特開 2023-173100 シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023173100

(43)【公開日】2023-12-07

(54)【発明の名称】シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/10 20060101AFI20231130BHJP

【ＦＩ】

F16J15/10 T

F16J15/10 C

F16J15/10 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022085102

(22)【出願日】2022-05-25

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100096389

【弁理士】

【氏名又は名称】金本 哲男

(74)【代理人】

【識別番号】100101557

【弁理士】

【氏名又は名称】萩原 康司

(74)【代理人】

【識別番号】100167634

【弁理士】

【氏名又は名称】扇田 尚紀

(74)【代理人】

【識別番号】100187849

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 隆史

(74)【代理人】

【識別番号】100212059

【弁理士】

【氏名又は名称】三根 卓也

(72)【発明者】

【氏名】廣木 勤

【テーマコード（参考）】

3J040

【Ｆターム（参考）】

3J040AA01

3J040AA12

3J040BA02

3J040EA16

3J040HA03

3J040HA04

3J040HA05

3J040HA21

(57)【要約】

【課題】溝内にシール材を捻じれなく固定する。
【解決手段】シール材より幅が大きく形成された溝と、前記溝内における溝幅方向一方側の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設され、溝幅方向他方側に向けて延び前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成すると共に前記シール材を前記溝内に押さえる庇部を有する押さえ部材と、前記押さえ部材を固定する固定機構と、を有する、シール構造である。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

シール材より幅が大きく形成された溝と、
前記溝内における溝幅方向一方側の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設され、溝幅方向他方側に向けて延び前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成すると共に前記シール材を前記溝内に押さえる庇部を有する押さえ部材と、
前記押さえ部材を固定する固定機構と、を有する、シール構造。

【請求項2】

前記固定機構は、
前記押さえ部材から前記溝幅方向一方側へ突出長さを調整可能に突出する突っ張り部と、
前記溝の底部から突出する凸部と、を有し、
前記突っ張り部により前記押さえ部材を前記凸部に押し付けて固定する、請求項１に記載のシール構造。

【請求項3】

前記突っ張り部は、前記押さえ部材の前記溝幅方向一方側の面に形成されたネジ穴に螺合するネジである、請求項２に記載のシール構造。

【請求項4】

前記突っ張り部は、弾性を有する弾性部材である、請求項２に記載のシール構造。

【請求項5】

前記固定機構は、
前記押さえ部材を溝深さ方向に貫通し、前記溝の底面に形成されたネジ穴に螺合するネジを有し、
前記ネジにより前記押さえ部材を固定する、請求項１に記載のシール構造。

【請求項6】

前記押さえ部材は、溝幅方向の両側それぞれに配設される、請求項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。

【請求項7】

前記押さえ部材は、前記溝幅方向の片側にのみ配設される、請求項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。

【請求項8】

前記押さえ部材は、前記溝幅方向一方側寄りに位置するときに、前記庇部によって、前記シール材より幅が大きい前記スリットを形成し、前記溝幅方向他方側寄りに位置するときに、前記庇部によって、前記シール材より幅が小さい前記スリットを形成すると共に前記シール材を押さえる、請求項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。

【請求項9】

前記溝は、セラミック製の部材に形成されている、請求項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。

【請求項10】

請求項１～５のいずれか１項に記載のシール構造を有し、減圧可能に構成され、基板処理の処理対象の基板を収容する、チャンバ。

【請求項11】

請求項１０に記載のチャンバを備える、基板処理装置。

【請求項12】

シール材より幅が大きく形成された溝内における溝幅方向一方側の領域に、溝幅方向他方側に受けて延びる庇部を有する押さえ部材を配設し、前記庇部によって、前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成する工程と、
前記溝内に前記シール材を収容する工程と、
前記スリットの幅を前記シール材の幅より小さくする工程と、
前記押さえ部材を固定する工程と、を含む、シール材の取り付け方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、シール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、基板処理装置の内部の処理領域と外部の外部領域との間のシール構造として、下チャンバと上チャンバとの間のシール構造が開示されている。このシール構造では、下チャンバのシール面にアリ溝が形成され、アリ溝にＯリング等のシール部材が嵌め込まれている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１９６０５３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示にかかる技術は、溝内にシール材を捻じれなく固定する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様は、シール材より幅が大きく形成された溝と、前記溝内における溝幅方向一方側の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設され、溝幅方向他方側に向けて延び前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成すると共に前記シール材を前記溝内に押さえる庇部を有する押さえ部材と、前記押さえ部材を固定する固定機構と、を有する、シール構造である。

【発明の効果】

【0006】

本開示にかかる技術によれば、溝内にシール材を捻じれなく固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本実施形態にかかる基板処理装置としての成膜装置の構成の概略を模式的に示す説明図であり、成膜装置の一部を断面で示している。

【図2】チャンバ本体の上面図である。

【図3】チャンバ本体の部分拡大斜視断面図である。

【図4】非固定溝の断面図である。

【図5】固定溝の断面図である。

【図6】チャンバ本体の部分拡大斜視図である。

【図7】固定機構の説明図である。

【図8】シール構造の他の例を示す図である。

【図9】突っ張り部の他の例を示す図である。

【図10】押さえ部材の固定機構の他の例を示す図である。

【図11】押さえ部材の固定機構の他の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

半導体デバイス等の製造プロセスでは、半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という。）等の基板に対して、所定の膜を形成する成膜処理等の各種基板処理が行われる。この基板処理は、基板処理装置で行われ、具体的には、基板処理装置の減圧されたチャンバ内に基板を収容した状態で行われる。

【0009】

また、基板処理装置は、その内部の減圧雰囲気と外部の雰囲気とを遮蔽するシール構造を有する。このシール構造では、基板処理装置を形成する２つの部材間に設けられたＯリング等のシール材により、内部減圧雰囲気と外部雰囲気とを遮蔽する。シール材は、上記２つの部材の一方のシール面に設けられた溝内に固定される。また、溝内にシール材を固定するために、アリ溝が採用されることがある。しかし、アリ溝の場合、当該アリ溝にシール材を押し込んで収容する必要があるため、溝内へシール材を収容する際に当該シール材に捻じれが生じることがある。この捻じれは、シール材が溝内へ収容された後に解消されにくい。そして、捻じれた状態のままでは、シール材の寿命等に悪影響を及ぼすおそれがある。

【0010】

そこで、本開示にかかる技術は、溝内にシール材を捻じれなく固定する。

【0011】

以下、本実施形態にかかるシール構造、チャンバ、基板処理装置及びシール材の取り付け方法について、図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0012】

＜成膜装置＞
図１は、本実施形態にかかる基板処理装置としての成膜装置の構成の概略を模式的に示す説明図であり、成膜装置の一部を断面で示している。

【0013】

図１の成膜装置１は、基板としてのウェハＷを成膜処理し、当該ウェハＷ上に例えば金属膜を形成するように構成されている。

【0014】

成膜装置１はチャンバ１０を有する。
チャンバ１０は、ウェハＷが収容されるものであり、減圧可能に構成されている。このチャンバ１０は、チャンバ本体１０ａと蓋部材１０ｂと、を有する。

【0015】

チャンバ本体１０ａは、例えば、上部が開口した有底の筒状（具体的には角筒状）に形成されている。チャンバ本体１０ａの形成材料には例えばセラミックが用いられる。また、チャンバ本体１０ａは金型成形により形成される。チャンバ本体１０ａには、当該チャンバ本体１０ａを加熱する加熱機構（例えば抵抗加熱式のヒータや高温冷媒の流路）が設けられていてもよい。

【0016】

チャンバ本体１０ａの側壁１１には、ウェハＷの搬入出口（図示せず）が設けられており、この搬入出口には、当該搬入出口を開閉するゲートバルブ（図示せず）が設けられている。

【0017】

チャンバ本体１０ａの底壁１２には、排気口１２ａが形成されている。また、底壁１２には、後述のベローズ３３を収容する収容部２０の上部の開口２０ａと排気口１２ａとが連通するように、当該収容部２０が接続されている。収容部２０は、上部と側部に開口２０ａ、２０ｂを有し、開口２０ａと開口２０ｂが互いに連通している。これら開口２０ａ、２０ｂを介してチャンバ１０内が排気されるように、収容部２０の側部には、排気管２１の一端が接続されている。排気管２１の他端は、真空ポンプ等を有する排気機構２２に接続されている。

【0018】

蓋部材１０ｂは、チャンバ本体１０ａの上部開口を塞ぐ。蓋部材１０ｂは、例えば平面視方形状に形成されている。蓋部材１０ｂの形成材料には例えばセラミックが用いられる。また、チャンバ本体１０ａの水平方向一方端（図１の右側端）に、ヒンジ１０ｃが設けられている。蓋部材１０ｂは、ヒンジ１０ｃに軸支されると共に、ヒンジ１０ｃによりチャンバ本体１０ａの上部開口を開閉自在となっている。

【0019】

チャンバ本体１０ａと蓋部材１０ｂとの間には、気密性を維持するため、シール材としてのＯリング１０ｄが設けられている。言い換えると、チャンバ１０は、シール材としてのＯリング１０ｄを用いて当該チャンバ１０内部の減圧雰囲気と当該チャンバ１０外部の雰囲気とを遮蔽するシール構造Ｓを有する。シール構造Ｓのより具体的な構成については後述する。

【0020】

チャンバ１０内には、ウェハＷが水平に載置される平面視円形状の載置台３０が設けられている。載置台３０の内部には、ウェハＷを加熱するためのヒータ（図示せず）が設けられている。載置台３０の下面側中央部には、チャンバ本体１０ａの底壁１２の排気口１２ａを通じて底壁１２を貫通し、さらに、収容部２０の底壁２０ｃを貫通するように、上下方向に延在する支持部材３１の上端部が接続されている。支持部材３１の下端は、昇降機構３２に接続されている。後述の制御部５０に制御される昇降機構３２の駆動によって、載置台３０は、上方の第１の位置と下方の第２の位置との間を上下に移動することができる。

【0021】

上記第１の位置は、ウェハＷに処理が行われる処理位置である。
上記第２の位置は、チャンバ１０の前述の搬出入口(図示せず)からチャンバ１０内に進入するウェハＷの搬送機構（図示せず）と、チャンバ１０内の下方に設けられた受け渡しピン（図示せず）との間で、ウェハＷを受け渡している時に載置台３０が待機する待機位置である。

【0022】

また、支持部材３１には、フランジ３１ａが設けられている。そして、このフランジ３１ａの下面と、収容部２０の底壁２０ｃの上面との間には、支持部材３１の外周を囲むように、ベローズ３３が設けられている。このベローズ３３が設けられているため、収容部２０の底壁２０ｃにおける支持部材３１の貫通部分によってチャンバ１０の気密性が失われることがない。

【0023】

また、載置台３０に対向するように、チャンバ１０の蓋部材１０ｂには、処理ガスとしての成膜ガスの供給部１３が設けられている。供給部１３は、成膜ガスをチャンバ１０内に供給する。供給部１３が供給する成膜ガスは、例えば金属膜を成膜するための成膜ガスである。供給部１３には、供給管４０の一端が接続されている。供給管４０の他端は、ガス供給源からの成膜ガスの流量を調整する流量調整弁（図示せず）等を有する供給機構４１に接続されている。

【0024】

以上のように構成される成膜装置１には、図１に示すように、制御部５０が設けられている。制御部５０は、例えばＣＰＵ等のプロセッサやメモリを備えたコンピュータにより構成され、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、成膜装置１におけるウェハ処理を実現するためのプログラムが格納されている。なお、上記プログラムは、コンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、当該記憶媒体から制御部５０にインストールされたものであってもよい。また、上記記憶媒体は、一時的なものであっても、非一時的なものであってもよい。

【0025】

＜シール構造Ｓ＞
続いて、シール構造Ｓの構成例について説明する。図２は、チャンバ本体１０ａの上面図であり、後述の溝１１ａ内にＯリング１０ｄが収容されているが後述の固定溝１１ｃ内に後述の押さえ部材１００、１１０が配設されていない状態を示している。図３は、チャンバ本体１０ａの部分拡大斜視断面図であり、溝１１ａ内にＯリング１０ｄが収容されておらず固定溝１１ｃ内に押さえ部材１００、１１０が配設されていない状態を示している。図４は、後述の非固定溝１１ｂの断面図である。図５は、固定溝１１ｃの断面図である。図６は、チャンバ本体１０ａの部分拡大斜視図であり、溝１１ａ内にＯリング１０ｄが収容され固定溝１１ｃ内に押さえ部材１００、１１０が配設されている状態を示している。図７は、後述の固定機構１２０の説明図である。

【0026】

シール構造Ｓは、前述のように、Ｏリング１０ｄを用いてチャンバ１０内部の減圧雰囲気とチャンバ１０外部の雰囲気とを遮蔽する。Ｏリング１０ｄは、チャンバ本体１０ａの側壁１１の上面と蓋部材１０ｂの周縁部の下面という２つのシール面の間に配設されて用いられる。

【0027】

Ｏリング１０ｄは、図２に示すように、例えばチャンバ本体１０ａの側壁１１の上面に形成された溝１１ａに収容される。溝１１ａは、チャンバ１０の形状に沿って形成され、例えば、平面視矩形環状に形成されている。

【0028】

また、溝１１ａは、図２及び図３に示すように非固定溝１１ｂと固定溝１１ｃとを有する。

【0029】

非固定溝１１ｂは、その内部にＯリング１０ｄが収容される。ただし、非固定溝１１ｂは、その内部でＯリング１０ｄは固定されない。非固定溝１１ｂは、例えば、図４に示すように、底面が平坦であり側面が垂直な角溝である。

【0030】

また、非固定溝１１ｂの開口の幅Ｗ１は、Ｏリング１０ｄの幅（すなわち直径）より大きい。
さらに、非固定溝１１ｂは、底面でＯリング１０ｄを支持する。非固定溝１１ｂの深さＤ１は、Ｏリング１０ｄの厚さ（すなわち直径）より所定量小さい。そのため、Ｏリング１０ｄは、非固定溝１１ｂの底面に支持された状態すなわち非固定溝１１ｂに収容された状態で、非固定溝１１ｂの開口を介して、チャンバ本体１０ａの側壁１１の上面から所定量（例えば１ｍｍ）突出する。

【0031】

固定溝１１ｃは、図５及び図６に示すように、その内部にＯリング１０ｄが収容されると共に固定される。固定溝１１ｃは、例えば、底面の平坦な部分から側面が垂直に立ち上がるように形成された角溝状の溝である。

【0032】

固定溝１１ｃの幅Ｗ２は、開口を含め、Ｏリング１０ｄの幅（すなわち直径）より大きい。

【0033】

また、固定溝１１ｃの底面における溝幅方向中央から凸部１１ｄが突出している。凸部１１ｄの頂面は平坦に形成され、固定溝１１ｃの溝底面における凸部１１ｄ以外の部分すなわち溝幅方向外側の外側よりの領域も平坦に形成されている。

【0034】

固定溝１１ｃでは、凸部１１ｄの頂面でＯリング１０ｄを支持する。凸部１１ｄの高さＨ１は、凸部１１ｄの頂面で支持されたＯリング１０ｄがチャンバ本体１０ａの側壁１１の上面から所定量突出する高さである。

【0035】

固定溝１１ｃ内には、Ｏリング１０ｄの固定のため、押さえ部材１００、１１０が配設される。押さえ部材１００、１１０の形成材料は例えばステンレスである。また、押さえ部材１００、１１０のうち、少なくとも真空雰囲気側の部材については、耐食性を高めるためのコーティングが行われてもよい。

【0036】

押さえ部材１００は、固定溝１１ｃ内における溝幅方向一方側（図５の左側）の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設されている。また、押さえ部材１００は庇部１０１を有する。庇部１０１は、溝幅方向他方側（図５の右側）に向けて延び、固定溝１１ｃの内部と外部とを連通させるスリットＳＬを形成する。

【0037】

また、押さえ部材１００の溝幅方向他方側（図５の右側）の面における、凸部１１ｄより上側となる部分は、固定溝１１ｃの開口側が溝幅方向他方側（図５の右側）に張り出して庇部１０１を形成するテーパー面となっている。

【0038】

さらに、押さえ部材１００の下面は、固定溝１１ｃの底面上を滑らかに摺動できるよう、平坦に形成されている。また、上記摺動時等に倒れないよう、押さえ部材１００の下部は、テーパー面を有するため薄く形成された押さえ部材１００の上部より、厚く形成されている。
また、押さえ部材１００の高さは、当該押さえ部材１００が固定溝１１ｃの底面に支持された状態で、チャンバ本体１０ａの側壁１１の上面から当該押さえ部材１００が突出しない高さである。

【0039】

同様に、押さえ部材１１０は、固定溝１１ｃ内における溝幅方向一方側（図５の右側）の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設されている。また、押さえ部材１１０は庇部１1１を有する。庇部１１１は、溝幅方向他方側（図５の左側）に向けて延び、上記スリットＳＬを形成する。

【0040】

また、押さえ部材１１０の溝幅方向他方側（図５の左側）の面における、凸部１１ｄより上側となる部分は、固定溝１１ｃの開口側が溝幅方向他方側（図５の左側）に張り出して庇部１１１を形成するテーパー面となっている。

【0041】

さらに、押さえ部材１１０の下面は、固定溝１１ｃの底面上を滑らかに摺動できるよう、平坦に形成されている。また、上記摺動時等に倒れないよう、押さえ部材１１０の下部は、テーパー面を有するため薄く形成された押さえ部材１１０の上部より、厚く形成されている。
また、押さえ部材１１０の高さは、当該押さえ部材１１０が固定溝１１ｃの底面に支持された状態で、チャンバ本体１０ａの側壁１１の上面から当該押さえ部材１１０が突出しない高さである。

【0042】

これら押さえ部材１００、１１０の溝幅方向の位置を調整することで、庇部１０１、１１１により形成されるスリットＳＬの幅Ｗ３を調整することができる。

【0043】

また、庇部１０１、１１１は以下の条件（１）～（２）を満たすように形成される。
（１）押さえ部材１００が溝幅方向一方側（図５の左側）寄りに位置し、押さえ部材１１０が溝幅方向一方側（図５の右側）寄りに位置するときに、庇部１０１、１１１によって形成されるスリットＳＬの幅はＯリング１０ｄの幅より大きい。
（２）押さえ部材１００が溝幅方向他方側（図５の右側）寄りに位置し、押さえ部材１１０が溝幅方向他方側（図５の左側）寄りに位置するときに、庇部１０１、１１１によって形成されるスリットSLの幅はＯリング１０ｄの幅より小さく、且つ、庇部１０１、１１１によってＯリング１０ｄが押さえられる。

【0044】

スリットＳＬの幅Ｗ３がＯリング１０ｄより十分小さく、押さえ部材１００、１１０が固定されていれば、Ｏリング１０ｄがスリットＳＬを介して固定溝１１ｃから外れないよう当該Ｏリング１０ｄを庇部１０１、１１１によって固定溝１１ｃ内に固定することができる。

【0045】

そのため、シール構造Ｓは、押さえ部材１００、１１０を固定溝１１ｃ内に固定する固定機構１２０、１３０を有する。

【0046】

押さえ部材１００用の固定機構１２０は、押さえ部材１００から溝幅方向一方側（図５の左側）へ突出長さを調整可能に突出する突っ張り部としてのネジ１２１と、前述の凸部１１ｄとを有する。
ネジ１２１は、図７に示すように、押さえ部材１００の上記溝幅方向一方側の面に形成されたネジ穴１０２に螺合する。工具Ｔ（図６参照）によりネジ１２１の螺合長さを調整することで、押さえ部材１００から溝幅方向一方側（図５の左側）へのネジ１２１の突出長さを調整することができる。

【0047】

固定機構１２０では、ネジ１２１の突出長さが大きくなり、押さえ部材１００と固定溝１１ｃの側面との間でネジ１２１が突っ張られた状態となったときに、押さえ部材１００が凸部１１ｄの側面に押し付けられて固定される。

【0048】

押さえ部材１１０用の固定機構１３０は、押さえ部材１１０から溝幅方向一方側（図５の右側）へ突出長さを調整可能に突出する突っ張り部としてのネジ１３１と、上記凸部１１ｄとを有する。
ネジ１３１は、押さえ部材１１０の上記溝幅方向一方側の面に形成されたネジ穴（図示せず）に螺合する。工具Ｔ（図６参照）によりネジ１３１の螺合長さを調整することで、押さえ部材１１０から溝幅方向一方側（図５の右側）へのネジ１３１の突出長さを調整することができる。

【0049】

固定機構１３０では、ネジ１３１の突出長さが大きくなり、押さえ部材１１０と固定溝１１ｃの側面との間でネジ１３１が突っ張られた状態となったときに、押さえ部材１００が凸部１１ｄの側面に押し付けられて固定される。

【0050】

＜Ｏリング１０ｄの取り付け方法の一例＞
続いて、Ｏリング１０ｄの取り付け方法の一例について説明する。

【0051】

（ステップＳ１：押さえ部材１００、１１０の配設）
例えば、まず、押さえ部材１００、１１０が溝幅方向外側の領域に配設される。このとき、押さえ部材１００、１１０に接続されたネジ１２１、１３１の溝幅方向外側への突出長さは短く、庇部１０１、１１１によって、Ｏリング１０ｄより幅が大きいスリットＳＬが形成される。

【0052】

（ステップＳ２：Ｏリング１０ｄの収容）
次いで、溝１１ａ内に、Ｏリング１０ｄが収容される。非固定溝１１ｂについては、当該非固定溝１１ｂの開口を介してＯリング１０ｄが収容され、固定溝１１ｃについては、当該固定溝１１ｃ及びスリットＳＬを介してＯリング１０ｄが収容される。

【0053】

（ステップＳ３：スリットＳＬの幅の調整及び押さえ部材１００、１１０の固定）
その後、スリットＳＬの幅がＯリング１０ｄの幅（すなわち直径）より小さくされると共に、押さえ部材１００、１１０が固定される。
具体的には、ネジ１２１、１３１の螺合長さが大きくされ、押さえ部材１００、１１０が溝幅方向内側に移動する。これにより、スリットＳＬの幅がＯリング１０ｄの幅より小さくされると共に、押さえ部材１００、１１０と固定溝１１ｃの側面との間でネジ１２１、１３１が突っ張られた状態となり、押さえ部材１００、１１０が凸部１１ｄの側面に押し付けられて固定される。
以上で、Ｏリング１０ｄの取り付けが完了する。

【0054】

＜Ｏリング１０ｄの取り付け方法の他の例＞
次いで、Ｏリング１０ｄの取り付け方法の他の例について説明する。

【0055】

（ステップＳ１１：Ｏリング１０ｄの収容）
本例では、まず、溝１１ａ内に、Ｏリング１０ｄが収容される。非固定溝１１ｂ及び固定溝１１ｃの開口を介して、Ｏリング１０ｄが非固定溝１１ｂ及び固定溝１１ｃ内に収容される。

【0056】

（ステップＳ１２：押さえ部材１００、１１０の配設）
次いで、押さえ部材１００、１１０が溝幅方向外側の領域に配設される。このとき、押さえ部材１００、１１０に接続されたネジ１２１、１３１の溝幅方向外側への突出長さは短くされている。

【0057】

その後、前述のステップＳ３と同様にして、スリットＳＬの幅がＯリング１０ｄの幅（すなわち直径）より小さくされると共に、押さえ部材１００、１１０が固定される。
以上で、Ｏリング１０ｄの取り付けが完了する。

【0058】

このように、押さえ部材１００、１１０の配設工程と、Ｏリング１０ｄの収容工程の順序は問わない。

【0059】

なお、Ｏリング１０ｄの取り外しは、Ｏリング１０ｄの取り付けと逆の手順で行うことができる。

【0060】

（本実施形態の主な効果）
以上のように、本実施形態のシール構造Ｓでは、Ｏリング１０ｄより幅が広い固定溝１１ｃ内へのＯリング１０ｄの収容後に、押さえ部材１００、１１０の庇部１０１、１１１によってＯリング１０ｄより狭いスリットＳＬを形成すると共に押さえ部材１００、１１０を固定することで、Ｏリング１０ｄを溝から外れないように固定することができる。そして、本実施形態のシール構造Ｓでは、Ｏリング１０ｄを溝１１ａへ収容させる時に、Ｏリング１０ｄより狭い状態のスリットＳＬが存在しないようにすることができる。そのため、本実施形態によれば、溝１１ａ内へＯリング１０ｄを収容する際に当該Ｏリング１０ｄに捻じれが生じるのを抑制することができる。したがって、溝１１ａ内にＯリング１０ｄを捻じれなく固定することができる。その結果、Ｏリング１０ｄの寿命を延ばすことができる。

【0061】

さらに、チャンバ本体１０ａがセラミック製の場合に、本実施形態と異なり、Ｏリング１０ｄの固定用にアリ溝をチャンバ本体１０ａに形成すると、以下のおそれがある。すなわち、溝加工時に、アリ溝の開口を形成する細い部分に破損が生じるおそれがある。また、Ｏリング１０ｄの取り付けや取り外し時に、同様に破損が生じるおそれがある。Ｏリング１０ｄとして、耐食性の高いもの等、硬度が高いものを用いる場合、特に取り付け時や取り外しに上述のような破損が生じるおそれがある。それに対し、本実施形態では、チャンバ本体１０ａに形成されている溝１１ａはアリ溝ではないため、チャンバ本体１０ａをセラミックで形成しても、溝加工時やＯリング（硬度の高いものを含む。）取り付け時及び取り外し時にチャンバ本体１０ａに破損が生じる可能性が低い。

【0062】

また、本実施形態のシール構造Ｓは、従来と同様、チャンバ本体１０ａの側壁１１の上面と蓋部材１０ｂの周縁部の下面という２つのシール面により密封するものであり、且つ、従来と比べたときにシール面に必要な加工は固定溝１１ｃの加工のみである。したがって、本実施形態のシール構造Ｓによれば、従来と同様なシール性能を得ることができる。

【0063】

なお、セラミック製の部材にネジ穴加工を施すと、当該セラミック製の部材が破損するおそれがある。それに対し、本実施形態では、押さえ部材１００、１１０の固定のために、シール構造Ｓを構成するセラミック製の部材（チャンバ本体１０ａ）等にネジ穴加工を施していない。つまり、本実施形態では、シール構造Ｓを構成するセラミック製の部材（チャンバ本体１０ａ）等に、破損のおそれがあるネジ穴加工を行わずに、押さえ部材１００、１１０を固定することができる。

【0064】

＜変形例＞
図８は、シール構造の他の例を示す図である。
以上の例のシール構造では、庇部を有する押さえ部材が、溝幅方向の両側に設けられていた。ただし、上記押さえ部材は、溝幅方向の片側にのみ設けられていてもよい。すなわち、図５で示した押さえ部材１００、１１０のうち一方のみ設けられていてもよい。図７の例では、減圧雰囲気側となる押さえ部材１００のみ設けられている。このように、上記押さえ部材が溝幅方向の片側にのみ設けられる場合、減圧雰囲気側と外部雰囲気側とのうち、減圧雰囲気側にのみ設けられることが好ましい。これにより、溝幅方向の両側に上記押さえ部材が設けられる場合と同様に、固定溝１１ｃ内にＯリング１０ｄを固定することができる。

【0065】

なお、図の例では、固定溝１１ｃの外部と内部を連通するスリットＳＬは、庇部１０１と固定溝１１ｃの側面により形成される。

【0066】

図９は、突っ張り部の他の例を示す図である。
以上の例では、押さえ部材１００、１１０から溝幅方向外側へ突出長さを調整可能に突出する突っ張り部が、押さえ部材１００、１１０の溝幅方向外側の面に形成されたネジ穴に螺合するネジ１２１、１３１であった。上記突っ張り部は、図９に示すように、押さえ部材１００、１１０の溝幅方向外側の面に接続された弾性を有する弾性部材としてのバネ２００、２１０であってもよい。
バネ２００、２１０の材料には、バネ鋼、ニッケル合金、ステンレス等を用いることができる。

【0067】

バネ２００、２１０は、押さえ部材１００、１１０へのネジ加工が不要であるため、押さえ部材１００、１１０の形成材料にセラミックを用いることができる。

【0068】

図１０及び図１１は、押さえ部材の固定機構の他の例を示す図であり、図１０は、本例の押さえ部材の固定機構を有するシール構造の断面図であり、図１１は、押さえ部材の平面図である。
図１０の押さえ部材３００も、図５等に示した押さえ部材１００と同様、溝幅方向内側に向けて延びる庇部１０１を有する。
ただし、図１０に示すように、押さえ部材３００の固定機構３２０は、押さえ部材１００の固定機構１２０と異なり、押さえ部材３００を溝深さ方向に貫通し固定溝１１ｃの底面に形成されたネジ穴３２１に螺合するネジ３２２を有する。そして、固定機構３２０では、ネジ３２２により押さえ部材３００を固定する。

【0069】

この構成は、チャンバ本体１０ａの側壁１１へのネジ穴加工を伴うため、チャンバ本体１０ａの材料がセラミック材料ではなくステンレス等の金属材料の場合に好適に用いられる。

【0070】

なお、押さえ部材３００を貫通させたネジ３２２をネジ穴３２１に螺着させた状態で当該押さえ部材３００の溝幅方向の位置調整が可能なように、図１１に示すように、押さえ部材３００のネジ３２２に対する貫通孔３０１は平面視で溝幅方向（図の左右方向）に長い長穴となっている。
また、押さえ部材３００を固定したネジ３２２のネジ頭３２２ａが、押さえ部材３００の上面及びチャンバ本体１０ａの側壁１１の上面から突出しないように、押さえ部材３００の上面には、ネジ頭３２２ａが収まるザグリ３０２が形成されている。

【0071】

また、図２に示した例では、固定溝１１ｃは、チャンバ本体１０ａの各辺に複数点在するように設けられていた。すなわち、固定溝１１ｃに配設される押さえ部材は、チャンバ本体１０ａの各辺に複数点在するように配設されていた。これに代えて、押さえ部材を、チャンバ本体の各辺の例えば１／２より長く形成し、チャンバ本体の各辺に１つずつ配設されてもよい。

【0072】

さらに、押さえ部材の形状は、図６に示した例等では、平面視直線状であるが、平面視弧状であってもよいし、Ｌ字状であってもよい。押さえ部材の形状が、平面視弧状または平面視Ｌ字状である場合は、溝幅方向だけでなく溝長さ方向にも容易に位置調整が可能な、押さえ部材の固定機構として、図１０及び図１１に示した、固定機構３２０を用いるとよい。
さらにまた、チャンバ本体１０ａの各辺での押さえ部材の配設密度は、例えば辺間で等しいが、一部の辺について、他の辺より押さえ部材の配設密度が高くてもよい。具体的には、ヒンジ１０ｃ側の辺及びヒンジ１０ｃに対向する側の辺について、ヒンジ１０ｃ側の辺に両端に接続された辺より押さえ部材の配設密度を高くしてもよい。なぜならば、ヒンジ１０ｃ側及びヒンジ１０ｃに対向する側では、蓋部材１０ｂを開閉したときに、Ｏリング１０ｄが、蓋部材１０ｂの周縁部の下面に貼りついたまま溝１１ａから外れてしまうことがあるため、である。ヒンジ１０ｃ側の辺及びヒンジ１０ｃに対向する側の辺における押さえ部材の配設密度を高くすれば、ヒンジ１０ｃ側及びヒンジ１０ｃに対向する側において、Ｏリング１０ｄが上述のようにして溝１１ａから外れるのを抑制することができる。

【0073】

以上の例では、溝１１ａが、下側のシール面であるチャンバ本体１０ａの側壁の上面に形成されているが、これに代えて、上側のシール面である蓋部材１０ｂの周縁部の下面に形成されていてもよい。

【0074】

また、以上の例では、非固定溝１１ｂは角溝であるものとしたが、溝の開口の幅がＯリング１０ｄの幅より大きければ、非固定溝１１ｂは、角溝以外の溝形状、例えば、テーパー面を溝幅方向一方側にのみ有する片アリ溝形状であってもよい。

【0075】

以上の例では、シール材としてＯリングすなわち断面形状が円形のものが用いられていたが、シール材は断面形状が円形以外のものであってもよい。また、押さえ部材の幅方向内側面の形状は、シール材の断面形状に合わせて適宜変更可能である。

【0076】

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲、後述の付記項及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。例えば、上記実施形態の構成要件は上記の効果を損なわない範囲で、任意に組み合わせることができる。また、本開示に係る技術は、上記の効果とともに、又は、上記の効果に代えて、本明細書の記載から当業者には明らかな他の効果を奏しうる。

【0077】

なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。
［付記項１］
シール材より幅が大きく形成された溝と、
前記溝内における溝幅方向一方側の領域に溝幅方向の位置を調整可能に配設され、溝幅方向他方側に向けて延び前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成すると共に前記シール材を前記溝内に押さえる庇部を有する押さえ部材と、
前記押さえ部材を固定する固定機構と、を有する、シール構造。
［付記項２］
前記固定機構は、
前記押さえ部材から前記溝幅方向一方側へ突出長さを調整可能に突出する突っ張り部と、
前記溝の底部から突出する凸部と、を有し、
前記突っ張り部により前記押さえ部材を前記凸部に押し付けて固定する、付記項１に記載のシール構造。
［付記項３］
前記突っ張り部は、前記押さえ部材の前記溝幅方向一方側の面に形成されたネジ穴に螺合するネジである、付記項２に記載のシール構造。
［付記項４］
前記突っ張り部は、弾性を有する弾性部材である、付記項２に記載のシール構造。
［付記項５］
前記固定機構は、
前記押さえ部材を溝深さ方向に貫通し、前記溝の底面に形成されたネジ穴に螺合するネジを有し、
前記ネジにより前記押さえ部材を固定する、付記項１に記載のシール構造。
［付記項６］
前記押さえ部材は、溝幅方向の両側それぞれに配設される、付記項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。
［付記項７］
前記押さえ部材は、前記溝幅方向の片側にのみ配設される、付記項１～５のいずれか１項に記載のシール構造。
［付記項８］
前記押さえ部材は、前記溝幅方向一方側寄りに位置するときに、前記庇部によって、前記シール材より幅が大きい前記スリットを形成し、前記溝幅方向他方側寄りに位置するときに、前記庇部によって、前記シール材より幅が小さい前記スリットを形成すると共に前記シール材を押さえる、付記項１～７のいずれか１項に記載のシール構造。
［付記項９］
前記溝は、セラミック製の部材に形成されている、付記項１～７のいずれか１項に記載のシール構造・
［付記項１０］
付記項１～９のいずれか１項に記載のシール構造を有し、減圧可能に構成され、基板処理の処理対象の基板を収容する、チャンバ。
［付記項１１］
付記項１０に記載のチャンバを備える、基板処理装置。
［請求項１２］
シール材より幅が大きく形成された溝内における溝幅方向一方側の領域に、溝幅方向他方側に受けて延びる庇部を有する押さえ部材を配設し、前記庇部によって、前記溝の内部と外部とを連通させるスリットを形成する工程と、
前記溝内に前記シール材を収容する工程と、
前記スリットの幅を前記シール材の幅より小さくする工程と、
前記押さえ部材を固定する工程と、を含む、シール材の取り付け方法。

【符号の説明】

【0078】

１ 成膜装置
１０ｄ Ｏリング
１１ｃ 固定溝
１００ 押さえ部材
１０１ 庇部
１１０ 押さえ部材
１１１ 庇部
１２０ 固定機構
１３０ 固定機構
３００ 押さえ部材
３２０ 固定機構
Ｓ シール構造
ＳＬ スリット
Ｗ ウェハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】