特開 2023-173152 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ユニットおよび液滴吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023173152

(43)【公開日】2023-12-07

(54)【発明の名称】液滴吐出ヘッド、液滴吐出ユニットおよび液滴吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20231130BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20231130BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 301

B05C5/00 101

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022085199

(22)【出願日】2022-05-25

(71)【出願人】

【識別番号】000006747

【氏名又は名称】株式会社リコー

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100093997

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 秀佳

(72)【発明者】

【氏名】松原 勇太朗

【テーマコード（参考）】

2C057

4F041

【Ｆターム（参考）】

2C057AF71

2C057AG01

2C057AG15

2C057AG29

2C057AG44

2C057AN07

2C057BA07

2C057BA14

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA34

(57)【要約】

【課題】ノズル孔の入口側における流体流れを安定化して吐出液滴の飛翔方向を安定化し、画像品質を安定化する。
【解決手段】ノズル孔１１１を有するノズル板１０１と当該ノズル板１０１の周縁部を支持するハウジング１０との間に液体流路１１２が形成され、駆動手段により開閉作動する弁体を開放することで、当該液体流路１１２の液体がノズル孔１１１から液滴として吐出される液滴吐出ヘッド１において、ノズル孔１１１が液体流路１１２の長手方向に複数配設されると共に、当該複数のノズル孔１１１の相互間でノズル板１０１とハウジング１０を液体流路１１２を厚み方向に横断する連結部２００で連結したことを特徴とする。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ノズル孔を有するノズル板と当該ノズル板の周縁部を支持するハウジングとの間に液体流路が形成され、駆動手段により開閉作動する弁体を開放することで、当該液体流路の液体が前記ノズル孔から液滴として吐出される液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル孔が前記液体流路の長手方向に複数配設されると共に、当該複数のノズル孔の相互間で前記ノズル板と前記ハウジングを前記液体流路を横断する連結部で連結したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。

【請求項2】

前記液体流路に液体を供給する供給ポートと、前記液体流路の液体を排出する回収ポートとを備え、前記複数のノズル孔は前記供給ポートから前記回収ポートへ向かって液体が流れる方向に沿って並んで配設されていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項3】

前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた複数列で形成され、当該複数列の各列に含まれる前記ノズル孔の上下流にのみ前記連結部が形成されていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項4】

前記複数列のノズル孔と前記連結部がそれぞれ千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項３の液滴吐出ヘッド。

【請求項5】

前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた二列で形成され、当該二列の各ノズル孔の相互間に前記連結部が形成され、前記流体流路は、前記二列のノズル孔の列間に形成された中央液体流路を有することを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項6】

前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた単列で形成され、当該単列の各ノズル孔の相互間に前記連結部が形成されていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項7】

前記連結部が前記ハウジングと一体に形成されていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項8】

前記連結部が前記ハウジングと別体に形成されていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。

【請求項9】

請求項１の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、
前記ノズル板の面方向であって前記流体流路の長手方向と垂直な方向における前記連結部の幅を連結部幅とし、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記連結部幅は、前記第２の液滴吐出ヘッドの連結部幅よりも大きいことを特徴とする液滴吐出ユニット。

【請求項10】

請求項２の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から直近上流側の前記連結部に至る上流側間隔は、当該ノズル孔から直近下流側の前記連結部に至る下流側間隔よりも短く、
前記第２の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から直近上流側の前記連結部に至る上流側間隔は、当該ノズル孔から直近下流側の前記連結部に至る下流側間隔よりも長い、
ことを特徴とする液滴吐出ユニット。

【請求項11】

請求項１の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、
前記第１の液滴吐出ヘッドの前記連結部の表面粗さは、前記第２の液滴吐出ヘッドの前記連結部の表面粗さよりも小さい、
ことを特徴とする液滴吐出ユニット。

【請求項12】

請求項１から８のいずれか１項の液滴吐出ヘッド、又は請求項９から１１のいずれか１項の液滴吐出ユニットと、
前記駆動手段を制御する制御部と、
を含むことを特徴とする液滴吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ユニットおよび液滴吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液滴吐出装置は、例えば特許文献１（特開２０１１－１３１５７１号公報）に記載のように、振動板部材を圧電部材で振動させることで圧力発生室に圧力を発生させ、この圧力でノズル板に形成された微細なノズル孔から液滴を吐出する。この場合、圧力発生室に大きな圧力を発生させるのが難しいため、使用する液体の粘度に制約（上限）がある。

【0003】

そこで、例えば特許文献２（特開２０２０－０２３１７７号公報）に記載のように、ノズル孔の内側に高圧流体を流し、当該ノズル孔を圧電素子に連結されたニードル弁で開閉する液滴吐出装置が開発されている。このような液滴吐出装置は幅広い液体粘度に対応できる。液滴吐出装置は様々な分野で使用され、例えば自動車の車体に図形等を高画質で描画したり、あるいは液体レジストやＤＮＡ試料を液滴として吐出したりするのに使用される。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、高圧流体を使用する液滴吐出装置では、ノズル孔の入口付近の流体流れが吐出液滴の飛翔方向に影響しやすい。特に、後述する図２Ｃ（ａ）のように高画質化に対応してノズル孔１１１を千鳥状に配列した場合、ノズル孔同士が近接配置されるので、使用する液体の粘度によって上流側ノズル孔の入口付近における流体流れが下流側ノズル孔の入口付近の流体流れに大きく影響し、吐出液滴の飛翔方向が不安定化して画像品質を低下させる可能性があるという課題がある。

【0005】

そこで本発明の目的は、ノズル孔の入口側における流体流れを安定化して吐出液滴の飛翔方向を安定化し、画像品質を安定化することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するため、本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズル孔を有するノズル板と当該ノズル板の周縁部を支持するハウジングとの間に液体流路が形成され、駆動手段により開閉作動する弁体を開放することで、当該液体流路の液体が前記ノズル孔から液滴として吐出される液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル孔が前記液体流路の長手方向に複数配設されると共に、当該複数のノズル孔の相互間で前記ノズル板と前記ハウジングを前記液体流路を横断する連結部で連結したことを特徴とする。

【発明の効果】

【0007】

本発明により、ノズル孔の入口側における流体流れを安定化して吐出液滴の飛翔方向を安定化し、画像品質を安定化することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1A】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの正面図である。

【図1B】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図である。

【図2A】下部ハウジングを取外した液滴吐出ヘッドの正面図である。

【図2B】液滴吐出ヘッドの下端部の拡大斜視図である。

【図2C】液滴吐出ヘッドのノズル板の平面図である。

【図3】液滴吐出ヘッドの液体流路を横断する断面図である。

【図4】液滴吐出ヘッドの（ａ）液体流路に沿った断面図と（ｂ）（ｃ）ヘッド下端部の水平断面平面図である。

【図5】変形例に係る液滴吐出ヘッドの液体流路に沿った断面図である。

【図6A】流体粘度の大小に対応した液滴吐出ヘッドの水平断面平面図である。

【図6B】流体粘度の大小に対応した液滴吐出ヘッドの設計方法を説明する図である。

【図6C】流路内の凸部の平面図である。

【図7】液滴吐出装置の斜視図である。

【図8】液滴吐出装置の駆動部の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（●液滴吐出ヘッド）
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。図１Ａは液滴吐出ヘッド１の正面図、図１Ｂは液滴吐出ヘッド１を斜め下方から見た斜視図である。

【0010】

液滴吐出ヘッド１のハウジング１０は、上部ハウジング１０ａと下部ハウジング１０ｂを有する。上部ハウジング１０ａと下部ハウジング１０ｂは一体的に形成することも可能である。上部ハウジング１０ａの上にカバー２０が取付けられ、このカバー２０の内側に電装品が配設されている。カバー２０の上端部には電装品のコネクタ部２が設けられている。

【0011】

下部ハウジング１０ｂの下面に、耐腐食性のステンレス鋼（ＳＵＳ）などの金属で構成されたノズル板１０１が配設されている。ノズル板１０１に形成された微細なノズル孔１１１から液滴が吐出される。

【0012】

下部ハウジング１０ｂの内側には図３のように液体の流路１１２が形成されている。この流路１１２の一端は供給ポート１１に連通し、他端は回収ポート１２に連通している。

【0013】

供給ポート１１と回収ポート１２は循環通路Ｌを介して連結され、循環通路ＬのポンプＰによって加圧された加圧液体が供給ポート１１に供給されるようになっている。ノズル孔１１１から吐出されなかった加圧液体は、回収ポート１２から回収された後、循環通路ＬとポンプＰを経由して再び供給ポート１１に供給される。

【0014】

本実施形態の液滴吐出ヘッド１は、供給ポート１１の送液圧力を数１００ｋＰａの大きさで加圧するため、ノズル板１０１の周縁部とハウジング１０を接着剤によって強固に接合している。液滴吐出ヘッド１を下面から見たときに、従来は後述の連結部２００がない形態としていた。

【0015】

しかしながら、流路１１２に流入してきたインクは流速が速く、そのまま回収ポート１２から吐出するとノズル孔１１１からの吐出液滴の飛翔方向が傾斜する可能性がある。また、ノズル孔１１１を複列で形成したりノズル孔の個数を増大したりすると、それに応じてノズル板１０１が大型化してその受圧面積が増大する。

【0016】

そうすると、ノズル板１０１の周縁部の接合部分で強度不足のため剥がれが発生し、インクが液室から外部にリークする懸念があった。そこで本実施形態では、後述するようにノズル板１０１とハウジング１０を連結部２００で連結している。

【0017】

前述した下部ハウジング１０ｂを取外すと、図２Ａ、図２Ｂのように軸状部材としてのニードル弁１１３の先端部が、上部ハウジング１０ａの下面の軸受１２１から露出する。ニードル弁１１３は耐腐食性のＳＵＳなどの金属で構成され、細い部分で直径１ｍｍ以下、太い部分でも直径２ｍｍ程度で非常に細い。この細いニードル弁１１３が上部ハウジング１０ａの軸受１２１から、例えば１～２０ｍｍの長さで露出する。

【0018】

ニードル弁１１３の先端部にはノズル孔１１１を開閉する弁体１１３ａが配設されている。弁体１１３ａの上側に、シール部材としての弾性を有するＯリング１１３ｂと、当該Ｏリング１１３ｂをニードル弁１１３に固定するためのワッシャー１１３ｃが配設されている。

【0019】

ノズル板１０１の周縁部は、ハウジング１０に対して熱硬化性樹脂等により接合される。ノズル板１０１のノズル孔１１１は、従来、図２Ｃ（ｂ）に示すように１列で形成されることが多かったが、近年では高画質化と装置のコンパクト化のため図２Ｃ（ａ）に示すように２列または３列以上の複数列で形成されることも珍しくない。

【0020】

すなわち、図２Ｃ（ｂ）のようにノズル孔１１１を１列で有するノズル板１０１の場合、所望の画質を得るためにノズル板１０１を印写方向Ｘに対してかなり角度を付けて並べる必要がある。そうすると、斜線領域のように印刷可能箇所に制約が生じ、ユーザの印写回数の増加による生産性低下や印写時の不自由さが生じる。

【0021】

図２Ｃ（ａ）に示すようにノズル孔１１１を複列で有するノズル板１０１の場合、ノズル孔１１１を千鳥状に配列することで、ノズル板１０１を印写方向Ｘに対して傾斜配置することなく、高画質化と装置コンパクト化および塗装面積拡大による生産率向上を達成することができる。

【0022】

前述の例は、図２Ｃ（ａ）および図２Ｃ（ｂ）に示す６個のノズル板１０１をハウジング１０に接合する構成であるが、ノズル板１０１ごとにハウジングを接合した液滴吐出ヘッド１を６個並べて配置した液滴吐出ユニットとしてもよい。このような複数の液滴吐出ヘッド１を有する液滴吐出ユニットの構成とすることで、ノズル板１０１ごとに液体供給流路を設けることができる。これにより、ノズル板１０１ごとに異なる液体を供給し吐出させることができる。

【0023】

例えば図２Ｃ（ａ）の６個のノズル板１０１ごとに異なる色のインクを供給した場合、１つの液滴吐出ユニットで６色のインクを用いて画像を形成することができる。または、６個のノズル板１０１それぞれを構成する液滴吐出ヘッド１に異なる粘度の液体を供給することで、１つの液滴吐出ユニットで異なる粘度の液滴を吐出することができる。

【0024】

液滴吐出ヘッド１は、吐出する液滴の粘度に応じて液滴吐出ヘッド１の流路の設計や液滴吐出ヘッド１の駆動方法等を調整する必要がある。液滴吐出ユニットを複数の液滴吐出ヘッド１で構成することで、吐出する液体の粘度に適した設計の液滴吐出ヘッド１を組み合わせることができる。これにより、１つの液滴吐出ユニットで粘度の異なる複数種類の液体を適切に吐出することが可能となる。

【0025】

（●ニードル弁の開閉駆動）
図３に示すように、ニードル弁１１３と当該ニードル弁１１３を駆動する圧電素子１１４が上部ハウジング１０ａに配設されている。圧電素子１１４は、保持部材１１５の中央空間１１５ａ内に保持されている。

【0026】

この保持部材１１５の上下両端部にはバネ部が形成され、当該バネ部によって圧電素子１１４が軸線方向（Ｚに沿った方向）で圧縮状態に保持されている。保持部材１１５の先端部１１５ｂとニードル弁１１３の後端部は、圧電素子１１４とニードル弁１１３を同軸状にして連結されている。これにより、圧電素子１１４が長手方向（Ｚに沿った方向）で収縮したとき、保持部材１１５も長手方向（Ｚに沿った方向）で収縮して、ノズル孔１１１が開く方向（Ｚと反対方向）の付勢力をニードル弁１１３に作用させることができる。

【0027】

圧電素子１１４は、電圧印加手段によって電圧が印加されたときにｄ３１モードで動作して、ノズル孔１１１が開く方向（Ｚと反対方向）にニードル弁１１３を駆動する。つまり、ニードル弁１１３は、圧電素子１１４に電圧が印加されることによりノズル孔１１１が開く方向（Ｚと反対方向）に駆動される。

【0028】

したがって、圧電素子１１４に電圧を印加していないときには、ニードル弁１１３がノズル孔１１１を閉塞している。このため、流路１１２に加圧液体が供給されていても、ノズル孔１１１から液体が吐出されることはない。

【0029】

そして、圧電素子１１４に電圧を印加することで、圧電素子１１４が収縮して、保持部材１１５を介してニードル弁１１３を引っ張るので、ニードル弁１１３の弁体１１３ａがノズル孔１１１から離間してノズル孔１１１を開放する。これにより、流路１１２に供給されている加圧液体が液滴となってノズル孔１１１から吐出される。

【0030】

圧電素子１１４は、電圧が印加されたときにニードル弁１１３を閉じる方向（Ｚ方向）に伸長するｄ３３モードで動作させることも可能である。圧電素子がｄ３３モードで動作するときには、電圧を印加した状態でニードル弁１１３の弁体１１３ａがノズル孔１１１側に押し付けられてノズル孔１１１を閉塞する。

【0031】

液滴を吐出させるときは、圧電素子１１４に対する電圧の印加を停止あるいは電圧を低くすることで、ニードル弁１１３の弁体１１３ａを開く方向（Ｚと反対方向）に移動させてノズル孔１１１を開放する。圧電素子１１４のｄ３３モードは、応答性が高く変位量が大きい。したがって、ニードル弁１１３の開閉動作の応答性を高め、ノズル孔１１１から吐出する液体の滴速度、滴量のばらつきを小さくしたい場合はｄ３３モードが適する。

【0032】

（●ニードル弁の上下移動）
保持部材１１５は、上部ハウジング１０ａ内で図３の上下方向（Ｚに沿った方向）に位置調整可能に配設されている。保持部材１１５の後端部１１５ｃは、固定ねじ１２４によって、上部ハウジング１０ａに位置決め固定できるようになっている。保持部材１１５の後端部１１５ｃには、軸線方向（Ｚに沿った方向）と直角方向（Ｘに沿った方向）に雌ねじ孔１１５ｄが形成され、この雌ねじ孔１１５ｄに固定ねじ１２４の先端が螺合されている。

【0033】

上部ハウジング１０ａの上端部には、図３に示すように軸線方向（Ｚに沿った方向）の長孔３０が形成され、この長孔３０に固定ねじ１２４が挿通されている。固定ねじ１２４を緩めると保持部材１１５が上下移動可能になる。

【0034】

固定ねじ１２４は、図３の状態で、弁体１１３ａとノズル孔１１１との間に所定の隙間δが形成される位置で長孔３０に対して締付け固定される。この状態で液滴吐出ヘッド１が製品として納品される。

【0035】

（●液滴吐出ヘッド）
図１Ｂと図４に示すように、供給ポート１１から回収ポート１２に向かう流路１１２に沿って、ノズル板１０１にノズル孔１１１が形成されている。図４（ｂ）は二列のノズル孔１１１が形成された場合であり、図４（ｃ）は一列のノズル孔１１１が形成された場合である。ノズル孔１１１は一列４つで構成され、これらノズル孔１１１がニードル弁１１３の先端の弁体１１３ａで開閉される。なお、図４（ａ）の２ａと２ｂはコネクタ部２のリード線である。

【0036】

従来、ノズル孔１１１の入口付近における流体流れについては特に考慮されてなかった。しかしながら、使用する流体の粘度や圧力によって、ノズル孔１１１の入口付近における流体流れが吐出液滴の飛翔方向に影響することが本願発明者らによって確認された。すなわち、流体の粘度や圧力によって吐出液滴の飛翔方向がノズル孔１１１の軸線方向（Ｚに沿った方向）からズレるという知見が得られた。このように吐出液滴の飛翔方向がズレると、吐出液滴によって形成される画像の品質が低下する。

【0037】

また、高圧流体を使用する場合のノズル板１０１の補強についても、十分な考慮がされてなかった。特に、図４（ｂ）のようにノズル孔１１１を二列（または多列）にすると、流路１１２の幅ないし容積が増大し、その分だけノズル板１０１の受圧面積が増加する。そうすると、下部ハウジング１０ｂに対するノズル板１０１の周縁部の接合部分に過大な剥離力が作用し、接合部分での剥離・液漏れが発生しやすい。

【0038】

（●連結部）
そこで本実施形態では、図４（ｂ）（ｃ）のように、ノズル板１０１の各ノズル孔１１１の上流側と下流側において、ノズル板１０１の内側とハウジング１０ａを、流路１１２を図４（ａ）の上下方向（Ｚに沿った方向）に横断する連結部２００で連結した。

【0039】

図４（ｂ）は、流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）に並んだ４つのノズル孔１１１を二列で千鳥状に形成し、各列の各ノズル孔１１１の上流と下流（上下流）にのみ連結部２００を配置したものである。連結部２００もノズル孔１１１と同じように千鳥状に形成されている。

【0040】

流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）は、供給ポート１１から回収ポート１２へ向かって液体が流れる方向である。連結部２００は流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）に延びた細長形状であり、その上流端と下流端は流体流れを阻害しないように先鋭にしてある。

【0041】

供給ポート１１から流路１１２を通って回収ポート１２に流れる流体は、図４（ｂ）のように三列の流れになる。三列の中央が中央液体流路であり、この中央液体流路には連結部２００を形成していない。これにより、流路１１２内の各ノズル孔１１１の入口付近の流速を均一にし、ノズル孔１１１の入口付近に安定した流速の液体を供給することができ、吐出液滴の飛翔方向を安定化することができる。

【0042】

三列の流れの間には連結部２００があるので、ノズル孔１１１の入口に対して流体が傾斜して流れ込むのが抑制される。また、各列のノズル孔１１１の両側、すなわち流れと直角方向（Ｘに沿った方向）の両側に中央液体流路を含む３列の流体流れが存在する。

【0043】

これにより、各ノズル孔１１１の入口付近の流体流れ状態が平均化され、吐出液滴の飛翔方向が安定化する。また、ノズル孔１１１の入口付近のインク流速が抑制されるので、次に説明する図４（ｃ）に比べて対応できるインク粘度の範囲が広い。したがって、図２Ｃにおいて６つのヘッド（ノズル板１０１）にそれぞれ粘度の異なる液体を供給する場合に好都合である。

【0044】

図４（ｃ）は、流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）に並んだ４つのノズル孔１１１を一列で形成し、各ノズル孔１１１の上流側と下流側に連結部２００を配置したものである。連結部２００は図４（ｂ）と同様に流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）に延びた細長形状であり、その上流端と下流端は流体流れを阻害しないように先鋭にしてある。

【0045】

図４（ｃ）において、供給ポート１１から流路１１２を通って回収ポート１２に流れる流体は、二列の流れになる。二列の流れの間に連結部２００があるので、ノズル孔１１１の入口に対して流体が傾斜して流れ込むのが抑制される。

【0046】

これにより吐出液滴の飛翔方向が安定化する。また、各ノズル孔１１１の両側、すなわち流れと直角方向（Ｘに沿った方向）の両側に流体流れが存在する。これにより、各ノズル孔１１１の入口付近の流体流れ状態が平均化され、吐出液滴の飛翔方向が安定化する。図４（ｂ）の構成に比べてノズル孔１１１の入口付近のインク流速を抑制しにくいため、比較的高粘度のインクを使用する場合に適する。

【0047】

前述の連結部２００は、図４（ａ）に示すように、流路１１２に面した上部ハウジング１０ａの下面に上部ハウジング１０ａと一体的に形成することができる。連結部２００の下端面は、ノズル板１０１の上面に対して熱硬化性樹脂等を使用して接合される。

【0048】

これにより、インクの色、仕向け(使用環境)によって粘度が変わった場合でも、その影響を受けないような流路形状にすることができる。連結部２００の長さ・幅は任意に決めることができる。

【0049】

流路１１２の外周部の高さと、連結部２００の上下方向（Ｚに沿った方向）高さは、同一となるように設定することができる。これにより、連結部２００の下端面と流路１１２の外周部下面を同一平面に位置させることができ、これらに対しノズル板１０１の上面を変形させずに隙間なく接合することができる。

【0050】

連結部２００の長さ・幅は任意に設定可能であるが、流路１１２の流れを阻害しない範囲で、できるだけ長く幅広に形成するのがよい。これにより、ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａの接合面積を増大することができる。

【0051】

すなわち、連結部２００によって、ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａの連結力（ノズル板１０１の耐圧力性）を向上することができる。前記連結力は連結部２００の断面積に比例するので、連結部２００を図５のように流路１１２に沿ってできるだけ長く幅広に形成するのが有利である。

【0052】

このように、ノズル板１０１に作用する液体圧力の一部を連結部２００で担持することで、ノズル板１０１の周縁接合部分に作用する液体圧力による剥離力を軽減して当該接合部分での剥離・液漏れを防止することができる。また、連結部２００によってノズル板１０１の耐圧力性を向上することができるので、ノズル板１０１の平面度を高精度に維持し、接合強度も高めることができる。これにより、ノズル孔１１１ごとの液滴の速度・体積バラつきを抑制することが可能になる。

【0053】

ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａは、高圧液体に対する耐腐食性を有し十分な強度を有する材料で構成することができる。ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａの材質は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。

【0054】

ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａの材質は、例えば、ステンレス鋼、Ａｌ、Ｂｉ、Ｃｒ、ＩｎＳｎ、ＩＴＯ、Ｎｂ、Ｎｂ₂Ｏ₅、ＮｉＣｒ、Ｓｉ、ＳｉＯ₂、Ｓｎ、Ｔａ₂Ｏ₅、Ｔｉ、Ｗ、ＺＡＯ（ＺｎＯ＋Ａｌ₂Ｏ₃）、Ｚｎなどを選択することができる。これらは、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、防錆性の点から、ステンレス鋼が好ましい。

【0055】

ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａを、前述のように連結部２００を介して相互連結する場合、ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａの線膨張率の差が大きいと、連結部１０ａ１の下端接合部で変形が発生するおそれがある。このような変形が発生すると、ノズル板１０１の平面度に悪影響が及び、ノズル孔１１１からの液滴吐出精度（描画精度）が低下する。

【0056】

したがって、ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａは同一材料で構成することが望ましい。同一材料であれば、連結部２００の下端接合部で熱硬化性樹脂が冷却硬化する際の熱収縮量がノズル板１０１と連結部２００で同じになり、ノズル板１０１の平面度を高精度に維持し、接合強度も高めることができる。これにより、ノズル孔１１１ごとの液滴の速度・体積バラつきを抑制することが可能になる。

【0057】

本実施形態では、ノズル板１０１と上部ハウジング１０ａをステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）で構成するものとする。上部ハウジング１０ａの連結部２００に代えて、ノズル板１０１の上面に同様の連結部を一体形成し、当該連結部の上端部を上部ハウジング１０ａの下面に熱硬化性樹脂で接合してもよい。

【0058】

また、図５に示すように、上部ハウジング１０ａやノズル板１０１とはまったく別体の連結部２１０を配置することも可能である。この場合は連結部２１０の材料選択範囲が広がると共に、連結部２１０を複雑形状に容易形成することができる。これにより、インクの色、仕向け(使用環境)によって粘度が変わった場合でも、図４の一体形連結部２００以上に、粘度の影響を受けないような流路形状にすることができる。

【0059】

（●ノズル孔と連結部の間隔）
ノズル孔１１１と連結部２００の流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）における間隔は、前述した図４では、ノズル孔１１１の上流側と下流側でほぼ同等の間隔にしている。しかしながら、使用する液体（インク）の粘度によって、ノズル孔１１１の上流側と下流側で異なる間隔にすることもできる。

【0060】

図６Ａの（ａ）（ｂ）は、低粘度液体と高粘度液体でノズル孔１１１の直近上流側と直近下流側で異なる間隔にした例を示している。図６Ａ（ａ）は低粘度液体を使用する場合である。低粘度液体の流れは変化しやすいので、直近上流側間隔Ａ１を直近下流側間隔Ｂ１よりも短くしている（Ａ１＜Ｂ１）。

【0061】

これに対して、高粘度液体を使用する場合は図６Ａ（ｂ）に示すように、直近上流側間隔Ａ２を直近下流側間隔Ｂ２よりも長くしている（Ａ２＞Ｂ２）。高粘度液体の流れは比較的変化しにくいので、低粘度液体のように上流側間隔Ａ２を短くする必要はない。

【0062】

逆に、直近上流側間隔Ａ２を短くし過ぎると、ノズル孔１１１に流れ込む流体流れを阻害する可能性がある。よって、ノズル孔１１１から直近上流側の連結部２００に至る上流側間隔Ａと直近下流側の連結部２００に至る下流側間隔Ｂの比Ａ／Ｂを、液体流路１１２を流れる液体の粘度が増大するに従い増大する。このように、低粘度液体（第１の液体）と高粘度液体（第２の液体）では、連結部２００の配置等を変更する。

【0063】

図６Ｂは、流路設計の方法を説明するためのフローチャートである。このフローチャートでは、使用する液体（インク）の粘度が基準粘度Ａよりも大きいか小さいかによって凸部（連結部２００）の大きさ、形状等を変更する。

【0064】

ここでは、図４（ｂ）（ｃ）が基準粘度Ａのインクを使用する場合であるものとする。この場合、ノズル孔１１１から凸部（連結部２００）に至る上流側間隔と下流側間隔は同じであるとする。また、流路長手方向（Ｙに沿った方向）と垂直方向（Ｘに沿った方向）における凸部（連結部２００）の連結部幅Ｗは例えば１ｍｍとすることができる。

【0065】

基準粘度Ａよりも小さい粘度Ｂのインク（第１の液体）を使用する場合、
・図６Ｃ（ａ）に示す流路長手方向（Ｙに沿った方向）と垂直方向（Ｘに沿った方向）の連結部幅Ｗを大きくする（１ｍｍ＜Ｗ）。
・図６Ａ（ａ）のように上流側間隔Ａ１を短く、下流側間隔Ｂ１を長くする（Ａ１＜Ｂ１）。
・図６Ｃ（ａ）のように凸部（連結部２００）の表面を滑らかにする。
これにより、流路内のノズル孔１１１入口付近の流速と流れ方向が安定化する。

【0066】

基準粘度Ａよりも大きい粘度Ｃのインク（第２の液体）を使用する場合、
・図６Ｃ（ａ）に示す流路長手方向（Ｙに沿った方向）と垂直方向（Ｘに沿った方向）の連結部幅Ｗを小さくする（Ｗ＜１ｍｍ）。
・図６Ａ（ｂ）のように上流側間隔Ａ２を長く、下流側間隔Ｂ２を短くする（Ｂ２＜Ａ２）。
・図６Ｃ（ｂ）（ｃ）のように凸部（連結部２００）の表面にくぼみ（ディンプル）２００ａや突起部（プロジェクション）２００ｂを形成する。くぼみ２００ａと突起部２００ｂは混在形成してもよい。
以上により、流路内のノズル孔１１１入口付近の流速と流れ方向が安定化する。

【0067】

連結部２００の連結部幅Ｗは、ノズル板１０１の面方向であって流体流路１１２の長手方向（Ｙに沿った方向）と垂直な方向（Ｘに沿った方向）における幅である。この連結部２００の連結部幅Ｗを、液体流路１１２を流れる液体の粘度が増大するに従い減少する。

【0068】

くぼみ２００ａや突起部２００ｂの大きさ（深さ・高さ）の程度は、連結部２００表面の凸凹の平均値を基に計算される。計算方法としては「十点平均粗さ」や「算術平均粗さ」を使用することができる。ＪＩＳでは「Ｒａ」や「ＲｚＪＩＳ」と表記される。連結部２００の表面粗さ（Ｒａ）を、液体流路１１２を流れる液体の粘度が増大するに従い増大する。

【0069】

（●間隔ＡＢ、連結部幅Ｗ、粗さＲａについて）
インク粘度に対応して前述した間隔ＡＢ、連結部幅Ｗ、粗さＲａとする理由について、以下さらに説明する。
［間隔ＡＢ］
液体吐出ヘッド１に使用するインク粘度が増大すると（第２の液体）、連結部２００の下流側のノズル孔１１１側表面に境界層が発生し、逆流が発生して流速が低下する。この流速低下により、当該下流側ノズル孔１１１から吐出する液滴の量と速度が減少する。

【0070】

連結部２００の下流側のノズル孔１１１までの距離を長くすることで、いったん低下した流速が加速し始める。これにより、ノズル孔１１１から吐出する液滴の量と速度が回復する。したがって、液体吐出ヘッド１に使用するインク粘度が増大する場合は（第２の液体）、上流側間隔Ａ２を長く、下流側間隔Ｂ２を短くする（Ｂ２＜Ａ２）。このように、連結部２００から下流側ノズル孔１１１までの距離を長くする調整が必要である。

【0071】

［連結部幅Ｗ］
液体吐出ヘッド１に使用するインク粘度が増大すると（第２の液体）、前述したようにインクが連結部２００に衝突したときの流速低下が大きくなり、下流側ノズル孔１１１の入口流速が遅くなる。この流速低下により、当該下流側ノズル孔１１１から吐出する液滴の量と速度が減少する。そこで、使用するインク粘度が増大する場合は連結部２００の連結部幅Ｗを細くし、連結部２００による流体抵抗を減少することで下流側ノズル孔１１１の入口流速を大きくするように調整する。

【0072】

［粗さＲａ］
液体吐出ヘッド１に使用する粘度が増大すると（第２の液体）、前述したように連結部２００の下流側のノズル孔１１１の入口流速が遅くなる。この流速低下により、当該下流側ノズル孔１１１から吐出する液滴の量と速度が減少する。

【0073】

この場合、連結部２００の表面が凹凸のない滑らかな表面であると、連結部２００の表面に沿って境界層が発生するので、連結部２００の下流側には大きな渦（逆流）が発生して流速低下がより大きくなる。そこで、連結部２００の表面に凹凸を形成することで乱流境界層を形成し（境界層制御）、連結部２００の表面の剥離点を上流側に移動することで流速低下を抑制する。

【0074】

このように、液体吐出ヘッド１から吐出する液体の粘度に合わせて液滴吐出ヘッド１の連結部２００の形状，配置等を適正化することで、粘度の異なる複数液体（第１の液体と第２の液体）のそれぞれに対して安定した吐出性能を得ることができる。すなわち、粘度の異なる２以上の複数液体、例えば粘度Ｂのインクに対して適切に設計された液滴吐出ヘッド（ＨＢ）と、粘度Ｃのインクに対して適切に設計された液滴吐出ヘッド（ＨＣ）とを組み合わせて、１つの液滴吐出ユニットを構成することもできる。これにより、単一の液滴吐出ユニットを用いて粘度の異なる（少なくとも粘度Ｂと粘度Ｃの）インクを、安定した吐出性能で吐出することができる。

【0075】

前述した間隔ＡＢ、連結部幅Ｗ、粗さＲａは、いずれか１種類だけの数値を調整することで、粘度の異なる２以上の複数液体に対して適切に設計された複数の液滴吐出ヘッドを構成することができる。また、間隔ＡＢ、連結部幅Ｗ、粗さＲａの任意複数種類の組合せのそれぞれの数値を調整することでも、同様に粘度の異なる２以上の複数液体に対して適切に設計された複数の液滴吐出ヘッドを構成することができる。間隔ＡＢ、連結部幅Ｗ、粗さＲａの複数種類のそれぞれの数値を調整することで、１種類だけの数値を調整する場合に比べ、より広い粘度範囲の流体に対応することが可能となる。

【0076】

（●液滴吐出装置）
次に、図１の液滴吐出ヘッド１を利用した液滴吐出装置５００の実施形態を図７と図８を参照して説明する。液滴吐出ヘッド１は、前述したように使用する液体の粘度に対応して連結部を構成したものである。図７は液滴吐出装置５００の斜視図、図８は液滴吐出装置５００の駆動部の斜視図である。

【0077】

液滴吐出装置５００は、車両のボンネットなどの曲面を有する印刷対象物７００に対向させて据付けられる移動可能な枠ユニット８０２を備えている。枠ユニット８０２を構成する左右の枠部材８１０，８１１には、枠部材８１０，８１１に架け渡されるようにして、可動ユニット８１３が垂直方向（Ｙ方向）へ昇降可能に取り付けられている。

【0078】

可動ユニット８１３には、可動ユニット８１３上を水平方向（Ｘに沿った方向）に往復移動可能に配置されたモータを内蔵する駆動部８０３と、この駆動部８０３に取り付けられて印刷対象物７００へ向けて液体を吐出する液滴吐出ユニット５０１とが搭載されている。

【0079】

また、液滴吐出ユニット５０１からの液体の吐出、駆動部８０３の往復移動及び可動ユニット８１３の昇降を制御する制御部としてのコントローラ８０５と、このコントローラ８０５に対して指示を行うＰＣ（パーソナルコンピュータ）などの情報処理装置８０６とを備えている。情報処理装置８０６には、形状や大きさなどの印刷対象物７００に関する情報を記録保存するデータベース部（ＤＢ部）８０７が接続されている。

【0080】

枠ユニット８０２は、金属柱状体等によって形成された上下左右の枠部材８０８，８０９，８１０，８１１と、枠ユニット８０２を自立させるために下側の枠部材８０９の両側に直角且つ水平に取り付けられた左右の脚部材８１２ａ，８１２ｂを備えている。そして、左右の枠部材８１０，８１１の間に架け渡された可動ユニット８１３は、駆動部８０３を支持した状態で昇降可能に構成されている。

【0081】

印刷対象物７００は、液体の吐出方向（Ｚ方向）に直角に、すなわち、枠ユニット８０２の上下左右の枠部材８０８，８０９，８１０，８１１によって形成される平面に対向するようにして配置される。この場合、印刷を行うべき所定の位置に印刷対象物７００を配置させるためには、例えば、多関節型アームロボットのアームの先端に取り付けたチャックによって印刷対象物７００の印刷領域の裏側を吸着保持させることによって行うことができる。多関節型アームロボットを用いることで印刷対象物７００をプリント位置に正確に配置することが可能となり、印刷対象物７００の姿勢を適宜に変更することもできる。

【0082】

駆動部８０３は、図７に示すように、可動ユニット８１３上を水平方向（Ｘに沿った方向）に往復移動可能に配置されている。可動ユニット８１３は、枠ユニット８０２の左右の枠部材８１０，８１１に架け渡されるようにして水平に配設されたレール８３０と、このレール８３０と平行となるように配設されたラックギヤ８３１と、レール８３０の一部に外嵌されてスライドしながら移動するリニアガイド８３２と、このリニアガイド８３２と連結されてラックギヤ８３１と噛合うピニオンギヤユニット８３３と、このピニオンギヤユニット８３３を回転駆動する減速機８３６付きのモータ８３４と、印刷点位置検出用のロータリエンコーダ８３５を備えて構成されている。

【0083】

モータ８３４を駆動（正転又は逆転）することによって、液滴吐出ユニット５０１を可動ユニット８１３に沿って図８のＸ方向における右方向または左方向に移動させる。そして、駆動部８０３は液滴吐出ユニット５０１のＸ方向の駆動機構として機能する。なお、減速機８３６の筐体の両側にはリミットスイッチ８３７ａ，８３７ｂが取付けられている。

【0084】

液滴吐出ユニット５０１は、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー、ホワイトの各色の液体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド１、又は、複数のノズル列を有する液滴吐出ヘッド１を少なくとも１つ備えている。この液滴吐出ユニット５０１の各液滴吐出ヘッド１又は液滴吐出ヘッド１の各ノズル列に対しては、液体タンクから各色の液体が加圧供給される。液滴吐出ヘッド１は使用する液体の粘度に対応して構成可能であるので、各液体の粘度が異なる場合であっても１つの液滴吐出ユニット５０１で各液体を適切に吐出することができる。

【0085】

この液滴吐出装置５００においては、可動ユニット８１３をＹ方向に移動させ、液滴吐出ユニット５０１をＸ方向に移動させて、印刷対象物７００に所要の画像を印刷する。前述の「液滴吐出装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターンや一様な塗料の膜などを形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

【0086】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。例えば、ノズル板１０１と下部ハウジング１０ｂは接着剤以外の方法で接合することも可能であり、例えばノズル板１０１と下部ハウジング１０ｂを拡散接合で接合してもよい。

【0087】

また、液体流路１１２は必ずしも循環通路Ｌに接続されている必要はなく、回収ポート１２がなく供給された液体をすべてノズル孔１１１から吐出する型式の液滴吐出ヘッドにも適用可能である。また、圧電素子１１４は、長手方向に伸縮作動する他の駆動体に代替可能である。例えば、電磁ソレノイドで長手方向に伸縮作動するピストンを圧電素子１１４の代わりに使用することも可能である。

【0088】

また、本発明に係る液滴吐出装置は、上述の印刷装置の形態に限るものではない。例えば、複数の関節によって人間の腕のように自由な動きを可能とした多関節ロボットのロボットアームの先端に、本発明の液滴吐出ヘッドを取り付けた形態でもよい。また、ドローンなどの無人航空機、または壁面を登ることが可能なロボットに本発明の液体吐出ヘッドを搭載して、塗装・散布可能な無人航空機、あるいは塗装・散布可能なクライミングロボットの形態としてもよい。

【0089】

＜●付記＞
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
＜第１態様＞
第１態様は、ノズル孔を有するノズル板と当該ノズル板の周縁部を支持するハウジングとの間に液体流路が形成され、駆動手段により開閉作動する弁体を開放することで、当該液体流路の液体が前記ノズル孔から液滴として吐出される液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル孔が前記液体流路の長手方向に複数配設されると共に、当該複数のノズル孔の相互間で前記ノズル板と前記ハウジングを前記液体流路を横断する連結部で連結したことを特徴とする液滴吐出ヘッドである。
＜第２態様＞
第１態様は、前記液体流路に液体を供給する供給ポートと、前記液体流路の液体を排出する回収ポートとを備え、前記複数のノズル孔は前記供給ポートから前記回収ポートへ向かって液体が流れる方向に沿って並んで配設されていることを特徴とする第１態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第３態様＞
第３態様は、前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた複数列で形成され、当該複数列の各列に含まれる前記ノズル孔の上下流にのみ前記連結部が形成されていることを特徴とする第１態様又は第２態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第４態様＞
第４態様は、前記複数列のノズル孔と前記連結部がそれぞれ千鳥状に配置されていることを特徴とする第３態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第５態様＞
第５態様は、前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた二列で形成され、当該二列の各ノズル孔の相互間に前記連結部が形成され、前記流体流路は、前記二列のノズル孔の列間に形成された中央液体流路を有することを特徴とする第１態様から第４態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第６態様＞
第６態様は、前記ノズル孔が、前記液体流路の長手方向に延びた単列で形成され、当該単列の各ノズル孔の相互間に前記連結部が形成されていることを特徴とする第１態様又は第２態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第７態様＞
第７態様は、前記連結部が前記ハウジングと一体に形成されていることを特徴とする第１態様から第６態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第８態様＞
第８態様は、前記連結部が前記ハウジングと別体に形成されていることを特徴とする第１態様から第６態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドである。
＜第９態様＞
第９態様は、第１態様から第８態様のいずれか１項の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、前記ノズル板の面方向であって前記流体流路の長手方向と垂直な方向における前記連結部の幅を連結部幅とし、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記連結部幅は、前記第２の液滴吐出ヘッドの連結部幅よりも大きいことを特徴とする液滴吐出ユニットである。
＜第１０態様＞
第１０態様は、第２態様の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から直近上流側の前記連結部に至る上流側間隔は、当該ノズル孔から直近下流側の前記連結部に至る下流側間隔よりも短く、前記第２の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から直近上流側の前記連結部に至る上流側間隔は、当該ノズル孔から直近下流側の前記連結部に至る下流側間隔よりも長い、ことを特徴とする液滴吐出ユニットである。
＜第１１態様＞
第１１態様は、第１態様から第８態様のいずれか１項の液滴吐出ヘッドを複数備える液滴吐出ユニットであって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、第１の液体を吐出する第１の液体吐出ヘッドと、前記第１の液体よりも粘度の高い第２の液体を吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を含み、前記第１の液滴吐出ヘッドの前記連結部の表面粗さは、前記第２の液滴吐出ヘッドの前記連結部の表面粗さよりも小さい、ことを特徴とする液滴吐出ユニットである。
＜第１２態様＞
第１２態様は、第１態様から第８態様のいずれか１項の液滴吐出ヘッド、又は第９から１１のいずれか１項の液滴吐出ユニットと、前記駆動手段を制御する制御部と、を含むことを特徴とする液滴吐出装置である。

【符号の説明】

【0090】

１：液滴吐出ヘッド ２：コネクタ部
１０：ハウジング １０ａ：上部ハウジング
１０ａ１～１０ａ５：連結部 １０ｂ：下部ハウジング
１１：供給ポート １２：回収ポート
２０：カバー ３０：長孔
１０１：ノズル板 １１１：ノズル孔
１１２：液体流路 １１３：ニードル弁
１１３ａ：弁体 １１３ｂ：Ｏリング
１１３ｃ：ワッシャー １１４：圧電素子
１１５：保持部材 １１５ａ：中央空間
１１５ｂ：先端部 １１５ｃ：後端部
１１５ｄ：雌ねじ孔 １２１：軸受
１２４：固定ねじ ２００：連結部（凸部）
２１０：連結部（凸部） ５００：液滴吐出装置
５０１：液滴吐出ユニット ７００：印刷対象物
８０２：枠ユニット ８０３：駆動部
８０５：コントローラ（制御部） ８０６：情報処理装置
８０７：データベース部（ＤＢ部） ８０８～８１１：枠部材
８１２ａ，８１２ｂ：脚部材 ８１３：可動ユニット
８３０：レール ８３１：ラックギヤ
８３２：リニアガイド ８３３：ピニオンギヤユニット
８３４：モータ ８３５：ロータリエンコーダ
８３６：減速機 ８３６：減速機
８３７ａ，８３７ｂ：リミットスイッチ Ｌ：循環通路
Ｐ：ポンプ δ：隙間
Ａ１、Ａ２：上流側間隔 Ｂ１、Ｂ２：下流側間隔
Ｗ：連結部幅

【先行技術文献】

【特許文献】

【0091】

【特許文献1】特開２０１１－１３１５７１号公報

【特許文献2】特開２０２０－０２３１７７号公報

【図1A】

【図1B】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7】

【図8】