特開2023-169756真空ステーション及び真空ポンプ封水処理方法

発明の名称　真空ステーション及び真空ポンプ封水処理方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 205 位（142件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-169756

公報発行日　2023年11月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-169756

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