(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023171408
(43)【公開日】2023-12-01
(54)【発明の名称】受け渡し位置調整方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/66 20060101AFI20231124BHJP
H01L 21/68 20060101ALI20231124BHJP
【ＦＩ】
H01L21/66 B
H01L21/68 F
【審査請求】有
【請求項の数】2
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023156126
(22)【出願日】2023-09-21
(62)【分割の表示】P 2019208631の分割
【原出願日】2019-11-19
(71)【出願人】
【識別番号】000151494
【氏名又は名称】株式会社東京精密
(74)【代理人】
【識別番号】100083116
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲三
(74)【代理人】
【識別番号】100170069
【弁理士】
【氏名又は名称】大原 一樹
(74)【代理人】
【識別番号】100128635
【弁理士】
【氏名又は名称】松村 潔
(74)【代理人】
【識別番号】100140992
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲政
(72)【発明者】
【氏名】田邨 拓郎
(57)【要約】
【課題】 受け渡し位置の調整の精度を確保することが可能な受け渡し位置調整方法を提供する。
【解決手段】 受け渡し位置調整方法は、測定ユニット（１２）とローダ部（１４）とを備えるプローバ（１０）において、測定ユニットに設けられたウエハチャックの姿勢の検出を行うステップと、測定ユニットとローダ部と間で受け渡し位置調整治具の受け渡しを行って、受け渡し位置調整治具の姿勢の検出を行うステップと、ウエハチャックと受け渡し位置調整治具の姿勢を補正するための補正値を算出するステップとを含む。
【選択図】 図１
【解決手段】 受け渡し位置調整方法は、測定ユニット（１２）とローダ部（１４）とを備えるプローバ（１０）において、測定ユニットに設けられたウエハチャックの姿勢の検出を行うステップと、測定ユニットとローダ部と間で受け渡し位置調整治具の受け渡しを行って、受け渡し位置調整治具の姿勢の検出を行うステップと、ウエハチャックと受け渡し位置調整治具の姿勢を補正するための補正値を算出するステップとを含む。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定ユニットとローダ部とを備えるプローバにおいて、前記測定ユニットに設けられたウエハチャックの姿勢の検出を行うステップと、
前記測定ユニットと前記ローダ部と間で受け渡し位置調整治具の受け渡しを行って、前記受け渡し位置調整治具の姿勢の検出を行うステップと、
前記ウエハチャックと前記受け渡し位置調整治具の姿勢を補正するための補正値を算出するステップと、
を含む受け渡し位置調整方法。
前記測定ユニットと前記ローダ部と間で受け渡し位置調整治具の受け渡しを行って、前記受け渡し位置調整治具の姿勢の検出を行うステップと、
前記ウエハチャックと前記受け渡し位置調整治具の姿勢を補正するための補正値を算出するステップと、
を含む受け渡し位置調整方法。
【請求項2】
ウエハの検査を行う際に、前記補正値に基づいて、前記測定ユニットにおいて、前記ウエハチャックの左右方向の位置を補正し、前記ローダ部において、搬送ユニットの前後方向及び回転方向の位置を補正する、請求項１に記載の受け渡し位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はプローバの組立方法及びティーチング治具に係り、複数の測定部を備えたマルチステージ式のプローバの組立方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造工程は、多数の工程を有し、品質保証及び歩留まりの向上のために、各種の製造工程で各種の検査が行われる。例えば、半導体ウエハ上に半導体装置の複数のチップが形成された段階で、各チップの半導体装置の電極パッドをテストヘッドに接続する。そして、テストヘッドから電源及びテスト信号を供給し、半導体装置が出力する信号をテストヘッドで測定して、半導体装置が正常に動作するかを電気的に検査する。このような検査はウエハレベル検査と呼ばれる。
【0003】
ウエハレベル検査の後、ウエハはフレームに貼り付けられ、ダイサで個別のチップに切断される。切断された各チップは、正常に動作することが確認されたチップのみが次の組み立て工程でパッケージ化され、動作不良のチップは組み立て工程から除かれる。さらに、パッケージ化された最終製品は、出荷検査が行われる。
【0004】
ウエハレベル検査は、ウエハ上の各チップの電極パッドにプローブを接触させるプローバを使用して行われる。プローブはテストヘッドの端子に電気的に接続され、テストヘッドからプローブを介して各チップに電源及びテスト信号が供給される。そして、各チップからの出力信号をテストヘッドで検出して正常に動作するかを測定する。
【0005】
半導体製造工程においては、製造コストの低減のために、ウエハの大型化及び一層の微細化（集積化）が進められており、１枚のウエハ上に形成されるチップの個数が非常に大きくなっている。それに伴って、プローバでの１枚のウエハの検査に要する時間も長くなっており、スループットの向上が求められている。そこで、スループットの向上を図るため、多数のプローブを設けて複数個のチップを同時に検査できるようにするマルチプロービングが行われている。近年、同時に検査するチップ数は益々増加し、ウエハ上のすべてのチップを同時に検査する試みも行われている。そのため、電極パッドとプローブを接触させる位置合わせの許容誤差が小さくなっており、プローバにおける移動の位置精度を高めることが求められている。
【0006】
一方、スループットを増加するもっとも簡単な方法として、プローバの台数を増加させることが考えられる。しかしながら、プローバの台数を増加させると、製造ラインにおけるプローバの設置面積も増加するという問題を生じる。また、プローバの台数を増加させると、その分装置コストも増加することになる。そのため、設置面積の増加及び装置コストの増加を抑制しながらスループットを増加させることが求められている。
【0007】
このような背景のもと、例えば、特許文献１には、多段状に積層された複数の測定部を備えたマルチステージ式のプローバが提案されている。特許文献１に記載のプローバは、複数の測定部が多段状に積層された積層構造（多段構造）を有するため、ウエハレベル検査を測定部毎に行うことができる。これにより、設置面積の増加及び装置コストの増加を抑えて、スループットを向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２０１４－１５０１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
マルチステージ式のプローバは、複数の測定部を備えた測定ユニット及びローダ部を備えており、測定ユニットとローダ部が分離された状態で出荷され、出荷先に搬入された後にドッキングされる。
【0010】
測定ユニットとローダ部をドッキングして立ち上げるためには、測定ユニットとローダ部の位置決め、及び測定ユニットとローダ部との間でウエハの受け渡し位置の調整が必要になる。一般に、これらの調整作業は作業者が目視で行うため、作業者がプローバの装置の内部に入って作業を行う必要がある。作業者が入ることができるプローバ内のスペースは狭く、目視による調整作業は困難であった。また、調整作業を行うに当たっては、プローバ内の各装置に付属しているカバー類を取り外す必要があり手間がかかる。さらに、受け渡し位置の調整方向として、ローダ部におけるターンテーブル（搬送アーム）の回転方向に加えて、ＸＹ方向の３軸があるため、調整作業に多くの時間が必要であった。また、作業者の目視の調整作業では、熟練度等によるばらつきもあるため精度の確保が困難であった。このように、プローバの立ち上げ時における受け渡し位置の調整作業には、人的コスト及び時間的コストがかかる上に、精度の確保が困難であった。
【0011】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、受け渡し位置の調整の精度を確保しつつ容易に組み立てることが可能なプローバの組立方法及びティーチング治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係るプローバの組立方法は、測定ユニットとローダ部とを備えるプローバにおいて、測定ユニットとローダ部とをドッキングして相互の位置の調整を行った後に、ティーチング治具を分離して測定ユニット及びローダ部にそれぞれ取り付けるステップと、測定ユニット及びローダ部に分離して取り付けられたティーチング治具を組み立てて、測定ユニットとローダ部の前後方向及び左右方向の位置のティーチングを行うステップと、ティーチング済みのティーチング治具を分離することにより、測定ユニットとローダ部とを分離する分離ステップと、ティーチングを行った場所とは別の場所において、分離ステップにおいて分離した測定ユニットとローダ部とをドッキングするステップと、ティーチング治具を組み立てることにより、測定ユニットとローダ部の前後方向及び左右方向の位置決めを行うステップとを含む。
【0013】
第２の態様に係るプローバの組立方法は、第１の態様に加えて、測定ユニットとローダ部の位置決めの後に、測定ユニットに設けられたウエハチャックの姿勢の検出を行うステップと、測定ユニットとローダ部と間で受け渡し位置調整治具の受け渡しを行って、受け渡し位置調整治具の姿勢の検出を行うステップと、ウエハチャックと受け渡し位置調整治具の姿勢を補正するための補正値を算出する自動位置調整を行うステップとをさらに含む。
【0014】
第３の態様に係るプローバの組立方法は、第１又は第２の態様において、測定ユニットとローダ部の位置決めの後に、測定ユニットとローダ部からティーチング治具を取り外すステップをさらに含む。
【0015】
第４の態様に係るティーチング治具は、第１の位置決め治具と第２の位置決め治具とを備えるティーチング治具であって、第１の位置決め治具は、プローバの測定ユニット及びローダ部のうちの一方のユニットに固定される第１の位置決めプレートと、測定ユニット及びローダ部のうちの他方のユニットに対して前後方向に移動可能に取り付けられる第１の治具本体と、第１の位置決めプレート及び第１の治具本体に挿通されて、第１の位置決めプレートを第１の治具本体に引き寄せる第１の引き寄せボルトと、第１の引き寄せボルトを締めることにより第１の位置決めプレートと第１の治具本体とが当接した状態で、他方のユニットに対する第１の治具本体の前後方向の位置を固定する第１の前後方向固定手段とを備え、第２の位置決め治具は、測定ユニット及びローダ部のうちの一方のユニットに固定される第２の位置決めプレートと、第２の位置決めプレートに対して左右方向に移動可能に取り付けられる位置決め部材と、測定ユニット及びローダ部のうちの他方のユニットに対して前後方向に移動可能に取り付けられる第２の治具本体であって、位置決め部材と係合する係合凹部が形成された第２の治具本体と、第２の位置決めプレート及び第２の治具本体に挿通されて、第２の位置決めプレートを第２の治具本体に引き寄せる第２の引き寄せボルトと、第２の引き寄せボルトを締めることにより位置決め部材が係合凹部に係合した状態で、第２の位置決めプレートに対する位置決め部材の左右方向の位置を固定する左右方向固定手段と、位置決め部材が係合凹部に係合した状態で、他方のユニットに対する第２の治具本体の前後方向の位置を固定する第２の前後方向固定手段とを備える。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、ティーチング治具を用いて位置合わせを行うことにより、出荷先におけるプローバのドッキングを精度よくかつ容易に行うことができる。さらに、本発明によれば、カード受け渡し位置の調整を自動的に行うことができるので、プローバの立ち上げ作業に要する人的コスト及び時間的コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、添付図面に従って本発明に係るプローバの組立方法及びティーチング治具の実施の形態について説明する。
【0019】
【0020】
図１に示すように、本実施形態のプローバ１０は、測定ユニット１２と、検査対象のウエハＷ（図５参照）を測定ユニット１２に供給及び回収するローダ部１４とを備えている。測定ユニット１２とローダ部１４とは分離可能となっている。プローバ１０を出荷する際には、測定ユニット１２とローダ部１４とが分離された状態で出荷され、出荷先のプローバ１０の設置場所に搬入された後にドッキングされる。ドッキングの際には、後述のティーチング治具を用いて、測定ユニット１２とローダ部１４との間で位置決めが行われる。そして、ティーチング治具を用いた位置決めの後、ローダ部１４を用いてウエハＷの受け渡し位置の調整（以下、自動位置調整という。）を行う。これにより、プローバ１０の組み立てを、受け渡し位置の調整の精度を確保しつつ容易に行うことが可能になる。
【0021】
図１に示すように、測定ユニット１２は、複数の測定部１６を有している。ローダ部１４から各測定部１６にウエハＷが供給されると、各測定部１６でそれぞれウエハＷの各チップの電気的特性の検査（ウエハレベル検査）が行われる。そして、各測定部１６で検査されたウエハＷはローダ部１４により回収される。
【0022】
ローダ部１４は、ウエハカセットが載置されるロードポート１８と、測定ユニット１２の各測定部１６とウエハカセットとの間でウエハＷを搬送する搬送ユニット２２（図２参照）とを有する。図１に示す例では、測定部１６とウエハカセットは、Ｘ方向に同数かつ同ピッチ（同一の間隔）で配置されている。
【0023】
ローダ部１４は、カードが載置されるカードストッカ２０を有する。図１に示す例では、測定部１６とカードストッカ２０は、Ｘ方向に同数かつ同ピッチ（同一の間隔）で配置されている。
【0024】
搬送ユニット２２は、搬送ユニット駆動機構（図３の搬送ユニット駆動部５４）を備えており、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能であり、かつ、不図示のターンテーブルにより回転方向（θ方向）移動可能に構成されている。
【0025】
また、図２に示すように、搬送ユニット２２は、上記搬送ユニット駆動機構により前後に伸縮自在に構成された搬送アーム２４を備えている。搬送アーム２４の上面部には図示しない吸着孔が設けられており、搬送アーム２４は、この吸着孔でウエハＷの裏面を真空吸着してウエハＷを保持する。これにより、ウエハカセット内のウエハＷは、搬送ユニット２２の搬送アーム２４によって取り出され、その上面に保持された状態で測定ユニット１２の各測定部１６に搬送される。また、検査の終了した検査済みのウエハＷは逆の経路で各測定部１６からウエハカセットに戻される。
【0026】
ウエハチャック８０は、アライメント装置７４に着脱自在に支持固定される。アライメント装置７４は、ウエハチャック３４をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動することで、ウエハチャック３４に保持されたウエハＷとプローブカード３２との相対的な位置合わせを行う。
【0027】
アライメント装置７４は、測定ユニット１２の段毎に設けられており（図１参照）、図示しないアライメント装置駆動機構によって、各段に配置された複数の測定部１６間で相互に移動可能に構成されている。すなわち、アライメント装置７４は、同一の段に配置される複数（本例では４つ）の測定部１６間で共有されており、同一の段に配置された複数の測定部１６間を相互に移動する。各測定部１６に移動したアライメント装置７４は図示しない位置決め固定装置により所定位置に位置決めされた状態で固定され、ウエハチャック８０をＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動させて、ウエハチャック８０に保持されたウエハＷとプローブカードとの相対的な位置合わせを行う。
【0028】
アライメント装置７４は、ウエハチャック８０に保持されたウエハＷの各チップの電極パッドとプローブとの相対的な位置関係を検出するために、針位置検出カメラと、ウエハアライメントカメラとを備えている。また、アライメント装置駆動機構としては、ボールネジ駆動機構、リニアモータ駆動機構、ベルト駆動機構等の機械的な駆動機構により構成される。
【0029】
測定ユニット１２は、ベース２６を介して床面に固定可能となっている。一方、ローダ部１４は、アジャスター付きキャスター２８により移動可能となっており、測定ユニット１２の固定位置に合わせて移動させて、図示しないアジャスターにより上下方向（Ｚ方向）の位置（水準）を調整可能となっている。ローダ部１４を設置する際には、アジャスター付きキャスター２８をローダ部１４から取り外し、図示しないレベルパッドを用いて設置する。
【0030】
ローダ部１４のＸ方向両側に設けられた開口には、スライド式の折り畳み扉３０が取り付けられている。
【0031】
【0032】
図３に示すように、本実施形態に係るプローバ１０は、制御部５０、入出力部５２、搬送ユニット駆動部５４、搬送アーム駆動部５６及び測定制御部５８を備える。
【0033】
制御部５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ストレージデバイス（例えば、ハードディスク等）等を含んでいる。制御部５０では、ＲＯＭに記憶されている制御プログラム等の各種プログラムがＲＡＭに展開され、ＲＡＭに展開されたプログラムがＣＰＵによって実行されることにより、プローバ１０の各部の機能が実現される。
【0034】
入出力部５２は、プローバ１０の操作のためのＧＵＩ（Graphical User Interface）等を表示する装置（例えば、液晶ディスプレイ）、及びユーザからの操作入力を受け付けるための操作部材（例えば、タッチパネル、又はキーボード、ポインティングデバイス等）等を含んでいる。
【0035】
搬送ユニット駆動部５４は、ローダ部１４内において、搬送ユニット２２を、Ｘ方向及びＺ方向に移動させ、かつθ方向（Ｚ方向周り）に回転させるためのモータ等を含んでいる。
【0036】
搬送アーム駆動部５６は、搬送ユニット２２に取り付けられた搬送アーム２４をその長さ方向に伸縮させるためのモータと、搬送アーム２４の吸着孔にウエハＷを吸着するための制御弁等を含んでいる。この制御弁は、プローバ１０の設置場所に設けられたバキューム（ポンプ）に接続される。
【0037】
制御部５０は、搬送ユニット駆動部５４及び搬送アーム駆動部５６により搬送ユニット２２及び搬送アーム２４をそれぞれ制御して、複数のウエハカセットからウエハＷを取り出したり、複数の測定部１６に対してウエハの搬入及び搬出を行う。
【0038】
測定制御部５８は、測定ユニット１２の段毎に設けられたアライメント装置７４を、複数の測定部１６間を移動させ、ＸＹＺ方向に移動させ、かつθ方向（Ｚ方向周り）に回転させるためのモータと、ウエハチャックにウエハＷを吸着するための制御弁等を含んでいる。この制御弁は、プローバ１０の設置場所に設けられたバキューム（ポンプ）に接続される。
【0039】
さらに、測定制御部５８は、制御部５０からの制御信号にしたがって、測定ユニット１２に設けられたウエハＷの検査用のテストヘッド７０の駆動制御と、ウエハＷのアライメント用の撮像部（ウエハアライメントカメラ）７２の撮像制御とを行う。なお、テストヘッド７０及びウエハアライメントカメラ７２としては、例えば、特開２０１９－１０２５９１号公報に記載のものを用いることができる。
【0040】
［測定ユニットとローダ部との位置合わせ］
上記の通り、プローバ１０は、測定ユニット１２とローダ部１４とに分離されて出荷される。プローバ１０の出荷前には、ティーチング治具（第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００）を用いてティーチングと呼ばれる位置合わせ工程が行われる。そして、プローバ１０は、ティーチング後に、測定ユニット１２とローダ部１４とに分離されて出荷される。
上記の通り、プローバ１０は、測定ユニット１２とローダ部１４とに分離されて出荷される。プローバ１０の出荷前には、ティーチング治具（第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００）を用いてティーチングと呼ばれる位置合わせ工程が行われる。そして、プローバ１０は、ティーチング後に、測定ユニット１２とローダ部１４とに分離されて出荷される。
【0041】
次に、出荷先のプローバ１０の設置場所において、ティーチング済みのティーチング治具を用いて位置合わせが行われてドッキングされる。これにより、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせを精度よくかつ短時間で容易に行うことが可能になる。
【0042】
【0043】
【0044】
図４に示すように、第１の位置決め治具１００は、第１の位置決めプレート１０２、第１の引き寄せボルト１０４及び第１の治具本体１０６を含んでいる。第１の位置決めプレート１０２及び第１の治具本体１０６は、ローダ部１４のフレーム１４Ｌ及び測定ユニット１２のフレーム１２Ｌにそれぞれ取り付けられる。フレーム１２Ｌ及び１４Ｌは、例えば、アルミニウム製のフレームである。フレーム１２Ｌ及び１４Ｌは、上下方向（Ｚ方向）に伸びており、例えば、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングしたときに隣接するフレームである。
【0045】
第１の位置決めプレート１０２は、例えば、板状の金具である。フレーム１４Ｌには、上下方向にガイド溝が形成されており、第１の位置決めプレート１０２は、４本のボルト１１０及びこれらのボルト１１０とそれぞれ螺合するナット（不図示）によりフレーム１４Ｌのガイド溝に取り付けられる。プレート１０２の取付位置は、４本のボルト１１０を緩めることにより、フレーム１４Ｌのガイド溝に沿って位置決め上下方向にずらすことが可能となっている。第１の位置決めプレート１０２は、第１の治具本体１０６の上下方向の取付位置に合わせて、その上下方向の取付位置が調整された後、ボルト１１０を締めることにより固定される。
【0046】
第１の引き寄せボルト１０４は、第１の位置決めプレート１０２に形成された長孔１０２Ａに挿入され、第１の治具本体１０６に形成された長孔１０６Ａに挿通される。第１の位置決めプレート１０２に形成された長孔１０２Ａの上下方向の長さは第１の引き寄せボルト１０４の径よりも長く、左右方向（Ｘ方向）の長さは第１の引き寄せボルト１０４の径と略等しくなっている。すなわち、第１の引き寄せボルト１０４は、上下方向に遊びをもたせた状態で第１の位置決めプレート１０２に取り付けられる。一方、第１の治具本体１０６に形成された長孔１０６Ａの左右方向の長さは第１の引き寄せボルト１０４の径よりも長く、上下方向の長さは第１の引き寄せボルト１０４の径と略等しくなっている。
【0047】
第１の治具本体１０６は、例えば、略直方体状又は多角柱状の金属製又は樹脂製の部材であり、取付金具１０８を介して測定ユニット１２のフレーム１２Ｌに取り付けられる。なお、第１の位置決めプレート１０２を測定ユニット１２のフレーム１２Ｌに取り付けて、第１の治具本体１０６をローダ部１４のフレーム１４Ｌに取り付けるようにしてもよい。
【0048】
取付金具１０８は、例えば、板状の金具であり、水平部分１０８－１及び垂直部分１０８－２を有している。取付金具１０８は、水平部分１０８－１と垂直部分１０８－２とが互いに直角になるように略Ｌ字型に成形されている。
【0049】
第１の治具本体１０６の上面には、４本のボルト１１２とそれぞれ螺合する雌ネジが形成されており、取付金具１０８の水平部分１０８－１は、このボルト１１２により第１の治具本体１０６に取り付けられる。取付金具１０８の垂直部分１０８－２は、４本のボルト１１４及びこれらのボルト１１４とそれぞれ螺合するナット（不図示）により、測定ユニット１２のフレーム１２Ｌに固定される。
【0050】
取付金具１０８の垂直部分１０８－２には、前後方向（Ｙ方向）の長さがボルト１１４の径よりも長く、上下方向の長さがボルト１１４の径と略等しい長孔（不図示）が４つ形成されている。第１の治具本体１０６の取付位置は、４本のボルト１１４を緩めることにより、前後方向にずらすことが可能となっている。
【0051】
なお、第１の治具本体１０６と取付金具１０８とは、一体の部品として形成されていてもよい。
【0052】
上記の通り、第１の引き寄せボルト１０４は、第１の治具本体１０６に形成された長孔１０６Ａに挿通される。図５に示すように、第１の治具本体１０６の後方（＋Ｙ側）にはガイド穴１０６Ｂが形成されており、ガイド穴１０６Ｂにはナット１１６が嵌め込まれている。ナット１１６は、第１の引き寄せボルト１０４と螺合する。
【0053】
ガイド穴１０６Ｂの左右方向の長さはナット１１６の左右方向の長さよりも長く、ガイド穴１０６Ｂとナット１１６の上下方向の長さは略等しくなっている。これにより、ナット１１６は、ガイド穴１０６Ｂに沿って左右方向に移動可能となっている。
【0054】
第１の治具本体１０６の後方側のナット１１６を第１の引き寄せボルト１０４に螺合させて締めることにより、図６に示すように、第１の位置決めプレート１０２が第１の治具本体１０６に対して引き寄せられ、相互に当接した状態で固定される。そして、ボルト１１４を締めて第１の治具本体１０６のフレーム１２Ｌに対する前後方向の位置を固定することにより、フレーム１２Ｌと１４Ｌとの間の前後方向の位置決めが完了する。ここで、ボルト１１４は、第１の前後方向固定手段として機能する。
【0055】
【0056】
図７に示すように、第２の位置決め治具２００は、第２の位置決めプレート２０２、第２の引き寄せボルト２０４及び第２の治具本体２０６を含んでいる。第２の位置決めプレート２０２及び第２の治具本体２０６は、ローダ部１４のフレーム１４Ｒ及び測定ユニット１２のフレーム１２Ｒにそれぞれ取り付けられる。フレーム１２Ｒ及び１４Ｒは、例えば、アルミニウム製のフレームである。フレーム１２Ｒ及び１４Ｒは、上下方向（Ｚ方向）に伸びており、例えば、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングしたときに隣接するフレームである。
【0057】
第２の位置決めプレート２０２は、例えば、板状の金具であり、第１部分２０２－１及び第２部分２０２－２を有している。第２の位置決めプレート２０２は、第１部分２０２－１と第２部分２０２－２とが互いに直角になるように略Ｌ字型に成形されている。第２の位置決めプレート２０２の第１部分２０２－１は、ベースプレート２０８に取り付けられており、第２の位置決めプレート２０２は、ベースプレート２０８を介してフレーム１４Ｒに取り付けられる。
【0058】
ベースプレート２０８は、板状の金具である。ベースプレート２０８は、フレーム１４Ｒの側面形状に沿う略Ｌ字型に成形されており、フレーム１４Ｒの側面に沿って取り付けられる。フレーム１４Ｒには、上下方向にガイド溝が形成されており、ベースプレート２０８は、２本のボルト２１０及びこれらのボルト２１０とそれぞれ螺合するナット（不図示）によりフレーム１４Ｌのガイド溝に取り付けられる。ベースプレート２０８取付位置は、２本のボルト２１０を緩めることにより、フレーム１４Ｌのガイド溝に沿って上下方向にずらすことが可能となっている。第２の位置決めプレート２０２は、第２の治具本体２０６の上下方向の取付位置に合わせて、その上下方向の取付位置が調整された後、ボルト２１０を締めることにより固定される。
【0059】
ベースプレート２０８には、４本のボルト２１２とそれぞれ螺合する雌ネジが４つ形成されており、第２の位置決めプレート２０２の第１部分２０２－１は、このボルト２１２により、ベースプレート２０８に取り付けられる。
【0060】
第２の位置決めプレート２０２の第１部分２０２－１には、前後方向（Ｙ方向）の長さがボルト２１２の径よりも長く、上下方向の長さがボルト２１２の径と略等しい長孔２０２Ａが４つ形成されている。第２の位置決めプレート２０２の取付位置は、ボルト２１２を緩めることにより、前後方向にずらすことが可能となっている。
【0061】
第２の位置決めプレート２０２の第２部分２０２－２には、左右方向（Ｘ方向）の位置決めのための位置決め部材２１６が取り付けられている。位置決め部材２１６は、略三角柱状の金属製又は樹脂製の部材であり、その高さ方向が上下方向となるように配置されている。
【0062】
第２の位置決めプレート２０２の第２部分２０２－２には、左右方向の長さがボルト２１４の径よりも長く、上下方向の長さがボルト２１４の径と略等しい長孔２０２Ｂが４つ形成されている。位置決め部材２１６の取付位置は、ボルト２１４を緩めることにより、左右方向にずらすことが可能となっている。
【0063】
第２の引き寄せボルト２０４は、第２の位置決めプレート２０２の第２部分２０２－２及び位置決め部材２１６を貫通するように取り付けられており、第２の治具本体２０６に形成された長孔２０６Ａに挿通される。
【0064】
第２の治具本体２０６は、例えば、略直方体状の金属製又は樹脂製の部材であり、フレーム１２Ｒに固定される。なお、第２の位置決めプレート２０２を測定ユニット１２のフレーム１２Ｒに取り付けて、第２の治具本体２０６をローダ部１４のフレーム１４Ｒに取り付けるようにしてもよい。
【0065】
第２の治具本体２０６の位置決め部材２１６と対向する面には、位置決め部材２１６の形状に倣う係合凹部２０６Ｂが形成されている。第２の治具本体２０６の係合凹部２０６Ｂには、第２の引き寄せボルト２０４が挿通される長孔２０６Ａが形成されている。第２の治具本体２０６に形成された長孔２０６Ａの左右方向及び上下方向の長さは第２の引き寄せボルト２０４の径よりも長く、左右方向の長さは上下方向の長さよりも長くなっている。すなわち、第２の引き寄せボルト２０４は、左右方向及び上下方向に遊びをもたせた状態で長孔２０６Ａに挿通される。
【0066】
第２の治具本体２０６の後方側（＋Ｙ側）には、不図示のナットが配置されている。このナットを第２の引き寄せボルト２０４に螺合させて締めることにより、図８に示すように、第２の位置決めプレート２０２が第２の治具本体２０６に対して引き寄せられる。このとき、係合凹部２０６Ｂの形状に応じて位置決め部材２１６が左右方向に移動し、位置決め部材２１６の先端部と係合凹部２０６Ｂの底部とが当接することにより、位置決め部材２１６が係合凹部２０６Ｂに完全に係合する。そして、第１の引き寄せボルト１０４をさらに締めることにより、位置決め部材２１６が第２の治具本体２０６の係合凹部２０６Ｂに係合した状態で固定される。
【0067】
次に、ボルト２１２を締めて、第２の位置決めプレート２０２のフレーム１４Ｒに対する前後方向の位置を固定する。また、ボルト２１４を締めて、位置決め部材２１６の第２の位置決めプレート２０２に対する左右方向の位置を固定する。これにより、フレーム１２Ｒと１４Ｒとの間の左右方向及び前後方向の位置決めが完了する。ここで、ボルト２１２及び２１４は、それぞれ第２の前後方向固定手段及び左右方向固定手段として機能する。
【0068】
なお、位置決め部材２１６の形状は図７及び図８に示すものに限定されない。位置決め部材２１６は、第２の治具本体２０６の係合凹部２０６Ｂと係合して左右方向の位置決めが可能なものであればよく、例えば、角柱又は円柱形状であってもよい。また、第２の治具本体２０６に位置決め部材２１６を取り付けて、第２の位置決めプレート２０２側に係合凹部２０６Ｂを形成するようにしてもよい。
【0069】
（ティーチングの手順）
次に、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００のティーチングの手順について説明する。まず、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせを行い、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングする。次に、第１の位置決め治具１００の第１の位置決めプレート１０２をフレーム１４Ｌに取り付け、第１の治具本体１０６を、取付金具１０８を介してフレーム１２Ｌに取り付ける。また、第２の位置決め治具２００の第２の位置決めプレート２０２を、ベースプレート２０８を介してフレーム１４Ｒに取り付け、第２の治具本体２０６をフレーム１２Ｒに固定する。なお、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００の取り付けはドッキングを行う前に行ってもよい。
次に、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００のティーチングの手順について説明する。まず、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせを行い、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングする。次に、第１の位置決め治具１００の第１の位置決めプレート１０２をフレーム１４Ｌに取り付け、第１の治具本体１０６を、取付金具１０８を介してフレーム１２Ｌに取り付ける。また、第２の位置決め治具２００の第２の位置決めプレート２０２を、ベースプレート２０８を介してフレーム１４Ｒに取り付け、第２の治具本体２０６をフレーム１２Ｒに固定する。なお、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００の取り付けはドッキングを行う前に行ってもよい。
【0070】
第１の位置決め治具１００については、第１の位置決めプレート１０２の取付位置を固定するためのボルト１１０を緩めた状態で、測定ユニット１２のフレーム１２Ｌに取り付けられた第１の治具本体１０６の上下方向の位置に合わせて、ローダ部１４のフレーム１４Ｌに沿って第１の位置決めプレート１０２を移動させる。そして、ボルト１１０を締めて、第１の位置決めプレート１０２の上下方向の位置を固定する。
【0071】
次に、第１の治具本体１０６の取付位置を固定するためのボルト１１４を緩めた状態で、第１の引き寄せボルト１０４を締めて、第１の位置決めプレート１０２と第１の治具本体１０６とを当接させる。そして、ボルト１１４を締めることにより、第１の治具本体１０６の前後方向の位置を固定する。これにより、第１の位置決めプレート１０２と第１の治具本体１０６の前後方向の位置決めが完了する。
【0072】
一方、第２の位置決め治具２００については、ベースプレート２０８の取付位置を固定するためのボルト２１０を緩めた状態で、測定ユニット１２のフレーム１２Ｒに取り付けられた第２の治具本体２０６の上下方向の位置に合わせて、ローダ部１４のフレーム１４Ｌに沿ってベースプレート２０８を移動させる。そして、ボルト２１０を締めて、ベースプレート２０８の上下方向の位置を固定する。
【0073】
次に、第２の位置決めプレート２０２の取付位置を固定するためのボルト２１２と、位置決め部材２１６の取付位置を固定するためのボルト２１４とを緩める。ボルト２１２及び２１４を緩めた状態で、第２の引き寄せボルト２０４を締めて、第２の位置決めプレート２０２側の位置決め部材２１６を第２の治具本体２０６の係合凹部２０６Ｂに当接させる。そして、ボルト２１２及び２１４を締めることにより、第２の位置決めプレート２０２の前後方向の位置と位置決め部材２１６の左右方向の位置とをそれぞれ固定する。これにより、第２の位置決めプレート２０２と第２の治具本体２０６の前後方向及び左右方向の位置決めが完了する。
【0074】
プローバ１０を出荷する場合には、第１の引き寄せボルト１０４及び第２の引き寄せボルト２０４を緩めて取り外し、測定ユニット１２とローダ部１４とを分離する。そして、出荷先において、測定ユニット１２とローダ部１４とを位置合わせして、図６及び図８に示すように、第１の引き寄せボルト１０４及び第２の引き寄せボルト２０４を用いて、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００をそれぞれ組み立てる。第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００は、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせの後に、各フレーム１２Ｌ、１２Ｒ、１４Ｌ及び１４Ｒから取り外される。なお、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００は、位置決め後のプローバ１０に取り付けたままにしておいてもよい。
【0075】
本実施形態によれば、ティーチング治具を用いることにより、出荷先における測定ユニット１２とローダ部１４との位置決めを精度よく、かつ短時間で効率的に行うことが可能になる。これにより、左右方向及び前後方向の位置合わせを、一例で数ｍｍオーダの精度で行うことが可能になる。
【0076】
なお、図１に示す例では、左右のフレーム（１２Ｌ、１２Ｒ、１４Ｌ及び１４Ｒ）にティーチング治具を取り付けたが、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせを行うようにしたが、ティーチング治具の個数及び取付位置はこれに限定されない。例えば、内部又は上下のフレームにティーチング治具を取り付けるようにしてもよい。上下のフレームに取り付ける場合、第２の位置決め治具２００の位置決め部８４と係合凹部２０６Ｂの向きを上下方向に向けた構造にすればよい。
【0077】
また、図４から図８に示した例における各種のボルト（１１０、１１２、１１４、２１０、２１２及び２１４等）、長孔、雌ネジ及びガイド溝等の数及び形状は、上記に限定されるものではなく、ティーチング治具及びフレーム（１２Ｌ、１２Ｒ、１４Ｌ及び１４Ｒ）の大きさ等に応じて適宜変更可能である。
【0078】
［各種の調整］
上記の通り、本実施形態に係るプローバ１０は、ティーチング治具を用いた位置合わせの後、ローダ部１４を用いてカードの受け渡し位置の調整（自動位置調整）が行われる。
上記の通り、本実施形態に係るプローバ１０は、ティーチング治具を用いた位置合わせの後、ローダ部１４を用いてカードの受け渡し位置の調整（自動位置調整）が行われる。
【0079】
本実施形態では、ティーチング治具を用いた位置合わせの後、自動位置調整に先立って下記の各種の調整が行われる。まず、不図示の水準器を用いて、測定ユニット１２とローダ部１４の高さ（水準）の測定が行われる。そして、ベース２６及び図示しないレベルパッドにより、測定ユニット１２とローダ部１４の水平度の調整が行われる。
【0080】
次に、各測定部１６及び各カードストッカ２０に搬送アーム２４を挿入して、測定ユニット１２及びローダ部１４のフレーム等と搬送アーム２４との間の干渉の有無を確認する。そして、干渉があった場合には、干渉をなくすために、測定ユニット１２とローダ部１４の位置調整を手動で行う。この干渉の有無の確認は、作業者が目視で行ってもよいし、干渉の検出のためのセンサ（例えば、接触式のセンサ、加速度センサ又は角速度センサ等）を搬送アーム２４の回転軸等に設けて行ってもよい。
【0081】
なお、干渉の有無の確認は、すべての測定ユニット１２等にそれぞれ搬送アーム２４を挿入して行うことも可能であるが、一部のみに対して行うようにしてもよい。例えば、プローバ１０内において測定部１６が３段４列に並んでいるとした場合には、その対角に位置する測定部１６の組に対して、搬送アーム２４を挿入して干渉の有無を確認するようにしてもよい。プローバ１０の構造上、対角の位置で位置ずれが最大になると考えられるため、干渉の有無の確認を対角の位置のみにすることで、干渉の有無を短時間で確実に行うことができる。
【0082】
［自動位置調整］
上記の各種調整が行われた後に自動位置調整が行われる。自動位置調整では、プローブカード又はウエハＷ等の搬送物を、搬送ユニット２２により、ローダ部１４から測定ユニット１２の各測定部１６にそれぞれ搬送したときの位置ずれ（中心点のずれ及び傾き）を測定する。そして、この位置ずれを補正するための補正値を算出する。以下、自動位置調整について、図９から図１４を参照して説明する。
上記の各種調整が行われた後に自動位置調整が行われる。自動位置調整では、プローブカード又はウエハＷ等の搬送物を、搬送ユニット２２により、ローダ部１４から測定ユニット１２の各測定部１６にそれぞれ搬送したときの位置ずれ（中心点のずれ及び傾き）を測定する。そして、この位置ずれを補正するための補正値を算出する。以下、自動位置調整について、図９から図１４を参照して説明する。
【0083】
（ウエハチャック）
ここで、搬送物として、プローブカードを保持して搬送するためのカード搬送トレイをウエハチャック８０に搬送して載置した例について説明する。図９は、カード搬送トレイをウエハチャックに保持した状態を示す斜視図であり、図１０は、カード搬送トレイとウエハチャックの位置決め部材との位置関係を示す平面図の一部透視図である。
ここで、搬送物として、プローブカードを保持して搬送するためのカード搬送トレイをウエハチャック８０に搬送して載置した例について説明する。図９は、カード搬送トレイをウエハチャックに保持した状態を示す斜視図であり、図１０は、カード搬送トレイとウエハチャックの位置決め部材との位置関係を示す平面図の一部透視図である。
【0084】
図９に示すように、ウエハチャック８０の表面中心には、アライメントマーク（ターゲットマーク）８２が形成されている。アライメントマーク８２は、ウエハチャック８０の姿勢（中心点及び傾き）を示すものであり、十字形状の溝として形成される。この溝は、ウエハＷにおける半導体装置の配列方向に沿って形成されるようにしてもよい。なお、図９に示す例では、アライメントマーク８２は、十字形状の溝であるが、ウエハチャック８０の姿勢（中心点と傾き）が検出可能な形状であればほかの形状であってもよいし、複数設けられていてもよい。
【0085】
制御部５０は、ウエハアライメントカメラ７２によって撮像した画像からアライメントマーク８２を検出して、アライメントマーク８２の位置からウエハチャック８０の位置を算出する。
【0086】
【0087】
位置決め部８４は、例えば、略矩形又は多角形状に成形された金属製又は樹脂製の部材であり、ウエハチャック８０の周縁部にねじ止め等により固定されている。位置決め部８４はウエハチャック８０の周縁部に等間隔で取り付けられていてもよいし、非等間隔で取り付けられていてもよい。
【0088】
図９に示すように、ウエハチャック８０の表面には、搬送アーム２４により、プローブカードを保持するためのカード搬送トレイ４０が搬送されて載置される。
【0089】
カード搬送トレイ４０は、例えば、プローブカードの形状に倣う略円環状に形成された金属製の部材である。カード搬送トレイ４０の周縁部には、位置決め部８４に対応する位置に切欠き部４２が形成されている。図１０に示すように、カード搬送トレイ４０は、位置決め部８４が切欠き部４２の端面に接触するように配置される。これにより、カード搬送トレイ４０の周方向の位置が規制される。
【0090】
（受け渡し位置調整治具）
図１１は、受け渡し位置調整治具をウエハチャックに保持した状態を示す斜視図であり、図１２は、受け渡し位置とウエハチャックの位置決め部材との位置関係を示す平面図の一部透視図である。
図１１は、受け渡し位置調整治具をウエハチャックに保持した状態を示す斜視図であり、図１２は、受け渡し位置とウエハチャックの位置決め部材との位置関係を示す平面図の一部透視図である。
【0091】
自動位置調整を行う際には、ウエハチャック８０の表面には、搬送アーム２４により、受け渡し位置調整治具３００が搬送されて載置される。図１１に示すように、受け渡し位置調整治具３００は、例えば、ウエハチャック８０の形状に倣う略円盤状に形成された金属製又は樹脂製の部材である。
【0092】
受け渡し位置調整治具３００の表面中心には、アライメントマーク（ターゲットマーク）３０２が形成されている。アライメントマーク３０２は、受け渡し位置調整治具３００の姿勢（中心点及び傾き）を示すものであり、十字形状の溝として形成される。この溝は、ウエハＷにおける半導体装置の配列方向に沿って形成されるようにしてもよい。なお、図１０に示す例では、アライメントマーク３０２は、十字形状の溝であるが、受け渡し位置調整治具３００の姿勢（中心点と傾き）が検出可能な形状であればほかの形状であってもよいし、複数設けられていてもよい。
【0093】
制御部５０は、ウエハアライメントカメラ７２によって撮像した画像からアライメントマーク３０２を検出して、アライメントマーク３０２の位置から受け渡し位置調整治具３００の位置を算出する。
【0094】
受け渡し位置調整治具３００の周縁部には、位置決め部８４に対応する位置に切欠き部３０４が形成されている。図１２に示すように、受け渡し位置調整治具３００の切欠き部３０４は、カード搬送トレイ４０の切欠き部４２よりも大きく、受け渡し位置調整治具３００の周方向の位置が位置決め部８４によって規制されないように、すなわち、位置決め部８４に乗り上げないように調整されている。
【0095】
自動位置調整では、この受け渡し位置調整治具３００を搬送してアライメントマーク３０２を検出する。そして、ウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心点が一致したときのアライメントマーク８２に対する３０２の傾きを算出する。これにより、カード搬送トレイ４０を搬送したときのウエハチャック８０に対する位置ずれ（傾き）を算出することができる。自動位置調整では、制御部５０は、アライメントマーク８２と３０２の検出結果を用いて、ウエハチャック８０に対するカード搬送トレイ４０の位置ずれ（傾き）をなくすような補正値（ＸＹθ方向の補正値）を算出する。
【0096】
（自動位置調整の手順）
本実施形態に係るプローバ１０では、ウエハアライメントカメラ７２によりウエハチャック８０を撮像して、ウエハチャック８０のアライメントマーク８２を検出する。そして、搬送アーム２４により、受け渡し位置調整治具３００を搬送してウエハチャック８０に載置した後に、ウエハアライメントカメラ７２により受け渡し位置調整治具３００を撮像して、受け渡し位置調整治具３００のアライメントマーク３０２を検出する。そして、制御部５０は、アライメントマーク８２及び３０２の検出位置に基づいて、ＸＹθ方向の位置の補正値を算出する。
本実施形態に係るプローバ１０では、ウエハアライメントカメラ７２によりウエハチャック８０を撮像して、ウエハチャック８０のアライメントマーク８２を検出する。そして、搬送アーム２４により、受け渡し位置調整治具３００を搬送してウエハチャック８０に載置した後に、ウエハアライメントカメラ７２により受け渡し位置調整治具３００を撮像して、受け渡し位置調整治具３００のアライメントマーク３０２を検出する。そして、制御部５０は、アライメントマーク８２及び３０２の検出位置に基づいて、ＸＹθ方向の位置の補正値を算出する。
【0097】
カード搬送の検査を行う際には、この補正値に基づいて、測定ユニット１２及び搬送ユニット２２（搬送アーム２４を含む。）のうちのいずれかの移動目標位置に、ＸＹθ方向の位置の補正値を加算する。これにより、一例で数μｍオーダの位置補正が可能になる。
【0098】
上記補正値の算出を行うための自動位置調整工程については、所定の制御プログラムを実行することにより、作業者の関与なく無人で（自動で）行うことが可能である。このため、夜間等の時間帯に自動的に行うことができるので、出荷先におけるプローバ１０の立ち上げ作業に要する人的コスト及び時間的コストを低減することが可能になる。これにより、左右方向（Ｘ方向）、前後方向（Ｙ方向）及び回転方向（θ方向）の位置を補正する。これにより、受け渡し位置の調整作業を精度よくかつ効率的に行うことができる。
【0099】
より具体的には、本実施形態では、測定ユニット１２において、ウエハチャック８０の左右方向（Ｘ方向）の位置を補正し、ローダ部１４において、搬送ユニット２２及び搬送アーム２４の前後方向（Ｙ方向）及び回転方向（θ方向）の位置を補正する。これにより、受け渡し位置の調整作業を精度よく、かつ、より効率的に行うことができる。その理由は下記（Ａ）及び（Ｂ）の通りである。
【0100】
（Ａ）本実施形態に係るプローバ１０では、測定ユニット１２とローダ部１４のカードストッカ２０との間に挟まれるようにして搬送ユニット２２が配置されている。そして、測定ユニット１２のウエハチャック８０が搭載されるステージとカードストッカ２０が同ピッチである。このため、対向するステージとカードストッカ２０間の受け渡しを行う際には、Ｘ方向については動作する必要が無いように同じ補正値であることが望ましい。
【0101】
（Ｂ）測定ユニット１２のステージとカードストッカ２０との間の搬送を行う際には、搬送アーム２４を伸ばす動作と、搬送アーム２４を搭載したターンテーブルが１８０°回転する動作は必須である。このため、Ｙθ方向については搬送ユニット２２側で補正をかけたほうが効率的である。
【0102】
【0103】
図１３及び図１４において、符号２４Ｃは、搬送ユニット２２のターンテーブルの回転中心を示し、符号２４Ｔは、ターンテーブルの回転により移動する受け渡し位置調整治具３００の中心点（アライメントマーク３０２に対応）の旋回軌跡を示している。また、符号４０Ｃは、受け渡し位置調整治具３００の中心点を示すための十字の線であり、符号８０Ｃは、ウエハチャック８０の中心を示すための十字の線である。
【0104】
図１３に示す例では、搬送アーム２４を動作させてウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心点が重なったときに、受け渡し位置調整治具３００の中心点（すなわち、搬送アーム２４の先端）は、回転方向において最も測定ユニット１２側（＋Ｙ側）の点（以下、頂点という。）からずれている。このとき、搬送アーム２４は、前後方向に非平行となる。そして、ウエハチャック８０の中心線に対して受け渡し位置調整治具３００の中心線が傾いている。この場合、ターンテーブルをさらに頂点に近づける方向（図１３の矢印方向。以下、頂点方向という。）に回転させて、ウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心線が重なるようにして受け渡しを行うためには、搬送ユニット２２の受け渡し位置を－Ｘ方向に、搬送アーム２４の位置を－Ｙ方向に補正することになる。
【0105】
これに対して、図１４に示す例では、搬送アーム２４を動作させてウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心点が重なったときに、受け渡し位置調整治具３００の中心点は、回転方向の頂点に位置する。このとき、搬送アーム２４は、前後方向に平行である。そして、ウエハチャック８０の中心線に対して受け渡し位置調整治具３００の中心線が傾いている。この場合、ターンテーブルを、頂点方向及びその反対の方向のいずれかの方向にさらに回転させて、ウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心線が重なるようにして受け渡しを行うためには、搬送ユニット２２の受け渡し位置を－Ｘ方向に、搬送アーム２４の位置を＋Ｙ方向に補正することになる。
【0106】
図１３の頂点以外の場合と図１４の頂点の場合とを比較すると、ウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心点が重なったときに、受け渡し位置調整治具３００の中心点が頂点以外に位置する確率の方が高い。そして、頂点以外の場合には、受け渡し位置調整治具３００とウエハチャック８０の中心線を合わせるためにさらに回転させる方向が頂点方向に限定される。このため、受け渡し位置調整治具３００の中心点が頂点以外の位置で、ウエハチャック８０と受け渡し位置調整治具３００の中心点が重なる場合の方が、受け渡し位置の特定（追い込み）が容易になり、受け渡し位置の調整が容易になると考えられる。
【0107】
（補正値の計算）
次に、補正値の具体的な計算方法について説明する。
次に、補正値の具体的な計算方法について説明する。
【0108】
プローバ１０の出荷前に設定されたＸＹθ方向の位置の補正値をそれぞれＸ０、Ｙ０及びθ０とする。
【0109】
まず、受け渡し位置調整治具３００が載っていない状態で、ウエハアライメントカメラ７２によりウエハチャック８０を撮像する。この撮像は、低倍率（例えば、１から数倍）で行うことが可能である。そして、制御部５０は、ウエハチャック８０の画像からアライメントマーク８２を検出する。このときのアライメントマーク８２の位置（座標）をＸｃ、Ｙｃ及びθｃとする。
【0110】
次に、搬送アーム２４により受け渡し位置調整治具３００を搬送して、ウエハチャック８０に載置する。そして、ウエハアライメントカメラ７２により受け渡し位置調整治具３００を撮像する。この撮像も、上記と同様に低倍率で行うことが可能である。そして、制御部５０は、受け渡し位置調整治具３００の画像からアライメントマーク３０２を検出する。このときのアライメントマーク３０２の位置（座標）をＸｔ、Ｙｔ及びθｔとする。
【0111】
搬送アーム２４の長さをＬａとすると、ＸＹθ方向の位置の補正値は、それぞれ以下の式（１）から（３）により計算される。
【0112】
Ｘ補正値：Ｘ０＋（Ｘｃ－Ｘｔ）＋（－Ｌａ＊ｓｉｎ（θｃ－θｔ）） …（１）
Ｙ補正値：Ｙ０－（Ｙｃ－Ｙｔ）－Ｌａ＊（１－ｃｏｓ（θｃ－θｔ））…（２）
θ補正値：θ０＋（θｃ－θｔ） …（３）
制御部５０は、上記のＸＹθ補正値を用いて、測定ユニット１２及び搬送ユニット２２の制御を行う。
Ｙ補正値：Ｙ０－（Ｙｃ－Ｙｔ）－Ｌａ＊（１－ｃｏｓ（θｃ－θｔ））…（２）
θ補正値：θ０＋（θｃ－θｔ） …（３）
制御部５０は、上記のＸＹθ補正値を用いて、測定ユニット１２及び搬送ユニット２２の制御を行う。
【0113】
なお、Ｘ方向及びＹ方向の補正を行う際には、搬送ユニット２２のターンテーブルの補正値分さらに動かす必要がある。Ｘ方向については、ターンテーブルの回転方向に合わせて補正値を加減算すればよい。Ｙ方向については、受渡し時のターンテーブルの旋回軌跡がウエハチャック８０に対して頂点の場合には加算する必要がある（図１４参照）。一方、受渡し時のターンテーブルの旋回軌跡がウエハチャック８０に対して頂点でない場合には減算することで補正による追い込み回数を減らすことができる（図１３参照）。
【0114】
【0115】
まず、測定ユニット１２とローダ部１４との位置合わせを行う。そして、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングしてプローバ１０を組み立てる（ステップＳ１０）。
【0116】
次に、測定ユニット１２とローダ部１４とのＸＹＺ方向の位置の調整を行い、相互の位置の検査を行う（ステップＳ１２）。
【0117】
次に、ティーチング治具の取り付けを行う（ステップＳ１４）。具体的には、第１の位置決め治具１００の第１の位置決めプレート１０２をフレーム１４Ｌに取り付け、第１の位置決め治具１００の第１の治具本体１０６を、取付金具１０８を介してフレーム１２Ｌに取り付ける。また、第２の位置決め治具２００の第２の位置決めプレート２０２を、ベースプレート２０８を介してフレーム１４Ｒに取り付け、第２の位置決め治具２００の第２の治具本体２０６をフレーム１２Ｒに固定する。
【0118】
次に、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００を組み立てて、プローバ１０の組み立て時の位置のティーチング（ステップＳ１６）。すなわち、第１の位置決め治具１００の第１の位置決めプレート１０２と第１の治具本体１０６の前後方向の位置決めを行って、フレーム１２Ｌと１４Ｌとの間の前後方向の位置決めを行う（図６参照）。また、第２の位置決め治具２００の第２の位置決めプレート２０２と第２の治具本体２０６の前後方向及び左右方向の位置決めを行って、フレーム１２Ｒと１４Ｒとの間の左右方向及び前後方向の位置決めを行う（図８参照）。
【0119】
次に、第１の引き寄せボルト１０４及び第２の引き寄せボルト２０４を緩めて取り外す。これにより、プローバ１０は、測定ユニット１２とローダ部１４とに分離される（ステップＳ１８：分離ステップ）。
【0120】
図１５に示す工程により、ティーチング済みの第１の位置決め治具１００と第２の位置決め治具２００が取り付けられた測定ユニット１２及びローダ部１４からなるプローバ１０の組み立てキットが完成する。
【0121】
【0122】
まず、出荷先に、ステップＳ１８において分離された測定ユニット１２とローダ部１４を搬入する（ステップＳ２０）。
【0123】
次に、ティーチング治具（第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００）を用いて、測定ユニット１２とローダ部１４とをドッキングして位置合わせする（ステップＳ２２）。そして、第１の位置決め治具１００及び第２の位置決め治具２００をプローバ１０から取り外す（ステップＳ２４）。
【0124】
そして、上記した各種の調整を行った後、自動位置調整を行う（ステップＳ２６）。この自動位置調整は、作業者の関与なく無人で（自動で）行うことが可能である。
【0125】
（自動位置調整）
図１７は、自動位置調整工程を示すフローチャートである。
図１７は、自動位置調整工程を示すフローチャートである。
【0126】
自動位置調整工程では、まず、ウエハアライメントカメラ７２により、ウエハチャック８０のアライメントマーク８２を検出する（ステップＳ３０）。
【0127】
次に、搬送アーム２４により、受け渡し位置調整治具３００をウエハチャック８０に載置して、受け渡し位置調整治具３００のアライメントマーク３０２を検出する（ステップＳ３２）。
【0128】
そして、制御部５０は、上記の式（１）から（３）を用いて補正値を算出する（ステップＳ３４）。ウエハＷの検査を行う際には、この補正値に基づいて、測定ユニット１２において、ウエハチャック８０の左右方向（Ｘ方向）の位置を補正し、ローダ部１４において、搬送ユニット２２及び搬送アーム２４の前後方向（Ｙ方向）及び回転方向（θ方向）の位置を補正する。これにより、受け渡し位置の調整作業を精度よくかつ効率的に行うことができる。
【符号の説明】
【0129】
１０…プローバ、１２…測定ユニット、１４…ローダ部、１６…測定部、１８…ロードポート、２０…カードストッカ、２２…搬送ユニット、２４…搬送アーム、２６…ベース、２８…アジャスター付きキャスター、５０…制御部、５２…入出力部、５４…搬送ユニット駆動部、５６…搬送アーム駆動部、５８…測定制御部、７０…テストヘッド、７２…撮像部（ウエハアライメントカメラ）、８０…ウエハチャック、１００…第１の位置決め治具、２００…第２の位置決め治具、３００…受け渡し位置調整治具
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】