特開 2023-171051 検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023171051

(43)【公開日】2023-12-01

(54)【発明の名称】検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20231124BHJP

   G02B 5/30 20060101ALI20231124BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20231124BHJP

【ＦＩ】

G01M11/00 T

G02B5/30

G01N21/892 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022083260

(22)【出願日】2022-05-20

(71)【出願人】

【識別番号】000002093

【氏名又は名称】住友化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128381

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 義憲

(74)【代理人】

【識別番号】100124062

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 敬史

(74)【代理人】

【識別番号】100167597

【弁理士】

【氏名又は名称】福山 尚志

(72)【発明者】

【氏名】小林 信次

【テーマコード（参考）】

2G051

2G086

2H149

【Ｆターム（参考）】

2G051AA41

2G051AB02

2G051BA11

2G051CA04

2G051CB02

2G086EE09

2H149AB26

2H149BA02

2H149DA04

2H149DA12

2H149EA03

2H149EA19

2H149FA24Y

2H149FB08

2H149FD05

2H149FD09

(57)【要約】

【課題】位相差層の欠陥の有無を判断する検査方法であって、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる検査方法を提供する。
【解決手段】第１の偏光板３Ａと、第１のλ／４位相差層９Ａと、を備えるフィルム状の被検査物１０に検査光を入射して第１のλ／４位相差層９Ａの欠陥の有無を判断する検査方法である。被検査物１０、及び、第２の偏光板３Ｂと第２のλ／４位相差層９Ｂとを備える位相差フィルタ４を、互いの遅相軸のなす角度が０°±３０°となるように配置する。ここで、第１のλ／４位相差層９Ａと第２のλ／４位相差層９Ｂの面内位相差値とを異ならせる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の偏光板と、第１のλ／４位相差層と、を備えるフィルム状の被検査物に検査光を入射して前記第１のλ／４位相差層の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
前記被検査物、及び、第２の偏光板と第２のλ／４位相差層とを備える位相差フィルタを、前記被検査物の第１のλ／４位相差層側が前記位相差フィルタ側を向くように、かつ、前記位相差フィルタの第２のλ／４位相差層側が前記被検査物側を向くように、かつ、前記第１のλ／４位相差層の遅相軸と前記第２のλ／４位相差層の遅相軸とのなす角度が前記検査光の光路方向から見た場合に０°±３０°となるように配置し、
波長５５０ｎｍの光で測定した前記第１のλ／４位相差層の面内位相差値と、波長５５０ｎｍの光で測定した前記第２のλ／４位相差層の面内位相差値とは互いに異なっており、
前記被検査物の前記第１の偏光板側又は前記位相差フィルタの前記第２の偏光板側のいずれか一方側から、前記光路が前記被検査物上の所定の検査領域を通過するように前記検査光を入射し、その他方側から前記第２の偏光板又は前記第１の偏光板を観察する、検査方法。

【請求項2】

波長５５０ｎｍの光で測定した前記第２のλ／４位相差層の面内位相差値は、波長５５０ｎｍの光で測定した前記第１のλ／４位相差層の面内位相差値とは±２０ｎｍの範囲内で異なっている、請求項１記載の検査方法。

【請求項3】

前記被検査物のうち欠陥がない部分と前記位相差フィルタとを合わせた前記検査光の透過率が、０．１％～５％となるように、波長５５０ｎｍの光で測定した前記第２のλ／４位相差層の面内位相差値を選択する、請求項１又は２記載の検査方法。

【請求項4】

前記第１のλ／４位相差層は、重合性液晶化合物の硬化物からなる、請求項１又は２記載の検査方法。

【請求項5】

前記検査光は、単波長ではない可視光である、請求項１又は２記載の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

位相差層は、直線偏光を円偏光に変換したり、逆に円偏光を直線偏光に変換したりできることから、この位相差層と直線偏光板とを組み合わせた円偏光板が、有機ＥＬ表示装置や反射型液晶表示装置に適用されている。位相差層の中でも重合性液晶化合物を配向及び硬化させることで得られる位相差層は極めて薄膜のものとなることから、薄型の表示装置を製造するうえで注目されてきている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

製造した円偏光板は、製品として出荷する前にその欠陥の有無を検査できることも重要である。一般に光学フィルムの検査方法としては、被検査物とした光学フィルムに対して検査光を照射し、その透過光量の差により欠陥を見出すことが行われる（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００６－５８５４６号公報

【特許文献2】特開２０２１－１３９９９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献２の検査方法では、被検査物である円偏光板の位相差値が理想からずれているとき（これを「位相差ずれ」と呼ぶ。）、その欠陥を色付きの光（例えば赤や青）として検出できる。しかしながら、偏光子の吸収軸に対する位相差層の遅相軸の設計軸角度からのずれ（これを「軸ずれ」と呼ぶ。）による欠陥は、色が付かず輝度のわずかな変化があるのみであるので、検出しにくい。

【0006】

そこで本発明は、位相差層の欠陥の有無を判断する検査方法であって、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、第１の偏光板と、第１のλ／４位相差層と、を備えるフィルム状の被検査物に検査光を入射して第１のλ／４位相差層の欠陥の有無を判断する検査方法であって、被検査物、及び、第２の偏光板と第２のλ／４位相差層とを備える位相差フィルタを、被検査物の第１のλ／４位相差層側が位相差フィルタ側を向くように、かつ、位相差フィルタの第２のλ／４位相差層側が被検査物側を向くように、かつ、第１のλ／４位相差層の遅相軸と第２のλ／４位相差層の遅相軸とのなす角度が検査光の光路方向から見た場合に０°±３０°となるように配置し、波長５５０ｎｍの光で測定した第１のλ／４位相差層の面内位相差値と、波長５５０ｎｍの光で測定した第２のλ／４位相差層の面内位相差値とは互いに異なっており、被検査物の第１の偏光板側又は位相差フィルタの第２の偏光板側のいずれか一方側から、光路が被検査物上の所定の検査領域を通過するように検査光を入射し、その他方側から第２の偏光板又は第１の偏光板を観察する、検査方法を提供する。

【0008】

本発明によれば、被検査物が備える位相差層の欠陥として、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる。

【0009】

本発明は、以下に掲げる特徴点を一つ又は複数備えていてもよい。

【0010】

本発明では、波長５５０ｎｍの光で測定した第２のλ／４位相差層の面内位相差値は、波長５５０ｎｍの光で測定した第１のλ／４位相差層の面内位相差値とは±２０ｎｍの範囲内で異なるようにすることができる。これを満たすことで、軸ずれに基づく欠陥を一層容易に検出することができる。

【0011】

本発明は、被検査物のうち欠陥がない部分と位相差フィルタとを合わせた検査光の透過率が、０．１％～５％となるように、波長５５０ｎｍの光で測定した第２のλ／４位相差層の面内位相差値を選択してもよい。検査光の透過率がこの範囲内であると、観察視野の明るさが検査に特に適したものとなり、欠陥を欠陥であると正しく認識でき、かつ、欠陥でないものを欠陥であると誤認識しない精度が高まる。

【0012】

第１のλ／４位相差層は、重合性液晶化合物の硬化物からなっていてもよい。この位相差層が延伸フィルムである場合には、延伸具合による全体的な軸ずれの発生が予想しやすいが、この位相差層が重合性液晶化合物の硬化物からなる場合は、液晶分子の配向が部分的に乱れ得るので、これに起因した軸ずれに基づく欠陥が局所的に発生し得る。本発明によれば、局所的に発生した軸ずれ欠陥も容易に検出することができる。

【0013】

本発明において、検査光は単波長ではない可視光であってもよい。単波長の光を用いる検査方法では相応のバンドパスフィルタで不要な波長の光を除く必要があるので光量が低くなり、このため光源の光量を高くする必要がある。これに対して例えば白色光のように様々な波長の光を含む光を用いることができると、検査に十分な光を被検査物に入射することができるので、光源の光量を高くする必要がない。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、位相差層の欠陥の有無を判断する検査方法であって、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態の検査方法での各部材の配置を示す図である。

【図2】（Ａ）は、被検査物が備える第１のλ／４位相差層の遅相軸と、位相差フィルタが備える第２のλ／４位相差層の遅相軸との関係を示す図である。（Ｂ）は、（Ａ）を光路側から見た図である。

【図3】他の実施形態の検査方法での各部材の配置を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

【0017】

＜用語および記号の定義＞
本明細書における用語および記号の定義は下記のとおりである。
（１）屈折率（ｎｘ、ｎｙ、ｎｚ）
「ｎｘ」は面内の屈折率が最大となる方向（すなわち、遅相軸方向）の屈折率であり、「ｎｙ」は面内で遅相軸と直交する方向、「ｎｚ」は厚さ方向の屈折率である。
（２）面内位相差値
面内位相差値（Ｒｅ（λ））は、２３℃、波長λ（ｎｍ）におけるフィルムの面内の位相差値をいう。Ｒｅ（λ）は、フィルムの厚さをｄ（ｎｍ）としたとき、Ｒｅ（λ）＝（ｎｘ－ｎｙ）×ｄによって求められる。
（３）厚さ方向の位相差値
厚さ方向の位相差値（Ｒｔｈ（λ））は、２３℃、波長λ（ｎｍ）におけるフィルムの厚さ方向の位相差値をいう。Ｒｔｈ（λ）は、フィルムの厚さをｄ（ｎｍ）としたとき、Ｒｔｈ（λ）＝（（ｎｘ＋ｎｙ）／２－ｎｚ）×ｄによって求められる。

【0018】

＜検査装置と被検査物＞
本実施形態の検査方法は、検査対象である被検査物が備える位相差層の欠陥の有無を検査する方法であり、所定の検査装置を用いて行う。図１に示されているとおり、検査装置１Ａは、光源２、位相差フィルタ４、及び、カメラ６がこの順に配置されてなるものである。検査装置１Ａは、光源２と位相差フィルタ４との間に、検査対象である被検査物１０を配置する場所が用意されており、図１では、被検査物１０をそこに配置した様子を描いている。

【0019】

［被検査物］
はじめに、検査対象である被検査物１０について説明する。被検査物１０はフィルム状の円偏光板であり、第１の偏光板３Ａと、検査対象の本体である第１のλ／４位相差層９Ａとが積層されて成るものである。

【0020】

・第１のλ／４位相差層
第１のλ／４位相差層９Ａは重合性液晶化合物の硬化物からなっていてもよい。以下では、第１のλ／４位相差層９Ａが重合性液晶化合物の硬化物からなっている場合を例にする。

【0021】

第１のλ／４位相差層９Ａを形成し得る重合性液晶化合物は、例えば、特開２００９－１７３８９３号公報、特開２０１０－３１２２３号公報、ＷＯ２０１２／１４７９０４号公報、ＷＯ２０１４／１０３２５号公報及びＷＯ２０１７－４３４３８号公報に開示されたものを挙げることができる。これらの公報に記載されている重合性液晶化合物は、広い波長域において一様の偏光変換が可能な位相差層を形成可能である。また、いわゆる逆波長分散性を有する位相差層を形成可能である。

【0022】

第１のλ／４位相差層９Ａの形成方法としては、それぞれの原料である重合性液晶化合物を含む溶液（重合性液晶化合物溶液；液状組成物）をそれぞれの基材フィルム上に塗布（塗工）して塗工膜をつくり、これを光重合させることで、極めて薄いものを形成することができる。かかる基材フィルムには、重合性液晶化合物を配向させるために配向膜が設けられていてもよい。配向膜は偏光照射により光配向させるものや、ラビング処理により機械的に配向させたもののいずれでもよい。なお、かかる配向膜の具体例としては、上記公報に記載されているものを用いることができる。

【0023】

このようにしてそれぞれ形成した第１のλ／４位相差層９Ａは、例えば、第１のλ／４位相差層９Ａを形成した基材フィルムを第１の偏光板３Ａに対して基材フィルムごと接着層を介して貼合し、その後、基材フィルムを剥がすことで第１の偏光板３Ａ上に転写することができる。このようにして被検査物である円偏光板を作製することができる。

【0024】

重合性液晶化合物の硬化物からなる第１のλ／４位相差層９Ａは通常、厚さが０．２μｍ～１０μｍ程度と薄く、異物等を含む場合にその部分で位相差値が低下しやすい。

【0025】

例えば、両層の形成に際し、重合性液晶化合物溶液を塗布する基材フィルムに異物等が存在していたり、基材フィルム又は第１の偏光板３Ａ自体に傷等があったりする場合に、重合性液晶化合物溶液を塗布して得られる塗布膜自体に欠陥が生じることがある。例えば、基材フィルム上の傷は、塗布膜の厚さムラとして反映され、その部分の位相差値が変動する。

【0026】

また、配向膜をラビング処理した場合には、ラビング布の屑が配向膜上に残り、これが重合性液晶化合物溶液（液晶硬化膜形成用組成物）の塗布膜に欠陥を生じさせることもある。このように、重合性液晶化合物から位相差層を形成する場合、厚さが極めて薄い位相差層を形成可能であるが、上記のような屑や傷等が当該位相差層に光学欠陥を生じる要因となることがある。以上のようにして生じる欠陥が「位相差ずれに基づく欠陥」である。

【0027】

他方、第１のλ／４位相差層９Ａには「軸ずれに基づく欠陥」も生じ得る。第１のλ／４位相差層９Ａの設計値の一つの例として、第１の偏光板３Ａの吸収軸と第１のλ／４位相差層９Ａの遅相軸とは互いに４５°とする。第１のλ／４位相差層において、何らかの原因によりこの角度からずれている部分が「軸ずれに基づく欠陥」である。

【0028】

仮に、第１のλ／４位相差層９Ａが延伸フィルムである場合には、延伸具合による全体的な軸ずれの発生が予想しやすく、対処しやすい。その一方で、これらの位相差層が重合性液晶化合物の硬化物からなる場合は、液晶分子の配向が部分的に乱れ得るので、これに起因した欠陥（軸ずれに基づく欠陥）が局所的に発生し得る。

【0029】

本実施形態の検査方法によれば、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、局所的に発生した軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる。

【0030】

・第１の偏光板
第１の偏光板３Ａは、光源２から入射した光を直線偏光に変換するフィルムであり、偏光フィルムの少なくとも一方の面に保護フィルムが貼合されてなるものである。偏光フィルムとしては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。

【0031】

第１の偏光板３Ａは、直線偏光を出射する透過軸方向と直交する方向に吸収軸を持つ。本実施形態では、便宜的に直線偏光を出射する方向を透過軸方向、遮断する方向を吸収軸方向と定義するが、遮断する方向の偏光が反射される偏光フィルムについて排除しているものではない。

【0032】

保護フィルムは、偏光フィルムを保護するためのものである。保護フィルムとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。保護フィルムの位相差は小さいことが好ましく、例えば、Ｒｅ（５５０）では、１０ｎｍ以下が好ましく、５ｎｍ以下が特に好ましい。

【0033】

なお、被検査物１０は、第１のλ／４位相差層９Ａ上に、さらにポジティブＣプレートを備えていてもよい。ポジティブＣプレートの厚さ方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））は、第１のλ／４位相差層９Ａの厚さ方向の位相差値によって適宜選択すればよい。

【0034】

ここで、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値（Ｒｅ（５５０））及び厚さ方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））の求め方を示しておく。測定対象のフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ－ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２３℃）で測定することができる。

【0035】

［位相差フィルタ］
次に、位相差フィルタ４について説明する。位相差フィルタ４は、第２の偏光板３Ｂと、これに積層された第２のλ／４位相差層９Ｂとを備えるものである。

【0036】

・第２の位相差層
第２のλ／４位相差層９Ｂとしては、波長５５０ｎｍの光で測定した第１のλ／４位相差層９Ａの面内位相差値と、波長５５０ｎｍの光で測定した第２のλ／４位相差層９Ｂの面内位相差値とが互いに異なるものを選択する。

【0037】

より好ましくは、波長５５０ｎｍの光で測定した第２のλ／４位相差層９Ｂの面内位相差値は、波長５５０ｎｍの光で測定した第１のλ／４位相差層９Ａの面内位相差値とは±２０ｎｍの範囲内で異なっていることである。

【0038】

上記において、「±２０ｎｍ」との数値範囲の部分は、「±１０ｎｍ」であってもよく、「±５ｎｍ」であってもよい。また、当該数値範囲内であれば、正負いずれか一方の数値範囲を採用してもよい。例えば「＋５ｎｍ～＋１５ｎｍ」、「－３ｎｍ～－１０ｎｍ」、「－０．１ｎｍ～－２．０ｎｍ」等である。また、当該数値範囲内であれば、正負に跨る数値範囲を採用してもよい。例えば「－１０ｎｍ～＋１２ｎｍ」、「－４ｎｍ～＋８ｎｍ」等である。

【0039】

上記の第２のλ／４位相差層９Ｂの面内位相差値は、被検査物１０のうち欠陥がない部分と位相差フィルタ４とを合わせた検査光の透過度合い（これを「透過率」と呼ぶ。）が、被検査物１０に入射する前の光量の０．１％～５％となるように選択することが好ましい。この透過率の値は、欠陥の有無の判断の基準となる値である。検査では、測定される透過率がこの値よりも大きいか否かで欠陥の有無を判断する。例えば当該透過率を０．３％として検査したときに透過率が０．４５％となる点が存在すれば、それを欠陥であると判断する。また、当該透過率を１％として検査したときに透過率が１．３％となる点が存在すれば、それを欠陥であると判断する。検査光の透過率がこの範囲内であると、観察視野の明るさが本実施形態での検査に特に適したものとなり、欠陥を欠陥であると正しく認識しやすくなり、かつ、欠陥でないものを欠陥であると誤認識することが防止される。

【0040】

選択する透過率の値は、０．１５％～３％であってもよく、０．２％～１％であってもよく、０．２５％～０．６％であってもよい。検査対象である第１のλ／４位相差層９Ａの位相差値に対して第２のλ／４位相差層９Ｂの位相差値をどの程度異ならせればどの程度の透過率となるかは、λ／４位相差層の位相差を様々に仮定した条件に置いて、例えば、ポアンカレ球上の偏光状態を示す点の移動を計算するコンピュータシミュレーションやミューラー行列を用いたコンピュータシミュレーション等を行うことにより推定することができる。市販ソフトとしては、例えば、シンテック株式会社のＬＣＤ Ｍａｓｔｅｒ等を挙げることができる。

【0041】

位相差フィルタ４は、さらにポジティブＣプレートを備えていてもよい。ポジティブＣプレートは、第１のλ／４位相差層９Ａと向かい合う側の面に備えていてもよく、その反対側の面に備えていてもよい。ポジティブＣプレートを用いることで検査領域を拡大することができる。ポジティブＣプレートの厚さ方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））は、検査する第１のλ／４位相差層９Ａの厚さ方向の位相差値によって適宜選択すればよい。

【0042】

・第２の偏光板
第２の偏光板３Ｂの構成や材料については、第１の偏光板３Ａと同様である。また、第２のλ／４位相差層９Ｂの形成方法も、第１のλ／４位相差層９Ａの形成方法と同様である。

【0043】

［光源］
光源２は、種々の市販品を用いることができ、例えば白色光を発する光源を用いることができる。また、光源２が発する光は、完全な白色光ではなく、可視光領域の波長のうちの一部の波長の光を含まない光であってもよい。光源２が発する光は、単波長の可視光であってもよいが、単波長ではない可視光であってもよい。光源２が発する光は無偏光であり、第１の偏光板３Ａを通過し所定方向の偏光となり、更に第１のλ／４位相差層９Ａを通過して円偏光となる。すなわち、無偏光の光が第１の偏光板３Ａ及び第１のλ／４位相差層９Ａを通過することで、円偏光となる。

【0044】

従来の検査方法のように、単波長の光を用いる検査方法では相応のバンドパスフィルタで不要な波長の光を除く必要があるので光量が低くなり、検査感度が低下する原因になっていた。このため光源の光量を高くする必要があったが、本実施形態では例えば白色光のように様々な波長の光を含む光を用いることができるので、光源の光量を高くする必要がない。

【0045】

［カメラ］
本実施形態の検査装置１Ａでは、被検査物１０及び位相差フィルタ４を通過した光を観察するために、光路１２上、且つ、位相差フィルタ４の両側のうち光源２がある側とは反対側の位置に、検出手段としてのカメラ６が配置されている。カメラ６は、例えばＣＣＤカメラであり、この場合ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物１０の検査を行うことができる。なお、検出手段はカメラでなく肉眼であってもよい。

【0046】

＜検査方法＞
以下、検査装置１Ａを用いた円偏光板の検査方法について説明する。図１に示されているとおり、検査装置１Ａの光源２と位相差フィルタ４との間に、被検査物１０を配置する。このとき、被検査物１０は、第１のλ／４位相差層９Ａが位相差フィルタ４側を向くように配置される。このとき、位相差フィルタ４は、第２のλ／４位相差層側９Ｂが被検査物１０側を向くように配置される。また、図２に示されているとおり、被検査物１０が備える第１のλ／４位相差層９Ａの遅相軸ｐと位相差フィルタ４が備える第２のλ／４位相差層９Ｂの遅相軸ｑとのなす角度θが、光路１２の方向から見た場合に０°±３０°となるように配置する。この角度は、０°±２０°とすることが好ましく、０°±１０°とすることがより好ましい。ここで角度θは０°以上９０°以下の値で表現するものとし、９０°を超える角度は、０°以上９０°以下の値で表現するものとする。このような角度で配置することにより、検査光が遮断され、第１のλ／４位相差層９Ａのうち位相差値が所望の値とずれている部分（位相差ずれ）の透過光量が相対的に大きくなり、欠陥として検出しやすい。

【0047】

被検査物１０を配置した後、光源２から、被検査物１０の所定の検査領域に検査光を照射する。上記の角度θを満たすように配置した位相差フィルタ４は、光源２の反対側からカメラ６（又は肉眼）で観察すると、被検査物１０のうち正常部分は、上記で選択した透過率に応じて視野が暗くなっている。ここで、色が異なって見える部分、及び、選択した透過率を上回る量の光を観察する部分を欠陥であると判断する。

【0048】

従来の検査方法では、位相差ずれに基づく欠陥は正常部分とは色が異なって見えるので検出しやすかったが、軸ずれに基づく欠陥は正常部分と色が異ならないので検出しにくかった。本実施形態では、第１のλ／４位相差層９Ａの面内位相差値と第２のλ／４位相差層９Ｂの面内位相差値とが互いに異なり、かつ、検査光の透過率を適正に選択しているので、軸ずれに基づく欠陥を透過光量から容易に認識することができる。

【0049】

なお、被検査物１０と位相差フィルタ４とを位相差に関して平行配置にすれば、位相差フィルタ４の位相差値を被検査物の位相差値と異ならせるように調整していない場合でも位相差ずれ及び軸ずれに基づく欠陥を検出できるといえる。しかしながら、その配置では２ｎｍ以下の位相差ズレを検出するような高精度の検出ができない。本実施形態のように位相差フィルタ４の位相差値を被検査物の位相差値と異ならせるように調整することにより、２ｎｍ以下の位相差ズレが検出できるような高精度な検査が可能となる。

【0050】

以上のことから、本実施形態の検査方法によれば、被検査物が備える位相差層の欠陥として、位相差ずれに基づく欠陥のみならず、軸ずれに基づく欠陥も容易に検出することができる。

【0051】

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、光源２が発した検査光が被検査物１０、位相差フィルタ４の順に入射し、位相差フィルタ４から出射する検査光をカメラ６で捉える態様を示したが、光源２とカメラ６は、位置を逆としてもよい。すなわち、図３に示されているとおり、光源２が発した検査光が位相差フィルタ４、被検査物１０の順に入射し、被検査物１０から出射する検査光をカメラ６で捉える態様（検査装置１Ｂ）としてもよい。

【0052】

また、上記実施形態では被検査物が矩形の枚葉状のものである態様を示したが、被検査物は例えば長尺のものであってもよい。

【産業上の利用可能性】

【0053】

本発明は、位相差層の欠陥の有無を判断する検査に利用することができる。

【符号の説明】

【0054】

１Ａ，１Ｂ…検査装置、２…光源、３Ａ…第１の偏光板、３Ｂ…第２の偏光板、４…位相差フィルタ、６…カメラ、９Ａ…第１のλ／４位相差層、９Ｂ…第２のλ／４位相差層、１０…被検査物、１２…光路、ｐ…第１のλ／４位相差層の遅相軸、ｑ…第２のλ／４位相差層遅相軸、θ…角度。

【図1】

【図2】

【図3】