特開2023-167409電子線観察方法、電子線観察装置、電子線観察装置用の開口絞りモジュールおよび電子線観察装置用の開口絞りセット

発明の名称　電子線観察方法、電子線観察装置、電子線観察装置用の開口絞りモジュールおよび電子線観察装置用の開口絞りセット

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 205 位（142件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-167409

公報発行日　2023年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-167409

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