2023-168142 真空蒸着装置用の蒸着源

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023168142

(43)【公開日】2023-11-24

(54)【発明の名称】真空蒸着装置用の蒸着源

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20231116BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022079809

(22)【出願日】2022-05-13

(71)【出願人】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110000305

【氏名又は名称】弁理士法人青莪

(72)【発明者】

【氏名】中村 寿充

【テーマコード（参考）】

4K029

【Ｆターム（参考）】

4K029BA62

4K029CA01

4K029DB06

4K029DB17

(57)【要約】

【課題】蒸着が実施される真空チャンバを大気開放することなく、蒸着材料の直接補充が可能で、補充後でも蒸着レートの安定性が損なわれ難い真空蒸着装置用の蒸着源の提供。
【解決手段】加熱手段Ｍｔにより気化または昇華させた収容箱４内の蒸着材料Ｍｓを放出部４２から放出させて真空チャンバ１内の被蒸着物Ｓｗに対して蒸着するための真空蒸着装置Ｄｍ１用の蒸着源ＤＳ_１は、収容箱の上側に、第１開閉扉５ａを有する連通室２ａ，３１と材料貯蔵室６ａとが真空雰囲気を形成可能に設けられ、材料貯蔵室に、一部７１ａが連通室に突出するシュート７１と、材料貯蔵室内への蒸着材料の投入を可能とする投入口６１と、投入口を開閉自在に閉塞する第２開閉扉５ｂと、シュートを挿通して上下方向にのびる送出スクリュー７２とが設けられ、シュートから突出する送出スクリューの部分に、上下方向に対して下方に傾斜してのびる拡散部材８ａが設けられる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着材料が充填される収容箱と収容箱を加熱する加熱手段とを備え、加熱手段により収容箱内の蒸着材料を気化または昇華させ、この気化または昇華した蒸着材料を収容箱に形成した放出部から放出させて真空チャンバ内に存する被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源において、
収容箱の鉛直方向上側に、第１開閉扉を有する連通室と材料貯蔵室とが真空雰囲気の形成が可能な状態で設けられ、
材料貯蔵室に、一部が連通室に突出するシュートと、材料貯蔵室内への蒸着材料の投入を可能とする投入口と、投入口を開閉自在に閉塞する第２開閉扉と、シュートを挿通して上下方向にのびる送出スクリューとが設けられ、
シュートから突出する送出スクリューの部分に、上下方向に対して下方に傾斜してのびる拡散部材が設けられることを特徴とする真空蒸着装置用の蒸着源。

【請求項2】

前記連通チャンバ内に、送出スクリューの下端より下方に位置させて分散部材が設けられることを特徴とする請求項１記載の真空蒸着装置用の蒸着源。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空チャンバ内に配置され、蒸着材料を気化または昇華させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源に関し、より詳しくは、真空チャンバ内を大気雰囲気に戻すことなく、蒸着材料の供給を可能としたものに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、有機ＥＬ素子の製造工程においては、真空雰囲気中で被蒸着物としての基板に対して、α－ＮＰＤや２－ＴＮＡＴＡといった固体の蒸着材料（有機材料）を気化または昇華させて被蒸着物表面に所定の薄膜を蒸着する工程があり、蒸着工程には、一般に、真空蒸着装置が利用される。このような真空蒸着装置に用いられる蒸着源としては、蒸着材料を収容する直方体状の収容箱を備え、収容箱のシート状の基材の部分との対向面（即ち、鉛直方向の上面）には、スリット状の放出部が設けられている（所謂ラインソース：例えば特許文献１参照）。被蒸着物に対して蒸着する場合には、収容箱内にインゴット状や顆粒状の蒸着材料を収容した後、真空雰囲気中にて加熱手段により収容箱内の蒸着材料を加熱（例えば、３００℃）して気化または昇華（以下、単に「昇華」と称する）させる。そして、この昇華したものを真空チャンバ内との圧力差で放出開口から放出させ、被蒸着物表面に所定の薄膜が蒸着（成膜）される。

【0003】

ところで、収容箱に収容された蒸着材料を加熱により昇華させると、これに伴って蒸着材料自体は減少するので、蒸着材料を定期的に補充する必要がある。このとき、成膜工程を停止して真空チャンバを大気雰囲気に戻した状態でしか収容箱への蒸着材料の補充ができないのでは、著しく生産性が損なわれる。そこで、次の真空蒸着装置用の蒸着源が例えば特許文献２で知られている。このものは、真空チャンバ外に配置され、有機材料が充填されると共に加熱手段を有する昇華容器と、真空チャンバ内に配置され、昇華した蒸着材料を内部で拡散させると共にこの拡散されたものを放出する放出部（通路）が形成された拡散容器とを備え、両容器が流量調整弁を介設した所定長さの連通管で互いに連結されている。

【0004】

上記従来例のものでは、流量調整弁を閉弁すれば、真空チャンバ内と昇華容器とを雰囲気分離できるので、真空チャンバを殊更大気開放することなく、蒸着材料の補充は可能である。然し、昇華容器で昇華させた蒸着材料を比較的長さのある連通管を通して供給しているため、圧力損失などにより成膜（蒸着）レートが変動して不安定になる虞がある。しかも、内面に付着した蒸着材料が液化または固化しないように連通管を気化温度または昇華温度以上に加熱する機構が必要になる。このことから、本来的には、放出部を有する収容箱内に蒸着材料を直接補充ができる構成が望ましい。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４－７７１９３号公報

【特許文献2】特開２０１５－６３７２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、以上の点に鑑み、蒸着が実施される真空チャンバを大気開放することなく、蒸着材料の直接補充が可能で、補充後でも成膜レートの安定性が損なわれ難いようにした真空蒸着装置用の蒸着源を提供することをその課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明は、蒸着材料が充填される収容箱と収容箱を加熱する加熱手段とを備え、加熱手段により収容箱内の蒸着材料を気化または昇華させ、この気化または昇華した蒸着材料を収容箱に形成した放出部から放出させて真空チャンバ内に存する被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源において、収容箱の鉛直方向上側に、第１開閉扉を有する連通室と材料貯蔵室とが真空雰囲気の形成が可能な状態で設けられ、材料貯蔵室に、一部が連通室に突出するシュートと、この材料貯蔵室内への蒸着材料の投入を可能とする投入口と、投入口を開閉自在に閉塞する第２開閉扉と、シュートを挿通して上下方向にのびる送出スクリューとが設けられ、シュートから突出する送出スクリューの部分に、上下方向に対して下方に傾斜してのびる拡散部材が設けられることを特徴とする。この場合、前記連通チャンバ内に、送出スクリューの下端より下方に位置させて分散部材が設けられる構成を採用してもよい。

【0008】

以上によれば、第１開閉扉を閉じ、収容箱と材料貯蔵室とを雰囲気分離した状態で、材料貯蔵室を大気雰囲気にする。この状態で第２開閉扉を開けて材料貯蔵室内に蒸着材料を所定の充填率で充填する。このとき、例えば、送出スクリューの螺旋歯とシュートとの隙間を適宜設定しておけば、蒸着材料がシュート内に留められ（特に、昇華性の有機材料は凝集性があるため、留め易い）、連通室への落下を可及的に防止することができる。蒸着材料が充填されると、第２開閉扉を閉じて材料貯蔵室を気密保持した後、真空ポンプによりそれらの内部を所定圧力まで真空排気し、待機状態とする。これら一連の操作は、真空チャンバ内での被蒸着物への蒸着中に実施することができる。

【0009】

真空チャンバと同等の真空雰囲気にある収容箱内に蒸着材料を充填するときには、第１開閉扉を開けて連通室を介して材料貯蔵室内と収容箱とを連通する。この状態で、送出スクリューをその軸体回りに所定の回転数で回転させる。すると、シュート内の蒸着材料が順次送り出されると共に、拡散部材で蒸着材料が周方向に撒き散らされることで、収容箱内の底面に対してその全体に亘って満遍なく蒸着材料を堆積（充填）させることが可能になる。この場合、分散部材を設けておけば（分散部材自体を振動させるようにしてもよい）、より満遍なく蒸着材料を堆積させることが可能になる。

【0010】

ところで、シュートを介して蒸着材料を収容箱内に単に落とし込んだだけでは、収容箱内の底面に蒸着材料が富士山状に堆積する。このとき、蒸着材料が、例えば昇華性の材料であると、堆積した蒸着材料の表面部分からしか蒸着材料が昇華しないので、同一の熱量を加えたときの単位時間当たりの昇華量が少なくなり、ひいては、成膜レートが不安定になる。それに対して、本発明では、蒸着材料の補充を繰り返しても、常時、収収容箱内の底面に対してその全体に亘って満遍なく蒸着材料が堆積され、この堆積した蒸着材料の表面部分の面積を常時略一定にすることができる。このように本発明では、真空チャンバを殊更大気開放することなく、蒸着材料の補充が可能になる。そして、第１開閉扉を閉じて真空チャンバ内の蒸着を再開したとき（蒸着材料を補充した後）には、収容箱内の底面に対してその全体に亘って満遍なく蒸着材料が充填されているため、成膜レートの安定性が損なわれ難いものにできる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の実施形態の蒸着源を備える真空蒸着装置の一部拡大断面図。

【図2】（ａ）及び（ｂ）は、分散部材を説明する平面図及び断面図。

【図3】図１に示す蒸着源にて蒸着材料の供給状態を説明する図。

【図4】変形例に係る蒸着源を備える真空蒸着装置を示す模式断面図。

【図5】分散部材の変形例を示す部分斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、蒸着材料を昇華性の有機材料Ｍｓとし、成膜面を水平方向に向けた起立姿勢の基板Ｓｗに対して所定の有機膜を成膜（蒸着）する場合を例に本発明の真空蒸着装置用の蒸着源の実施形態を説明する。以下において、「上」、「下」といった方向を示す用語は、真空チャンバへの蒸着源の設置姿勢で示す図１を基準にする。

【0013】

図１を参照して、本実施形態の蒸着源ＤＳ_１を備える真空蒸着装置Ｄｍ１は、所謂サイドデポ式のものであり、被蒸着物としての基板Ｓｗが設置される真空チャンバ１を備える。真空チャンバ１には、特に図示して説明しないが、排気管を介して真空ポンプが接続され、所定圧力（真空度）に真空排気して真空雰囲気を形成することができる。また、真空チャンバ１の外側壁には格納チャンバ２が設けられ、格納チャンバ２内に本実施形態の蒸着源ＤＳ_１が設けられている。格納チャンバ２内は、耐熱性を有し且つ熱伝導率が低い材料で構成される仕切板３で上下二室２ａ，２ｂに雰囲気分離され、仕切板３の下面に、その上面に開口４１を持つ収容箱４が取り付けられ、収容箱４の周囲に配置される加熱手段Ｈｔと共に蒸着源ＤＳ_１を構成する。

【0014】

収容箱４は、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）、チタン、タンタル、タングステン、モリブデンやカーボンといった熱伝導が良く、高融点の材料（耐熱性を有する）から形成されている。収容箱４の側面には、放出通路４２ａを有する筒状の放出部４２が凸設され、放出部４２が真空チャンバ１及び格納チャンバ２に夫々形成した取付孔１１，２１に嵌挿されている。加熱手段Ｈｔとしては、シースヒータやランプヒータ等の公知のものが利用でき、また、誘導加熱コイルで構成することができる。仕切板３には、開口４１の輪郭に一致して上下方向に貫通する連通孔３１が形成され、連通孔３１をその上方から閉塞する第１開閉扉５ａが設けられている。第１開閉扉５ａとしては、スライド式や揺動式など公知のものが利用でき、その閉じ姿勢では、第１開閉扉５ａより上方に位置する格納チャンバ２内の上室２ａと収容箱４内とを雰囲気分離し、その開き姿勢では、連通孔３１と上室２ａとで連通室が構成されるようにしている。

【0015】

格納チャンバ２の上側には、補充用の有機材料Ｍｓの貯蔵を可能とする材料貯蔵室６ａを画成する材料貯蔵チャンバ６が連設されている。格納チャンバ２及び材料貯蔵チャンバ６には、排気管Ｐｐを介して真空ポンプＰｕが接続され、それらの内部を所定圧力に真空排気することができる。また、材料貯蔵チャンバ６の上壁には、その内部に有機材料Ｍｓを投入するための投入口６１が設けられ、投入口６１をその上方から閉塞する第２開閉扉５ｂが設けられている。第２開閉扉５ｂとしては、上記第１開閉扉５ａと同様、スライド式や揺動式など公知のものが利用でき、その閉じ姿勢では、材料貯蔵室６ａ内を気密保持する。そして、材料貯蔵室６ａ内に材料貯蔵供給ユニット７が配置されている。

【0016】

材料貯蔵供給ユニット７は、材料貯蔵室６ａ内に固定配置されるシュート７１と、シュート７１内に配置される送出スクリュー７２とを備える。シュート７１は、漏斗状の輪郭を有し、その下端側に位置する筒状の送出部７１ａは、格納チャンバ２と材料貯蔵チャンバ６とを区画する壁面部分に形成され、連通孔３１と同一の孔軸Ｈａを持つ透孔２２に挿通して上室２ａへと突出している。送出スクリュー７２は、孔軸Ｈａ回りに回転自在な回転軸７２ａと、回転軸７２ａの周囲に等ピッチで形成される螺旋歯７２ｂとを有し、送出部７１ａ内に位置する螺旋歯７２ｂの部分は、送出部７１ａ内面に所定の隙間を持って挿通するように設計されている。これにより、有機材料Ｍｓを充填したとき、有機材料Ｍｓがシュート７１内に留められ（特に、昇華性の有機材料Ｍｓは凝集性があるため、留め易い）、上室２ａへの落下が可及的に抑制される。

【0017】

回転軸７２ａは、材料貯蔵室６ａに設けた支持フレーム７２ｃの軸受７２ｄで軸支されている。回転軸７２ａの上端にはプーリ７２ｅが取り付けられている。プーリ７２ｅと、材料貯蔵チャンバ６の上壁に配置される駆動モータＭｔの回転軸Ｍａに取り付けられたプーリ７２ｆとの間にはベルトＭｖが巻き掛けられ、モータＭｔを回転駆動すると、送出スクリュー７２が所定の回転数で回転駆動される。また、送出部７１ａから下方に突出する回転軸７２ａの部分には、上下方向に対して下方に傾斜してのびる所定面積の板状部材で構成される拡散部材８ａが取り付けられ、回転軸７２ａの回転に伴って孔軸Ｈａ回りに回動して、送出部７１ａから送り出される有機材料Ｍｓを周方向に振り分ける役割を果たすようにしている。

【0018】

上室２ａ内で送出部７１ａの下方には、連通孔３１に対峙させて所定の面積で板状の輪郭を持つ分散部材８ｂが配置されている。分散部材８ｂは、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）、チタン、タンタル、タングステン、モリブデンやカーボンといった耐熱性の材料製で円柱状または角柱状の輪郭を持つ線材８１ａ，８１ｂを、矩形の網目８２が形成されるように格子状に組み付けたもので構成される。また、各線材８１ａ，８１ｂの交点に位置する分散部材８ｂの部分の下面には、下方に向けて拡径する切頭円錐体８３が設けられている。これにより、送出部７１ａから送り出されて拡散部材８ａで拡散された有機材料Ｍｓを更に分散させて収容箱４内へ送る役割を果たすようになる。以下に、図３も参照して、材料貯蔵供給ユニット７による材料Ｍｓの補充を説明する。

【0019】

第１開閉扉５ａを閉じ、収容箱４と、上室２ａ及び材料貯蔵室６ａとを雰囲気分離した状態で、上室２ａ及び材料貯蔵室６ａを大気雰囲気にする。この状態で第２開閉扉５ｂを開けて材料貯蔵室６ａのシュート７１内に有機材料Ｍｓを所定の充填率で充填する。このとき、例えば、送出スクリュー７２の螺旋歯７２ｂとシュート７１との間の隙間によって、有機材料Ｍｓがシュート７１内に留められ（特に、昇華性の有機材料Ｍｓは凝集性があるため、留め易い）、上室２ａへの落下を可及的に防止することができる。有機材料Ｍｓが充填されると、第２開閉扉５ｂを閉じて上室２ａ及び材料貯蔵室６ａを気密保持した後、真空ポンプＰｕによりそれらの内部を所定圧力まで真空排気し、待機状態とする。これら一連の操作は、真空チャンバ１内での基板Ｓｗへの蒸着中に実施することができる。

【0020】

真空チャンバ１と同等の真空雰囲気にある収容箱４内に有機材料Ｍｓを充填するときには、一旦、成膜を中止する（即ち、加熱手段Ｈｔによる加熱を停止し、真空チャンバ１内の真空排気は維持する）。そして、第１開閉扉５ａを開けて上室２ａ及び連通孔３１を介して材料貯蔵室６ａ内と収容箱４とを連通させる。この状態で、駆動モータＭｔにより送出スクリュー７２をその回転軸７２ａ回りに所定の回転数（例えば、５ｒｐｍ～１００ｒｐｍ）で回転させる。すると、シュート７１内の有機材料Ｍｓが順次送り出されると共に、拡散部材８ａで有機材料Ｍｓが周方向に撒き散らされ、分散部材８ｂで更に分散されることで（この場合、メッシュ部材８ｂ自体を振動させるようにしてもよい）、収容箱４内の底面に対してその全体に亘って満遍なく有機材料Ｍｓが堆積されるようになる。シュート７１内の有機材料Ｍｓが全て収容箱４内に送り出されると、駆動モータＭｔを停止した後、第１開閉扉５ａを再び閉じ、加熱手段Ｈｔによる加熱を再開する。併せて、上室２ａ及び材料貯蔵室６ａを大気雰囲気に戻し、上記に従い、次に補充しようとする有機材料Ｍｓが準備される。

【0021】

以上によれば、有機材料Ｍｓの補充を繰り返しても、常時、収容箱４内の底面に対してその全体に亘って満遍なく有機材料Ｍｓが堆積され、この堆積した有機材料Ｍｓの表面部分の面積を常時略一定にすることができる。これにより、真空チャンバ１を殊更大気開放することなく、有機材料Ｍｓの補充が可能になる。そして、有機材料Ｍｓが収容箱４の底面に対してその全体に亘って満遍なく充填されているため、第１開閉扉５ａを閉じて真空チャンバ１内で成膜（蒸着）を再開したとき（有機材料Ｍｓを補充した後）でも、成膜レートの安定性が損なわれ難いものにできる。

【0022】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術思想の範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、螺旋歯７２ｂと送出部７１ａ内面との隙間で有機材料Ｍｓがシュート７１内に留められるようにしたものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、螺旋歯７２ｂの下方に蓋板（図示せず）を設けるようにしてもよい。また、上記実施形態では、真空蒸着が実施される真空チャンバ１に連設した格納チャンバ２内に収容箱４を配置し、所謂サイドデポ式で成膜（蒸着）するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、また、上記実施形態では、シュート７１を固定配置したものを例に説明したが、これに限定されるものではない。

【0023】

同一の部材、要素に同一の符号を付した図４に示すように、変形例に係る蒸着源ＤＳ_２を備える真空蒸着装置Ｄｍ２では、所謂デポアップ式での成膜が可能であり、しかも、シュート７１が可動に構成されている。即ち、真空蒸着装置Ｄｍ２の真空チャンバ１０の底部には、上下方向に対して直交する方向に局所的に膨出させた膨出空間１０ａが設けられ、膨出空間１０ａ内に収容箱４０が配置されている。収容箱４０の側面には、基板Ｓｗの処理面に沿って（図４中、右方向に）のびる筒体４０ａが設けられ、筒体４０ａの上面には、間隔を存して複数の放出ノズル４０ｂが突設されている。この場合、筒体４０ａも独立して加熱できるように加熱手段Ｈｔを構成することが望ましい。

【0024】

膨出空間１０ａを画成する真空チャンバ１０の上壁部１０ｂは、耐熱性を有し且つ熱伝導率が低い材料で構成され、その中央部には、開口４１の輪郭に一致して上下方向に貫通する連通孔１０１が開設されて連通室を構成する。そして、連通孔１０１をその上方から閉塞する第１開閉扉５ａが設けられている。真空チャンバ１０の上壁部１０ｂには格納チャンバ２０が連設され、その内部には、材料貯蔵供給ユニット７０が設けられている。材料貯蔵供給ユニット７０は、略筒状の容器本体７０１ａと容器本体７０１ａの下面に連続して設けられるシュート７０１ｂとで構成される材料貯蔵容器７０１を有し、材料貯蔵室７０１ｃを区画する。材料貯蔵容器７０１内には送出スクリュー７２が挿設されている。この場合、容器本体７０１ａの上面開口には蓋板７０１ｄが取り付けられ、蓋板７０１ｄに設けた駆動モータＭｔに送出スクリュー７２の回転軸７２ａが連結されている。回転軸７２ａは蓋板７０１ｄの軸受７０１ｅで軸支されている。格納チャンバ２０内には、例えば単軸ロボットで構成される昇降機構９０が設けられ、材料貯蔵容器７０１を所定のストローク値で上下動できる。格納チャンバ２０の上壁には、材料貯蔵容器７０１内に有機材料Ｍｓを投入するための投入口２０１が設けられ、投入口２０１をその上方から閉塞する第２開閉扉５ｂが設けられている。

【0025】

以上によれば、第１開閉扉５ａを閉じ、収容箱４０と材料貯蔵室７０１ｃとを雰囲気分離した状態で、材料貯蔵室７０１ｃを大気雰囲気にする。この状態で第２開閉扉５ｂを開け、例えば手作業で材料貯蔵容器７０１内に有機材料Ｍｓを所定の充填率で充填する。有機材料Ｍｓが充填されると、第２開閉扉５ｂを閉じて材料貯蔵室７０１ｃを気密保持した後、図外の真空ポンプＰｕによりその内部を所定圧力まで真空排気し、待機状態とする。これら一連の操作は、上記同様、真空チャンバ１０内での基板Ｓｗへの蒸着中に実施することができる。真空チャンバ１０と同等の真空雰囲気にある収容箱４内に有機材料Ｍｓを充填するときには、一旦、成膜を中止する（即ち、加熱手段Ｈｔによる加熱を停止し、真空チャンバ１０内の真空排気は維持する）。そして、第１開閉扉５ａを開けて連通孔１１を介して材料貯蔵室７０１ｃと収容箱４０とを連通させる。

【0026】

次に、昇降機構９０により材料貯蔵容器７０１をシュート７０１ｂの下端が収容箱４０内に突入する高さ位置まで下降させる。そして、駆動モータＭｔを回転駆動し、送出スクリュー７２をその回転軸７２ａ回りに所定の回転数で回転させる。すると、シュート７０１ｂ内の有機材料Ｍｓが順次送り出されると共に、拡散部材８ａで有機材料Ｍｓが周方向に撒き散らされ、収容箱４０内の底面全体に亘って満遍なく有機材料Ｍｓが堆積される。シュート７０１ｂ内の有機材料Ｍｓが全て収容箱４０内に送り出されると、駆動モータＭｔを停止した後、昇降機構９０により材料貯蔵容器７０１をシュート７０１ｂの下端が材料貯蔵室７０１ｃ内に位置する高さ位置まで上昇させた後、第１開閉扉５ａを再び閉じ、加熱手段Ｈｔによる加熱を再開する。併せて、材料貯蔵室７０１ｃを大気雰囲気に戻し、上記に従い、次に補充しようとする有機材料Ｍｓが準備される。

【0027】

また、上記実施形態では、分散部材８ｂとして、円柱状または角柱状の線材８１ａ，８１ｂを格子状に組み付けると共に切頭円錐体８３を設けたものを例に説明したが、拡散部材８ａで周方向に撒き散らされた有機材料Ｍｓを更に分散できるものであれば、これに限定されるものではない。例えば、図５に示すように、断面Ｖ字状のアングル材８０ａ，８０ｂの複数本をその頂点を上側にした姿勢で格子状に組み付けて分散部材８０を構成してもよい。この場合、切頭円錐体８３は省略することができる。

【符号の説明】

【0028】

ＤＳ_１，ＤＳ_２…蒸着源、Ｄｍ１，Ｄｍ２…真空蒸着装置、Ｈｔ…加熱手段、Ｍｓ…有機材料（蒸着材料）、Ｓｗ…基板（被蒸着物）、１，１０…真空チャンバ、２ａ…上室（連通室）、３１，１０１…連通孔（連通室）、４，４０…収容箱、４２…放出部、５ａ…第１開閉扉、５ｂ…第２開閉扉、６ａ，７０１ｃ…材料貯蔵室、６１…投入口、７１，７０１ｂ…シュート、７２…送出スクリュー、８ａ…拡散部材、８ｂ，８０…分散部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】