特開 2023-169963 レシピの表示方法及び基板処理システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023169963

(43)【公開日】2023-12-01

(54)【発明の名称】レシピの表示方法及び基板処理システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20231124BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022081327

(22)【出願日】2022-05-18

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】今井 響

(72)【発明者】

【氏名】石井 隆太郎

(57)【要約】

【課題】基板処理装置にて使用する複数のレシピの比較結果を容易に視認することができる。
【解決手段】情報処理装置と基板処理装置とが接続された基板処理システムにおいて、前記基板処理装置にて実行する基板の処理に使用する複数の項目を有するレシピの表示方法であって、データ格納部に保持された複数の前記レシピから基準となる第１レシピを選択する工程と、前記複数のレシピから比較対象となる第２レシピを選択する工程と、前記第１レシピと前記第２レシピとを比較し、前記複数の項目から、前記第１レシピと前記第２レシピとの差異のある項目を特定する工程と、前記第１レシピに設定されたデータを表示し、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目について、前記差異を視認できるように前記第２レシピのデータを前記情報処理装置の表示部に表示する工程と、を有するレシピの表示方法が提供される。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

情報処理装置と基板処理装置とが接続された基板処理システムにおいて、前記基板処理装置にて実行する基板の処理に使用する複数の項目を有するレシピの表示方法であって、
データ格納部に保持された複数の前記レシピから基準となる第１レシピを選択する工程と、
前記複数のレシピから比較対象となる第２レシピを選択する工程と、
前記第１レシピと前記第２レシピとを比較し、前記複数の項目から、前記第１レシピと前記第２レシピとの差異のある項目を特定する工程と、
前記第１レシピに設定されたデータを表示し、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目について、前記差異を視認できるように前記第２レシピのデータを前記情報処理装置の表示部に表示する工程と、
を有するレシピの表示方法。

【請求項2】

前記複数の項目は、複数の処理ステップのステップ番号と、複数のプロセス条件の条件項目とを含み、
前記表示部に表示する工程は、
前記第１レシピに設定されたデータを、複数の前記ステップ番号と、複数の前記条件項目とによりマトリックス状の表形式に、前記複数のステップ番号及び前記複数の条件項目と共に表示し、表示した前記複数の条件項目のうち前記差異があると特定した条件項目について、前記第１レシピのデータと前記第２レシピのデータとを前記表形式において並べて表示する、
請求項１に記載のレシピの表示方法。

【請求項3】

前記差異があると特定した条件項目について、前記第１レシピのデータと前記第２レシピのデータとの差異を強調して表示する、
請求項２に記載のレシピの表示方法。

【請求項4】

前記第２レシピを選択する工程は、
２つ以上の前記第２レシピを選択し、
前記差異のある項目を特定する工程は、
前記第１レシピと２つ以上の前記第２レシピとを比較し、前記第１レシピと少なくともいずれかの前記第２レシピとの差異のある条件項目を特定し、
前記表示部に表示する工程は、
前記差異があると特定した条件項目について、前記差異を視認できるように前記第１レシピのデータと２つ以上の前記第２レシピのデータを前記表形式において並べて表示する、
請求項２に記載のレシピの表示方法。

【請求項5】

前記レシピの変更に応じて、変更されたレシピをレシピの変更日時に紐づけて前記データ格納部に蓄積する工程を有し、
前記差異のある項目を特定する工程は、
前記変更日時が異なる更新された同一のレシピである前記第１レシピと前記第２レシピとを比較し、前記同一のレシピの変更履歴のある項目を特定する、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のレシピの表示方法。

【請求項6】

前記表示部に表示する工程は、
前記第１レシピに設定されたデータを表示し、表示した前記第１レシピのデータのうち前記変更履歴のある項目について、前記第１レシピのデータと、前記変更日時を含む前記第２レシピのデータと、を表示する、
請求項５に記載のレシピの表示方法。

【請求項7】

前記表示部の画面は、前記複数のレシピを表示する第１画面領域と、前記第１レシピに設定されたデータと、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目についての前記第２レシピのデータと、を表示する第２画面領域との固定領域が設定され、
前記表示部に表示する工程は、
前記第２画面領域に、前記第１レシピに設定されたデータと、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目についての前記第２レシピのデータとをマトリックス状の表形式に表示する、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のレシピの表示方法。

【請求項8】

前記表示部に表示する工程は、
前記第２画面領域のスクロールバーの操作に応じて、前記第２画面領域内の前記第１レシピのデータと前記第２レシピのデータとの表示画面をスクロールする、
請求項７に記載のレシピの表示方法。

【請求項9】

前記複数の項目のうち、前記第２画面領域にマトリックス状の表形式に表示された項目から非表示にする項目を選択する工程と、
前記表示部に表示する工程は、
前記第２画面領域に表示された項目から非表示にする項目を除いて、前記第１レシピのデータと前記第２レシピのデータを前記表形式に表示する、
請求項７に記載のレシピの表示方法。

【請求項10】

更新された最新のレシピ以外を非表示にする選択を受け付ける工程を有し、
前記表示部に表示する工程は、
前記第１画面領域に表示された複数のレシピのうち、更新された同一レシピから、レシピに紐づけられた変更日時が最新のレシピ以外の同一レシピを除いて表示する、
請求項７に記載のレシピの表示方法。

【請求項11】

情報処理装置と基板処理装置とが接続された基板処理システムであって、
前記情報処理装置は、
複数の項目を有するレシピを保持したデータ格納部を備え、
前記データ格納部に保持された複数の前記レシピから基準となる第１レシピを選択する工程と、
前記複数のレシピから比較対象となる第２レシピを選択する工程と、
前記第１レシピと前記第２レシピとを比較し、前記複数の項目から、前記第１レシピと前記第２レシピとの差異のある項目を特定する工程と、
前記第１レシピに設定されたデータを表示し、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目について、前記差異を視認できるように前記第２レシピのデータを前記情報処理装置の表示部に表示する工程と、
を含むレシピの表示方法を制御する基板処理システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、レシピの表示方法及び基板処理システムに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１は、レシピのマスタファイルと同名のファイルとを比較した結果を表示することを提案する。特許文献１では、マスタファイルのレシピ全体を表示するのではなく、比較の結果、マスタファイルと同名のファイルとの差異のある項目についてのみ表示する。

【0003】

例えば、特許文献２は、比較した複数のレシピのそれぞれの全体項目を表示するとともに、表示された複数のレシピの全体項目のうち、差異のある部分の表示色を変えること等を提案している。

【0004】

例えば、特許文献３は、レシピの複数のステップと複数のプロセス条件の項目をマトリックス状の表形式に表示することを提案している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０１４－１８９０４５号

【特許文献2】特開２００７－１９４４４６号公報

【特許文献3】特開２０１４－６７９３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本開示は、基板処理装置にて使用する複数のレシピの比較結果を容易に視認することができるレシピの表示方法を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の一の態様によれば、情報処理装置と基板処理装置とが接続された基板処理システムにおいて、前記基板処理装置にて実行する基板の処理に使用する複数の項目を有するレシピの表示方法であって、データ格納部に保持された複数の前記レシピから基準となる第１レシピを選択する工程と、前記複数のレシピから比較対象となる第２レシピを選択する工程と、前記第１レシピと前記第２レシピとを比較し、前記複数の項目から、前記第１レシピと前記第２レシピとの差異のある項目を特定する工程と、前記第１レシピに設定されたデータを表示し、表示した前記第１レシピのデータのうち前記差異のある項目について、前記差異を視認できるように前記第２レシピのデータを前記情報処理装置の表示部に表示する工程と、を有するレシピの表示方法が提供される。

【発明の効果】

【0008】

一の側面によれば、基板処理装置にて使用する複数のレシピの比較結果を容易に視認することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る基板処理システムの一例を示す図。

【図2】実施形態に係るサーバ装置のハードウェア構成例を示す図。

【図3】実施形態に係るサーバ装置の機能構成例を示す図。

【図4】実施形態に係るレシピの表示方法の一例を示すフローチャート。

【図5】実施形態に係るレシピの比較及び表示画面の一例。

【図6】実施形態に係るレシピの比較及び表示画面の一例。

【図7】実施形態に係るレシピの比較及び表示画面の一例。

【図8】実施形態に係るレシピの比較結果及び表示画面の一例。

【図9】実施形態に係るレシピの比較結果及び表示画面の一例。

【図10】実施形態に係るレシピの比較結果の詳細表示画面の一例。

【図11】レシピ選択画面の一例。

【図12】レシピ選択画面の選択結果の一例。

【図13】選択されたレシピの比較結果の一例。

【図14】２つのレシピ選択画面の一例。

【図15】２つのレシピ選択画面の選択結果の一例。

【図16】選択されたレシピの比較結果の一例。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

【0011】

本明細書において平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右などの方向には、実施形態の効果を損なわない程度のずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直、円、一致には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直、略円、略一致が含まれてもよい。

【0012】

［基板処理システム］
はじめに、実施形態に係る基板処理システムの構成例について説明する。図１は、基板処理システム１００の構成例を示す図である。

【0013】

図１に示すように、基板処理システム１００では、基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２、基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２がネットワークＮを介してサーバ装置１５０に接続されている。基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２、基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２を総称して基板処理装置１２０ともいう。基板処理装置１２０は、通常、内部で基板の処理を行う処理チャンバを、それぞれにおいて１つ若しくは複数有する。

【0014】

基板処理装置１２０の一例としては、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）を製造するためのガラス基板などの基板を処理する装置が挙げられる。ただし、これに限らず、本開示の基板処理装置は、半導体ウエハを処理する装置であってもよい。また、基板をプラズマにより処理してもよく、プラズマを生成する装置としては、Capacitively Coupled Plasma(CCP)、Inductively Coupled Plasma(ICP)、Radial Line Slot Antenna(RLSA)、Electron Cyclotron Resonance Plasma(ECR)、Helicon Wave Plasma(HWP)のいずれのタイプの装置にも適用できる。また、本開示の基板処理装置は、一枚ずつ基板を処理する枚葉装置、複数枚の基板を一括処理するバッチ装置及びセミバッチ装置のいずれにも適用できる。また、本開示の基板処理装置は、例えば、成膜処理、エッチング処理、アッシング処理等の基板の処理を行う装置或いは、Atomic Layer Deposition(ALD)装置である。

【0015】

基板処理システム１００は、工場ａ内に基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３と、制御装置１２１ａ１～１２１ａ３とを有する。基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３と制御装置１２１ａ１～１２１ａ３とは、有線または無線により接続される。

【0016】

基板処理システム１００は、工場ｂ内に基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２と、制御装置１２１ｂ１、１２１ｂ２とを有する。基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２と制御装置１２１ｂ１、１２１ｂ２とは、有線または無線により接続される。

【0017】

基板処理システム１００は、工場ｃ内に基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２と、制御装置１２１ｃ１、１２１ｃ２とを有する。基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２と制御装置１２１ｃ１、１２１ｃ２とは、有線または無線により接続される。

【0018】

制御装置１２１ａ１～１２１ａ３、制御装置１２１ｂ１、１２１ｂ２、制御装置１２１ｃ１、１２１ｃ２を総称して制御装置１２１ともいう。制御装置１２１は、基板処理装置１２０が実行する基板の処理を制御する。基板処理装置１２０のそれぞれは、複数のレシピを保持する制御装置１２１の夫々の制御に従い、いずれかのレシピに基づき基板を処理する。

【0019】

基板処理装置１２０ａ１～１２０ａ３、基板処理装置１２０ｂ１、１２０ｂ２、基板処理装置１２０ｃ１、１２０ｃ２は、それぞれが管理する多岐にわたるデータを自装置内に蓄積しているものとする。

【0020】

サーバ装置１５０は、基板処理装置１２０と接続され、基板処理装置１２０から取得した蓄積データから、基板の処理に使用した複数のレシピを比較し、比較結果のレシピの表示を制御する。比較結果のレシピが表示される情報処理装置の表示部は、制御装置１２１の表示部であってもよいし、サーバ装置１５０の表示部であってもよいし、ネットワークＮに接続されるその他の表示装置であってもよい。

【0021】

［サーバ装置１５０のハードウェア構成例］
次に、サーバ装置１５０のハードウェア構成について図２を参照して説明する。図２は、サーバ装置１５０のハードウェア構成の一例を示す図である。サーバ装置１５０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）２０１、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）２０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）２０３を有する。ＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３は、いわゆるコンピュータを形成する。なお、図２は、制御装置１２１のハードウェア構成例であってもよい。

【0022】

また、サーバ装置１５０は、補助記憶部２０４、表示部２０５、入力部２０６、ネットワークＩ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）部２０７、接続部２０８を有する。なお、サーバ装置１５０の各ハードウェアは、バス２０９を介して相互に接続されている。

【0023】

ＣＰＵ２０１は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラム（を実行するデバイスである。ＲＯＭ２０２は、不揮発性メモリである。ＲＯＭ２０２は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラムをＣＰＵ２０１が実行するために必要な各種プログラムやデータ等を格納する、主記憶デバイスとして機能する。具体的には、ＲＯＭ２０２はＢＩＯＳ（Ｂａｓｉｃ Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ Ｓｙｓｔｅｍ）やＥＦＩ（Ｅｘｔｅｎｓｉｂｌｅ Ｆｉｒｍｗａｒｅ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）等のブートプログラム等を格納する。

【0024】

ＲＡＭ２０３は、ＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）やＳＲＡＭ（Ｓｔａｔｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性メモリである。ＲＡＭ２０３は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラムがＣＰＵ２０１によって実行される際に展開される作業領域を提供する、主記憶デバイスとして機能する。

【0025】

補助記憶部２０４は、各種プログラムや、各種プログラムが実行される際に用いられる情報を格納する補助記憶デバイスである。後述するデータ格納部は、補助記憶部２０４において実現される。

【0026】

表示部２０５は、各種画面（例えば、選択画面、レシピ表示画面等）を表示する、表示デバイスである。入力部２０６は、解析装置１４０に対して、作業者が各種指示を入力するための入力デバイスである。

【0027】

ネットワークＩ／Ｆ部２０７は、不図示の外部ネットワークと接続する通信デバイスである。接続部２０８は、基板処理装置１２０に接続する接続デバイスである。

【0028】

［サーバ装置の機能構成例］
次に、サーバ装置１５０の機能構成について図３を参照して説明する。図３は、サーバ装置１５０の機能構成の一例を示す図である。サーバ装置１５０にはレシピの比較解析及び表示用のプログラムがインストールされており、この比較解析及び表示用のプログラムを実行することで、サーバ装置１５０は、データ取得部３０１、操作受付部３０２、制御部３０３、表示制御部３０４として機能する。

【0029】

データ取得部３０１は、ネットワークＮを介して基板処理装置１２０が蓄積した蓄積データ１３０を継続的に取得し、データ格納部３１０に格納する。蓄積データ１３０は、レシピを作成又は変更した日時が紐づけられたレシピのデータを含む。例えば、データ取得部３０１は、更新レシピを変更日時に紐づけてデータ格納部３１０に記憶する。よって、データ格納部３１０には、初期レシピと初期レシピを更新した更新レシピとを含む変更部分以外のレシピのデータが同一のバージョンアップされたレシピ群（以下、同一レシピともいう。）、及び異なるレシピ群が包含されている。よって、データ格納部３１０に保存された複数のレシピから選択される基準レシピと比較対象レシピとは、バージョンアップされた複数の同一レシピであってもよいし、異なるレシピであってもよい。なお、レシピのデータは、基板処理装置１２０において実行する基板の処理手順を詳細に記述したものであり、レシピの有する複数の項目、例えば、プロセス条件の項目（条件項目）、処理ステップの項目（ステップ番号）、及び変更日時等のレシピに関する項目により特定されるデータが設定されている。

【0030】

操作受付部３０２は、制御装置１２１の表示部に表示された選択画面や、サーバ装置１５０の表示部に表示された選択画面からオペレータ等の作業者が行う入力操作や選択操作を受け付ける。

【0031】

制御部３０３は、選択部３０６、比較部３０７を有する。選択部３０６は、データ格納部３１０に保持された複数のレシピから基準となる基準レシピを選択する。例えば選択部３０６は、操作受付部３０２が受け付けた基準レシピの選択操作や入力操作に基づき基準レシピを選択する。基準レシピは、基準となる第１レシピの一例である。

【0032】

選択部３０６は、データ格納部３１０に保持された複数のレシピから比較対象となる比較対象レシピを選択する。例えば選択部３０６は、操作受付部３０２が受け付けた比較対象レシピの選択操作や入力操作に基づき比較対象レシピを選択する。比較対象レシピは、比較対象となる第２レシピの一例である。

【0033】

比較部３０７は、基準レシピと比較対象レシピとを比較し、基準レシピと比較対象レシピとの差異がある項目を特定する。

【0034】

表示制御部３０４は、基準レシピに設定されたデータを表示し、表示したデータの複数の項目のうち比較対象レシピと差異のある項目について、基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの差異を視認できるように表示部に表示する。

【0035】

表示制御部３０４は、基準レシピに設定されたデータをマトリックス状の表形式に表示する。また、表示制御部３０４は、表示した基準レシピのデータのうち比較対象レシピと差異のある項目について、基準レシピのデータと比較対象のデータとの差異を視認できるように比較対象レシピのデータを表示部に表示する。マトリックス状の表形式では、各行に１以上のプロセス条件の項目（条件項目）が表示され、各列に１以上の処理ステップの項目（ステップ番号）が表示され、項目毎にレシピのデータが表示されてもよい。列には、１以上の処理ステップに加え、１以上のレシピに関する項目が表示されてもよい（図６のＰ２）。１以上のレシピに関する項目は、装置、チャンバ番号（ＰＣ Ｎｏ．）、ファイル名、変更日時が含まれる（図８のＰ２の「列表示」参照）。

【0036】

表示制御部３０４は、差異があると特定した項目の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの差異を強調して表示してもよい（図８のＰ２内のＤ１参照）。

【0037】

選択部３０６が２つ以上の比較対象レシピを選択した場合、比較部３０７は基準レシピと２つ以上の比較対象レシピとを比較し、基準レシピと少なくともいずれかの比較対象レシピとの差異のある項目を特定する。表示制御部３０４は、差異があると特定した処理ステップ及びプロセス条件の項目について、差異を視認できるように基準レシピのデータと２つ以上の比較対象のデータを並べて表示する。

【0038】

基準レシピと比較対象レシピとが更新された同一レシピ群である場合、表示制御部３０４は、基準レシピと比較対象レシピとで差異のある項目について、基準レシピのデータと比較対象レシピのデータをそれぞれの変更日時と共に並べて表示してもよい。

【0039】

これによれば、基準レシピに設定された複数の項目のデータを表示し、表示した複数の項目のうち差異のある項目について、基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの差異を視認できるように表示部に表示される。これにより、作業者は、基板処理装置１２０にて使用する複数のレシピについての比較結果を容易に視認することができる。

【0040】

［レシピの表示方法の具体例］
次に、サーバ装置１５０がレシピの比較解析及び表示用のプログラムを実行することにより実施されるレシピの表示方法の一例について、図４～図９を参照しながら説明する。図４は、実施形態に係るレシピの表示方法の一例を示すフローチャートである。図５～図７は、実施形態に係るレシピの比較及び表示画面の一例である。図８及び図９は、実施形態に係るレシピの比較結果及び表示画面の一例である。

【0041】

サーバ装置１５０がレシピの表示方法の各処理を行うにあたっては、はじめに、図４のステップＳ１において、表示制御部３０４は、制御装置１２１の表示部及び／又はサーバ装置１５０の表示部２０５に選択画面を表示する。例えば、サーバ装置１５０は、Ｗｅｂサイトの選択画面を表示部に表示する。

【0042】

図５の選択画面の一例を参照すると、選択画面には、複数のレシピの一覧を表示する第１画面領域Ｐ１が設けられる。図５の第１画面領域Ｐ１には、データ格納部３１０に保存されたレシピが表示されている。図５では、「装置」の項目にレシピを使用する基板処理装置として「装置Ａ」等が設定される。また、「ＰＣ Ｎｏ．」の項目にレシピを使用する処理チャンバのチャンバ番号として「ＰＣ－３」等が設定される。また、「ファイル名」の項目に使用するレシピとして「レシピａ」、「レシピｂ」、「レシピｃ」等が設定されている。

【0043】

「装置」、「ＰＣ Ｎｏ．」、「ファイル名」の項目に加えて、一覧には、「変更日付」、「操作」、「種類」、「Ｖｅｒｓｉｏｎ」、「コメント」、「備考」の項目が表示されている。変更日付（変更日時）には「ファイル名」に設定されたレシピを変更（更新）した変更日時が表示される。「操作」にはレシピに行った操作が表示される。「種類」にはレシピの種類が表示され、「Ｖｅｒｓｉｏｎ」にはレシピに変更があったかを示すバージョンが表示される。「コメント」、「備考」には適宜コメント、メモが表示される。第１画面領域Ｐ１は、選択画面の固定の表示領域であり、第１画面領域Ｐ１内のスクロールバーＱ１の操作に応じて表示内容を上下させることにより、すべてのレシピを表示することができる。

【0044】

次に、図４のステップＳ３において、選択部３０６は、基準レシピを選択する。例えば、操作受付部３０２が作業員等の選択操作を受け付けると、選択部３０６は、受け付けた操作に応じて第１画面領域Ｐ１内のレシピを選択する。例えば、図６の第１画面領域Ｐ１では、２行目の装置ＡのＰＣ－３のチャンバで使用されるレシピａ（Ｖｅｒｓｉｏｎ１）が基準レシピとして選択されている。よって、表示制御部３０４は、比較元となる基準レシピを、図６の画面右上の表示欄Ｐ３に表示する。図６の例では、Ｓ１で示す選択された「装置Ａ（ＰＣ－３）レシピａ」の名称が表示される。

【0045】

次に、図４のステップＳ５において、表示制御部３０４は、選択画面の第２画面領域Ｐ２に基準レシピのデータ（内容）を表示する。図６の例では、基準レシピに設定されたデータがマトリックス状の表形式に表示される。表形式の列の項目には複数の処理ステップ１～１５のステップ番号が表示され、行の項目には複数のプロセス条件の条件項目が表示される。これにより、基準レシピに設定されたデータとして、複数の処理ステップのそれぞれに対する複数のプロセス条件のデータが、即ち、任意のステップ番号と任意の条件項目とで特定されるデータがマトリックス状の表に表示される。なお、便宜上、列の項目と行の項目とを総称して単に項目と称する。ステップ番号と条件項目は、項目の一例である。単に項目と記載した場合には、ステップ番号と条件項目のいずれか、若しくは両方が含まれるものとする。

【0046】

処理ステップは、基板処理が複数のステップの手順でステップ番号の昇順に行われることを示す。プロセス条件は、ステップ番号で示される各処理ステップにおけるプロセス条件をデータ（数値若しくは値）で示す。たとえば、「Ｌｏｇ出力」は、値としてＯＮとＯＦＦを有し、ＯＮのときプロセスの詳細なログを記憶し、ＯＦＦのときプロセスの詳細なログを記憶しないと設定する条件項目である。「Ｓｏｕｒｃｅ出力値」は電源からの電力の出力値を数値により設定する条件項目である。ガス流量はガス種毎の流量値を数値により設定し、ＥＰＤテーブル番号は、チャンバ内の発光強度に基づく各処理ステップのエンドポイント検出（ＥＰＤ）を行うための停止条件を示すテーブル番号を値として設定する。第２画面領域Ｐ２は、選択画面の固定の表示領域であり、第２画面領域Ｐ２内のスクロールバーＱ２の操作に応じて表示内容を上下させることにより、基準レシピに設定された全データ（処理ステップ及びプロセス条件の全項目のデータ）を表示することができる。

【0047】

次に、図４のステップＳ７において、選択部３０６は、比較対象レシピを選択する。図７の例では、選択画面の左上に表示された「Ｔａｒｇｅｔ Ｓｅｌｅｃｔ」のボタンＢ１をオンする操作後に第１画面領域Ｐ１内のいずれかのレシピが操作（選択）される。操作受付部３０２が本操作を受け付け、選択部３０６が、受け付けた操作に応じて第１画面領域Ｐ１内の４行目の装置ＡのＰＣ－３で使用されるＶｅｒｓｉｏｎ１のレシピｂを比較対象レシピとして選択する（図７のＳ２参照）。

【0048】

これにより、表示制御部３０４は、画面右中央の「ＴＡＲＧＥＴＳ」の表示欄Ｐ４に比較先となる比較対象レシピの名称を表示する。ここでは、「ＴＡＲＧＥＴＳ」の表示欄Ｐ４に「装置Ａ（ＰＣ－３）レシピｂ」の名称が表示される（図８参照）。

【0049】

次に、図４のステップＳ９において、比較部３０７は、基準レシピと比較対象レシピとを比較し、基準レシピと比較対象レシピとの差異のある条件項目を特定する。表示制御部３０４は、基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの差異を視認できるように強調して表示部に表示する。

【0050】

例えば、表示制御部３０４は、図８の第２画面領域Ｐ２に表示する基準レシピのデータのうち、少なくとも差異があると特定された条件項目である「Ｓｏｕｒｃｅ出力値」について、基準レシピのデータ１０１と比較対象レシピのデータ１０２とを並べて表示する。図８では、表示制御部３０４は、第２画面領域Ｐ２に基準レシピのデータ１０１と比較対象レシピのデータ１０２とを並べて表示した上で、更に、差異がある処理ステップ４、５の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとを強調して表示する（Ｄ１参照）。強調して表示する例としては、差異がある部分の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの色を変えて表示したり、太字で表示したり、背景色を変えたりしてもよい。差異がない部分の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータは、同じ色で表示したり、細字で表示したりしてもよい。

【0051】

なお、基準レシピのデータの強調表示されている箇所をマウスオーバーすることで、その基準レシピのデータの詳細を表示してもよい。同様に、比較対象レシピのデータの強調表示されている箇所をマウスオーバーすることで、その比較対象レシピのデータの詳細を表示してもよい。

【0052】

次に、図４のステップＳ１１において、選択部３０６は、他に比較対象のレシピの選択があるかを判定する。選択部３０６は、他に比較対象のレシピの選択があると判定した場合、ステップＳ７に戻り、ステップＳ７～Ｓ１１の処理を繰り返す。

【0053】

図９では、選択画面の左上に表示されたＴａｒｇｅｔ ＳｅｌｅｃｔのボタンＢ１がオンに操作された状態で第１画面領域Ｐ１内のいずれかのレシピが再操作（選択）されている。この場合、図４のステップＳ１１において、選択部３０６は、他に比較対象のレシピの選択があると判定する。図９では、選択部３０６は、第１画面領域Ｐ１内の５行目のレシピ（装置ＡのＰＣ－３で使用されるＶｅｒｓｉｏｎ１のレシピｂ）を比較対象レシピとして選択する（Ｓ３参照）。これにより、「ＴＡＲＧＥＴＳ」の表示欄Ｐ４に比較対象レシピとして「装置Ａ（ＰＣ－３）レシピｃ」の名称が追加される。

【0054】

更に比較部３０７は、基準レシピと比較対象レシピ（ここではレシピｃ）とを比較し、基準レシピと比較対象レシピとの差異のある条件項目を特定する。表示制御部３０４は、基準レシピのデータと２つ以上の比較対象レシピのデータとの差異を視認できるように表示部に表示する。このように本開示のレシピの表示方法では、基準レシピに対して２つ以上の比較対象レシピの比較結果を表示することができる。

【0055】

例えば、表示制御部３０４は、図９の第２画面領域Ｐ２に表示する基準レシピのデータのうち、差異があると特定した条件項目である「Ｓｏｕｒｃｅ出力値」について、基準レシピａのデータ１０１と比較対象レシピｂ、ｃのデータ１０２、１０３とを並べて表示する。基準レシピ（レシピａ）のデータ１０１と比較対象レシピ（レシピｂ、レシピｃ）のデータ１０２、１０３との差異は、強調して表示される（図９のＤ２参照）。

【0056】

表示制御部３０４は、第２画面領域Ｐ２内のスクロールバーＱ２，Ｑ３の操作に応じて、第２画面領域Ｐ２に表示された基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとの表示をスクロールさせ、基準レシピと比較対象レシピの全データを確認することができる。比較結果は、第２画面領域Ｐ２内のスクロールバーＱ２により第２画面領域Ｐ２内のデータを上下移動させる。また、スクロールバーＱ３により第２画面領域Ｐ２内のデータを左右移動させる。これによって、第２画面領域Ｐ２内の比較結果の全データを確認することができる。なお、第２画面領域Ｐ２内の欄Ｔ１には、第２画面領域Ｐ２の列に表示されている項目が表示されている。

【0057】

これにより、複数の異なるレシピについて比較して相違箇所を検出し、相違箇所を一目で確認できるように表示するツールを提供することができる。或いは、複数の同一レシピについて過去にさかのぼって行われた変更箇所を抽出し、変更箇所を一目で確認できるように表示するツールを提供することができる。

【0058】

［表示の変形例１］
操作受付部３０２は、図１０に示す第２画面領域Ｐ２内の左上に表示された「差分のみ表示」のボタンＢ２をオンにする操作を受け付ける。そうすると、表示制御部３０４は、第２画面領域Ｐ２に表示されたマトリックス状の表形式のデータから、差異があると特定された項目以外の項目のデータを非表示にする。非表示にする代わりにグレイアウトで表示してもよい。これにより、図９の表示欄Ｔ１に示す列表示及び行表示の項目のデータから、図１０の表示欄Ｔ１に示す列表示及び行表示の項目のデータに、第２画面領域Ｐ２に表示されるデータ量が減る。

【0059】

例えば、表示制御部３０４は、基準レシピのデータのうち、図１０の第２画面領域Ｐ２に表示する、差異があると特定した「Ｓｏｕｒｃｅ出力値」等について、基準レシピａのデータ１０１と比較対象レシピｂ、ｃのデータ１０２、１０３とを並べて表示する。差異があると特定した「ＥＰＤテーブル番号」、「処理時間」等についても同様に、基準レシピａのデータ１０４、１０７と比較対象レシピｂ、ｃのデータ１０５、１０６、１０８とを並べて表示する。

【0060】

基準レシピａのデータ１０１、１０４、１０７と比較対象レシピｂ、ｃのデータ１０２、１０３、１０５、１０６、１０８との差異がある部分は、強調して表示する（図１０のＤ３参照）。図１０のＤ３内において、強調して表示する例としては、差異がある部分の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータは、色を変えて表示したり、太字で表示したり、背景色を変えたりしてもよい。図１０のＤ３内において、差異がない部分の基準レシピのデータと比較対象レシピのデータとは、背景が白でデータの数値が黒のように表示してもよい（Ｄ３の処理ステップ５のデータ１０４～１０８参照）。これにより、第２画面領域Ｐ２内に表示するデータ量を減らすことで、基準レシピと比較対象レシピの差異がある部分をより容易に確認することができる。また、データ量が減るほど、スクロール操作を行わない又はスクロール操作を少なくすることができる。

【0061】

［表示の変形例２］
図１０に示す「Ｌａｔｅｓｔ Ｒｅｃｉｐｅ」の選択ボタンＢ３を操作する場合について説明する。選択ボタンＢ３をオンする操作が行われると、第１画面領域Ｐ１に表示する最新の更新レシピのみが残るようにフィルタされ、表示制御部３０４は、最新の更新レシピ以外のレシピを非表示にする。つまり、表示制御部３０４は、第１画面領域Ｐ１に表示された複数のレシピから、レシピに紐づけられた変更日時が最新の更新レシピ以外の同一レシピを除いて表示する。

【0062】

［表示の変形例３］
作業者等が入力画面にレシピを特定する情報を入力することによって、比較するレシピを特定するようにしてもよい。例えば、図１０の画面右上の「ＢＡＳＥ」の表示欄Ｐ３に基準レシピのファイル名を入力してもよい。例えば、図１０の画面右中央の「ＴＡＲＧＥＴＳ」の表示欄Ｐ４に比較対象レシピのファイル名を入力してもよい。比較対象レシピのファイル名は、１つ以上入力できる。表示制御部３０４は、入力された基準レシピ及び比較対象レシピの比較結果を第２画面領域Ｐ２に表示する。

【0063】

［表示の変形例４］
図１０のファイル名に隣接して表示されるフィルタのマークＭ１をクリックすることによって、ファイル名のすべての要素が表示され、すべての要素に設けられたチェックボックスにチェックすることでレシピを選択することもできる。

【0064】

［レシピの選択例１］
次に、図１０の画面右上の「ＢＡＳＥ」の表示欄Ｐ３の上に示す「Ｐｕｒｐｏｓｅ Ｓｅｌｅｃｔ」のボタンＢ４を選択したときのレシピの選択例１について、図１１～図１３を参照して説明する。図１１は、レシピ選択画面の一例である。図１２は、レシピ選択画面の選択結果の一例である。図１３は、選択されたレシピの比較結果の一例である。

【0065】

レシピの選択例１では、１つのレシピを選択することにより、これまで過去にあった変更箇所を確認することができる。レシピの選択例１では、図１１に示す選択画面が表示され、データ格納部３１０に保持された複数のレシピから１つのレシピを選択することができる。図１１に示す選択画面の最上位の欄では、基板処理装置を選択することができる。２番目の欄では、ユニット、すなわち基板処理装置のチャンバを選択することができる。３番目の欄では、レシピの変更日付（日時）の日付範囲を選択することができる。これにより、選択された基板処理装置の選択されたチャンバに使用するレシピであって、選択された日付範囲内で変更が加えられたレシピを選択する。４番目の欄では、変更履歴の数を選択する。例えば、変更履歴の数に１０を選択すると、選択されたレシピについて、最新から過去１０回分のレシピの変更内容を確認できる。変更履歴の数に１を選択すると、選択されたレシピの直近の変更内容を確認できる。

【0066】

例えば、図１２の選択画面の最上位～４番目のそれぞれの欄に示すようにレシピを選択する。図１２の「Ｒｅｃｉｐｅ Ｎａｍｅ」の欄Ｐ５に表示された複数のレシピから、変更履歴を表示したいレシピを選択し、「Ｄｏｎｅ」のボタンＢ５を押すことによってもレシピを選択できる。

【0067】

これにより、選択された同一レシピ（同一のファイル名のレシピ）について、図１３に示すように、過去に変更のあった箇所、日時等が表示される。例えば、図１３のＤ４に示すように、過去の変更のあった箇所のデータを強調表示してもよい。選択された１レシピの変更履歴を表示することで、過去のプロセス条件の調整を簡単に確認することができる。

【0068】

［レシピの選択例２］
次に、図１０の画面右上に示す「Ｐｕｒｐｏｓｅ Ｓｅｌｅｃｔ」のボタンＢ４を選択したときのレシピの選択例２について、図１４～図１６を参照して説明する。図１４は、２つのレシピ選択画面の一例である。図１５は、２つのレシピ選択画面の選択結果の一例である。図１６は、選択されたレシピの比較結果の一例である。

【0069】

レシピの選択例２では、異なる２つのレシピを選ぶことにより、選択した異なる２つのレシピの差異を表示することができる。レシピの選択例２では、図１４に示す選択画面を表示し、データ格納部３１０に保持された複数のレシピから２つのレシピを選択する。図１４に示す選択画面の最上位の欄では、比較を行うレシピが保存されている基板処理装置を選択する。２番目の欄では、比較を行うレシピのユニット、すなわち比較を行うレシピの基板処理装置のチャンバを選択する。３番目の欄では、比較を行うレシピ名を選択する。４番目の欄では、過去にレシピの変更があった変更日付（変更日時）を選択する。最上位の欄から４番目の欄までの右側と左側とで２つのレシピを選択する。これにより、選択された基板処理装置の選択されたチャンバに使用する２つのレシピであって、選択した日時に過去変更があったレシピを選択する。ただし、選択するレシピは、過去変更があったレシピに限らない。過去変更がないレシピについては、４番目の欄を空欄にしてよい。

【0070】

例えば、図１５の選択画面の右側及び左側の最上位～４番目の欄に示すように２つのレシピを選択し、「Ｄｏｎｅ」のボタンＢ５を押す。これにより、選択された２つのレシピについて、図１６に示すように、２つのレシピの異なる箇所、変更日付等が表示される。例えば、図１６のＤ５に示すように、過去の変更のあった箇所のデータを強調表示してもよい。これにより、選択された２つのレシピについての比較結果を容易に視認することができる。例えば選択された２つのレシピが一の基板処理装置から他の基板処理装置へコピーしたレシピのときに、レシピが正しくコピーできているか等を簡単に確認することができる。例えば差異が表示された場合、正しくコピーできていないと判定することができる。

【0071】

以上に説明したように、本実施形態のレシピの表示方法及び基板処理システムによれば、基板処理装置にて使用する複数のレシピの比較結果を容易に視認することができる。

【0072】

今回開示された実施形態に係るレシピの表示方法及び基板処理システムは、すべての点において例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。

【0073】

なお、図１の基板処理システム１００は一例であり、用途や目的に応じて様々な基板処理システム１００の構成例があることは言うまでもない。例えば、図１の基板処理装置１２０の個数及び配置、サーバ装置１５０の個数及び配置は一例である。

【0074】

サーバ装置１５０には、レシピの比較解析及び表示用のプログラムがインストールされ、サーバ装置１５０がレシピの比較解析用のプログラムを実行することにより、図４のレシピの表示方法（処理）が実行される。レシピの比較解析用のプログラムは、サーバ装置１５０内の記憶領域又はその他の記憶媒体に記憶されてもよい。図４のレシピの表示方法（処理）は、作業者等の選択画面の操作等に応じて自動的に実行される。

【符号の説明】

【0075】

１００ 基板処理システム
１２０ 基板処理装置
１２１ 制御装置
１３０ 蓄積データ
３０１ データ取得部
３０２ 操作受付部
３０３ 制御部
３０４ 表示制御部
３０６ 選択部
３０７ 比較部
３１０ データ格納部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】