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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023167569
(43)【公開日】2023-11-24
(54)【発明の名称】ヒートパイプ
(51)【国際特許分類】
F28D 15/02 20060101AFI20231116BHJP
【ＦＩ】
F28D15/02 106A
F28D15/02 106F
F28D15/02 101K
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022078851
(22)【出願日】2022-05-12
(71)【出願人】
【識別番号】000190688
【氏名又は名称】新光電気工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】町田 洋弘
(57)【要約】
【課題】作動流体を容易に注入できるヒートパイプを提供する。
【解決手段】ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体を注入する注入口１５を有する。注入口１５は、金属層３１と、金属層３３と、金属層３１と金属層３３との間に設けられた単層の金属層３２と、金属層３１と金属層３２と金属層３３とにより画定されるとともに、作動流体が内部を移動する注入路１５ｒとを有する。金属層３１は、金属層３３と対向し、注入路１５ｒの内面を構成する内面３１Ａを有する。金属層３１の内面３１Ａは、複数の溝部４０を有する。
【選択図】図２
【解決手段】ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体を注入する注入口１５を有する。注入口１５は、金属層３１と、金属層３３と、金属層３１と金属層３３との間に設けられた単層の金属層３２と、金属層３１と金属層３２と金属層３３とにより画定されるとともに、作動流体が内部を移動する注入路１５ｒとを有する。金属層３１は、金属層３３と対向し、注入路１５ｒの内面を構成する内面３１Ａを有する。金属層３１の内面３１Ａは、複数の溝部４０を有する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
作動流体を注入する注入口を有するヒートパイプであって、
前記注入口は、
第１外層金属層と、
第２外層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層との間に設けられた単層又は複数層の内層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層と前記内層金属層とにより画定されるとともに、前記作動流体が内部を移動する注入路と、を有し、
前記第１外層金属層は、前記第２外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第１内面を有し、
前記第１外層金属層の前記第１内面は、１つ又は複数の第１溝部を有するヒートパイプ。
前記注入口は、
第１外層金属層と、
第２外層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層との間に設けられた単層又は複数層の内層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層と前記内層金属層とにより画定されるとともに、前記作動流体が内部を移動する注入路と、を有し、
前記第１外層金属層は、前記第２外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第１内面を有し、
前記第１外層金属層の前記第１内面は、１つ又は複数の第１溝部を有するヒートパイプ。
【請求項2】
前記第２外層金属層は、前記第１外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第２内面を有し、
前記第２外層金属層の前記第２内面は、１つ又は複数の第２溝部を有する請求項１に記載のヒートパイプ。
前記第２外層金属層の前記第２内面は、１つ又は複数の第２溝部を有する請求項１に記載のヒートパイプ。
【請求項3】
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と重ならないように設けられている請求項２に記載のヒートパイプ。
【請求項4】
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と部分的に重なるように設けられている請求項２に記載のヒートパイプ。
【請求項5】
前記注入口は、未封止部と、前記未封止部に連結する封止部とを有し、
前記第１溝部は、前記封止部には設けられておらず、前記未封止部のみに設けられている請求項１に記載のヒートパイプ。
前記第１溝部は、前記封止部には設けられておらず、前記未封止部のみに設けられている請求項１に記載のヒートパイプ。
【請求項6】
前記注入口は、多孔質体を有し、
前記多孔質体は、前記内層金属層の一方の面側から窪む第１有底孔と、前記内層金属層の他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔とを有し、
前記第１溝部は、前記第１有底孔と前記注入路とを連通するように形成されている請求項１に記載のヒートパイプ。
前記多孔質体は、前記内層金属層の一方の面側から窪む第１有底孔と、前記内層金属層の他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔とを有し、
前記第１溝部は、前記第１有底孔と前記注入路とを連通するように形成されている請求項１に記載のヒートパイプ。
【請求項7】
前記内層金属層は、前記内層金属層を厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記注入口の幅方向において前記貫通孔の両側に設けられた一対の壁部とを有し、
前記注入路は、前記一対の壁部と前記第１外層金属層と前記第２外層金属層とにより画定されており、
前記多孔質体は、前記壁部に設けられている請求項６に記載のヒートパイプ。
前記注入路は、前記一対の壁部と前記第１外層金属層と前記第２外層金属層とにより画定されており、
前記多孔質体は、前記壁部に設けられている請求項６に記載のヒートパイプ。
【請求項8】
前記作動流体を気化させる蒸発器と、
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
前記作動流体が流れるループ状の流路と、を更に有し、
前記注入路は、前記流路に連通するように設けられている請求項１に記載のヒートパイプ。
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
前記作動流体が流れるループ状の流路と、を更に有し、
前記注入路は、前記流路に連通するように設けられている請求項１に記載のヒートパイプ。
【請求項9】
前記注入口は、前記液管に接続されており、
前記液管は、多孔質部を有し、
前記第１溝部は、前記液管に向かって延びるとともに、前記液管の前記多孔質部とは離間している請求項８に記載のヒートパイプ。
前記液管は、多孔質部を有し、
前記第１溝部は、前記液管に向かって延びるとともに、前記液管の前記多孔質部とは離間している請求項８に記載のヒートパイプ。
【請求項10】
前記第１外層金属層は、複数の前記第１溝部を有し、
前記複数の第１溝部は、前記注入口の幅方向において、互いに連続して形成されている請求項１に記載のヒートパイプ。
前記複数の第１溝部は、前記注入口の幅方向において、互いに連続して形成されている請求項１に記載のヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ヒートパイプに関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、電子機器に搭載される半導体デバイス（例えば、ＣＰＵ等）の発熱部品を冷却するデバイスとしては、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するヒートパイプが提案されている（例えば、特許文献１参照）。作動流体は、ヒートパイプに設けられた注入口を介してヒートパイプの内部に注入される。その後、注入口は封止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第６１４６４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、携帯機器等の電子機器は、薄型化が進められている。この電子機器の薄型化に伴って、ヒートパイプも薄型化が求められている。ヒートパイプを薄型化すると、注入口が小さくなって作動流体を注入し難くなる。このため、作動流体の注入性の向上が求められている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一観点によれば、作動流体を注入する注入口を有するヒートパイプであって、前記注入口は、第１外層金属層と、第２外層金属層と、前記第１外層金属層と前記第２外層金属層との間に設けられた単層又は複数層の内層金属層と、前記第１外層金属層と前記第２外層金属層と前記内層金属層とにより画定されるとともに、前記作動流体が内部を移動する注入路と、を有し、前記第１外層金属層は、前記第２外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第１内面を有し、前記第１外層金属層の前記第１内面は、１つ又は複数の第１溝部を有する。
【発明の効果】
【0006】
本発明の一観点によれば、作動流体を容易に注入できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】一実施形態のループ型ヒートパイプを示す概略平面図である。
【図2】一実施形態の注入口を示す概略横断面である。
【図3】一実施形態のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図4】一実施形態のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図5】一実施形態のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図6】（ａ）～（ｄ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【図7】（ａ）～（ｄ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【図8】（ａ），（ｂ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【図9】（ａ），（ｂ）は、一実施形態のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【図10】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図11】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図12】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図13】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図14】変更例のループ型ヒートパイプを示す概略断面図である。
【図15】変更例の注入口を示す概略断面図である。
【図16】変更例の注入口を示す概略平面図である。
【図17】変更例の注入口を示す概略横断面図である。
【図18】（ａ）～（ｄ）は、変更例のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【図19】（ａ），（ｂ）は、変更例のループ型ヒートパイプの製造方法を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、一実施形態について添付図面を参照して説明する。
なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率については各図面で異なる場合がある。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。各図面では、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。以下の説明では、便宜上、Ｘ軸に沿って延びる方向をＸ軸方向と称し、Ｙ軸に沿って延びる方向をＹ軸方向と称し、Ｚ軸に沿って延びる方向をＺ軸方向と称する。なお、本明細書において、「平面視」とは、対象物をＺ軸方向から見ることを言い、「平面形状」とは、対象物をＺ軸方向から見た形状のことを言う。また、本明細書における「対向」とは、面同士又は部材同士が互いに正面の位置にあることを指し、互いが完全に正面の位置にある場合だけでなく、互いが部分的に正面の位置にある場合を含む。本明細書における「対向」とは、２つの部材が互いに離れている場合だけでなく、２つの部材が互いに接触している場合も含む。
なお、添付図面は、便宜上、特徴を分かりやすくするために特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率については各図面で異なる場合がある。また、断面図では、各部材の断面構造を分かりやすくするために、一部の部材のハッチングを梨地模様に代えて示し、一部の部材のハッチングを省略している。各図面では、相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。以下の説明では、便宜上、Ｘ軸に沿って延びる方向をＸ軸方向と称し、Ｙ軸に沿って延びる方向をＹ軸方向と称し、Ｚ軸に沿って延びる方向をＺ軸方向と称する。なお、本明細書において、「平面視」とは、対象物をＺ軸方向から見ることを言い、「平面形状」とは、対象物をＺ軸方向から見た形状のことを言う。また、本明細書における「対向」とは、面同士又は部材同士が互いに正面の位置にあることを指し、互いが完全に正面の位置にある場合だけでなく、互いが部分的に正面の位置にある場合を含む。本明細書における「対向」とは、２つの部材が互いに離れている場合だけでなく、２つの部材が互いに接触している場合も含む。
【0009】
（ループ型ヒートパイプ１０の全体構成）
図１に示すループ型ヒートパイプ１０は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器Ｍ１に収容される。ループ型ヒートパイプ１０は、蒸発器１１と、蒸気管１２と、凝縮器１３と、液管１４と、注入口１５とを有している。
図１に示すループ型ヒートパイプ１０は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器Ｍ１に収容される。ループ型ヒートパイプ１０は、蒸発器１１と、蒸気管１２と、凝縮器１３と、液管１４と、注入口１５とを有している。
【0010】
蒸発器１１と凝縮器１３は、蒸気管１２と液管１４とにより接続されている。蒸発器１１は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有している。蒸発器１１で生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３に送られる。凝縮器１３は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化する機能を有している。液化した作動流体Ｃは、液管１４を介して蒸発器１１に送られる。蒸気管１２及び液管１４は、作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖを流すループ状の流路１６を形成する。
【0011】
蒸気管１２は、例えば、長尺状の管体に形成されている。液管１４は、例えば、長尺状の管体に形成されている。本実施形態において、蒸気管１２と液管１４とは、例えば、長さ方向の寸法（つまり、長さ）が互いに等しい。なお、蒸気管１２の長さと液管１４の長さとは、互いに異なっていてもよい。例えば、液管１４の長さに比べて蒸気管１２の長さが短くてもよい。ここで、本明細書における蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３及び液管１４の「長さ方向」とは、各部材における作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れる方向（図中矢印参照）に一致する方向のことである。また、本明細書において「等しい」とは、正確に等しい場合の他、寸法公差等の影響により比較対象同士に多少の相違がある場合も含む。
【0012】
蒸発器１１は、図示しない発熱部品に密着して固定される。蒸発器１１内の作動流体Ｃは、発熱部品にて発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。なお、蒸発器１１と発熱部品との間に、熱伝導部材（ＴＩＭ：Thermal Interface Material）が介在されていてもよい。熱伝導部材は、発熱部品と蒸発器１１の間の接触熱抵抗を低減し、発熱部品から蒸発器１１への熱伝導をスムーズにする。
【0013】
蒸気管１２は、例えば、蒸気管１２の長さ方向と平面視で直交する幅方向の両側に設けられた一対の管壁１２ｗと、一対の管壁１２ｗの間に設けられた流路１２ｒとを有している。流路１２ｒは、蒸発器１１の内部空間と連通している。流路１２ｒは、ループ状の流路１６の一部である。蒸発器１１において発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を介して凝縮器１３へと導かれる。
【0014】
凝縮器１３は、例えば、放熱用に面積を大きくした放熱プレート１３ｐと、放熱プレート１３ｐの内部において蛇行した流路１３ｒとを有している。流路１３ｒは、ループ状の流路１６の一部である。蒸気管１２を介して導かれた蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化する。
【0015】
液管１４は、例えば、液管１４の長さ方向と平面視で直交する幅方向の両側に設けられた一対の管壁１４ｗと、一対の管壁１４ｗの間に設けられた流路１４ｒとを有している。流路１４ｒは、凝縮器１３の流路１３ｒと連通するとともに、蒸発器１１の内部空間と連通している。流路１４ｒは、ループ状の流路１６の一部である。凝縮器１３で液化した作動流体Ｃは、液管１４を通って蒸発器１１に導かれる。
【0016】
ループ型ヒートパイプ１０では、発熱部品で発生した熱を凝縮器１３に移動し、その凝縮器１３において放熱する。これにより、発熱部品が冷却され、発熱部品の温度上昇が抑制される。
【0017】
ここで、作動流体Ｃとしては、蒸気圧が高く、蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。このような作動流体Ｃを用いることで、蒸発潜熱によって発熱部品を効率的に冷却できる。作動流体Ｃとしては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、アセトン等を用いることができる。
【0018】
（注入口１５の構成）
注入口１５は、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部へと注入するための入り口である。すなわち、注入口１５は、作動流体Ｃを流路１６内に注入するための入り口である。注入口１５は、例えば、Ｙ軸方向に沿って延びる長さ方向と、Ｘ軸方向に沿って延びる幅方向と、Ｚ軸方向に沿って延びる厚さ方向とを有している。本実施形態の注入口１５は、注入口１５の長さ方向の一端部が液管１４に接続されている。本実施形態の注入口１５は、作動流体Ｃを液管１４内に注入する。なお、注入口１５は、蒸発器１１、蒸気管１２や凝縮器１３に接続されてもよい。この場合には、流路１６内に注入された作動流体Ｃは、注入箇所から液管１４内に移動する。
注入口１５は、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部へと注入するための入り口である。すなわち、注入口１５は、作動流体Ｃを流路１６内に注入するための入り口である。注入口１５は、例えば、Ｙ軸方向に沿って延びる長さ方向と、Ｘ軸方向に沿って延びる幅方向と、Ｚ軸方向に沿って延びる厚さ方向とを有している。本実施形態の注入口１５は、注入口１５の長さ方向の一端部が液管１４に接続されている。本実施形態の注入口１５は、作動流体Ｃを液管１４内に注入する。なお、注入口１５は、蒸発器１１、蒸気管１２や凝縮器１３に接続されてもよい。この場合には、流路１６内に注入された作動流体Ｃは、注入箇所から液管１４内に移動する。
【0019】
注入口１５は、作動流体Ｃの注入後に気密封止されている。封止後の注入口１５は、例えば、液管１４に連結する未封止部２１と、未封止部２１に連結する封止部２２とを有している。ループ型ヒートパイプ１０では、例えば、液管１４と未封止部２１と封止部２２とが連続して一体に形成されている。
【0020】
未封止部２１は、例えば、封止前の形状、つまり作動流体Ｃを液管１４内に注入する際の形状がおおよそ保たれている。封止部２２は、例えば、作動流体Ｃを液管１４内に注入する際には未封止部２１と同様の形状であり、作動流体Ｃを液管１４内に注入した後、潰されて扁平化されたものである。封止部２２の扁平化により、液管１４内に注入した作動流体Ｃが外部に漏れないように気密封止することができる。
【0021】
図２～図４は、封止前の注入口１５、つまり未封止状態の注入口１５を示している。図２は、図１の２－２線に対応する位置の注入口１５の断面を示している。図２に示した断面は、注入口１５の長さ方向（ここでは、Ｙ軸方向）と直交するＸＺ平面により注入口１５を切断した断面である。図３は、図２の３－３線に対応する位置の注入口１５及び液管１４の断面を示している。図４は、図３の４－４線に対応する位置の注入口１５及び液管１４の断面を示している。
【0022】
図２及び図３に示すように、注入口１５は、作動流体Ｃが内部を移動する注入路１５ｒと、注入口１５の幅方向において注入路１５ｒの両側に設けられた一対の管壁１５ｗとを有している。図３及び図４に示すように、注入路１５ｒは、例えば、Ｙ軸方向に沿って延びている。注入路１５ｒは、注入路１５ｒの長さ方向（ここでは、Ｙ軸方向）の両端部に設けられた第１開口端１５Ａ及び第２開口端１５Ｂを有している。第１開口端１５Ａは、例えば、ループ型ヒートパイプ１０の外部と接続されている。本実施形態の第１開口端１５Ａは、作動流体Ｃの注入後に封止部２２（図１参照）になる部分である。第２開口端１５Ｂは、例えば、液管１４の流路１４ｒと接続されている。注入路１５ｒは、例えば、ループ型ヒートパイプ１０の外部と液管１４の流路１４ｒとを連通するように形成されている。この注入路１５ｒを通じて作動流体Ｃが液管１４に注入される。
【0023】
図２に示すように、注入口１５は、例えば、３層の金属層３１，３２，３３を積層した構造を有している。換言すると、注入口１５は、一対の外層金属層となる金属層３１，３３の間に、内層金属層となる金属層３２を積層した構造を有している。本実施形態の注入口１５の内層金属層は、１層の金属層３２のみによって構成されている。
【0024】
各金属層３１～３３は、例えば、熱伝導性に優れた銅（Ｃｕ）層である。複数の金属層３１～３３は、例えば、拡散接合、圧接、摩擦圧接や超音波接合等の固相接合により互いに直接接合されている。なお、図２では、金属層３１～３３を判り易くするため、実線にて区別している。例えば、金属層３１～３３を拡散接合により一体化した場合、各金属層３１～３３の界面は消失していることがあり、境界は明確ではないことがある。ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加熱して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、金属層３１～３３は、銅層に限定されず、ステンレス層、アルミニウム層やマグネシウム合金層等から形成してもよい。また、積層した金属層３１～３３のうちの一部の金属層について、他の金属層と異なる材料が用いられてもよい。金属層３１～３３の各々の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層３１～３３のうちの一部の金属層を他の金属層と異なる厚さとしてもよく、また全ての金属層を互いに異なる厚さとしてもよい。
【0025】
（金属層３２の構成）
金属層３２は、金属層３１と金属層３３との間に積層されている。金属層３２の上面は、金属層３１に接合されている。金属層３２の下面は、金属層３３に接合されている。金属層３２は、金属層３２を厚さ方向に貫通する貫通孔３２Ｘと、注入口１５の幅方向において貫通孔３２Ｘの両側に設けられた一対の壁部３２ｗとを有している。貫通孔３２Ｘは、注入路１５ｒを構成している。
金属層３２は、金属層３１と金属層３３との間に積層されている。金属層３２の上面は、金属層３１に接合されている。金属層３２の下面は、金属層３３に接合されている。金属層３２は、金属層３２を厚さ方向に貫通する貫通孔３２Ｘと、注入口１５の幅方向において貫通孔３２Ｘの両側に設けられた一対の壁部３２ｗとを有している。貫通孔３２Ｘは、注入路１５ｒを構成している。
【0026】
（金属層３１の構成）
金属層３１は、金属層３２の上面に積層されている。金属層３１は、金属層３３と対向する内面３１Ａ（ここでは、下面）と、金属層３１の厚さ方向（ここでは、Ｚ軸方向）において内面３１Ａと反対側に設けられる外面３１Ｂ（ここでは、上面）とを有している。金属層３１は、平面視において壁部３２ｗと重なる位置に設けられた壁部３１ｗと、平面視において注入路１５ｒと重なる位置に設けられた上壁３１ｕとを有している。壁部３１ｗの内面３１Ａは、壁部３２ｗの上面に接合されている。上壁３１ｕは、一対の壁部３１ｗの間に設けられている。上壁３１ｕの内面３１Ａは、注入路１５ｒに露出している。換言すると、上壁３１ｕの内面３１Ａは、注入路１５ｒの内面を構成している。
金属層３１は、金属層３２の上面に積層されている。金属層３１は、金属層３３と対向する内面３１Ａ（ここでは、下面）と、金属層３１の厚さ方向（ここでは、Ｚ軸方向）において内面３１Ａと反対側に設けられる外面３１Ｂ（ここでは、上面）とを有している。金属層３１は、平面視において壁部３２ｗと重なる位置に設けられた壁部３１ｗと、平面視において注入路１５ｒと重なる位置に設けられた上壁３１ｕとを有している。壁部３１ｗの内面３１Ａは、壁部３２ｗの上面に接合されている。上壁３１ｕは、一対の壁部３１ｗの間に設けられている。上壁３１ｕの内面３１Ａは、注入路１５ｒに露出している。換言すると、上壁３１ｕの内面３１Ａは、注入路１５ｒの内面を構成している。
【0027】
金属層３１は、内面３１Ａに設けられた１つ又は複数の溝部４０を有している。本実施形態の金属層３１は、４つの溝部４０を有している。各溝部４０は、注入路１５ｒに連通するように形成されている。各溝部４０は、平面視において、注入路１５ｒと重なるように設けられている。各溝部４０は、例えば、上壁３１ｕの内面３１Ａ、つまり注入路１５ｒの内面を構成する部分の内面３１Ａに設けられている。本実施形態の各溝部４０は、金属層３１の内面３１Ａのうち上壁３１ｕの内面３１Ａのみに設けられている。換言すると、本実施形態の各溝部４０は、壁部３１ｗの内面３１Ａには設けられていない。各溝部４０は、例えば、金属層３１の内面３１Ａから金属層３１の厚さ方向の中間部まで凹むように形成されている。各溝部４０は、例えば、金属層３１の内面３１Ａから金属層３１の厚さ方向の中央部まで延びるように形成されている。各溝部４０の深さは、例えば、２５μｍ～１００μｍ程度とすることができる。各溝部４０のＸ軸方向に沿う幅寸法は、注入路１５ｒのＸ軸方向に沿う幅寸法よりも十分に小さく形成されている。各溝部４０の幅寸法は、例えば、２５μｍ～１００μｍ程度とすることができる。このように、注入路１５ｒの内面を構成する部分における内面３１Ａには、幅の細い溝部４０が複数設けられている。
【0028】
各溝部４０の内面の横断面形状は、任意の形状とすることができる。各溝部４０の底面は、例えば、円弧状に湾曲した曲面に形成されている。各溝部４０の内側面は、例えば、金属層３１の内面３１Ａに対して垂直に延びるように形成されている。
【0029】
複数の溝部４０は、金属層３１の厚さ方向と直交する平面方向の一方向（ここでは、Ｘ軸方向）に沿って並んで設けられている。複数の溝部４０は、例えば、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている。
【0030】
図３に示すように、各溝部４０は、例えば、注入口１５の長さ方向に沿って延びている。各溝部４０は、例えば、金属層３１の厚さ方向と直交する平面方向の一方向に沿って延びている。各溝部４０は、例えば、複数の溝部４０が並ぶ方向（ここでは、Ｘ軸方向）と直交する方向（ここでは、Ｙ軸方向）に沿って延びている。各溝部４０は、例えば、作動流体Ｃの移動方向に応じた方向に延びている。複数の溝部４０は、例えば、互いに平行に延びるように形成されている。
【0031】
各溝部４０は、例えば、液管１４に向かって延びている。各溝部４０は、例えば、注入路１５ｒの第１開口端１５Ａから液管１４に向かって延びている。各溝部４０は、例えば、第１開口端１５Ａから注入路１５ｒの長さ方向の途中まで延びている。換言すると、各溝部４０は、注入路１５ｒの長さ方向において、第２開口端１５Ｂまで延びていない。すなわち、各溝部４０は、液管１４の流路１４ｒまで延びていない。各溝部４０は、例えば、流路１４ｒに接続されていない。各溝部４０は、例えば、流路１４ｒと直接連通しないように形成されている。各溝部４０は、例えば、注入路１５ｒの長さ方向のうちＸ軸方向において液管１４の管壁１４ｗの一部と重なる位置まで延びている。
【0032】
（金属層３３の構成）
図２に示すように、金属層３３は、金属層３２の下面に積層されている。金属層３３は、金属層３１と対向する内面３３Ａ（ここでは、上面）と、金属層３３の厚さ方向において内面３３Ａと反対側に設けられる外面３３Ｂ（ここでは、下面）とを有している。金属層３３は、平面視において壁部３２ｗと重なる位置に設けられた壁部３３ｗと、平面視において注入路１５ｒと重なる位置に設けられた下壁３３ｄとを有している。壁部３３ｗの内面３３Ａは、壁部３２ｗの下面に接合されている。下壁３３ｄは、一対の壁部３３ｗの間に設けられている。下壁３３ｄの内面３３Ａは、注入路１５ｒに露出している。換言すると、下壁３３ｄの内面３３Ａは、注入路１５ｒの内面を構成している。
図２に示すように、金属層３３は、金属層３２の下面に積層されている。金属層３３は、金属層３１と対向する内面３３Ａ（ここでは、上面）と、金属層３３の厚さ方向において内面３３Ａと反対側に設けられる外面３３Ｂ（ここでは、下面）とを有している。金属層３３は、平面視において壁部３２ｗと重なる位置に設けられた壁部３３ｗと、平面視において注入路１５ｒと重なる位置に設けられた下壁３３ｄとを有している。壁部３３ｗの内面３３Ａは、壁部３２ｗの下面に接合されている。下壁３３ｄは、一対の壁部３３ｗの間に設けられている。下壁３３ｄの内面３３Ａは、注入路１５ｒに露出している。換言すると、下壁３３ｄの内面３３Ａは、注入路１５ｒの内面を構成している。
【0033】
金属層３３は、内面３３Ａに設けられた１つ又は複数の溝部５０を有している。本実施形態の金属層３３は、５つの溝部５０を有している。各溝部５０は、注入路１５ｒに連通するように形成されている。各溝部５０は、例えば、下壁３３ｄの内面３３Ａ、つまり注入路１５ｒの内面を構成する部分の内面３３Ａに設けられている。本実施形態の各溝部５０は、金属層３３の内面３３Ａのうち下壁３３ｄの内面３３Ａのみに設けられている。換言すると、本実施形態の各溝部５０は、壁部３３ｗの内面３３Ａには設けられていない。各溝部５０は、例えば、金属層３３の内面３３Ａから金属層３３の厚さ方向の中間部まで凹むように形成されている。各溝部５０は、例えば、金属層３３の内面３３Ａから金属層３３の厚さ方向の中央部まで延びるように形成されている。各溝部５０の深さは、例えば、２５μｍ～１００μｍ程度とすることができる。各溝部５０のＸ軸方向に沿う幅寸法は、注入路１５ｒのＸ軸方向に沿う幅寸法よりも十分に小さく形成されている。各溝部５０のＸ軸方向に沿う幅寸法は、例えば、各溝部５０のＸ軸方向に沿う幅寸法と等しい。各溝部５０の幅寸法は、例えば、２５μｍ～１００μｍ程度とすることができる。このように、注入路１５ｒの内面を構成する部分における内面３３Ａには、幅の細い溝部５０が複数設けられている。
【0034】
各溝部５０の内面の横断面形状は、任意の形状とすることができる。各溝部５０の底面は、例えば、円弧状に湾曲した曲面に形成されている。各溝部５０の内側面は、例えば、金属層３３の内面３３Ａに対して垂直に延びるように形成されている。
【0035】
図３に示すように、複数の溝部５０は、金属層３１の厚さ方向と直交する平面方向の一方向（ここでは、Ｘ軸方向）に沿って並んで設けられている。複数の溝部５０は、例えば、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている。各溝部５０は、例えば、平面視において、溝部４０と重ならないように設けられている。各溝部５０は、例えば、平面視において、溝部４０の全体と重ならないように設けられている。複数の溝部５０は、Ｘ軸方向に沿って溝部４０と重ならない間隔にて並んでいる。例えば、Ｘ軸方向に隣接する２つの溝部５０の間の間隔は、各溝部４０，５０の幅寸法よりも大きい。また、Ｘ軸方向に隣接する２つの溝部４０の間の間隔は、各溝部４０，５０の幅寸法よりも大きい。
【0036】
各溝部５０は、例えば、金属層３１の厚さ方向と直交する平面方向の一方向に沿って延びている。各溝部５０は、例えば、複数の溝部５０が並ぶ方向（ここでは、Ｘ軸方向）と直交する方向（ここでは、Ｙ軸方向）に沿って延びている。各溝部５０は、例えば、作動流体Ｃの移動方向に応じた方向に延びている。複数の溝部５０は、例えば、互いに平行に延びるように形成されている。各溝部５０は、例えば、平面視において、溝部４０と平行に延びるように形成されている。各溝部５０のＹ軸方向に沿う長さ寸法は、例えば、各溝部４０のＹ軸方向に沿う長さ寸法と等しい。
【0037】
各溝部５０は、例えば、液管１４に向かって延びている。各溝部５０は、例えば、注入路１５ｒの第１開口端１５Ａから液管１４に向かって延びている。各溝部５０は、例えば、第１開口端１５Ａから注入路１５ｒの長さ方向の途中まで延びている。換言すると、各溝部５０は、注入路１５ｒの長さ方向において、第２開口端１５Ｂまで延びていない。すなわち、各溝部５０は、液管１４の流路１４ｒまで延びていない。各溝部５０は、例えば、流路１４ｒに接続されていない。各溝部５０は、例えば、流路１４ｒと直接連通しないように形成されている。各溝部５０は、例えば、注入路１５ｒの長さ方向のうちＸ軸方向において液管１４の管壁１４ｗの一部と重なる位置まで延びている。
【0038】
（注入路１５ｒの具体的構造）
図２に示すように、注入路１５ｒは、金属層３１と金属層３２と金属層３３とにより画定されている。注入路１５ｒは、一対の壁部３２ｗと、上壁３１ｕの内面３１Ａと、下壁３３ｄの内面３３Ａとによって画定されている。注入路１５ｒは、例えば、金属層３２の貫通孔３２Ｘにより構成されている。
図２に示すように、注入路１５ｒは、金属層３１と金属層３２と金属層３３とにより画定されている。注入路１５ｒは、一対の壁部３２ｗと、上壁３１ｕの内面３１Ａと、下壁３３ｄの内面３３Ａとによって画定されている。注入路１５ｒは、例えば、金属層３２の貫通孔３２Ｘにより構成されている。
【0039】
（管壁１５ｗの具体的構造）
各管壁１５ｗは、例えば、金属層３１の壁部３１ｗと、金属層３２の壁部３２ｗと、金属層３３の壁部３３ｗとにより構成されている。
各管壁１５ｗは、例えば、金属層３１の壁部３１ｗと、金属層３２の壁部３２ｗと、金属層３３の壁部３３ｗとにより構成されている。
【0040】
（封止部２２の構成）
図５に示すように、封止部２２は、作動流体Ｃを液管１４の流路１４ｒ内に注入した後に、金属層３１～３３を潰して扁平化して形成される。封止部２２の形成には、例えば、超音波接合を用いることができる。超音波接合は、超音波を印加しながら対象物を加圧することにより、対象物を接合する。なお、接合の促進のため、対象物を加熱してもよい。封止部２２では、金属層３１～３３が潰れて注入路１５ｒが閉塞されている。この封止部２２により、ループ型ヒートパイプ１０の外部と注入路１５ｒとが分断される。なお、封止部２２における金属層３１～３３の間等において部分的に隙間が生じていても、その隙間がループ型ヒートパイプ１０の外部と注入路１５ｒとを繋ぐものでなければ、気密封止は成立する。
図５に示すように、封止部２２は、作動流体Ｃを液管１４の流路１４ｒ内に注入した後に、金属層３１～３３を潰して扁平化して形成される。封止部２２の形成には、例えば、超音波接合を用いることができる。超音波接合は、超音波を印加しながら対象物を加圧することにより、対象物を接合する。なお、接合の促進のため、対象物を加熱してもよい。封止部２２では、金属層３１～３３が潰れて注入路１５ｒが閉塞されている。この封止部２２により、ループ型ヒートパイプ１０の外部と注入路１５ｒとが分断される。なお、封止部２２における金属層３１～３３の間等において部分的に隙間が生じていても、その隙間がループ型ヒートパイプ１０の外部と注入路１５ｒとを繋ぐものでなければ、気密封止は成立する。
【0041】
（液管１４の構成）
液管１４は、注入口１５と同様に、３層の金属層３１～３３が積層されて形成されている。図３に示すように、液管１４は、液管１４の長さ方向（ここでは、Ｘ軸方向）と直交する幅方向（ここでは、Ｙ軸方向）の両側に設けられた一対の管壁１４ｗを有している。液管１４は、例えば、多孔質部６０と、流路６１とを有している。本実施形態の液管１４は、一対の管壁１４ｗと、一対の管壁１４ｗに設けられた一対の多孔質部６０と、一対の多孔質部６０の間に設けられた流路６１とを有している。各多孔質部６０は、例えば、各管壁１４ｗと連続して一体に形成されている。各多孔質部６０は、微細な孔を有する構造体である。各多孔質部６０は、例えば、内層金属層である金属層３２の上面から窪む有底孔と、金属層３２の下面から窪む有底孔と、それら有底孔同士が部分的に連通して形成される細孔とを有するように構成されている。多孔質部６０は、例えば、多孔質部６０に生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１（図１参照）へと導く。多孔質部６０の一部は、注入路１５ｒの第２開口端１５Ｂに露出している。多孔質部６０は、例えば、注入路１５ｒと連通している。但し、多孔質部６０は、例えば、各溝部４０，５０と接続していない。換言すると、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と接続していない。すなわち、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と離間している。このため、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と直接連通していない。
液管１４は、注入口１５と同様に、３層の金属層３１～３３が積層されて形成されている。図３に示すように、液管１４は、液管１４の長さ方向（ここでは、Ｘ軸方向）と直交する幅方向（ここでは、Ｙ軸方向）の両側に設けられた一対の管壁１４ｗを有している。液管１４は、例えば、多孔質部６０と、流路６１とを有している。本実施形態の液管１４は、一対の管壁１４ｗと、一対の管壁１４ｗに設けられた一対の多孔質部６０と、一対の多孔質部６０の間に設けられた流路６１とを有している。各多孔質部６０は、例えば、各管壁１４ｗと連続して一体に形成されている。各多孔質部６０は、微細な孔を有する構造体である。各多孔質部６０は、例えば、内層金属層である金属層３２の上面から窪む有底孔と、金属層３２の下面から窪む有底孔と、それら有底孔同士が部分的に連通して形成される細孔とを有するように構成されている。多孔質部６０は、例えば、多孔質部６０に生じる毛細管力によって、凝縮器１３で液化した作動流体Ｃを蒸発器１１（図１参照）へと導く。多孔質部６０の一部は、注入路１５ｒの第２開口端１５Ｂに露出している。多孔質部６０は、例えば、注入路１５ｒと連通している。但し、多孔質部６０は、例えば、各溝部４０，５０と接続していない。換言すると、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と接続していない。すなわち、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と離間している。このため、各溝部４０，５０は、多孔質部６０と直接連通していない。
【0042】
図４に示すように、流路６１の横断面積は、例えば、多孔質部６０の有する流路の横断面積よりも大きく形成されている。流路６１は、内層金属層である金属層３２を厚さ方向に貫通する貫通孔３２Ｙにより構成されている。例えば、流路６１は、多孔質部６０の有する流路と連通している。本実施形態の液管１４では、多孔質部６０の有する流路と流路６１とによって液管１４の流路１４ｒが構成されている。
【0043】
（ループ型ヒートパイプ１０の構成）
図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２及び凝縮器１３は、図２に示した注入口１５と同様に、３層の金属層３１～３３（図２参照）が積層されて形成される。蒸発器１１は、例えば、液管１４の多孔質部６０（図４参照）と同様の多孔質部を有していてもよい。例えば、蒸発器１１では、蒸発器１１に設けられた多孔質部が櫛歯状に形成されている。蒸発器１１内において、多孔質部の設けられていない領域は、空間が形成されている。例えば、蒸気管１２では、内層金属層である金属層３２（図２参照）を厚さ方向に貫通する貫通孔を形成することにより、流路１２ｒが形成されている。例えば、凝縮器１３は、内層金属層である金属層３２（図２参照）を厚さ方向に貫通する貫通孔を形成することにより、流路１３ｒが形成されている。
図１に示す蒸発器１１、蒸気管１２及び凝縮器１３は、図２に示した注入口１５と同様に、３層の金属層３１～３３（図２参照）が積層されて形成される。蒸発器１１は、例えば、液管１４の多孔質部６０（図４参照）と同様の多孔質部を有していてもよい。例えば、蒸発器１１では、蒸発器１１に設けられた多孔質部が櫛歯状に形成されている。蒸発器１１内において、多孔質部の設けられていない領域は、空間が形成されている。例えば、蒸気管１２では、内層金属層である金属層３２（図２参照）を厚さ方向に貫通する貫通孔を形成することにより、流路１２ｒが形成されている。例えば、凝縮器１３は、内層金属層である金属層３２（図２参照）を厚さ方向に貫通する貫通孔を形成することにより、流路１３ｒが形成されている。
【0044】
このように、ループ型ヒートパイプ１０は、３層の金属層３１～３３（図２参照）が積層されて構成される。なお、金属層の積層数は、３層に限定されず、４層以上とすることができる。
【0045】
なお、本実施形態において、ループ型ヒートパイプ１０はヒートパイプの一例、金属層３１は第１外層金属層の一例、内面３１Ａは第１内面の一例、金属層３２は内層金属層の一例、金属層３３は第２外層金属層の一例、内面３３Ａは第２内面の一例である。また、溝部４０は第１溝部の一例、溝部５０は第２溝部の一例である。
【0046】
（ループ型ヒートパイプ１０の作用）
次に、ループ型ヒートパイプ１０の作用について説明する。
ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、気化した作動流体Ｃ（つまり、蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。発熱部品の熱に起因して蒸発器１１において発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を通じて凝縮器１３に導かれる。蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化される。すなわち、発熱部品で発生した熱が凝縮器１３で放熱される。これにより、発熱部品が冷却され、発熱部品の温度上昇が抑制される。
次に、ループ型ヒートパイプ１０の作用について説明する。
ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体Ｃを気化させる蒸発器１１と、気化した作動流体Ｃ（つまり、蒸気Ｃｖ）を凝縮器１３に流入させる蒸気管１２と、蒸気Ｃｖを液化する凝縮器１３と、液化した作動流体Ｃを蒸発器１１に流入させる液管１４とを有している。発熱部品の熱に起因して蒸発器１１において発生した蒸気Ｃｖは、蒸気管１２を通じて凝縮器１３に導かれる。蒸気Ｃｖは、凝縮器１３において液化される。すなわち、発熱部品で発生した熱が凝縮器１３で放熱される。これにより、発熱部品が冷却され、発熱部品の温度上昇が抑制される。
【0047】
ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体Ｃを流路１６内に注入する注入口１５を有している。注入口１５は、作動流体Ｃが内部を移動する注入路１５ｒと、注入路１５ｒの内面に設けられた複数の溝部４０，５０とを有している。各溝部４０，５０は、注入口１５の長さ方向に沿って液管１４に向かって延びている。溝部４０，５０は、注入口１５を通じてループ型ヒートパイプ１０の内部に作動流体Ｃを注入する際に、作動流体Ｃに毛細管力を生じさせる。これにより、作動流体Ｃは、各溝部４０，５０によってループ型ヒートパイプ１０の外部から注入路１５ｒの内部へと容易に導かれる。そして、作動流体Ｃは、各溝部４０，５０によって注入路１５ｒ内を移動し、注入路１５ｒの第２開口端１５Ｂから液管１４の流路１４ｒへと注入される。
【0048】
（ループ型ヒートパイプ１０の製造方法）
次に、ループ型ヒートパイプ１０の製造方法について説明する。
まず、図６（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート７１を準備する。金属シート７１は、最終的に金属層３１（図２参照）となる部材である。金属シート７１は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート７１の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
次に、ループ型ヒートパイプ１０の製造方法について説明する。
まず、図６（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート７１を準備する。金属シート７１は、最終的に金属層３１（図２参照）となる部材である。金属シート７１は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート７１の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
【0049】
続いて、金属シート７１の下面にレジスト層７２を形成し、金属シート７１の上面にレジスト層７３を形成する。レジスト層７２，７３としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【0050】
【0051】
続いて、図６（ｃ）に示す工程では、開口部７２Ｘ内に露出する金属シート７１を、金属シート７１の下面側からエッチング（ハーフエッチング）する。これにより、金属シート７１の下面に溝部４０が形成される。溝部４０は、例えば、レジスト層７２，７３をエッチングマスクとして金属シート７１をウェットエッチングすることにより形成できる。金属シート７１の材料として銅を用いる場合には、エッチング液として塩化第二鉄水溶液や塩化第二銅水溶液を用いることができる。
【0052】
次いで、レジスト層７２，７３を剥離液により剥離する。これにより、図６（ｄ）に示すように、内面３１Ａに溝部４０を有する金属層３１を形成することができる。
次に、図７（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート７４を準備する。金属シート７４は、最終的に金属層３２（図２参照）となる部材である。金属シート７４は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート７４の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
次に、図７（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート７４を準備する。金属シート７４は、最終的に金属層３２（図２参照）となる部材である。金属シート７４は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート７４の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
【0053】
続いて、金属シート７４の下面にレジスト層７５を形成し、金属シート７４の上面にレジスト層７６を形成する。レジスト層７５，７６としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【0054】
次いで、図７（ｂ）に示す工程では、レジスト層７５を露光及び現像して、金属シート７４の下面を選択的に露出する開口部７５Ｘを形成する。同様に、レジスト層７６を露光及び現像して、金属シート７４の上面を選択的に露出する開口部７６Ｘを形成する。開口部７５Ｘ，７６Ｘは、図２に示した貫通孔３２Ｘに対応するように形成される。開口部７５Ｘと開口部７６Ｘは、平面視において互いに重なる位置に設けられている。
【0055】
次に、図７（ｃ）に示す工程では、レジスト層７５，７６から露出する金属シート７４を、金属シート７４の上下両面からエッチングする。開口部７５Ｘ，７６Ｘにより、金属シート７４に貫通孔３２Ｘが形成される。貫通孔３２Ｘは、例えば、レジスト層７５，７６をエッチングマスクとして金属シート７４をウェットエッチングすることにより形成できる。金属シート７４の材料として銅を用いる場合には、エッチング液として塩化第二鉄水溶液や塩化第二銅水溶液を用いることができる。
【0056】
次に、レジスト層７５，７６を剥離液により剥離する。これにより、図７（ｄ）に示すように、貫通孔３２Ｘを有する金属層３２を形成することができる。
続いて、図８（ａ）に示す工程では、図６（ａ）～図６（ｄ）に示した工程と同様の方法により、内面３３Ａに溝部５０を有する金属層３３を形成する。次いで、金属層３１と金属層３３との間に金属層３２を配置する。
続いて、図８（ａ）に示す工程では、図６（ａ）～図６（ｄ）に示した工程と同様の方法により、内面３３Ａに溝部５０を有する金属層３３を形成する。次いで、金属層３１と金属層３３との間に金属層３２を配置する。
【0057】
次に、図８（ｂ）に示す工程では、所定温度（例えば、９００℃程度）に加熱しながら積層した金属層３１～３３をプレスすることにより、固相接合にて金属層３１～３３を接合する。これにより、積層方向に隣接する金属層３１，３２，３３が直接接合される。
【0058】
以上説明した工程により、金属層３１，３２，３３が積層された構造体が形成される。そして、封止前の注入口１５が形成されるとともに、図１に示した蒸発器１１、蒸気管１２、凝縮器１３及び液管１４が形成される。
【0059】
次に、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示す工程では、真空ポンプ等を用いて液管１４内を排気した後、注入口１５から液管１４内に作動流体Ｃを注入する。このとき、注入口１５では、注入路１５ｒの内面に設けられた溝部４０，５０により毛細管力が生じる。この溝部４０，５０による毛細管力により、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に引き込みやすくなる。これにより、ループ型ヒートパイプ１０が薄型化されることに伴って作動流体Ｃを注入するための注入口１５が狭くなった場合であっても、微量の作動流体Ｃを安定して内部へ引き込むことができる。
【0060】
続いて、作動流体Ｃの注入が完了した後に、注入口１５の長さ方向の一部を潰して扁平化することにより図５に示した封止部２２を形成し、液管１４内に注入した作動流体Ｃが外部に漏れないように気密封止する。例えば、注入口１５の長さ方向の一部において金属層３１，３２，３３（図８（ｂ）参照）を積層方向に加圧して封止部２２を形成することにより、注入口１５を気密封止する。
【0061】
次に、本実施形態の効果を説明する。
（１）ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体Ｃを流路１６内に注入する注入口１５を有している。注入口１５は、作動流体Ｃが内部を移動する注入路１５ｒと、その注入路１５ｒの内面を構成する部分における金属層３１の内面３１Ａに設けられた溝部４０とを有している。溝部４０は、注入口１５の長さ方向に沿って液管１４に向かって延びている。溝部４０は、注入口１５を通じて流路１６内に作動流体Ｃを注入する際に、作動流体Ｃに毛細管力を生じさせる。この溝部４０による毛細管力により、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に引き込みやすくなる。これにより、溝部４０が設けられていない場合に比べて、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に容易に注入することができる。このため、ループ型ヒートパイプ１０が薄型化されることに伴って注入口１５が狭くなった場合であっても、微量の作動流体Ｃを安定して内部へ引き込むことができる。また、微量の作動流体Ｃを安定して内部へ引き込むことができるため、作動流体Ｃの注入量の制御性を向上することが可能となり、狙った量の作動流体Ｃを容易に注入することができる。
（１）ループ型ヒートパイプ１０は、作動流体Ｃを流路１６内に注入する注入口１５を有している。注入口１５は、作動流体Ｃが内部を移動する注入路１５ｒと、その注入路１５ｒの内面を構成する部分における金属層３１の内面３１Ａに設けられた溝部４０とを有している。溝部４０は、注入口１５の長さ方向に沿って液管１４に向かって延びている。溝部４０は、注入口１５を通じて流路１６内に作動流体Ｃを注入する際に、作動流体Ｃに毛細管力を生じさせる。この溝部４０による毛細管力により、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に引き込みやすくなる。これにより、溝部４０が設けられていない場合に比べて、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に容易に注入することができる。このため、ループ型ヒートパイプ１０が薄型化されることに伴って注入口１５が狭くなった場合であっても、微量の作動流体Ｃを安定して内部へ引き込むことができる。また、微量の作動流体Ｃを安定して内部へ引き込むことができるため、作動流体Ｃの注入量の制御性を向上することが可能となり、狙った量の作動流体Ｃを容易に注入することができる。
【0062】
（２）注入口１５は、注入路１５ｒの内面を構成する部分における金属層３３の内面３３Ａに設けられた溝部５０を有している。溝部５０は、注入口１５の長さ方向に沿って液管１４に向かって延びている。溝部５０は、注入口１５を通じて流路１６内に作動流体Ｃを注入する際に、作動流体Ｃに毛細管力を生じさせる。この溝部５０による毛細管力により、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に引き込みやすくなる。これにより、溝部５０が設けられていない場合に比べて、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に容易に注入することができる。
【0063】
（３）ここで、注入口１５が厚さ方向に薄型化された場合であっても、注入口１５の厚さ方向の両側において注入路１５ｒの内面を構成する内面３１Ａ，３３Ａの表面積は変わらない。このため、溝部４０，５０が形成される内面３１Ａ，３３Ａの表面積は、注入口１５の薄型化に関わらず、所定の表面積を維持できる。これにより、注入口１５が薄型化された場合であっても、溝部４０，５０の形成領域を維持できる。したがって、それら溝部４０，５０による毛細管力によって、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に好適に引き込むことができる。
【0064】
（４）ところで、溝部４０と溝部５０とが平面視において重なるように設けられる場合には、それら溝部４０，５０が形成される部分では、注入路１５ｒの管壁を構成する上壁３１ｕ及び下壁３３ｄが同じ位置で共に薄くなるため、剛性が低下し、作動流体Ｃを注入する際の圧力により破損するおそれがある。これに対し、本実施形態の注入口１５では、溝部５０を、平面視において、溝部４０と重ならないように設けるようにした。すなわち、溝部４０と溝部５０とを、平面視において、互いにずれた位置に設けるようにした。これにより、溝部４０と溝部５０とが平面視において重なるように設けられる場合に比べて、注入路１５ｒの管壁を構成する上壁３１ｕ及び下壁３３ｄのいずれか一方は壁の厚さが厚く確保されるため、作動流体Ｃを注入する際の圧力により破損することを抑制できる。
【0065】
（５）溝部４０，５０は、液管１４に向かって延びるとともに、液管１４に設けられた多孔質部６０と離間している。すなわち、溝部４０，５０は、多孔質部６０と直接連通しないように形成されている。このため、溝部４０，５０を、多孔質部６０のデザイン設計と切り離して設計することができる。すなわち、溝部４０，５０を、多孔質部６０とは独立した任意の形状に設計することができ、配置する位置も自由に設定することができる。これにより、溝部４０，５０の設計自由度を向上させることができる。
【0066】
また、溝部４０，５０は、多孔質部６０と直接連通しないように、多孔質部６０と離間して形成されている。このため、多孔質部６０と離間された領域である溝部４０，５０において作動流体Ｃを溜めることができる。
【0067】
（６）金属層３１の内面３１Ａには、幅寸法の小さい溝部４０が多数設けられている。ここで、各溝部４０の幅寸法が小さく形成されることにより、溝部４０による毛細管力を高めることができる。このため、幅寸法の小さい溝部４０が多数設けられることにより、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部により引き込みやすくなる。これにより、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に容易に注入することができる。
【0068】
（他の実施形態）
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【0069】
・上記実施形態では、複数の溝部４０の長さ方向の寸法が互いに等しくなるように形成し、複数の溝部５０の長さ方向の寸法が互いに等しくなるように形成したが、これに限定されない。例えば、複数の溝部４０の長さ方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。例えば、複数の溝部５０の長さ方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。
【0070】
例えば図１０に示すように、複数の溝部４０は、溝部４１と、溝部４１よりも長さ方向の寸法が小さい溝部４２とを有してもよい。本変更例の複数の溝部４０は、２つの溝部４１と、２つの溝部４２とを有している。本変更例では、各溝部４２の長さ方向の寸法が溝部４１の長さ方向の寸法の半分程度に設定されている。
【0071】
複数の溝部５０は、例えば、溝部５１と、溝部５１よりも長さ方向の寸法の小さい溝部５２とを有してもよい。本変更例の複数の溝部５０は、３つの溝部５１と、２つの溝部５２とを有している。本変更例では、各溝部５２の長さ方向の寸法が溝部５１の長さ方向の寸法の半分程度に設定されている。
【0072】
この構成では、注入路１５ｒの長さ方向において、溝部４１，４２，５１，５２のうち溝部４１，５１のみが設けられる部分が形成される。このように溝部４１，５１のみが設けられる部分では、溝部４１，４２，５１，５２の全てが形成される部分に比べて、注入路１５ｒの管壁を構成する上壁３１ｕ及び下壁３３ｄにおける剛性を高めることができる。
【0073】
・図１０に示した変更例において、溝部４１，４２，５１，５２の数、配置、長さは適宜変更することができる。
・上記実施形態では、複数の溝部４０の幅方向の寸法が互いに等しくなるように形成し、複数の溝部５０の幅方向の寸法が互いに等しくなるように形成したが、これに限定されない。例えば、複数の溝部４０の幅方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。例えば、複数の溝部５０の幅方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。
・上記実施形態では、複数の溝部４０の幅方向の寸法が互いに等しくなるように形成し、複数の溝部５０の幅方向の寸法が互いに等しくなるように形成したが、これに限定されない。例えば、複数の溝部４０の幅方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。例えば、複数の溝部５０の幅方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。
【0074】
・上記実施形態では、複数の溝部４０の深さ方向の寸法が互いに等しくなるように形成し、複数の溝部５０の深さ方向の寸法が互いに等しくなるように形成したが、これに限定されない。例えば、複数の溝部４０の深さ方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。例えば、複数の溝部５０の深さ方向の寸法を個別に設定するようにしてもよい。
【0075】
・上記実施形態では、各溝部４０，５０の平面形状を、Ｙ軸方向に沿って延びる長方形状に形成したが、これに限定されない。各溝部４０，５０の平面形状は、任意の形状に形成することができる。例えば、各溝部４０，５０の平面形状は、注入口１５全体の形状や作動流体Ｃの流れる方向などに応じて適宜変更することができる。
【0076】
・例えば図１１に示すように、各溝部４０，５０を、ＸＹ平面において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方と交差する方向に延びるように形成してもよい。例えば、各溝部４０を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方と交差する第１方向に延びるように形成し、各溝部５０を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方と交差するとともに第１方向と交差する第２方向に延びるように形成してもよい。この場合には、溝部４０と溝部５０とが平面視において互いに交差するように形成される。このため、本変更例では、溝部４０と溝部５０とが、平面視において、互いに部分的に重なるように形成される。本変更例では、例えば、複数の溝部４０が第１方向とＸＹ平面において直交する第３方向に沿って並んで設けられるとともに、複数の溝部５０が第２方向とＸＹ平面において直交する第４方向に沿って並んで設けられている。
【0077】
・例えば図１２に示すように、各溝部４０を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方と交差する第１方向に延びるように形成し、各溝部５０を、Ｙ軸方向に沿って延びるように形成してもよい。この場合には、溝部４０と溝部５０とが、平面視において、互いに部分的に重なるように形成される。
【0078】
・上記実施形態及び上記各変更例では、各溝部４０，５０を、未封止部２１及び封止部２２の両方に形成するようにしたが、これに限定されない。例えば、上記実施形態及び上記各変更例における各溝部４０，５０を、封止部２２に設けないようにし、未封止部２１のみに設けるようにしてもよい。
【0079】
例えば図１３に示すように、封止部２２の形成前の注入口１５において、各溝部４０，５０を、封止部２２となる部分に設けないようにしてもよい。本変更例では、封止部２２となる部分が、注入路１５ｒの長さ方向の中間部に設けられている。本変更例の各溝部４０，５０は、注入路１５ｒの長さ方向の中間部に設けられていない。本変更例の各溝部４０，５０は、液管１４に向かってＹ軸方向に沿って延びるとともに、注入路１５ｒの長さ方向の中央部で分断されるように形成されている。具体的には、本変更例の各溝部４０は、Ｙ軸方向において封止部２２となる部分よりも第１開口端１５Ａ側に設けられた溝部４３と、Ｙ軸方向において封止部２２となる部分よりも第２開口端１５Ｂ側に設けられた溝部４４とを有している。本変更例の各溝部５０は、Ｙ軸方向において封止部２２となる部分よりも第１開口端１５Ａ側に設けられた溝部５３と、Ｙ軸方向において封止部２２となる部分よりも第２開口端１５Ｂ側に設けられた溝部５４とを有している。これら溝部４３，４４，５３，５４は、封止部２２の形成後に、封止部２２には設けられておらず、未封止部２１のみに設けられる。
【0080】
この構成によれば、封止部２２に溝部４０，５０が設けられないため、封止部２２における注入口１５の剛性が低下することを好適に抑制できる。
・上記実施形態及び上記各変更例では、各溝部４０，５０を、注入口１５の長さ方向において、第１開口端１５Ａから液管１４に向かって延びるように形成したが、これに限定されない。
・上記実施形態及び上記各変更例では、各溝部４０，５０を、注入口１５の長さ方向において、第１開口端１５Ａから液管１４に向かって延びるように形成したが、これに限定されない。
【0081】
例えば図１４に示すように、各溝部４０，５０を、注入口１５の長さ方向において、第１開口端１５Ａから第２開口端１５Ｂ側に離れた位置から液管１４に向かって延びるように形成してもよい。
【0082】
・図１５に示すように、注入口１５に多孔質体８０を設けるようにしてもよい。多孔質体８０は、例えば、金属層３２の壁部３２ｗに設けられている。本変更例の注入口１５では、２つの壁部３２ｗのそれぞれに多孔質体８０が設けられている。各多孔質体８０は、例えば、壁部３２ｗと一体に形成されている。
【0083】
本変更例の多孔質体８０は、金属層３２の上面から窪む有底孔８１と、金属層３２の下面から窪む有底孔８２と、有底孔８１と有底孔８２とが部分的に連通して形成された細孔８３とを有している。有底孔８１は、金属層３２の上面から金属層３２の厚さ方向の中央部にかけて窪むように形成されている。有底孔８２は、金属層３２の下面から金属層３２の厚さ方向の中央部にかけて窪むように形成されている。有底孔８１，８２の深さは、例えば、２５μｍ～１００μｍ程度とすることができる。
【0084】
有底孔８１，８２の内面は、例えば、開口側（金属層３２の上下面側）から底面側にかけて円弧状に連続する形状に形成されている。有底孔８１，８２の内側面は、断面視において、円弧状に湾曲した曲面に形成されている。有底孔８１，８２の底面は、例えば、円弧状に湾曲した曲面に形成されている。有底孔８１，８２の底面は、例えば、有底孔８１，８２の内側面と連続して形成されている。有底孔８１，８２の底面の曲率半径は、有底孔８１，８２の内側面の曲率半径と等しくてもよいし、有底孔８１，８２の内側面の曲率半径と異なっていてもよい。
【0085】
なお、有底孔８１，８２の内面を、断面形状が半円形や半楕円形となる凹形状としてもよい。ここで、本明細書において、「半円形」とは、真円を二等分した半円のみではなく、例えば、半円よりも円弧が長いものや短いものも含む。また、本明細書において、「半楕円形」とは、楕円を二等分した半楕円のみではなく、例えば、半楕円よりも円弧が長いものや短いものも含む。また、有底孔８１，８２の内面を、底面側から開口側に向かうに連れて拡がるテーパ形状としてもよい。また、有底孔８１，８２の底面を金属層３２の上面と平行な平面に形成し、有底孔８１，８２の内側面を底面に対して垂直に延びるように形成してもよい。
【0086】
図１６に示すように、有底孔８１，８２は、例えば、平面視円形状に形成されている。有底孔８１，８２の直径は、例えば、１００μｍ～４００μｍ程度とすることができる。なお、有底孔８１，８２の平面形状を、楕円形や多角形等の任意の形状とすることができる。
【0087】
複数の有底孔８１は、例えば、金属層３２の厚さ方向と直交する平面方向の一方向（ここでは、Ｙ軸方向）に沿って並んで設けられている。複数の有底孔８１は、例えば、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている。複数の有底孔８２は、例えば、金属層３２の厚さ方向と直交する平面方向の一方向（ここでは、Ｙ軸方向）に沿って並んで設けられている。複数の有底孔８２は、例えば、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている。本変更例の複数の有底孔８１，８２は、Ｙ軸方向に沿って一直線上に並んで設けられている。各有底孔８１は、平面視において、有底孔８２と部分的に重複するように設けられている。各有底孔８１は、平面視において、Ｙ軸方向に隣接する２つの有底孔８２の各々と部分的に重複するように設けられている。各有底孔８１は、Ｙ軸方向に隣接する２つの有底孔８２を連通するように形成されている。また、各有底孔８２は、平面視において、Ｙ軸方向に隣接する２つの有底孔８１の各々と部分的に重複するように設けられている。各有底孔８２は、Ｙ軸方向に隣接する２つの有底孔８１を連通するように形成されている。有底孔８１と有底孔８２とが平面視で重複する部分において、有底孔８１と有底孔８２とは部分的に連通して細孔８３を形成している。なお、図１６では、金属層３１が透視的に描かれている。
【0088】
図１５に示すように、有底孔８１，８２は、例えば、注入路１５ｒの内面を構成する壁部３２ｗの側面から離れて設けられている。このため、有底孔８１，８２は、Ｘ軸方向において注入路１５ｒと離れて設けられている。すなわち、有底孔８１，８２は、壁部３２ｗの幅方向の中間部に設けられている。有底孔８１，８２は、注入路１５ｒに直接接続されていない。有底孔８１，８２は、注入路１５ｒに直接連通されていない。
【0089】
本変更例の溝部４０，５０は、多孔質体８０と注入路１５ｒとを連通するように形成されている。本変更例の溝部４０は、有底孔８１と注入路１５ｒとを連通するように形成されている。溝部４０は、例えば、上壁３１ｕの内面３１Ａに形成されるとともに、壁部３２ｗの内面３１Ａに形成されている。図１６に示すように、各溝部４０は、例えば、１つの有底孔８１と注入路１５ｒとを連通するように形成されている。各溝部４０は、例えば、平面視において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交差する方向に延びるように形成されている。各溝部４０は、例えば、第１開口端１５Ａ側から各有底孔８１に向かって延びるように形成されている。図１５に示すように、本変更例の溝部５０は、有底孔８２と注入路１５ｒとを連通するように形成されている。溝部５０は、例えば、下壁３３ｄの内面３３Ａに形成されるとともに、壁部３３ｗの内面３３Ａに形成されている。図１６に示すように、各溝部５０は、例えば、１つの有底孔８２と注入路１５ｒとを連通するように形成されている。各溝部５０は、例えば、平面視において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に交差する方向に延びるように形成されている。各溝部５０は、例えば、各有底孔８２から液管１４（図３参照）に向かって延びるように形成されている。このように、本変更例の注入口１５では、有底孔８１，８２と細孔８３と溝部４０，５０とが互いに連通している。そして、これら有底孔８１，８２と細孔８３と溝部４０，５０とが連通して形成された空間が三次元的に広がっている。なお、図１５及び図１６は、封止前の注入口１５を示している。また、図１５は、図１６の１５ａ－１５ａ線に対応する位置の注入口１５の断面を示している。
【0090】
この構成によれば、注入口１５を通じて流路１６内に作動流体Ｃを注入する際に、注入口１５の内面に設けた溝部４０，５０により毛細管力が生じるとともに、注入口１５に設けた多孔質体８０により毛細管力が生じる。これら溝部４０，５０及び多孔質体８０による毛細管力により、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に引き込みやすくなる。これにより、溝部４０，５０や多孔質体８０が設けられていない場合に比べて、作動流体Ｃをループ型ヒートパイプ１０の内部に容易に注入することができる。
【0091】
なお、本変更例において、有底孔８１は第１有底孔の一例、有底孔８２は第２有底孔の一例である。
・上記実施形態では、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに重ならないようにしたが、これに限定されない。例えば、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに重なるように設けてもよい。例えば、溝部４０の全体が平面視において溝部５０と重なるように形成されていてもよい。例えば、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに部分的に重なるように設けてもよい。
・上記実施形態では、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに重ならないようにしたが、これに限定されない。例えば、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに重なるように設けてもよい。例えば、溝部４０の全体が平面視において溝部５０と重なるように形成されていてもよい。例えば、溝部４０と溝部５０とを、平面視において互いに部分的に重なるように設けてもよい。
【0092】
・上記実施形態における溝部４０，５０の横断面形状は、適宜変更することができる。例えば、各溝部４０，５０の内面を、底面側から開口側に向かうに連れて拡がるテーパ形状としてもよい。各溝部４０，５０の内面を、開口側から底面側にかけて円弧状に連続する形状に形成してもよい。各溝部４０，５０の内面を、断面形状が半円形や半楕円形となる凹形状としてもよい。各溝部４０，５０の底面を金属層３１の内面３１Ａと平行な平面に形成し、各溝部４０，５０の内側面を底面に対して垂直に延びるように形成してもよい。
【0093】
・上記実施形態では、複数の溝部４０，５０を、Ｘ軸方向において所定の間隔を空けて設けるようにしたが、これに限定されない。
例えば図１７に示すように、複数の溝部４０を連なって形成するようにしてもよい。本変更例の複数の溝部４０は、注入口１５の幅方向（ここでは、Ｘ軸方向）に沿って連続して形成されている。各溝部４０の内面は、例えば、横断面形状が半楕円形状又は半円形状となる凹形状に形成されている。本変更例の各溝部４０の内面の横断面形状は、半円弧状に形成されている。複数の溝部４０の内面の横断面形状は、複数の溝部４０の半円弧がＸ軸方向に沿って連続する形状に形成されている。
例えば図１７に示すように、複数の溝部４０を連なって形成するようにしてもよい。本変更例の複数の溝部４０は、注入口１５の幅方向（ここでは、Ｘ軸方向）に沿って連続して形成されている。各溝部４０の内面は、例えば、横断面形状が半楕円形状又は半円形状となる凹形状に形成されている。本変更例の各溝部４０の内面の横断面形状は、半円弧状に形成されている。複数の溝部４０の内面の横断面形状は、複数の溝部４０の半円弧がＸ軸方向に沿って連続する形状に形成されている。
【0094】
同様に、複数の溝部５０を連なって形成するようにしてもよい。本変更例の複数の溝部５０は、注入口１５の幅方向（ここでは、Ｘ軸方向）に沿って連続して形成されている。各溝部５０の内面は、例えば、横断面形状が半楕円形状又は半円形状となる凹形状に形成されている。本変更例の各溝部５０の内面の横断面形状は、半円弧状に形成されている。複数の溝部５０の内面の横断面形状は、複数の溝部５０の半円弧がＸ軸方向に沿って連続する形状に形成されている。本変更例の各溝部５０は、平面視において、各溝部４０と重なるように形成されている。
【0095】
次に、図１８及び図１９に従って、本変更例のループ型ヒートパイプ１０の製造方法について説明する。
まず、図１８（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート９１を準備する。金属シート９１は、最終的に図１７に示した金属層３１となる部材である。金属シート９１は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート９１の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
まず、図１８（ａ）に示す工程では、平板状の金属シート９１を準備する。金属シート９１は、最終的に図１７に示した金属層３１となる部材である。金属シート９１は、例えば、銅、ステンレス、アルミニウム、マグネシウム合金等から構成されている。金属シート９１の厚さは、例えば、５０μｍ～２００μｍ程度とすることができる。
【0096】
続いて、金属シート９１の下面にレジスト層９２を形成し、金属シート９１の上面にレジスト層９３を形成する。レジスト層９２，９３としては、例えば、感光性のドライフィルムレジスト等を用いることができる。
【0097】
次いで、図１８（ｂ）に示す工程では、レジスト層９２を露光及び現像して、金属シート９１の下面を選択的に露出する複数の開口部９２Ｘを形成する。開口部９２Ｘは、図１７に示す複数の溝部４０に対応するように形成される。
【0098】
次に、図１８（ｃ）に示す工程では、開口部９２Ｘ内に露出する金属シート９１を、金属シート９１の下面側からエッチング（ハーフエッチング）する。これにより、金属シート９１の下面に、図中左右方向に沿って連なる複数の溝部４０が形成される。金属シート９１のエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
【0099】
続いて、レジスト層９２，９３を剥離液により剥離する。これにより、図１８（ｄ）に示すように、複数の半円弧が連続した内面からなる凹部、つまり複数の溝部４０を内面３１Ａに有する金属層３１を形成することができる。
【0100】
【0101】
続いて、図１９（ｂ）に示す工程では、所定温度（例えば、９００℃程度）に加熱しながら積層した金属層３１～３３をプレスすることにより、固相接合にて金属層３１～３３を接合する。以上の工程により、図１７に示した構造体を製造することができ、本変更例のループ型ヒートパイプ１０を製造することができる。
【0102】
・上記実施形態のループ型ヒートパイプ１０では、内層金属層を、単層の金属層３２のみにより構成するようにした。すなわち、内層金属層を単層構造とした。しかし、これに限定されない。例えば、内層金属層を、複数層の金属層が積層された積層構造としてもよい。この場合の内層金属層は、金属層３１と金属層３３との間に複数層の金属層が積層されて構成される。
【0103】
・上記実施形態の注入口１５を、ループ型ヒートパイプ１０以外の形状のヒートパイプに適用してもよい。例えば、注入口１５を、扁平型のヒートパイプに適用してもよい。
以上の様々な実施の形態をまとめると、以下のようになる。
（付記１）
作動流体を注入する注入口を有するヒートパイプであって、
前記注入口は、
第１外層金属層と、
第２外層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層との間に設けられた単層又は複数層の内層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層と前記内層金属層とにより画定されるとともに、前記作動流体が内部を移動する注入路と、を有し、
前記第１外層金属層は、前記第２外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第１内面を有し、
前記第１外層金属層の前記第１内面は、１つ又は複数の第１溝部を有するヒートパイプ。
（付記２）
前記第２外層金属層は、前記第１外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第２内面を有し、
前記第２外層金属層の前記第２内面は、１つ又は複数の第２溝部を有する付記１に記載のヒートパイプ。
（付記３）
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と重ならないように設けられている付記２に記載のヒートパイプ。
（付記４）
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と部分的に重なるように設けられている付記２に記載のヒートパイプ。
（付記５）
前記注入口は、未封止部と、前記未封止部に連結する封止部とを有し、
前記第１溝部は、前記封止部には設けられておらず、前記未封止部のみに設けられている付記１から付記４のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記６）
前記注入口は、多孔質体を有し、
前記多孔質体は、前記内層金属層の一方の面側から窪む第１有底孔と、前記内層金属層の他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔とを有し、
前記第１溝部は、前記第１有底孔と前記注入路とを連通するように形成されている付記１から付記５のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記７）
前記内層金属層は、前記内層金属層を厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記注入口の幅方向において前記貫通孔の両側に設けられた一対の壁部とを有し、
前記注入路は、前記一対の壁部と前記第１外層金属層と前記第２外層金属層とにより画定されており、
前記多孔質体は、前記壁部に設けられている付記６に記載のヒートパイプ。
（付記８）
前記作動流体を気化させる蒸発器と、
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
前記作動流体が流れるループ状の流路と、を更に有し、
前記注入路は、前記流路に連通するように設けられている付記１から付記７のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記９）
前記注入口は、前記液管に接続されており、
前記液管は、多孔質部を有し、
前記第１溝部は、前記液管に向かって延びるとともに、前記液管の前記多孔質部とは離間している付記８に記載のヒートパイプ。
（付記１０）
前記第１外層金属層は、複数の前記第１溝部を有し、
前記複数の第１溝部は、前記注入口の幅方向において、互いに連続して形成されている付記１から付記９のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
以上の様々な実施の形態をまとめると、以下のようになる。
（付記１）
作動流体を注入する注入口を有するヒートパイプであって、
前記注入口は、
第１外層金属層と、
第２外層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層との間に設けられた単層又は複数層の内層金属層と、
前記第１外層金属層と前記第２外層金属層と前記内層金属層とにより画定されるとともに、前記作動流体が内部を移動する注入路と、を有し、
前記第１外層金属層は、前記第２外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第１内面を有し、
前記第１外層金属層の前記第１内面は、１つ又は複数の第１溝部を有するヒートパイプ。
（付記２）
前記第２外層金属層は、前記第１外層金属層と対向し、前記注入路の内面を構成する第２内面を有し、
前記第２外層金属層の前記第２内面は、１つ又は複数の第２溝部を有する付記１に記載のヒートパイプ。
（付記３）
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と重ならないように設けられている付記２に記載のヒートパイプ。
（付記４）
前記第２溝部は、平面視において、前記第１溝部と部分的に重なるように設けられている付記２に記載のヒートパイプ。
（付記５）
前記注入口は、未封止部と、前記未封止部に連結する封止部とを有し、
前記第１溝部は、前記封止部には設けられておらず、前記未封止部のみに設けられている付記１から付記４のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記６）
前記注入口は、多孔質体を有し、
前記多孔質体は、前記内層金属層の一方の面側から窪む第１有底孔と、前記内層金属層の他方の面側から窪む第２有底孔と、前記第１有底孔と前記第２有底孔とが部分的に連通して形成された細孔とを有し、
前記第１溝部は、前記第１有底孔と前記注入路とを連通するように形成されている付記１から付記５のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記７）
前記内層金属層は、前記内層金属層を厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記注入口の幅方向において前記貫通孔の両側に設けられた一対の壁部とを有し、
前記注入路は、前記一対の壁部と前記第１外層金属層と前記第２外層金属層とにより画定されており、
前記多孔質体は、前記壁部に設けられている付記６に記載のヒートパイプ。
（付記８）
前記作動流体を気化させる蒸発器と、
前記作動流体を液化する凝縮器と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する蒸気管と、
前記作動流体が流れるループ状の流路と、を更に有し、
前記注入路は、前記流路に連通するように設けられている付記１から付記７のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
（付記９）
前記注入口は、前記液管に接続されており、
前記液管は、多孔質部を有し、
前記第１溝部は、前記液管に向かって延びるとともに、前記液管の前記多孔質部とは離間している付記８に記載のヒートパイプ。
（付記１０）
前記第１外層金属層は、複数の前記第１溝部を有し、
前記複数の第１溝部は、前記注入口の幅方向において、互いに連続して形成されている付記１から付記９のいずれか１つに記載のヒートパイプ。
【符号の説明】
【0104】
Ｃ 作動流体
Ｃｖ 蒸気
Ｍ１ 電子機器
１０ ループ型ヒートパイプ
１１ 蒸発器
１２ 蒸気管
１２ｒ，１３ｒ，１４ｒ，１６ 流路
１３ 凝縮器
１４ 液管
１５ 注入口
１５ｒ 注入路
１５ｗ 管壁
２１ 未封止部
２２ 封止部
３１ 金属層
３１Ａ 内面
３１ｕ 上壁
３１ｗ 壁部
３２ 金属層
３２ｗ 壁部
３２Ｘ 貫通孔
３３ 金属層
３３Ａ 内面
３３ｄ 下壁
３３ｗ 壁部
４０，４１，４２，４３，４４ 溝部
５０，５１，５２，５３，５４ 溝部
６０ 多孔質部
８０ 多孔質体
８１ 有底孔
８２ 有底孔
８３ 細孔
Ｃｖ 蒸気
Ｍ１ 電子機器
１０ ループ型ヒートパイプ
１１ 蒸発器
１２ 蒸気管
１２ｒ，１３ｒ，１４ｒ，１６ 流路
１３ 凝縮器
１４ 液管
１５ 注入口
１５ｒ 注入路
１５ｗ 管壁
２１ 未封止部
２２ 封止部
３１ 金属層
３１Ａ 内面
３１ｕ 上壁
３１ｗ 壁部
３２ 金属層
３２ｗ 壁部
３２Ｘ 貫通孔
３３ 金属層
３３Ａ 内面
３３ｄ 下壁
３３ｗ 壁部
４０，４１，４２，４３，４４ 溝部
５０，５１，５２，５３，５４ 溝部
６０ 多孔質部
８０ 多孔質体
８１ 有底孔
８２ 有底孔
８３ 細孔
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】