特開2023-168422高アスペクト比構造の測定のための中赤外分光法及びシステム

発明の名称　高アスペクト比構造の測定のための中赤外分光法及びシステム

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 290 位（36件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 465 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-168422

公報発行日　2023年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-168422

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