特開 2023-170802 エキスパンド装置、及び、エキスパンド方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023170802

(43)【公開日】2023-12-01

(54)【発明の名称】エキスパンド装置、及び、エキスパンド方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20231124BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 W

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022082837

(22)【出願日】2022-05-20

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100142804

【弁理士】

【氏名又は名称】大上 寛

(72)【発明者】

【氏名】天野 薫

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 良信

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA28

5F063AA31

5F063AA48

5F063DD74

5F063DD93

5F063DE34

(57)【要約】      （修正有）

【課題】冷却不足の領域の有無を検出することで、被加工物の分割不良の発生を防止するエキスパンド装置及び方法を提供する。
【解決手段】被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド装置２０であって、該シートを拡張する拡張機構５０と、該シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ユニット３０と、拡張機構５０で該シートを拡張する前に冷却ユニット３０で冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ユニット６０と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド装置であって、
該シートを拡張する拡張機構と、
該シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ユニットと、
該拡張機構で該シートを拡張する前に該冷却ユニットで冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ユニットと、を備えたエキスパンド装置。

【請求項2】

警報を発信する警報発信ユニットと、
少なくとも該拡張機構と該警報発信ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該温度分布検出ユニットで検出された被加工物の温度分布が異常か否かを判定する判定部を有し、
該判定部で被加工物の温度分布が異常と判定された場合に該警報発信ユニットから警報を発信させる、
ことを特徴とする請求項１に記載のエキスパンド装置。

【請求項3】

該拡張機構は、
被加工物の外側で該シートを挟持する複数のシート挟持ユニットと、
複数の該シート挟持ユニットを互いに離反する方向に移動させる拡張移動ユニットと、を有し
該冷却ユニットは、該シート挟持ユニットで挟持された該シートに当接する当接面を有し該シートを冷却する冷却テーブルを備え、
該温度分布検出ユニットは、該シート挟持ユニットで挟持された該シートに貼着された被加工物に対向して配置され、被加工物を撮像する赤外線カメラを有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求書２に記載のエキスパンド装置。

【請求項4】

被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド方法であって、
シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ステップと、
該冷却ユニットで冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ステップと、
検出された被加工物の温度分布が異常か否かを判定する判定ステップと、
判定ステップにおいて温度分布が正常と判定された場合に、該シートを拡張するエキスパンドステップと、
を備えたエキスパンド方法。

【請求項5】

該判定ステップで該被加工物の温度分布が異常と判定された場合に、
警報発信ユニットから警報を発信する警報発信ステップと、
を備えたことを特徴とする請求項４に記載のエキスパンド方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド装置及び方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、例えば特許文献１に開示されるエキスパンド装置のように、被加工物（ウェーハ）の裏面にＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈ Ｆｉｌｍ）を貼着するとともに、ＤＡＦを介してシートに貼着された被加工物に分割起点を形成し、シートを拡張することで被加工物をＤＡＦごと分割し、裏面にＤＡＦが貼着された複数のチップを形成することが知られている。

【0003】

ＤＡＦは延性を有し、常温では破断され難いため、シートを拡張する際にはＤＡＦが冷却される。また、金属膜が積層されたウェーハを被加工物としてエキスパンド装置にて分割する場合においても、金属膜が延性を有するため、同様に金属膜が冷却される。

【0004】

このようなＤＡＦや被加工物の金属膜の冷却には、例えば、特許文献１に開示されるような冷却テーブルが使用され、シートに冷却テーブルを当接させることでシートを介してＤＡＦや被加工物の金属膜の冷却が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－１８６４３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、特許文献１に開示されるようなエキスパンド装置の冷却テーブルの構成を使用する場合において、エキスパンドの際に被加工物の屑等の異物が発生することがある。そしてこの異物が冷却テーブル上に付着すると、異物を挟み込んだ状態で冷却テーブルがシートに当接し、異物を挟み込んだ領域では充分にＤＡＦや被加工物の金属膜を冷却できないことになる。

【0007】

そして、冷却不足の領域では被加工物が分割され難くなり、未分割の領域が生じるおそれがある。未分割の領域が一度形成されてしまうと、さらに追加的にシートを拡張しても既に分割されている領域のシートが拡張されるばかりとなり、未分割の領域は分割され難いままとなってしまう。

【0008】

本発明の目的は、冷却不足の領域の有無を検出することで、被加工物の分割不良の発生を防止するための新規な技術を提案するものである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0010】

本発明の一態様によれば、被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド装置であって、該シートを拡張する拡張機構と、該シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ユニットと、該拡張機構で該シートを拡張する前に該冷却ユニットで冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ユニットと、を備えたエキスパンド装置とする。

【0011】

また、本発明の一態様によれば、警報を発信する警報発信ユニットと、少なくとも該拡張機構と該警報発信ユニットとを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該温度分布検出ユニットで検出された被加工物の温度分布が異常か否かを判定する判定部を有し、該判定部で被加工物の温度分布が異常と判定された場合に該警報発信ユニットから警報を発信させる、エキスパンド装置とする。

【0012】

また、本発明の一態様によれば、該拡張機構は、被加工物の外側で該シートを挟持する複数のシート挟持ユニットと、複数の該シート挟持ユニットを互いに離反する方向に移動させる拡張移動ユニットと、を有し該冷却ユニットは、該シート挟持ユニットで挟持された該シートに当接する当接面を有し該シートを冷却する冷却テーブルを備え、該温度分布検出ユニットは、該シート挟持ユニットで挟持された該シートに貼着された被加工物に対向して配置され、被加工物を撮像する赤外線カメラを有する、こととする。

【0013】

また、本発明の一態様によれば、被加工物が貼着されたシートを拡張するエキスパンド方法であって、シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ステップと、該冷却ユニットで冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ステップと、検出された被加工物の温度分布が異常か否かを判定する判定ステップと、判定ステップにおいて温度分布が正常と判定された場合に、該シートを拡張するエキスパンドステップと、を備えたエキスパンド方法とする。

【0014】

また、本発明の一態様によれば、該判定ステップで該被加工物の温度分布が異常と判定された場合に、警報発信ユニットから警報を発信する警報発信ステップと、を備えることとする。

【発明の効果】

【0015】

本発明は、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明の一態様によれば、シートをエキスパンドする前に冷却不良を判定することで、冷却不良のままシートを拡張して被加工物の分割不良が発生してしまうことを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】接着フィルムを介してウェーハがシートに貼着されることついて示す斜視図。

【図2】エキスパンド装置の構成例を示す斜視図。

【図3】冷却ユニットの構成を示す斜視図。

【図4】エキスパンド方法の流れを示すフローチャート。

【図5】（Ａ）は挟持ステップについて説明する図。（Ｂ）は冷却ステップについて説明する図。（Ｃ）はエキスパンドステップについて説明する図。

【図6】（Ａ）は正常判定される場合のサーモグラフィの例を示す図。（Ｂ）は異常判定される場合のサーモグラフィの例を示す図。（Ｃ）は全体的に冷却不足が生じた場合のサーモグラフィの例を示す図。

【図7】（Ａ）はフレーム貼着ステップについて説明する図。（Ｂ）はシートをカットする様子について説明する図。（Ｃ）はシートに貼着されたウェーハの搬出について説明する図。

【図8】エキスパンド装置の他の例を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、加工対象となる被加工物１の例を示すものであり、被加工物１は、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成された半導体ウェーハでもよいし、サファイア系の無機材料基板にＬＥＤ等の光デバイスが形成された光デバイスウェーハでもよい。この他、セラミック、ガラス等の基板でもよい。

【0018】

図１に示すように、被加工物１の表面１ａには、互いに交差する複数の分割予定ライン５が設定され、各分割予定ライン５で区画された各領域にそれぞれデバイス２が形成される。

【0019】

被加工物１には、分割予定ライン５に沿って分割起点が形成されている。この分割起点は、レーザー加工により被加工物１内に形成された改質層や、切削ブレードによるハーフカット加工により被加工物１の表面１ａから所定の深さまで形成された切削溝などである。

【0020】

或いは、被加工物１は、分割予定ライン５に沿ってチップに分割されたものであってもよい。例えば、レーザーアブレーション加工により分割溝が形成されていることや、切削ブレードによるフルカット加工により分割溝が形成されていることや、ＤＢＧ（Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）加工やＳＤＢＧ（Ｓｔｅａｌｔｈ Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）加工により分割がされたものであってもよい。

【0021】

被加工物１の裏面１ｂには、接着フィルム４としてＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈ Ｆｉｌｍ）が貼着される。接着フィルム４は、被加工物１から個々に分割されたチップを基板などに固定するためのものである。接着フィルム４は、被加工物１よりも大径の円形状に形成され、被加工物１の裏面１ｂが接着フィルム４側に貼着される。接着フィルム４（ＤＡＦ）は、例えば、銀粒子やＡｇナノ粒子などの金属粒子を含む樹脂シート（エポキシ樹脂等）でもよく、導電性を有するものでもよい。また、接着フィルム４はデバイス（チップ）と一体となって個片化されることが予定される。

【0022】

被加工物１は、接着フィルム４を介してシート１１（エキスパンドシート）に貼着される。なお、図１では、シート１１の表面に予め接着フィルムが配置され、この接着フィルム上に被加工物１が貼着されるものとしている。この他、液状の接着フィルム剤を被加工物１やシート１１に塗布して接着フィルム層を構成してもよい。

【0023】

被加工物１の裏面１ｂには金属膜が形成される場合がある。この場合、被加工物１の裏面１ｂに接着フィルム４が貼着されずに、被加工物１がシート１１に直接貼着される場合もあり、この場合には、被加工物１の裏面１ｂの金属膜がシート１１に直接接触される。

【0024】

シート１１は、伸縮性を有するものであり、例えばポリオレフィンや塩化ビニル等の合成樹脂で構成された基材層と、基材層に積層されかつ被加工物１の裏面１ｂ（接着フィルム４）及び環状フレーム１０に貼着する粘着層とを備える。シート１１は、平面形状が矩形状でかつ環状フレーム１０よりも大きい形状に形成される。環状フレーム１０の開口１０ａの平面形状は、被加工物１及び接着フィルム４よりも大径の円形にて構成される。なお、環状フレーム１０は、シート１１を拡張した状態でシート１１に貼着されるものであり、環状フレーム１０によって分割されたチップ同士の間隔が維持される。

【0025】

図２にエキスパンド装置２０の一例を示す図である。
エキスパンド装置２０では、被加工物１が貼着されたシート１１（図１）が第１方向Ｄ１と、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２と、に拡張され、ウェーハが個々のチップに分割される。本実施例のエキスパンド装置２０は、被加工物１よりも径の大きい接着フィルム４を介して被加工物１が貼着されたシート１１を拡張し、接着フィルム４を被加工物１の分割予定ラインに沿って破断するものである。

【0026】

図２に示すように、エキスパンド装置２０は、主に、平板状の固定基台２３と、固定基台２３の中央に設けられた冷却加熱手段である冷却ユニット３０と、拡張機構５０（５０Ａ～５０Ｄ）と、温度分布検出ユニット６０と、コントローラ１００と、を備えて構成される。

【0027】

図２に示すように、拡張機構５０は、ウェーハが貼着されたシートの４辺を挟持して拡張するものである。拡張機構５０は、冷却ユニット３０の周囲に水平面内において９０度間隔で配置される４つの挟持移動ユニット５０Ａ～５０Ｄを有して構成される。第１挟持移動ユニット５０Ａと第２挟持移動ユニット５０Ｂは、第１方向Ｄ１に沿って互いに対向し、第３挟持移動ユニット５０Ｃと第４挟持移動ユニット５０Ｄは、第２方向Ｄ２に沿って互いに対向する。

【0028】

各挟持移動ユニット５０Ａ～５０Ｄは同一に構成される。
第１挟持移動ユニット５０Ａを用いて説明すると、第１挟持移動ユニット５０Ａは、固定基台２３上に設けられた柱状の移動基台５２と、移動基台５２に鉛直方向に移動自在に設けられたシート挟持ユニット５３（５３Ｕ，５３Ｄ）と、シート挟持ユニット５３の上側シート挟持ユニット５３Ｕと下側シート挟持ユニット５３Ｄを互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動させる上下移動ユニット５４と、を備える。上側シート挟持ユニット５３Ｕと、下側シート挟持ユニット５３Ｄは、互いに鉛直方向に間隔をあけて配置され、上下移動ユニット５４により互いに近づけられて間にシート挟んで保持する。上下移動ユニット５４は、移動基台５２に設けられる。

【0029】

上下移動ユニット５４は、一対のシート挟持ユニット５３を鉛直方向に移動自在とするモータ５５と、モータ５５により軸心回りに回転されるボールねじ５６と、ボールねじ５６に螺合しかつシート挟持ユニット５３に対してアーム部材５７と連結されるナット５８と、を備える。上下移動ユニット５４は、モータ５５がボールねじ５６を軸心回りに回転させることで、ナット５８、アーム部材５７、及び、シート挟持ユニット５３を鉛直方向に移動させる。

【0030】

また、上下移動ユニット５４は、モータ５５によりボールねじ５６を軸心回りに回転することで、シート挟持ユニット５３を鉛直方向に同方向に移動させることもできる。これにより、シートを挟んだ状態のシート挟持ユニット５３を上下移動ユニット５４で上昇させることにより、冷却ユニット３０に対しシートを鉛直方向に相対移動させることができる。なお、冷却ユニット３０の円板状の冷却テーブル３１を昇降させることで、シート挟持ユニット５３に対しシートを鉛直方向に相対移動させる構成としてもよい。

【0031】

シート挟持ユニット５３は、上下に対向する上側シート挟持ユニット５３Ｕと、下側シート挟持ユニット５３Ｄを有しており、各シート挟持ユニット５３Ｕ，５３Ｄは、上下方向に対向し、その間にシートを挟持するための複数のローラー５３ａを有して構成される。ローラー５３ａはシートが伸びる方向と直行する方向に自由回転するように構成され、シートを挟持しつつ、シートをエキスパンドすることができるようになっている。

【0032】

第１挟持移動ユニット５０Ａの移動基台５２は、拡張移動ユニット５９により固定基台２３に対し第１方向Ｄ１に移動自在に設けられている。拡張移動ユニット５９は、モータ５９ａと、モータ５９ａにより回転されるボールねじ５９ｂと、を有し、モータ５９ａにてボールねじ５９ｂを回転駆動することで、移動基台５２が第１方向Ｄ１に移動される。

【0033】

以上の構成により、第１、第２挟持移動ユニット５０Ａ，５０Ｂが第１方向Ｄ１に互いに離間する方向に移動され、第３、第４挟持移動ユニット５０Ｃ，５０Ｄが第２方向Ｄ２に互いに離間する方向に移動され、各挟持ユニットにより挟持されたシートが拡張される。

【0034】

シートを拡張する前に、図２、及び、図３に示される冷却ユニット３０によってシートの冷却が行われる。冷却ユニット３０は、円板状の冷却テーブル３１と、冷却テーブル３１の冷却、加熱を行う図示せぬペルチェ素子機構と、を有して構成される。なお、冷却テーブル３１の形状は円板状に限定されず、例えば、矩形状でもよい。

【0035】

図３に示すように、冷却ユニット３０の冷却テーブル３１の上面３４は、水平方向に沿って平坦に形成され、冷却テーブル３１の上面３４をシート１１の裏面に接触させることで、テープを介して接着フィルム４や被加工物１を冷却する。冷却テーブル３１は、昇降機構３２によって上下方向に移動する。

【0036】

図２に示すように、冷却ユニット３０の冷却テーブル３１の上方には、温度分布検出ユニット６０が配設される。温度分布検出ユニット６０は、各シート挟持ユニット５３で挟持されたシートに貼着された被加工物に対向して配置され、被加工物を撮像する赤外線カメラを有して構成される。温度分布検出ユニット６０は、赤外線サーモグラフィカメラにて構成され、冷却ユニット３０で冷却された被加工物の温度分布を検出することができる。

【0037】

図２に示すように、エキスパンド装置２０には、冷却ユニット３０で冷却された被加工物の温度分布に異常がある場合に、警報を発信する警報発信ユニットとして機能する表示モニタ７１、スピーカー７２が設けられる。

【0038】

図２に示すように、コントローラ１００は、冷却ユニット３０、拡張機構５０（挟持移動ユニット５０Ａ～５０Ｄ）、温度分布検出ユニット６０を制御し、シートを拡張する前に被加工物の温度分布を検出し、検出した温度分布に基づいてシートの拡張を行う。

【0039】

図２に示すように、コントローラ１００は、各ユニットを制御するための制御部１０２と、被加工物の温度分布の異常判定を行う判定部１０４と、を有する。

【0040】

次に、以上の装置構成を用いたシートのエキスパンド方法の例について説明する。
図４は、エキスパンド方法の各ステップについて示すフローチャートである。

【0041】

＜挟持ステップ＞
図５（Ａ）に示すように、被加工物１の外側の位置でシート１１を複数のシート挟持ユニット５３で挟持するステップである。図５（Ａ）では第１方向Ｄ１に対向するシート挟持ユニット５３，５３を示すが、第２方向Ｄ２（図２）において対向するシート挟持ユニット５３，５３においても同様に挟持される。

【0042】

被加工物１には、分割予定ラインに沿って分割起点が形成されている、或いは、分割予定ラインに沿ってチップに分割されている。被加工物１は、接着フィルム４を介してシート１１に貼着された状態となっている。

【0043】

シート１１において、接着フィルム４とシート挟持ユニット５３の間のフレーム被貼着領域１５には、後に環状フレーム１０（図７（Ｃ））が貼着されることが予定される。

【0044】

＜冷却ステップ＞
図５（Ｂ）に示すように、シート１１に貼着された被加工物１を冷却するステップである。具体的には、冷却ユニット３０の冷却テーブル３１をシート１１の裏面側に当着させ、シート１１を介して接着フィルム４や被加工物１を冷却する。この冷却により、接着フィルム４の破断性や、被加工物１に形成される金属膜の破断性が向上する。

【0045】

なお、冷却ユニット３０の冷却テーブル３１は、シート１１の裏面側に当着させなくてもよく、また、冷却ユニット３０とは異なる別の冷却機構によって接着フィルム４や被加工物１を冷却することとしてもよい。例えば、冷却チャンバー内にエキスパンド装置を収容し、冷却チャンバー内の雰囲気温度を低下させることで接着フィルム４や被加工物１を冷却することとしてもよい。

【0046】

＜温度分布検出ステップ＞
図５（Ｂ）に示すように、冷却ユニット３０で冷却された被加工物１の温度分布を検出するステップである。具体的には、温度分布検出ユニット６０により被加工物１の上面を撮像し、赤外線サーモグラフィによって被加工物１の温度分布を検出する。

【0047】

図６（Ａ）は、サーモグラフィ６４の表示の例であり、この例では、被加工物１の全体が同一の色で表示され、均一な温度に冷却されていることが検出された様子を示している。一方で、図６（Ｂ）のサーモグラフィ６４では、被加工物１の全体において色が均一ではなく、他の領域と比較して温度が高い冷却不足領域１Ｘが検出された様子を示している。

【0048】

図６（Ａ）（Ｂ）のサーモグラフィ６４は、図２に示す表示モニタ７１に表示され、作業者は被加工物１の冷却の状態を確認することができ、また、冷却な不十分な箇所を特定することができる。なお、冷却不足は、例えば、図５（Ｂ）において、冷却テーブル３１とシート１１の間に異物を挟み込んだ場合などに発生することになる。

【0049】

＜判定ステップ＞
検出された被加工物の温度分布が異常か否かを判定するステップである。
コントローラ１００の判定部１０４（図２）は、例えば、図６（Ｂ）のサーモグラフ表示６４に示すように、被加工物１の温度分布において、色が均一でない場合、即ち、一部の領域の温度が高い場合には、当該領域において冷却不足が生じ冷却不足領域１Ｘが存在するものとして異常判定を行う。

【0050】

一方で、図６（Ａ）のサーモグラフ表示６４に示すように、被加工物１の温度分布において、色が均一である場合には、冷却が適切に行われているものとして、コントローラ１００の判定部１０４（図２）は正常判定を行う。

【0051】

なお、図６（Ｂ）の例のように、一部の冷却不足領域１Ｘの温度が高い場合に異常判定をすることに加え、図６（Ｃ）の例のように、温度が均一であったとしても全体的に温度が高く、全体として冷却不足が生じている場合に異常判定をすることとしてもよい。即ち、例えば、規定温度Ｔ１を設定し、規定温度Ｔ１よりも温度が高い場合には異常判定をするなどである。

【0052】

＜警報発信ステップ＞
判定部１０４（図２）で被加工物の温度分布が異常と判定された場合に、警報発信ユニットから警報を発信させるステップである。

【0053】

具体的には、コントローラ１００は、図２に示す表示モニタ７１に被加工物の冷却状態が異常であることの表示をさせたり、スピーカー７２から警報音を発生させる。

【0054】

作業者は、この警報に基づいて、エキスパンド装置の稼働を停止し、冷却テーブル３１とシート１１の間の異物の存在の確認や、冷却テーブル３１のクリーニングなど、必要な対応を取ることが可能となる。

【0055】

＜エキスパンドステップ＞
図５（Ｃ）に示すように、判定ステップにおいて温度分布が正常と判定された場合に、シートを拡張するステップである。

【0056】

具体的には、図５（Ｃ）に示すように、シート挟持ユニット５３，５３を互いに離反する方向に移動させることでシート１１を拡張し、接着フィルム４を分割予定ラインに沿って破断させる。この際、接着フィルム４や被加工物は均一に冷却され、冷却にばらつきが存在していないので、分割予定ラインに沿った破断が良好に行われ、破断不良の発生が抑えられる。

【0057】

図５（Ｃ）に示すように、被加工物１に分割起点が形成されている場合には、被加工物１も同時に分割されてチップＣに個片化され、被加工物１が既に分割されている場合には、各チップＣの間に間隔が形成される。

【0058】

＜フレーム貼着ステップ＞
図７（Ａ）に示すように、エキスパンドステップを実施した後、環状フレーム１０をフレーム被貼着領域１５に貼着するステップである。

【0059】

具体的には、フレーム搬送ユニット６５により環状フレーム１０を搬送し、環状フレーム１０の開口１０ａで被加工物１を取り囲むようにして、環状フレーム１０をフレーム被貼着領域１５に貼着する。

【0060】

次いで、図７（Ａ）に示すように、シート１１の裏側からフレーム貼着用ローラー３６を押し当てて、環状フレーム１０とシート１１をより強固に接着させる。フレーム貼着用ローラー３６は、例えば、図３に示す冷却ユニット３０の冷却テーブル３１の側方に位置するように回転テーブル３７に設けられ、回転テーブル３７が３６０度回転されることで、シート１１を裏側から上方に押し上げる。

【0061】

次いで、図７（Ｂ）に示すように、シート１１の裏側からシートカッター３８を当接させ、環状フレーム１０がシート１１に貼着される箇所において、環状フレーム１０の幅方向の略中央となる位置においてシート１１を円周方向にカットする。シートカッター３８は、例えば、円板状のカッターで構成され、図３に示す冷却ユニット３０の冷却テーブル３１の側方に位置するように回転テーブル３７に設けられ、回転テーブル３７が３６０度回転されることで、シート１１を周方向にカットする。

【0062】

次いで、図７（Ｃ）に示すように、フレーム搬送ユニット６５を上昇させ、シート１１と一体となった被加工物１を搬出する。

【0063】

以上のようにして、シート１１をエキスパンドする前に冷却不良を判定することで、冷却不良のままシート１１を拡張して被加工物１の分割不良が発生してしまうことを防止できる。

【0064】

なお、本発明は、図８に示されるエキスパンド装置８０の構成においても実施することができる。図８に示す構成では、拡張ドラム８１と、下側プレート８２と、昇降機構８３と、上側挟持プレート８４と、を有してシート１１を拡張する拡張機構と、該シートに貼着された被加工物を冷却する冷却ユニット８５と、該拡張機構で該シートを拡張する前に該冷却ユニットで冷却された被加工物の温度分布を検出する温度分布検出ユニット８６と、を備えたエキスパンド装置８０としている。

【0065】

下側プレート８２は、四箇所に設けられた昇降機構８３によって昇降し、下側プレート８２の中央の開口８２ａに収められた拡張ドラム８１が下側プレート８２と相対的に上下動する。

【0066】

上側プレート８４は、下側プレート８２との間でシート１１を挟持するものである。上側プレート８４には接着フィルム４や被加工物１よりも直径の広い開口８４ａが形成され、開口８４ａを通じて冷却ユニット８５の冷却プレート８５ａが被加工物１に対向させることができる。冷却プレート８５ａからは冷気が放出されて被加工物１や接着フィルム４を冷気によって冷却する。なお、冷却ユニット８５により冷却する構成とする他、例えば、冷却チャンバー内に拡張ドラム８１と、下側プレート８２と、昇降機構８３と、上側挟持プレート８４と、を収容し、冷却チャンバー内の雰囲気温度を低下させることで接着フィルム４や被加工物１を冷却することとしてもよい。

【0067】

拡張ドラム８１には、下側からシート１１を介して被加工物１に対向する温度分布検出ユニット８６が設けられる。

【0068】

以上の構成において、上側プレート８４と下側プレート８２との間でシート１１を挟持するとともに、冷却ユニット８５にて被加工物１と接着フィルム４を冷却する。そして、温度分布検出ユニット８６により温度分布が異常であるか否かを判定する。

【0069】

異常と判定された場合には、冷却ユニット８５の不良発生などの確認を適宜実施する。このように、シート１１をエキスパンドする前に冷却不良を判定することで、冷却不良のままシート１１を拡張して被加工物１の分割不良が発生してしまうことを防止できる。

【0070】

正常と判定された場合には、下側プレート８２と上側プレート８４を一体として下降させ、拡張ドラム８３を相対的に上昇させることでシート１１がエキスパンドされ、被加工物１が分割される。

【符号の説明】

【0071】

１ 被加工物
１Ｘ 冷却不足領域
１ａ 表面
１ｂ 裏面
２ デバイス
４ 接着フィルム
５ 分割予定ライン
１０ 環状フレーム
１１ シート
２０ エキスパンド装置
３０ 冷却ユニット
３１ 冷却テーブル
５０ 拡張機構
５０Ａ 挟持移動ユニット
５０Ｂ 挟持移動ユニット
５０Ｃ 挟持移動ユニット
５０Ｄ 挟持移動ユニット
５２ 移動基台
５３ シート挟持ユニット
５３Ｕ 上側シート挟持ユニット
５３Ｄ 下側シート挟持ユニット
５４ 上下移動ユニット
５９ 拡張移動ユニット
６０ 温度分布検出ユニット
６４ サーモグラフィ
６５ フレーム搬送ユニット
７１ 表示モニタ
７２ スピーカー
１００ コントローラ
１０２ 制御部
１０４ 判定部
Ｃ チップ
Ｔ１ 規定温度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】