特開 2023-167027 紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023167027

(43)【公開日】2023-11-24

(54)【発明の名称】紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20231116BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20231116BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20231116BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 622J

B24B41/06 L

B24B49/12

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022077831

(22)【出願日】2022-05-11

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】右山 芳国

(72)【発明者】

【氏名】生島 充

(72)【発明者】

【氏名】谷山 優太

(72)【発明者】

【氏名】柿沼 良典

【テーマコード（参考）】

3C034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA07

3C034BB71

3C034BB75

3C034BB93

3C034CA22

3C034CA30

3C034DD10

5F057AA12

5F057AA20

5F057CA11

5F057DA11

5F057EC17

5F057FA13

5F057GA12

5F057GB02

5F057GB20

(57)【要約】

【課題】紫外線硬化型の液状樹脂が硬化したことを確実に判断できる紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ（Ｗ）の一方の面（Ｗｂ）の全面に押し広げた紫外線硬化型の液状樹脂（３１）に紫外線（ＵＶ）を照射して、液状樹脂が硬化したと判断する紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法であって、液状樹脂に紫外線を照射して硬化させる際に、液状樹脂で紫外線が反射した蛍光（ＳＬ）の波長が予め設定した閾値を超えたら液状樹脂が硬化したと判断するようにした。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハの一方の面全面に押し広げた紫外線硬化型の液状樹脂に紫外線を照射して、該液状樹脂が硬化したと判断する紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法であって、
該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させる際に、該液状樹脂で該紫外線が反射した蛍光の波長が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断する紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法。

【請求項2】

ウェーハの一方の面よりも大きい面積のシートとウェーハとの間で紫外線硬化型の液状樹脂をウェーハの一方の面全面に押し広げた後、紫外線を照射して硬化させた樹脂と該シートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
該シート側から該液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、該液状樹脂で紫外線が反射した蛍光を受光する受光部と、該受光部が受光した波長が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断する判断部と、を備える保護部材形成装置。

【請求項3】

該受光部は、カメラであって、
該判断部は、該カメラが撮像した撮像画のＲＧＢ値のうちのＧ値が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断する請求項２記載の保護部材形成装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法、及び保護部材形成装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハに研削加工等を行う際に、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する。保護部材を形成する保護部材形成装置は、テーブルに載置したシートの上に液状樹脂を供給し、テーブルの上方でウェーハを保持した保持部を下降させ、保持部が保持したウェーハで液状樹脂を押し広げた後、液状樹脂を硬化させて、ウェーハの一方の面全面に樹脂とシートとからなる保護部材を形成している。

【0003】

保護部材を形成する液状樹脂として、紫外線硬化型樹脂が知られている。ウェーハの一方の面とシートとの間で紫外線硬化型樹脂を押し広げた状態で、予め設定した時間にて紫外線を照射することにより、紫外線硬化型樹脂を硬化させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２１－０６１３３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

紫外線硬化型の液状樹脂を用いてウェーハの一方の面に保護部材を形成する場合、シート上に供給される液状樹脂の量等に基づいて、液状樹脂の硬化に必要な紫外線の照射時間を予め設定し、設定された所定の照射時間で紫外線を照射するように管理する。しかし、紫外線を照射する紫外線照射部の劣化や、液状樹脂のロット違いによって、硬化の進行度合いにばらつきが生じ、紫外線を所定時間照射しても液状樹脂が十分に硬化されていない部分が存在するという問題があった。

【0006】

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、紫外線硬化型の液状樹脂が硬化したことを確実に判断できる紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様は、ウェーハの一方の面全面に押し広げた紫外線硬化型の液状樹脂に紫外線を照射して、該液状樹脂が硬化したと判断する紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法であって、該液状樹脂に紫外線を照射して該液状樹脂を硬化させる際に、該液状樹脂で該紫外線が反射した蛍光の波長が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断する。

【0008】

本発明の一態様は、ウェーハの一方の面よりも大きい面積のシートとウェーハとの間で紫外線硬化型の液状樹脂をウェーハの一方の面全面に押し広げた後、紫外線を照射して硬化させた樹脂と該シートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置であって、該シート側から該液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射部と、該液状樹脂で紫外線が反射した蛍光を受光する受光部と、該受光部が受光した波長が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断する判断部と、を備える。

【0009】

該受光部は、カメラであって、該判断部は、該カメラが撮像した撮像画のＲＧＢ値のうちのＧ値が予め設定した閾値を超えたら該液状樹脂が硬化したと判断してもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明の紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置によれば、紫外線硬化型の液状樹脂で反射した蛍光に基づいて硬化の判断を行うので、液状樹脂が硬化したことを確実に判断できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施形態の保護部材形成装置を示す斜視図である。

【図2】保護部材形成装置の一部の断面図である。

【図3】保護部材形成装置におけるシート搬入工程を示す説明図である。

【図4】保護部材形成装置における液状樹脂供給工程を示す説明図である。

【図5】保護部材形成装置におけるウェーハ保持工程を示す説明図である。

【図6】保護部材形成装置における押し広げ工程を示す説明図である。

【図7】保護部材形成装置における硬化工程を示す説明図である。

【図8】ウェーハにおいて液状樹脂の硬化を判断する領域を示す平面図である。

【図9】保護部材形成装置における硬化工程の変形例を示す説明図である。

【図10】硬化工程の変形例における液状樹脂の硬化判断方法を説明するグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本実施形態に係る紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置について説明する。図１及び図２は、本実施形態に係る保護部材形成装置の全体と一部を示している。図３から図７は、保護部材形成装置で行う各工程を説明する図である。図８は、ウェーハにおいて液状樹脂の硬化を判断する領域を示す図である。図９は、保護部材形成装置における硬化工程の変形例を示す図である。図１０は、硬化工程の変形例における液状樹脂の硬化判断方法を説明するグラフである。

【0013】

各図に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（垂直方向）である。各図において、Ｘ軸方向を示す両矢線のうち、Ｘの文字が付されている側を左方とし、Ｘの文字が付されていない側を右方とする。Ｙ軸方向を示す両矢線のうち、Ｙの文字が付されている側を前方とし、Ｙの文字が付されていない側を後方とする。Ｚ軸方向を示す両矢線のうち、Ｚの文字が付されている側を上方とし、Ｚの文字が付されていない側を下方とする。

【0014】

図１に示す保護部材形成装置１は、ウェーハＷの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂３１（図６参照）に外的刺激を付与して硬化させることによって保護部材を形成する装置の一例である。液状樹脂３１は紫外線硬化型の樹脂であり、液状樹脂３１を硬化させる外的刺激は紫外線の照射である。図１においては、保護部材形成装置１の外部筐体１０を破線で示し、外部筐体１０の内側の構成要素を透視した状態で表している。ウェーハＷのうち、保護部材形成装置１での処理時に上側を向く面を上面Ｗａとし、下側を向く面を下面Ｗｂとする。

【0015】

詳細は後述するが、保護部材形成装置１では、保護部材形成ステージ１６に載置したシート３０上に液状樹脂３１を供給して（図２、図４、図５参照）、ウェーハ保持部２０に保持したウェーハＷを、保護部材形成ステージ１６の上方から液状樹脂３１に押し付けるように動作する。シート３０に向けてウェーハＷの下面Ｗｂが押し付けられることで、ウェーハＷとシート３０の間で液状樹脂３１が押し広げられる（図６参照）。この状態で液状樹脂３１に紫外線を照射して硬化させて、硬化した樹脂とシート３０とによって保護部材３２が形成される（図７参照）。

【0016】

このような一連の動作は、保護部材形成装置１を統括制御する制御部４０（図１）による制御の下で行われる。以下に説明する各部の動作について、制御の主体が明記されていない場合は、制御部４０から送られる制御信号によって動作が制御されているものとする。

【0017】

ウェーハＷは、例えば、円柱状のシリコン等のインゴットから切り出した円板状のアズスライスウェーハである。なお、ウェーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウェーハに限らず、デバイス形成後のデバイスウェーハ等でもよい。

【0018】

保護部材形成装置１は、外部筐体１０のＸ軸方向の一端側（左側の端部）に、カセット収容部１１を備えている。カセット収容部１１には上下２段の収容スペース１１１、１１２が形成されている。上段の収容スペース１１１には、保護部材３２が形成される前の複数枚のウェーハＷを収容する搬入側のカセットＣ１が載置される。下段の収容スペース１１２には、保護部材３２を形成した後のウェーハＷを収容する搬出側のカセットＣ２が載置される。カセットＣ１とカセットＣ２にはそれぞれ複数枚のウェーハＷを収容可能である。

【0019】

カセット収容部１１のＸ軸方向の右側の位置には、仮置きテーブル１３とシートカットテーブル１４が設けられている。上側に仮置きテーブル１３が位置し、下側にシートカットテーブル１４が位置する。仮置きテーブル１３には、保護部材３２が形成される前のウェーハＷの中心位置及び向きを検出するウェーハ検出部１３１が設けられている。シートカットテーブル１４には、ウェーハＷに貼着されたシート３０をウェーハＷの外形に沿って切断するシートカッター１４１が設けられている。

【0020】

仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４に対してＹ軸方向の前方側に、各カセットＣ１、Ｃ２に対してウェーハＷの搬入及び搬出を行う第１搬送機構１２が設けられている。第１搬送機構１２は、台座１２１上に支持されるロボットハンド１２２を備え、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１２３に沿って台座１２１が移動可能に支持されている。台座１２１は、Ｙ軸方向に延びるボールネジ１２４に対して螺合する螺合部（図示略）を備える。モータの駆動力によってボールネジ１２４を回転させると、台座１２１がＹ軸方向に移動する。

【0021】

第１搬送機構１２は、Ｙ軸方向への台座１２１の移動と、ロボットハンド１２２の動作とによって、カセット収容部１１と仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４との間でのウェーハＷの搬送を行う。より詳しくは、第１搬送機構１２は、保護部材３２が形成される前のウェーハＷを、収容スペース１１１内のカセットＣ１から搬出して仮置きテーブル１３に載せることができる。また、第１搬送機構１２は、保護部材３２が形成された後のウェーハＷを、シートカットテーブル１４から搬出して、収容スペース１１２内のカセットＣ２に搬入することができる。

【0022】

保護部材形成装置１は、仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４対してＸ軸方向の右側に基台１５を備えている。基台１５には、保護部材形成ステージ１６が設けられている。保護部材形成ステージ１６は、石英ガラス等の透光性材料からなり、円板状に形成されている。保護部材形成ステージ１６の上面は、シート３０を載置するための平坦なシート支持面１６１になっている。

【0023】

保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１上にシート３０を搬送して載置するシート搬送機構１７を備える。シート搬送機構１７は、ロール状に巻かれたシート３０が支持されるシート供給部１７１と、Ｘ軸方向に移動可能なアーム１７２と、アーム１７２の側面に取り付けられたクランプ部１７３と、を備えている。シート搬送機構１７では、シート供給部１７１に支持されたロール状のシート３０をクランプ部１７３によって保持し、アーム１７２をＸ軸方向に移動させてシート３０を引っ張ることによって、保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１上にシート３０を載置する。

【0024】

シート３０は透光性材料からなる。シート３０として、例えば、ポリエチレンテレフタレート等で形成されたフィルム等を用いることができる。なお、これ以外の材質からなるシート３０を用いてもよい。

【0025】

保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１には、複数の吸引孔（図示略）が形成されている。吸引孔は吸引源１６２（図２参照）に接続している。吸引源１６２を動作させて吸引孔に吸引力を作用させることにより、シート支持面１６１上に載置されたシート３０がシート支持面１６１に吸引保持される。

【0026】

保護部材形成ステージ１６の近傍には、シート支持面１６１上のシート３０の上面に所定量の液状樹脂３１を供給する樹脂供給機構１８が設けられている。樹脂供給機構１８は、基台１５内に設けられたタンク１８４に接続するディスペンサ１８１と、ディスペンサ１８１から延びる接続管１８２が接続する樹脂供給ノズル１８３とを備える。樹脂供給ノズル１８３はＺ軸方向に向く軸を中心として旋回可能であり、保護部材形成ステージ１６の上方に樹脂供給ノズル１８３を位置付ける状態と、保護部材形成ステージ１６の上方から樹脂供給ノズル１８３を退避させる状態とにさせることができる。

【0027】

タンク１８４に貯留された液状樹脂３１がディスペンサ１８１によって接続管１８２を経由して送られ、樹脂供給ノズル１８３から下方に向けて液状樹脂３１が滴下される。樹脂供給ノズル１８３からの液状樹脂３１の供給量は、ディスペンサ１８１によって調整可能である。

【0028】

保護部材形成ステージ１６に対してＸ軸方向の左側の位置に、基台１５から上方へ突出するコラム１９が設けられている。コラム１９には、ウェーハ保持部２０をＺ軸方向へ移動させて、保護部材形成ステージ１６に対して接近及び離間させる昇降機構２１が設けられている。昇降機構２１は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール２１１と、一対のガイドレール２１１に対してＺ軸方向に移動可能に支持された昇降テーブル２１２と、Ｚ軸方向に延びて昇降テーブル２１２の螺合部２１５（図２参照）に螺合するボールネジ２１３（図２参照）と、を備えている。モータ２１４の駆動力によってボールネジ２１３を回転させると、一対のガイドレール２１１に沿って昇降テーブル２１２がＺ軸方向に移動する。ボールネジ２１３を第１の方向へ回転させると昇降テーブル２１２が下方へ移動し、ボールネジ２１３を第２の方向へ回転させると昇降テーブル２１２が上方へ移動する。

【0029】

ウェーハ保持部２０は昇降テーブル２１２により支持されており、昇降テーブル２１２に伴ってウェーハ保持部２０がＺ軸方向へ移動される。ウェーハ保持部２０は円板状の保持テーブル２０１を備えている。図２、図５から図７に示すように、保持テーブル２０１の下面側には、円板状の多孔質部材２０２が設けられている。多孔質部材２０２の下面は、保護部材形成ステージ１６の上方に位置するウェーハ保持面２０３である。ウェーハ保持面２０３は、保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１と略並行な面である。

【0030】

図２に示すように、多孔質部材２０２は吸引路２０４を介して吸引源２０５に連通している。吸引源２０５を動作させて多孔質部材２０２に吸引力を付与することにより、ウェーハ保持面２０３でウェーハＷの上面Ｗａを吸引保持することができる。

【0031】

ウェーハ保持部２０のウェーハ保持面２０３にウェーハＷの上面Ｗａを吸引保持した状態（図２）で、昇降機構２１によってウェーハ保持部２０を下降させると、シート３０上に供給された液状樹脂３１にウェーハＷの下面Ｗｂが接触して、ウェーハＷを下降させる力によって液状樹脂３１が押し広げられる。

【0032】

図５から図７に示すように、ウェーハ保持部２０は荷重検知部２２を備えている。保持テーブル２０１の上面側に位置を異ならせて複数の荷重センサ２２１が設けられており、これらの荷重センサ２２１によって荷重検知部２２が構成される。荷重検知部２２は、複数の荷重センサ２２１の出力によって、ウェーハＷの下面Ｗｂに加わる垂直方向（Ｚ軸方向）の荷重を検知することができる。

【0033】

複数の荷重センサ２２１は、ウェーハＷの下面Ｗｂに加わる荷重を適切に検知することが可能な任意の位置に設けられる。例えば、保持テーブル２０１の中心を通ってＺ軸方向へ延びる仮想の中心軸を囲むように、３つの荷重センサ２２１が設けられる。

【0034】

保護部材形成ステージ１６の下部には、シート支持面１６１上のシート３０に滴下された液状樹脂３１に紫外線を照射して硬化させる紫外線照射部２３が設けられている。紫外線照射部２３は、紫外線ＵＶ（図７）を発することが可能な複数の紫外線光源２３１を備えており、透光性を有する保護部材形成ステージ１６及びシート３０を通じて液状樹脂３１に紫外線ＵＶを照射して硬化させる。硬化の進行する液状樹脂３１が紫外線ＵＶの照射を受けると、紫外線ＵＶを反射して蛍光ＳＬを発する。

【0035】

また、保護部材形成ステージ１６の下部には、受光部２４が設けられている。受光部２４は、液状樹脂３１から発した蛍光ＳＬを受光することができる。受光部２４は、受光した光の波長（色）を識別可能な測色センサ等で構成される。受光部２４は、保護部材形成ステージ１６の径方向の中央の下部に位置している。

【0036】

図１に示すように、基台１５に対してＹ軸方向の前方側に、第２搬送機構２５が設けられている。第２搬送機構２５は、台座２５１上に支持されるロボットハンド２５２を備え、Ｘ軸方向に延びる一対のガイドレール２５３に沿って台座２５１が移動可能に支持されている。台座２５１は、Ｘ軸方向に延びるボールネジ２５４に対して螺合する螺合部（図示略）を備える。モータの駆動力によってボールネジ２５４を回転させると、台座２５１がＸ軸方向に移動する。

【0037】

第２搬送機構２５は、Ｘ軸方向への台座２５１の移動と、ロボットハンド２５２の動作とによって、仮置きテーブル１３及びシートカットテーブル１４とウェーハ保持部２０との間でのウェーハＷの搬送を行う。より詳しくは、第２搬送機構２５は、保護部材３２が形成される前のウェーハＷを仮置きテーブル１３から受け取って搬送し、ウェーハ保持部２０の保持テーブル２０１に受け渡すことができる。また、第２搬送機構２５は、保護部材３２が形成された後のウェーハＷをウェーハ保持部２０の保持テーブル２０１から回収して、シートカットテーブル１４へ搬送することができる。

【0038】

保護部材形成装置１は、制御部４０（図１）によって統括的に制御される。制御部４０は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラム等を記憶する記憶部（メモリ）と、によって構成されている。制御部４０の記憶部には、保護部材形成装置１の制御プログラムの一部として、後述する紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法を実行するためのプログラムが記憶されている。

【0039】

制御部４０の機能ブロックの１つとして判断部４１が含まれる。紫外線照射部２３から照射した紫外線ＵＶを受けた液状樹脂３１が発した蛍光ＳＬを受光部２４が受光する。判断部４１は、受光部２４で受光した蛍光ＳＬに基づいて、後述する液状樹脂の硬化判断を行う。なお、判断部４１の機能は、制御部４０を構成するプロセッサやメモリ等の動作によって実現されるものであり、判断部４１が独立した電子部品で構成されていることを意味しているのではない。また、図１では、判断部４１と受光部２４との間の接続関係のみを模式的に示しているが、制御部４０は、受光部２４以外の保護部材形成装置１の各部に対しても、信号の送受が可能に接続されている。

【0040】

以上のように構成された保護部材形成装置１による保護部材の形成について説明する。

【0041】

図３は、シート搬入工程を示している。シート搬入工程では、シート搬送機構１７において、クランプ部１７３でシート３０の端部をクランプしてアーム１７２をＸ軸方向へ移動させ、シート供給部１７１からシート３０を引き出して保護部材形成ステージ１６側へ搬送する。引き出されたシート３０は所定の長さでカットされる。シート３０を保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１上に載置して、吸引源１６２の動作によってシート支持面１６１の吸引孔（図示略）に吸引力を作用させてシート３０を吸引保持する。これにより、シート３０はシート支持面１６１に密着する。この段階でのシート支持面１６１上のシート３０の面積は、ウェーハＷの下面Ｗｂの面積よりも大きい。

【0042】

図４は、液状樹脂供給工程を示している。液状樹脂供給工程では、先のシート搬入工程によってシート支持面１６１上に載置されたシート３０の上方に、樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３を位置付ける。そして、ディスペンサ１８１を制御して樹脂供給ノズル１８３に液状樹脂３１を送出し、樹脂供給ノズル１８３からシート３０に向けて液状樹脂３１を滴下させる。樹脂供給ノズル１８３は保護部材形成ステージ１６の中央付近の上方に位置付けられており、樹脂供給ノズル１８３から滴下された液状樹脂３１は、ウェーハＷの面積よりも狭い範囲でシート３０の上面の中央付近に溜まった状態になる。

【0043】

制御部４０は、ウェーハＷの大きさ等の情報に基づいて、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に行き渡る量（所定量）の液状樹脂３１を、樹脂供給機構１８によってシート３０へ供給させる。所定量の液状樹脂３１の供給が完了したら、樹脂供給ノズル１８３を旋回動作させて保護部材形成ステージ１６の上方から離脱させ、液状樹脂供給工程を完了する。

【0044】

図５は、ウェーハ保持工程によってウェーハ保持部２０にウェーハＷを保持させた状態を示している。ウェーハ保持工程では、第１搬送機構１２によって、保護部材３２を形成する前のウェーハＷが、収容スペース１１１内のカセットＣ１から取り出されて、仮置きテーブル１３に搬送される。仮置きテーブル１３では、ウェーハ検出部１３１によって、ウェーハＷの向きや中心が検出される。ウェーハＷの向きや中心が検出されると、第２搬送機構２５によって、ウェーハＷがウェーハ保持部２０まで搬送される。ウェーハ保持部２０では、吸引源２０５を動作させて多孔質部材２０２に吸引力を作用させ、ウェーハ保持面２０３にウェーハＷの上面Ｗａを吸引して保持する。

【0045】

なお、ウェーハ保持工程の少なくとも一部を、シート搬入工程及び液状樹脂供給工程と並行して（同時に）行ってもよい。

【0046】

ウェーハ保持部２０に保持されたウェーハＷが、シート３０上の液状樹脂３１の上方に対向して位置する状態（図５）になったら、図６に示す押し広げ工程に進む。押し広げ工程では、昇降機構２１でモータ２１４を動作させて昇降テーブル２１２及びウェーハ保持部２０を所定の送り速度で下降させる。

【0047】

ウェーハ保持部２０の下降によって、ウェーハＷの下面Ｗｂが保護部材形成ステージ１６に接近して液状樹脂３１に接触する。そして、ウェーハＷの下面Ｗｂによって液状樹脂３１が押圧されて、液状樹脂３１がウェーハＷの径方向に押し広げられる。ウェーハＷの下面Ｗｂが接触する前の液状樹脂３１はシート３０の中央付近にまとまって位置しており（図５参照）、ウェーハＷから押圧されることにより、液状樹脂３１はウェーハＷの外縁側に向けて広がる（図６参照）。

【0048】

ウェーハ保持部２０を下降させてウェーハＷの下面Ｗｂによって液状樹脂３１を押し広げるのに伴って、ウェーハＷの下面Ｗｂに加わるＺ軸方向（垂直方向）の荷重（ウェーハＷから液状樹脂３１への押圧力の値）が増加する。液状樹脂３１がウェーハＷの下面Ｗｂの全体まで行き渡って、ウェーハＷの外縁から外側に液状樹脂３１がはみ出る状態になると、上記の荷重が低下し始める。このような荷重の変化が、荷重検知部２２における荷重センサ２２１を用いて検知される。

【0049】

荷重検知部２２による検知結果（各荷重センサ２２１からの出力信号）は制御部４０に入力される。制御部４０は、荷重検知部２２の検知結果を参照して、Ｚ軸方向（垂直方向）の荷重の変化に応じて昇降機構２１のモータ２１４の駆動を制御することで、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体に（ウェーハＷの外縁に達するまで）液状樹脂３１を押し広げた状態にさせる。

【0050】

押し広げ工程が完了して、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を液状樹脂３１が覆う状態になったら、図７に示す硬化工程に進む。硬化工程では、液状樹脂３１を硬化させる強度の紫外線ＵＶを、紫外線照射部２３の紫外線光源２３１からシート支持面１６１に向けて照射する。紫外線光源２３１から発した紫外線ＵＶは、透光性を有する保護部材形成ステージ１６及びシート３０を透過して液状樹脂３１に達し、紫外線硬化型樹脂である液状樹脂３１を硬化させる。液状樹脂３１が十分に硬化したと判断される状態になったら、紫外線照射部２３からの紫外線ＵＶの照射を終了する。

【0051】

液状樹脂３１の硬化を判断する方法について説明する。紫外線照射部２３を構成する複数の紫外線光源２３１はＬＥＤ等であり、波長３５６ｎｍの紫外線ＵＶを発する。紫外線照射部２３から照射された紫外線ＵＶを液状樹脂３１に当てると、液状樹脂３１が蛍光ＳＬを発する。蛍光ＳＬは、シート３０及びシート支持面１６１を通って保護部材形成ステージ１６内を下方に進み、受光部２４に入射する。

【0052】

液状樹脂３１は、硬化前は透明度が高く、硬化が進むにつれて透明度、色、反射率等が変化する。そして、液状樹脂３１の硬化の進行程度の違いによって、液状樹脂３１が発する蛍光ＳＬの色や強度が変化する。すなわち、液状樹脂３１の硬化状態に応じて、蛍光ＳＬの波長（色）や、蛍光ＳＬの特定の波長での強度（色の階調）が変化する。

【0053】

硬化が完了した液状樹脂３１に波長３５６ｎｍの紫外線ＵＶを当てた場合の蛍光ＳＬの波長を示す閾値が予め設定されており、制御部４０の記憶部に当該閾値が記憶されている。

【0054】

硬化工程において、受光部２４は蛍光ＳＬを継続的に受光する。そして、受光部２４で受光した蛍光ＳＬの波長が、予め記憶されている閾値を超えると、判断部４１は、液状樹脂３１の硬化が完了したと判断する。

【0055】

紫外線硬化型の液状樹脂には複数の種類があり、同じ波長の紫外線ＵＶを照射した場合に、液状樹脂の種類によって、硬化状態で発する蛍光ＳＬの波長が異なる。例えば、第１の種類の液状樹脂３１では、硬化が完了した状態で波長３５６ｎｍの紫外線ＵＶを当てると、波長４３０ｎｍの蛍光ＳＬを発する。第２の種類の液状樹脂３１では、硬化が完了した状態で波長３５６ｎｍの紫外線ＵＶを当てると、波長４５０ｎｍの蛍光ＳＬを発する。

【0056】

第１の種類の液状樹脂３１を用いる場合には、波長４３０ｎｍを閾値として設定する。そして、硬化工程において受光部２４で受光した蛍光ＳＬについて、閾値である波長４３０ｎｍを超えると、判断部４１は液状樹脂３１の硬化が完了したと判断する。第２の種類の液状樹脂３１を用いる場合には、波長４５０ｎｍを閾値として設定する。そして、硬化工程において受光部２４で受光した蛍光ＳＬについて、閾値である波長４５０ｎｍを超えると、判断部４１は液状樹脂３１の硬化が完了したと判断する。以上の硬化完了の判断が判断部４１によって行われると、制御部４０は、紫外線照射部２３からの紫外線ＵＶの照射を終了させる。

【0057】

制御部４０は、蛍光ＳＬの波長が閾値を超えたら直ちに紫外線ＵＶの照射を終了させてもよいし、蛍光ＳＬの波長が閾値を超えてから所定の時間を経過した後で紫外線ＵＶの照射を終了させてもよい。

【0058】

なお、上記の閾値（波長４３０ｎｍ、波長４５０ｎｍ）は一例であり、液状樹脂３１の種類やロット等の違いによって、適した波長の閾値を設定する。

【0059】

図８は、ウェーハＷにおいて、液状樹脂３１の硬化を判断する領域を示す平面図である。押し広げ工程で押し広げられた液状樹脂３１の外周縁３１１は、ウェーハＷの外周縁Ｗｃよりも外側に広がっている。紫外線照射部２３は、円板状のウェーハＷのうち半分の領域に紫外線ＵＶを照射する第１紫外線照射ユニット２３２と、ウェーハＷのうち残り半分の領域に紫外線ＵＶを照射する第２紫外線照射ユニット２３３と、によって構成されている。第１紫外線照射ユニット２３２と第２紫外線照射ユニット２３３はそれぞれ、平面的に分散配置した複数個の紫外線光源２３１を含んでいる。

【0060】

第１紫外線照射ユニット２３２で紫外線ＵＶを照射する範囲内に第１判断領域５０を設定し、第２紫外線照射ユニット２３３で紫外線ＵＶを照射する範囲内に第２判断領域５１を設定する。第１判断領域５０と第２判断領域５１の位置、大きさ、形状は、受光部２４で受光可能な範囲に対応して適宜設定される。本実施形態では、第１判断領域５０と第２判断領域５１はそれぞれ矩形の領域であり、ウェーハＷの中心に関して第１判断領域５０と第２判断領域５１が略対称の位置に設定されている。

【0061】

第１判断領域５０と第２判断領域５１は、ウェーハＷの径方向でやや中心寄りに位置している。これにより、保護部材形成ステージ１６の径方向の中央の下部に設けた受光部２４で、第１判断領域５０と第２判断領域５１からの蛍光ＳＬを受光することができる。

【0062】

第１判断領域５０で液状樹脂３１が発した蛍光ＳＬと、第２判断領域５１で液状樹脂３１が発した蛍光ＳＬは、受光部２４で受光される。そして、判断部４１による上記の硬化判断を、各判断領域５０、５１について行う。制御部４０は、各判断領域５０、５１のうち、判断部４１により硬化が完了したと判断される判断領域に対応する紫外線照射ユニットからの紫外線ＵＶの照射を停止させる。

【0063】

液状樹脂３１の硬化がウェーハＷの下面Ｗｂ全面で均等に進行した場合には、第１判断領域５０からの蛍光ＳＬと、第２判断領域５１からの蛍光ＳＬとが、同時期に上記の波長の閾値を超える。よって、第１紫外線照射ユニット２３２からの紫外線ＵＶの照射と、第２紫外線照射ユニット２３３からの紫外線ＵＶの照射が、同じタイミングで停止される。

【0064】

第１紫外線照射ユニット２３２からの紫外線照射を受ける部分と、第２紫外線照射ユニット２３３からの紫外線照射を受ける部分とで、液状樹脂３１の硬化の進行の程度が異なる場合には、第１判断領域５０からの蛍光ＳＬが上記の波長の閾値を超えるタイミングと、第２判断領域５１からの蛍光ＳＬが上記の波長の閾値を超えるタイミングとが異なる。制御部４０は、判断部４１の判断結果に基づいて、第１紫外線照射ユニット２３２からの紫外線照射と、第２紫外線照射ユニット２３３からの紫外線照射を、それぞれに適したタイミングで停止させる。

【0065】

例えば、第１判断領域５０が先に硬化完了したと判断部４１が判断した場合に、制御部４０は、第１紫外線照射ユニット２３２からの紫外線ＵＶの照射を停止させ、第２紫外線照射ユニット２３３からの紫外線ＵＶの照射を継続させる。その後、第２判断領域５１が硬化完了したと判断部４１が判断した段階で、制御部４０は、第２紫外線照射ユニット２３３からの紫外線ＵＶの照射を停止させる。

【0066】

複数の判断領域５０、５１を設定して、各判断領域５０、５１で個別に液状樹脂３１の硬化判断を行うことにより、硬化判断の精度を高めて、硬化工程を最適化することができる。例えば、第１紫外線照射ユニット２３２と第２紫外線照射ユニット２３３のいずれかが劣化して紫外線ＵＶの照射性能が低下した場合に、劣化した紫外線照射ユニットでは通常よりも紫外線照射時間を長くして液状樹脂３１を確実に硬化させ、劣化していない紫外線照射ユニットでは通常の紫外線照射時間にして無駄な電力消費を防ぐことができる。

【0067】

また、複数の判断領域５０、５１に分けて判断することで、ウェーハＷの下面Ｗｂの面積の範囲内での液状樹脂３１の硬化進捗の偏り等の情報を得ることができる。

【0068】

なお、図８の例では、矩形の第１判断領域５０と矩形の第２判断領域５１という２つの領域を設定しているが、判断領域の数、位置、形状は適宜選択可能である。

【0069】

例えば、ウェーハＷを４分割した範囲に対して４つの紫外線照射ユニットによって紫外線照射を行うタイプの装置において、液状樹脂３１の硬化判断を行う判断領域を４つに設定してもよい。逆に、複数の判断領域に分けずに１つの判断領域のみで液状樹脂３１の硬化判断を行うことも可能である。

【0070】

また、判断領域を矩形以外の形状にすることも可能である。例えば、判断領域を円形等にしてもよい。

【0071】

本実施形態では、第１判断領域５０からの蛍光ＳＬと第２判断領域５１からの蛍光ＳＬを１つの受光部２４で受光している。受光部２４の数が少ない構成の場合、紫外線照射部２３における紫外線光源２３１の配置に影響を及ぼしにくいという利点がある。しかし、複数の判断領域に対応して複数の受光部を設ける構成を排除するものではない。例えば、第１判断領域５０からの蛍光ＳＬを受光する第１受光部と、第２判断領域５１からの蛍光ＳＬを受光する第２受光部とを備えてもよい。

【0072】

図９は、保護部材形成装置１における硬化工程の変形例を示している。この変形例では、保護部材形成ステージ１６の下部に設ける受光部として、シート支持面１６１の方向を撮像するカメラ２６を備えている。カメラ２６はレンズと撮像素子を備えており、レンズに入射した光を撮像素子で受光する。カメラ２６のレンズは超広角レンズであり、シート支持面１６１上のシート３０に押し広げられた液状樹脂３１の外周縁３１１（図８参照）までの範囲や、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を、シート支持面１６１の下方側から撮像可能である。カメラ２６の撮像素子は受光面を構成する多数の画素を有しており、光の三原色である青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）、赤色（Ｒ）の３つの色成分を画素毎に検出する。

【0073】

カメラ２６の撮像素子の各画素で受光した光が光電変換されて各色の階調を表す信号が生成され、受光面全体の撮像画を表す画像データが撮像画記憶部２７に記憶される。カメラ２６の撮像素子で検出されるＲ、Ｇ、Ｂの３つの色成分は、それぞれが０から２５５までの２５６階調で出力及び処理される。つまり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各チャンネルがそれぞれ８ビット（２５６階調）を持つ２４ビットのフルカラー画像として画像データが生成されて、撮像画記憶部２７に記憶される。判断部４１は、撮像画記憶部２７に記憶された画像データに基づいて、液状樹脂３１の硬化判断を行う。

【0074】

図１０は、蛍光ＳＬを受光したカメラ２６で撮像して撮像画記憶部２７に記憶された撮像画のＲＧＢ値のうちのＧ値の変化を示したグラフである。このグラフの横軸は時間経過を示し、縦軸はＧ値の階調（２５５が最大）を示している。縦軸の所定位置に、液状樹脂３１の硬化完了の判断基準となる閾値ＴＧを設定している。本実施形態では閾値ＴＧを「２１２」に設定している。

【0075】

図９に示す硬化工程に先立って、硬化が完了した液状樹脂３１が波長３５６ｎｍの紫外線ＵＶを受けて発する蛍光ＳＬ（撮像画）のＧ値が予め測定されており、当該測定値が閾値ＴＧとして制御部４０の記憶部に記憶されている。

【0076】

硬化工程において、紫外線ＵＶの照射時間の経過に伴って液状樹脂３１の硬化が進行し、液状樹脂３１の硬化の進行に伴って蛍光ＳＬの色が変化する。蛍光ＳＬの色変化によって、撮像画のＧ値が図１０のグラフのように変化する。そして、撮像画のＧ値が閾値ＴＧを超えると（硬化判断ポイントＶＧ）、判断部４１は、液状樹脂３１の硬化が完了したと判断する。

【0077】

液状樹脂３１の硬化の判断基準としてＧ値を用いている理由を説明する。硬化工程において、図１０の横軸方向で所定の時間経過毎に設定した４つの検出ポイントＰａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄで、カメラ２６による撮像画のＲＧＢデータを取得したところ、ＲＧＢの階調の値は次のようになった。
（１）第１検出ポイントＰａ
Ｒ値：１２０、Ｇ値：１８７、Ｂ値：２３７
（２）第２検出ポイントＰｂ
Ｒ値：１２２、Ｇ値：１９６、Ｂ値：２２９
（３）第３検出ポイントＰｃ
Ｒ値：１２９、Ｇ値：２３６、Ｂ値：２５５
（４）第４検出ポイントＰｄ
Ｒ値：１３８、Ｇ値：２４１、Ｂ値：２５５

【0078】

これらの数値から、蛍光ＳＬは、青色と緑色の割合が多く、青色と緑色を加法混色したシアン系統の色の光であることが分かる。そして、Ｇ値に比べてＢ値の方が高いことから、蛍光ＳＬの色は青味が強い。Ｂ値は、Ｇ値よりも早いタイミングで最大階調（２５５）に達しており、硬化工程の進行途中（第２検出ポイントＰｂと第３検出ポイントＰｃの間）で階調の変化が検出されなくなる。Ｒ値は、Ｇ値に比べて階調の変化幅が小さく、全般に低い階調の値で推移しているので、階調変化を高い精度で検出しにくい。一方、Ｇ値は、第１検出ポイントＰａから第４検出ポイントＰｄにかけて、最大階調（２５５）に達することなく階調が適度に変化しており、その変化幅も大きい。従って、ＲＧＢの３色のうちＧ値の変化が最も精密に検知しやすく、硬化判断の精度や信頼性の点で有利である。

【0079】

硬化工程において、カメラ２６で撮像した撮像画を撮像画記憶部２７に継続的に記憶させ、判断部４１は撮像画のＧ値の変化を監視する。このＧ値の変化を表したものが、図１０のグラフである。判断部４１は、Ｇ値が閾値ＴＧを超えたか否かを判断し、Ｇ値が閾値ＴＧを超えた硬化判断ポイントＶＧで、液状樹脂３１の硬化が完了したと判断する。判断部４１の当該判断を受けて、制御部４０は、紫外線照射部２３からの紫外線ＵＶの照射を終了させる。

【0080】

制御部４０は、撮像画のＧ値が閾値ＴＧを超えたら直ちに紫外線ＵＶの照射を終了させてもよいし、Ｇ値が閾値ＴＧを超えてから所定の時間を経過した後で紫外線ＵＶの照射を終了させてもよい。

【0081】

なお、液状樹脂３１の種類やロット等の違いによって、硬化完了状態での蛍光ＳＬの色味が異なる場合があるので、液状樹脂３１の違いに応じて適した閾値ＴＧを設定する。上記の閾値ＴＧの値（２１２）はあくまでも一例である。

【0082】

また、蛍光ＳＬの色味によっては、撮像画のＧ値ではなく、Ｂ値あるいはＲ値を基準として硬化判断を行うことが適している場合もある。つまり、液状樹脂３１の硬化が進行するにつれて、階調の変化を最も検出しやすい色を判断基準として用いればよい。従って、撮像画のＧ値以外を硬化の判断基準とすることを排除するものではない。

【0083】

カメラ２６で撮像した撮像画に基づいて液状樹脂３１の硬化判断を行う形態においても、図８のように複数の判断領域５０、５１に分けて硬化判断を行うことができる。カメラ２６はウェーハＷの下面Ｗｂ全面を撮影可能であるため、カメラ２６で撮影可能な範囲の一部として第１判断領域５０や第２判断領域５１を設定できる。

【0084】

また、カメラ２６による撮影範囲の広さと領域選択の自由度の高さを活かして、第１判断領域５０や第２判断領域５１以外の判断領域を設定することもできる。一例として、ウェーハＷの中央領域、外周近くの領域、中央と外周の中間領域、の３つの領域を判断領域にしてもよい。

【0085】

あるいは、複数の判断領域に分けずに、カメラ２６による撮影範囲に含まれる１つの判断領域のみで硬化判断を行うことも可能である。この場合、ウェーハＷの下面Ｗｂのうち特定の一部だけを判断領域としてもよいし、ウェーハＷの下面Ｗｂ全面を判断領域に含めてもよい。

【0086】

以上のようにして、図７又は図８に示す硬化工程において、判断部４１によって液状樹脂３１における硬化判断を行う。液状樹脂３１が硬化すると、硬化した状態の樹脂（元の液状樹脂３１）とシート３０とによって、ウェーハＷの下面Ｗｂを覆う保護部材３２が形成される。保護部材３２の形成が完了したら、吸引源１６２の動作を停止させて、保護部材形成ステージ１６のシート支持面１６１へのシート３０の吸引保持を解除する。

【0087】

続いて、昇降機構２１でモータ２１４を動作させて昇降テーブル２１２及びウェーハ保持部２０を上昇させ、保護部材３２を形成済みのウェーハＷを、ウェーハ保持部２０から第２搬送機構２５のロボットハンド２５２に受け渡す。この受け渡しの際に、ウェーハ保持部２０におけるウェーハ保持面２０３と吸引源２０５の連通を遮断して、ウェーハ保持部２０によるウェーハＷの吸引保持を解除する。具体的には、吸引路２０４に設けた開閉バルブ（図示略）を閉じたり、吸引源２０５の動作を停止したりすることで、ウェーハ保持面２０３に吸引力が作用しなくなる。ウェーハ保持部２０側の吸引保持が解除されると、ウェーハ保持部２０の下方に位置させたロボットハンド２５２へのウェーハＷの受け渡しが可能になる。

【0088】

第２搬送機構２５は、ウェーハ保持部２０から受け渡されたウェーハＷをシートカットテーブル１４へ搬送する。シートカッター１４１を用いて、シートカットテーブル１４に載置されたウェーハＷの外形に沿って余分なシート３０が切断される。

【0089】

続いて、第１搬送機構１２によって、ウェーハＷがシートカットテーブル１４からカセット収容部１１に搬送されて、収容スペース１１２内のカセットＣ２に収容される。

【0090】

以上のようにして、保護部材形成装置１でのウェーハＷに対する保護部材３２の形成が完了する。保護部材３２が形成されたウェーハＷは、保護部材形成装置１とは別の加工装置へ搬送されて加工される。

【0091】

例えば、ウェーハＷは研削装置へ搬送されて、保護部材３２とは反対側の面（上面Ｗａ）が研削加工される。研削装置での研削加工の際に、保護部材３２は研削装置の保持テーブルに押し付けられる。所定量の厚みを有して硬化されている保護部材３２によって、押し付けに耐えてウェーハＷを安定して研削加工させることができる。

【0092】

以上に説明した通り、本実施形態における紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置では、液状樹脂３１が硬化する際に、透明度や色等の光学的特性が変化することに着目して、紫外線ＵＶを照射された液状樹脂３１が発する蛍光ＳＬを受光する受光部２４やカメラ２６を備え、蛍光ＳＬの波長や撮像画のＧ値が予め設定した閾値を超えたら、液状樹脂３１が硬化したと判断するようにした。

【0093】

このように、紫外線照射部２３による紫外線ＵＶの照射時間の管理だけに依存せずに、実際の液状樹脂３１の硬化状況に基づいた蛍光ＳＬの波長や撮像画の階調の変化を根拠として硬化の判断が行われるので、液状樹脂３１の硬化不良（硬化不足）等を防いで、高い精度で確実に保護部材３２を形成することができる。

【0094】

例えば、紫外線照射部２３における第１紫外線照射ユニット２３２や第２紫外線照射ユニット２３３、あるいは個々の紫外線光源２３１が劣化した場合には、予め設定した時間で紫外線の照射を行っても、液状樹脂３１の硬化が不十分になる可能性があるが、本実施形態によれば、判断部４１による硬化判断が成立するまで紫外線の照射を継続（延長）させるように制御できる。

【0095】

また、液状樹脂３１のロット違いによる硬化進行のばらつきがあっても、判断部４１による硬化判断の成立を基準として硬化を行うことにより、このようなばらつきに対応して適切に硬化させることができる。例えば、実際には液状樹脂３１が硬化しているにも関わらず、さらに紫外線ＵＶの照射を行うと、タイムロスやエネルギーロスが生じてしまうが、本実施形態によれば、液状樹脂３１の硬化後の無駄な紫外線ＵＶの照射を防ぐことができ、液状樹脂３１へ行う紫外線照射を最適化できる。つまり、硬化工程の作業効率が向上する。

【0096】

また、紫外線ＵＶの照射開始から予め設定した時間を経過しても判断部４１による硬化判断が完了しない（硬化を検知できない）場合には、紫外線照射部２３の故障、液状樹脂３１の不良や間違い（例えば、紫外線硬化型樹脂と熱硬化型樹脂の取り違え）、その他のセッティングエラー等が発生していると判断することも可能である。例えば、硬化工程で紫外線ＵＶの照射開始からタイムカウントを行い、所定の時間を経過しても上記の閾値への到達が検知されない場合に、制御部４０は、保護部材形成装置１が備えているディスプレイやスピーカーやランプ等の報知部を用いて、液状樹脂３１の硬化工程において何らかのエラーが発生していることを作業者に報知させてもよい。

【0097】

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

【産業上の利用可能性】

【0098】

以上説明したように、本発明の紫外線硬化型の液状樹脂の硬化判断方法及び保護部材形成装置は、紫外線硬化型の液状樹脂が硬化したことを確実に判断できるという効果を有し、ウェーハの一方の面に保護部材を形成する工程を含む半導体等の製造分野において特に有用である。

【符号の説明】

【0099】

１ ：保護部材形成装置
１３ ：仮置きテーブル
１４ ：シートカットテーブル
１６ ：保護部材形成ステージ
１７ ：シート搬送機構
１８ ：樹脂供給機構
２０ ：ウェーハ保持部
２１ ：昇降機構
２３ ：紫外線照射部
２４ ：受光部
２６ ：カメラ（受光部）
２７ ：撮像画記憶部
３０ ：シート
３１ ：液状樹脂（紫外線硬化型の液状樹脂）
３２ ：保護部材
４０ ：制御部
４１ ：判断部
５０ ：第１判断領域
５１ ：第２判断領域
２３１ ：紫外線光源
２３２ ：第１紫外線照射ユニット
２３３ ：第２紫外線照射ユニット
ＳＬ ：蛍光
ＴＧ ：閾値
ＵＶ ：紫外線
ＶＧ ：硬化判断ポイント
Ｗ ：ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】