製した。
【0084】
【表2】
【0085】
（実施例２－１）
＜接着力評価＞
実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を、５ｃｍ×５ｃｍのＩＴＯ基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚３μｍのプリベーク膜を形成した。その後、Ｓｔａｂｌｅ Ｍｉｃｒｏ Ｓｙｓｔｅｍｓ社製のテクスチャーアナライザーを用いて、プローブ（直径：２５ｍｍ、材質：ポリプロピレン）、圧縮速度：１ｍｍ／ｓ、引張速度：１ｍｍ／ｓ、圧縮荷重：４００ｇ、圧縮保持時間：１０ｓにより、室温（２３℃）での塗膜表面の剥離強度を測定し、０．３ｇ以上を〇、０．３ｇ未満を×とした。結果を表３に記す。
＜接着力評価＞
実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を、５ｃｍ×５ｃｍのＩＴＯ基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚３μｍのプリベーク膜を形成した。その後、Ｓｔａｂｌｅ Ｍｉｃｒｏ Ｓｙｓｔｅｍｓ社製のテクスチャーアナライザーを用いて、プローブ（直径：２５ｍｍ、材質：ポリプロピレン）、圧縮速度：１ｍｍ／ｓ、引張速度：１ｍｍ／ｓ、圧縮荷重：４００ｇ、圧縮保持時間：１０ｓにより、室温（２３℃）での塗膜表面の剥離強度を測定し、０．３ｇ以上を〇、０．３ｇ未満を×とした。結果を表３に記す。
【0086】
＜パターニング評価＞
実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を、５ｃｍ×５ｃｍのＩＴＯ基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚３μｍのプリベーク膜を形成した。このプリベーク膜に波長３６５ｎｍにおける光強度が２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線をマスクを介して照射し、３０μｍ／３０μｍの間隔でライン／スペースを配置したパターンを作製した。その後２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、ＴＭＡＨと称す）水溶液に６０秒間浸漬することで現像を行った後、超純水で３０秒間流水洗浄を行った。その後、ＡＤＶＡＮＴＥＣ社製クリーンオーブンを用いて２３０℃で３０分間ポストベークを行い、硬化膜を形成した。得られた硬化膜のパターン高さがプリベーク膜厚３μｍの±１０％未満であるものを良好（〇）、±１０％以上であるものを不良（×）として評価した。また抜きパターン内の残渣評価として、残渣が３０ｎｍ未満のものを優良（◎）、３０ｎｍ以上６０ｎｍ未満のものを良好（〇）、６０ｎｍ以上のものを不良（×）として評価した。結果を表３に記す。
実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１を、５ｃｍ×５ｃｍのＩＴＯ基板上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚３μｍのプリベーク膜を形成した。このプリベーク膜に波長３６５ｎｍにおける光強度が２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線をマスクを介して照射し、３０μｍ／３０μｍの間隔でライン／スペースを配置したパターンを作製した。その後２．３８質量％の水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、ＴＭＡＨと称す）水溶液に６０秒間浸漬することで現像を行った後、超純水で３０秒間流水洗浄を行った。その後、ＡＤＶＡＮＴＥＣ社製クリーンオーブンを用いて２３０℃で３０分間ポストベークを行い、硬化膜を形成した。得られた硬化膜のパターン高さがプリベーク膜厚３μｍの±１０％未満であるものを良好（〇）、±１０％以上であるものを不良（×）として評価した。また抜きパターン内の残渣評価として、残渣が３０ｎｍ未満のものを優良（◎）、３０ｎｍ以上６０ｎｍ未満のものを良好（〇）、６０ｎｍ以上のものを不良（×）として評価した。結果を表３に記す。
【0087】
（実施例２－２～２－５よび比較例２－１～２－３）
実施例１－２～１－５および比較例１－１～１－３で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ５およびＲＶ１～ＲＶ３を用いて、実施例２－１と同様な方法で接着力とパターニング性を評価した。結果を表３に記す。
実施例１－２～１－５および比較例１－１～１－３で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ５およびＲＶ１～ＲＶ３を用いて、実施例２－１と同様な方法で接着力とパターニング性を評価した。結果を表３に記す。
【0088】
【表3】
【0089】
表３に示したように、実施例のポジ型感光性粘着組成物は、いずれも良好な接着力とパターニング性を示した。これに対し、ガラス転移温度（Ｔｇ）が１００℃以上のアクリル重合体を用いたポジ型感光性粘着組成物は、接着力が不足していた（比較例２－１、２－３）。また、アクリル重合体中の酸性成分がカルボン酸であるものはアルカリ耐性が弱く、パターン形状が得られなかった（比較例２－１～２－２）。
【0090】
（実施例３－１）
＜フリップチップボンディング試験＞
実装サンプルとして、電極面積２０μｍ×２０μｍ、電極高さ５．５μｍ（ＳｎＡｇハンダの高さが２．３μｍ、銅ポスト電極の高さが３．２μｍ）の電極を１７００個有するＴＥＧ（Test Element Group）チップ（５．１ｍｍ×５．１ｍｍ×厚み７００μｍ）と、ＴＥＧチップの電極とデイジーチェーンとなるように銅電極が配線されたＴＥＧ基板（１５ｍｍ×１５ｍｍ×厚み７００μｍ）を準備した。ＴＥＧ基板上に実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１をスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚６μｍのプリベーク膜を形成した。次いで、パナソニック（株）製フリップチップボンダーを用いて、このプリベーク膜を有するＴＥＧ基板に、ステージ温度６０℃、ヘッド温度３７０℃６０秒、ヘッド圧１５０ＮでＴＥＧチップをフリップチップボンディングした。その後、２３０℃３０分でポストベーク（後硬化）を行い、接合体を得た。得られた接合体について、ＴＥＧチップの剥離有無（剥離無し：〇、剥離有り：×）と導通抵抗値（１００Ω未満：〇、１００Ω以上：×）を評価した。結果を表４に記す。
＜フリップチップボンディング試験＞
実装サンプルとして、電極面積２０μｍ×２０μｍ、電極高さ５．５μｍ（ＳｎＡｇハンダの高さが２．３μｍ、銅ポスト電極の高さが３．２μｍ）の電極を１７００個有するＴＥＧ（Test Element Group）チップ（５．１ｍｍ×５．１ｍｍ×厚み７００μｍ）と、ＴＥＧチップの電極とデイジーチェーンとなるように銅電極が配線されたＴＥＧ基板（１５ｍｍ×１５ｍｍ×厚み７００μｍ）を準備した。ＴＥＧ基板上に実施例１－１で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ１をスピンコーターを用いて塗布した後、温度１００℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い、膜厚６μｍのプリベーク膜を形成した。次いで、パナソニック（株）製フリップチップボンダーを用いて、このプリベーク膜を有するＴＥＧ基板に、ステージ温度６０℃、ヘッド温度３７０℃６０秒、ヘッド圧１５０ＮでＴＥＧチップをフリップチップボンディングした。その後、２３０℃３０分でポストベーク（後硬化）を行い、接合体を得た。得られた接合体について、ＴＥＧチップの剥離有無（剥離無し：〇、剥離有り：×）と導通抵抗値（１００Ω未満：〇、１００Ω以上：×）を評価した。結果を表４に記す。
【0091】
（実施例３－２～３－４、比較例３－１）
実施例１－２～１－４および比較例１－３で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ４およびＲＶ３を用いて、実施例３－１と同様な方法でフリップチップボンディング試験を実施した。結果を表４に記す。
実施例１－２～１－４および比較例１－３で調製したポジ型感光性粘着組成物Ｖ２～Ｖ４およびＲＶ３を用いて、実施例３－１と同様な方法でフリップチップボンディング試験を実施した。結果を表４に記す。
【0092】
（比較例３－２）
ポジ型感光性粘着組成物を使用する代わりに、フリップチップボンディング前にＴＥＧチップおよびＴＥＧ基板を５質量％の硫酸水溶液で洗浄して表面酸化被膜を除去したこと以外は、実施例３－１と同様に接合体を形成し、ＴＥＧチップの剥離有無の確認と導通抵抗値を測定した。結果を表４に記す。
ポジ型感光性粘着組成物を使用する代わりに、フリップチップボンディング前にＴＥＧチップおよびＴＥＧ基板を５質量％の硫酸水溶液で洗浄して表面酸化被膜を除去したこと以外は、実施例３－１と同様に接合体を形成し、ＴＥＧチップの剥離有無の確認と導通抵抗値を測定した。結果を表４に記す。
【0093】
【表4】
【0094】
表４に示したように、実施例のポジ型感光性粘着組成物を用いたＴＥＧ接合体は、ＴＥＧチップが剥離すること無く、導通抵抗値も良好であった（実施例３－１～３－４）。これに対し、比較例のポジ型感光性粘着組成物を用いたＴＥＧ接合体は、ＴＥＧチップは剥離しなかったものの導通抵抗値は不良であり、フリップチップボンディング時に電極間の樹脂組成物が十分に排斥されていないことが示唆された（比較例３－１）。またポジ型感光性粘着組成物を用いなかった場合は、ＴＥＧチップの剥離が大幅に増加し、再現良く抵抗値測定が出来なかった（比較例３－２）。