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  • 特開-熱伝導シートおよびその製造方法 図1
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023174722
(43)【公開日】2023-12-08
(54)【発明の名称】熱伝導シートおよびその製造方法
(51)【国際特許分類】
   C08J 5/18 20060101AFI20231201BHJP
   H01L 23/36 20060101ALI20231201BHJP
   C08L 27/20 20060101ALN20231201BHJP
   C08L 27/16 20060101ALN20231201BHJP
   C08K 3/04 20060101ALN20231201BHJP
【FI】
C08J5/18 CER
C08J5/18 CEW
C08J5/18 CEZ
H01L23/36 D
C08L27/20
C08L27/16
C08K3/04
【審査請求】有
【請求項の数】5
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2023169941
(22)【出願日】2023-09-29
(62)【分割の表示】P 2019033086の分割
【原出願日】2019-02-26
(71)【出願人】
【識別番号】000229117
【氏名又は名称】日本ゼオン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(74)【代理人】
【識別番号】230118913
【弁護士】
【氏名又は名称】杉村 光嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100150360
【弁理士】
【氏名又は名称】寺嶋 勇太
(74)【代理人】
【識別番号】100174001
【弁理士】
【氏名又は名称】結城 仁美
(72)【発明者】
【氏名】村上 康之
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 圭佑
(72)【発明者】
【氏名】松下 みずき
【テーマコード(参考)】
4F071
4J002
5F136
【Fターム(参考)】
4F071AA14
4F071AA26
4F071AA33
4F071AA43
4F071AB03
4F071AD02
4F071AE22
4F071AF15
4F071AF25
4F071AF44Y
4F071AG26
4F071AH12
4F071AH16
4F071BA01
4F071BA09
4F071BB04
4F071BC01
4F071BC12
4F071BC16
4J002BD141
4J002BD161
4J002DA026
4J002FA096
4J002FD206
4J002GQ00
4J002HA09
5F136BC07
5F136FA23
5F136FA25
5F136FA51
5F136FA82
5F136FA88
5F136GA12
5F136GA17
(57)【要約】
【課題】十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートの提供。
【解決手段】樹脂および粒子状フィラーを含み、樹脂および粒子状フィラーを含む一次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、折畳または捲回してなるブロック体を積層方向に対して45°以下の角度でスライスしてなる熱伝導シートであって、厚み方向の熱伝導率が12W/m・K以上であり、厚みの標準偏差が7.0μm以下である、熱伝導シート。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
樹脂および粒子状フィラーを含み、
樹脂および粒子状フィラーを含む一次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、折畳または捲回してなるブロック体を積層方向に対して45°以下の角度でスライスしてなる熱伝導シートであって、
厚み方向の熱伝導率が12W/m・K以上であり、
厚みの標準偏差が7.0μm以下である、熱伝導シート。
【請求項2】
前記粒子状フィラーの含有割合が45体積%以下である、請求項1に記載の熱伝導シート。
【請求項3】
主面の面積が30cm以上である、請求項1または2に記載の熱伝導シート。
【請求項4】
平均厚みが200μm以下である、請求項1~3の何れかに記載の熱伝導シート。
【請求項5】
少なくとも一方の主面の表面粗さSaが2.80μm以下である、請求項1~4の何れかに記載の熱伝導シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、熱伝導シートおよび熱伝導シートの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、プラズマディスプレイパネル(PDP)や集積回路(IC)チップ等の電子部品は、高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、電子部品を用いた電子機器では、電子部品の温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。
【0003】
電子部品の温度上昇による機能障害対策としては、一般に、電子部品等の発熱体に対し、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を取り付けることによって、放熱を促進させる方法が採られている。そして、放熱体を使用する際には、発熱体から放熱体へと熱を効率的に伝えるために、熱伝導性を有するシート状の部材(熱伝導シート)が用いられている。例えば、発熱体と放熱体の間に、樹脂および粒子状フィラーを含む熱伝導シートを挟持し、この熱伝導シートを介して発熱体と放熱体とを密着させることで、発熱体から放熱体へと伝熱を行う。そして、従来から、熱伝導シートの諸特性を高めるための試みがなされている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
特許文献1では、樹脂および粒子状炭素材料を含む1次シートを厚み方向に積層する等して得られる積層体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスした後、スライスにより得られたシートを加圧することで熱伝導シートを得る方法が開示されている。そして、特許文献1によれば、上述した方法により得られる熱伝導シートは、比較的低い挟持圧力での使用に際しても優れた熱伝導性を発揮することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開2018-67695号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ここで、近年、熱伝導シートを介して発熱体と放熱体を良好に密着させつつ、発熱体から放熱体への伝熱を均一に行う観点から、熱伝導シートの厚み精度を高めることが求められている。
しかしながら、上記従来の手法では、均一な厚みを有する熱伝導シートを作製しつつ、当該熱伝導シートに、厚み方向に優れた熱伝導性を発揮させることが困難であった。
【0007】
そこで、本発明は、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った。まず、本発明者らは、上記特許文献1に記載されたスライス後の加圧により、熱伝導シートの厚み精度の向上を試みた。しかしながら、本発明者らの検討によれば、スライス後のシートを強く加圧すると、得られる熱伝導シート中において粒子状フィラーが厚み方向に配向し難くなるためと推察されるが、単位厚み当たりの伝熱の効率性(即ち、厚み方向の熱伝導率)が十分に確保し難いことが明らかとなった。その上で、本発明者は、樹脂および粒子状フィラーを含む熱伝導シートにおいて、厚みの標準偏差を所定の値以下としつつ、厚み方向の熱伝導率を所定の値以上とすれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートが得られることを見出し、本発明を完成させた。
【0009】
即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、厚み方向の熱伝導率が12W/m・K以上であり、厚みの標準偏差が7.0μm以下であることを特徴とする。このように、樹脂および粒子状フィラーを含み、そして、厚み方向の熱伝導率が上記値以上であり且つ厚みの標準偏差が上記値以下である熱伝導シートは、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「厚み方向の熱伝導率」は、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。
また、本発明において、「厚みの標準偏差」は、熱伝導シートの任意の5点における厚みを測定し、これらの測定値から得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。
【0010】
ここで、本発明の熱伝導シートは、前記粒子状フィラーの含有割合が45体積%以下であることが好ましい。粒子状フィラーが熱伝導シート中に占める体積割合が上記値以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。
【0011】
そして、本発明の熱伝導シートは、主面の面積を30cm以上とすることができる。
なお、本発明において「主面」とは、熱伝導シート等における最大面積を有する面を指す。
【0012】
また、本発明の熱伝導シートは、平均厚みが200μm以下であることが好ましい。熱伝導シートの平均厚みが上記値以下であれば、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「平均厚み」は、熱伝導シートの任意の5点における厚みを測定し、これらの測定値から得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。
【0013】
更に、本発明の熱伝導シートは、少なくとも一方の主面の表面粗さSaが2.80μm以下であることが好ましい。少なくとも一方の主面の表面粗さSaが上記値以下であれば、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「表面粗さSa」とは、国際規格ISO 25178に準拠して得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。
【0014】
また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートの製造方法は、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーC硬度が35以上90以下であるブロック体を、先端の曲率半径Rが1.0μm以上12.0μm以下である刃を用いてスライスする工程を備えることを特徴とする。このように、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーC硬度が上記範囲内であるブロック体を、先端の曲率半径Rが上記範囲内である刃を用いてスライスすれば、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートを得ることができる。
なお、本発明において、「アスカーC硬度」は、日本ゴム協会規格(SRIS)のアスカーC法に準拠し、硬度計を用いて温度25℃で測定される値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。
また、本発明において、「先端の曲率半径R」は、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。
【0015】
ここで、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記スライスする工程において、スライス幅が210μm以下であることが好ましい。上記値以下のスライス幅でブロック体をスライスすれば、熱伝導シートの厚みを低減して、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「スライス幅」とは、ブロック体と刃を一定方向に相対的に移動させながらブロック体を連続的にスライスして複数の熱伝導シートを製造するに際し、n回目(nは1以上の自然数)のスライスからn+1回目のスライスまでに、ブロック体と刃が上記一定方向について相対的に移動する距離の平均値を意味する。
【0016】
そして、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記スライスする工程に先んじて、樹脂および粒子状フィラーを含む1次シートを、厚み方向に複数枚積層して、或いは、前記1次シートを折畳または捲回して、前記ブロック体を得る工程を更に備えることができる。
なお、本明細書において、「積層」、「折畳」、または「捲回」を、纏めて「積層等」と略記する場合がある。
【0017】
また、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記1次シートの引張強度が0.3MPa以上1.9MPa以下であることが好ましい。1次シートの引張強度が上記範囲内であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
なお、本発明において、引張強度は、JIS K6251に準拠して得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。
【発明の効果】
【0018】
本発明によれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
図1】本発明に従う熱伝導シートの製造方法の一例を用いて熱伝導シートを製造する過程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明の熱伝導シートは、例えば、発熱体に放熱体を取り付ける際に発熱体と放熱体との間に挟み込んで使用することができる。即ち、本発明の熱伝導シートは、ヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体と共に放熱装置を構成することができる。
そして、本発明の熱伝導シートは、例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法に従って製造することができる。
【0021】
(熱伝導シート)
本発明の熱伝導シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。また、本発明の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が12W/m・K以上であり、厚みの標準偏差が7.0μm以下である。そして、本発明の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が12W/m・K以上であり、且つ厚みの標準偏差が7.0μm以下であるため、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることができる。
【0022】
<樹脂>
熱伝導シートに含まれる樹脂としては、特に限定されず、任意の樹脂を用いることができる。例えば、樹脂としては、液状樹脂および固体樹脂の何れも用いることができる。なお、樹脂は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。例えば、熱伝導シートは、液状樹脂および固体樹脂の少なくとも一方を含むことができるが、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させつつ、厚み方向に一層良好に伝熱させる観点から、熱伝導シートは、液状樹脂と固体樹脂の双方を含むことが好ましい。
【0023】
<<液状樹脂>>
そして、液状樹脂としては、常温常圧下で液体である限り、特に限定されることなく、例えば、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂を用いることができる。
なお、本発明において、「常温」とは23℃を指し、「常圧」とは、1atm(絶対圧)を指す。
【0024】
液状樹脂としては、例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂が挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。中でも、液状樹脂としては、シリコーン樹脂およびフッ素樹脂が好ましく、フッ素樹脂がより好ましい。液状樹脂として、シリコーン樹脂とフッ素樹脂の少なくとも一方を用いれば、熱伝導シートの難燃性を向上させることができる。また、液状樹脂としてフッ素樹脂を用いれば、得られる熱伝導シートの耐熱性、耐油性、および耐薬品性を向上させることができる。
【0025】
<<固体樹脂>>
固体樹脂としては、常温常圧下で液体でない限り、特に限定されることなく、例えば、常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂、常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂を用いることができる。
【0026】
[常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂]
常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ(アクリル酸2-エチルヘキシル)、アクリル酸とアクリル酸2-エチルヘキシルとの共重合体、ポリメタクリル酸またはそのエステル、ポリアクリル酸またはそのエステルなどのアクリル樹脂;シリコーン樹脂;フッ素樹脂;ポリエチレン;ポリプロピレン;エチレン-プロピレン共重合体;ポリメチルペンテン;ポリ塩化ビニル;ポリ塩化ビニリデン;ポリ酢酸ビニル;エチレン-酢酸ビニル共重合体;ポリビニルアルコール;ポリアセタール;ポリエチレンテレフタレート;ポリブチレンテレフタレート;ポリエチレンナフタレート;ポリスチレン;ポリアクリロニトリル;スチレン-アクリロニトリル共重合体;アクリロニトリル-ブタジエン共重合体(ニトリルゴム);アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体(ABS樹脂);スチレン-ブタジエンブロック共重合体またはその水素添加物;スチレン-イソプレンブロック共重合体またはその水素添加物;ポリフェニレンエーテル;変性ポリフェニレンエーテル;脂肪族ポリアミド類;芳香族ポリアミド類;ポリアミドイミド;ポリカーボネート;ポリフェニレンスルフィド;ポリサルホン;ポリエーテルサルホン;ポリエーテルニトリル;ポリエーテルケトン;ポリケトン;ポリウレタン;液晶ポリマー;アイオノマー;などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
なお、本発明において、ゴムは、「樹脂」に含まれるものとする。
【0027】
[常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂]
常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂としては、例えば、天然ゴム;ブタジエンゴム;イソプレンゴム;ニトリルゴム;水素化ニトリルゴム;クロロプレンゴム;エチレンプロピレンゴム;塩素化ポリエチレン;クロロスルホン化ポリエチレン;ブチルゴム;ハロゲン化ブチルゴム;ポリイソブチレンゴム;エポキシ樹脂;ポリイミド樹脂;ビスマレイミド樹脂;ベンゾシクロブテン樹脂;フェノール樹脂;不飽和ポリエステル;ジアリルフタレート樹脂;ポリイミドシリコーン樹脂;ポリウレタン;熱硬化型ポリフェニレンエーテル;熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル;などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
【0028】
<<樹脂の含有割合>>
熱伝導シート中の樹脂の含有割合は、特に限定されないが、35質量%以上であることが好ましく、45質量%以上であることがより好ましく、55質量%以上であることが更に好ましく、95質量%以下であることが好ましく、85質量%以下であることがより好ましく、75質量%以下であることが更に好ましい。樹脂の含有割合が35質量%以上であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。一方、樹脂の含有割合が95質量%以下であれば、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
【0029】
<<液状樹脂の含有割合>>
また、樹脂中における液状樹脂の含有割合(換言すると、固形樹脂と液状樹脂の合計中に占める液状樹脂の割合)は、特に限定されないが、30質量%以上であることが好ましく、40質量%以上であることがより好ましく、50質量%以上であることが更に好ましく、60質量%以上であることが特に好ましく、95質量%以下であることが好ましく、90質量%以下であることがより好ましく、85質量%以下であることが更に好ましく、80質量%以下であることが特に好ましい。樹脂中に占める液状樹脂の含有割合が30質量%以上であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。一方、樹脂中に占める固形樹脂の含有割合が95質量%以下であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
【0030】
<粒子状フィラー>
熱伝導シートに含まれる粒子状フィラーとしては、熱伝導シートに熱伝導性を付与することができるものであれば特に限定されない。そして、このような粒子状フィラーとしては、高い熱伝導性を有する粒子状炭素材料を好適に使用することができる。なお、粒子状フィラーは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
【0031】
<<粒子状炭素材料>>
粒子状炭素材料としては、特に限定されることなく、例えば、人造黒鉛、鱗片状黒鉛、薄片化黒鉛、天然黒鉛、酸処理黒鉛、膨張性黒鉛、膨張化黒鉛などの黒鉛;カーボンブラック;などを用いることができる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
【0032】
上述した中でも、粒子状炭素材料としては、膨張化黒鉛を用いることが好ましい。膨張化黒鉛を用いることで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。ここで、膨張化黒鉛は、例えば、鱗片状黒鉛などの黒鉛を硫酸などで化学処理して得た膨張性黒鉛を、熱処理して膨張させた後、微細化することにより得ることができる。そして、膨張化黒鉛としては、例えば、伊藤黒鉛工業社製のEC1500、EC1000、EC500、EC300、EC100、EC50(いずれも商品名)等が挙げられる。
【0033】
<<粒子状フィラーの性状>>
粒子状フィラーは、体積平均粒子径が、30μm以上であることが好ましく、50μm以上であることがより好ましく、100μm以上であることが更に好ましく、150μm以上であることが特に好ましく、500μm以下であることが好ましく、400μm以下であることがより好ましく、300μm以下であることが更に好ましく、230μm以下であることが特に好ましい。粒子状フィラーの体積平均粒子径が30μm以上であれば、熱伝導シート中で粒子状フィラーの伝熱パスが良好に形成可能であるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まる。結果として、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの体積平均粒子径が500μm以下であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
なお、本発明において「体積平均粒子径」は、JIS Z8825に準拠して測定することができ、レーザー回折法で測定された粒度分布(体積基準)において、小径側から計算した累積体積が50%となる粒子径を表す。
【0034】
また、粒子状フィラーは、アスペクト比(長径/短径)が、1超10以下であることが好ましく、1超5以下であることがより好ましい。粒子状フィラーのアスペクト比が1超10以下であれば、熱伝導シート中で粒子状フィラーが厚み方向に良好に配向し易くなるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まる。結果として、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「アスペクト比」は、粒子状フィラーをSEM(走査型電子顕微鏡)で観察し、任意の50個の粒子状フィラーについて、最大径(長径)と、最大径に直交する方向の粒子径(短径)とを測定し、長径と短径の比(長径/短径)の平均値を算出することにより求めることができる。また、上記において、例えば粒子状フィラーが鱗片形状である場合、「長径」は当該鱗片形状が有する主面の長軸の方向の長さを指し、「短径」は当該主面の長軸に直交する方向の長さを指すものとする。
【0035】
<<粒子状フィラーの含有割合>>
熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有割合は、特に限定されないが、5体積%以上であることが好ましく、10体積%以上であることがより好ましく、20体積%以上であることが更に好ましく、45体積%以下であることが好ましく、35体積%以下であることがより好ましく、30体積%以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有割合が5体積%以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有割合が45体積%以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。
【0036】
また、熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有割合は、特に限定されないが、5質量%以上であることが好ましく、15質量%以上であることがより好ましく、25質量%以上であることが更に好ましく、70質量%以下であることが好ましく、55質量%以下であることがより好ましく、45質量%以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有割合が5質量%以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有割合が70質量%以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
【0037】
加えて、熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有量は、特に限定されないが、樹脂100質量部当たり、20質量部以上であることが好ましく、30質量部以上であることがより好ましく、40質量部以上であることが更に好ましく、100質量部以下であることが好ましく、80質量部以下であることがより好ましく、60質量部以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有量が樹脂100質量部当たり20質量部以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有量が樹脂100質量部当たり100質量部以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
【0038】
<添加剤>
本発明の熱伝導シートには、必要に応じて、熱伝導シートの形成に使用され得る既知の添加剤を更に配合することができる。そして、熱伝導シートに配合し得る添加剤としては、特に限定されることなく、例えば、セバシン酸エステルといった脂肪酸エステルなどの可塑剤;赤リン系難燃剤、リン酸エステル系難燃剤などの難燃剤;ウレタンアクリレートなどの靭性改良剤;酸化カルシウム、酸化マグネシウムなどの吸湿剤;シランカップリング剤、チタンカップリング剤、酸無水物などの接着力向上剤;ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤などの濡れ性向上剤;無機イオン交換体などのイオントラップ剤;等が挙げられる。なお、添加剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
【0039】
そして、熱伝導シートが添加剤を更に含む場合は、添加剤の配合量は、例えば、上述した樹脂100質量部に対して0.1質量部以上20質量部以下とすることができ、10質量部以下とすることが好ましい。
【0040】
<熱伝導シートの性状>
熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が、12W/m・K以上であることが必要であり、13W/m・K以上であることがより好ましく、14W/m・K以上であることが更に好ましい。熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が12W/m・K未満であると、熱伝導シートの厚み方向に良好に伝熱させることができない。そして、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率の値の上限は、特に限定されないが、例えば、50W/m・K以下である。
なお、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、熱伝導シートの製造に用いる材料(樹脂、粒子状フィラー等)の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、熱伝導シート中の粒子状フィラーの体積平均粒子径および/または含有割合を変更することで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率を上昇させることができる。また、例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率を上昇させることができる。
【0041】
また、熱伝導シートは、厚みの標準偏差が、7.0μm以下であることが必要であり、6.0μm以下であることが好ましく、5.0μm以下であることがより好ましく、4.0μm以下であることが更に好ましい。厚みの標準偏差が7.0μm超であると、熱伝導シートの厚み精度が損なわれる。そのため、熱伝導シートを介して発熱体と放熱体を良好に密着させることが困難となり、また発熱体から放熱体への伝熱を均一に行うことができない。そして、熱伝導シートの厚みの標準偏差の値の下限は、特に限定されないが、例えば、1.0μm以上である。
なお、熱伝導シートの厚みの標準偏差は、熱伝導シートの製造に用いる材料(樹脂、粒子状フィラー等)の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの厚みの標準偏差を上昇させることができる。より具体的には、本発明の熱伝導シートの製造方法において、1次シートの引張強度、ブロック体のアスカーC硬度、および/またはスライスに用いる刃の先端の曲率半径Rを変更することで、熱伝導シートの厚みの標準偏差を低下させることができる。
【0042】
加えて、熱伝導シートは、平均厚みが、70μm以上であることが好ましく、80μm以上であることがより好ましく、200μm以下であることが好ましく、160μm以下であることがより好ましく、130μm以下であることが更に好ましく、110μm以下であることが特に好ましい。平均厚みが70μm以上であれば、熱伝導シートの強度を確保することができ、200μm以下であれば、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
【0043】
また、熱伝導シートは、主面の面積を、例えば、30cm以上とすることができ、50cm以上とすることができ、80cm以上とすることができ、100cm以上とすることができ、1000cm以下とすることができる。
【0044】
そして、熱伝導シートは、少なくとも一方の主面の表面粗さSaが、2.80μm以下であることが好ましく、2.60μm以下であることがより好ましく、2.20μm以下であることが更に好ましく、2.00μm以下であることが特に好ましい。主面の表面粗さSaが2.80μm以下であれば、当該主面が十分に平滑であるため、熱伝導シートを発熱体および放熱体の間に挟み込んで使用した場合に、熱伝導シートと発熱体および/または放熱体が良好に密着し、界面抵抗が低減する。そのため、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。そして、熱伝導シートの主面の表面粗さSaの値の下限は、特に限定されないが、例えば、1.00μm以上である。
更に、熱伝導シートの厚み方向に一層良好に伝熱させる観点から、熱伝導シートの両方の主面(表面および裏面)の表面粗さSaが上記好適上限値以下であることが好ましい。
なお、熱伝導シートの厚みの主面の表面粗さSaは、熱伝導シートの製造に用いる材料(樹脂、粒子状フィラー等)の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの表面粗さSaを低下させることができる。より具体的には、本発明の熱伝導シートの製造方法において、1次シートの引張強度、ブロック体のアスカーC硬度、および/またはスライスに用いる刃の先端の曲率半径Rを変更することで、熱伝導シートの主面の表面粗さSaを低下させることができる。
【0045】
(熱伝導シートの製造方法)
上述した本発明の熱伝導シートは、例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて製造することができる。ここで、本発明の熱伝導シートの製造方法は、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーC硬度が35以上90以下であるブロック体を、先端の曲率半径Rが1.0μm以上12.0μm以下である刃を用いてスライスする工程(スライス工程)を、少なくとも含む。
そして、本発明の熱伝導シートの製造方法によれば、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートを得ることができる。
【0046】
<スライス工程>
スライス工程では、上述した通り、アスカーC硬度が35以上90以下であるブロック体を、先端の曲率半径Rが1.0μm以上12.0μm以下である刃を用いてスライスすることで、ブロック体から熱伝導シートを切り出す。
【0047】
<<ブロック体>>
ブロック体は、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。また、ブロック体は、アスカーC硬度が35以上90以下である。
【0048】
[樹脂、粒子状フィラー、および添加剤]
ブロック体に含まれる樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に含まれる添加剤の好適な種類、性状および含有割合は、本発明の熱伝導シートについて上述した好適な種類、性状および含有割合と同様とすることができる。
【0049】
[アスカーC硬度]
ここで、ブロック体は、アスカーC硬度が、35以上90以下であることが必要であり、85以下であることが好ましく、80以下であることがより好ましく、40以上であることが好ましく、50以上であることがより好ましく、60以上であることが更に好ましい。アスカーC硬度が90を超えると、ブロック体をスライスして得られる熱伝導シートの厚み精度(特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度)を十分に確保することが困難となる。一方、アスカーC硬度が35を下回ると、ブロック体の粘着性等に起因するスライス中の刃先のブレが抑制できず、熱伝導シートの厚み精度が低下する。
なお、ブロック体のアスカーC硬度は、ブロック体の製造に用いる材料(樹脂、粒子状フィラー等)の種類および含有割合や、ブロック体の製造方法を変更することにより調整することができる。
【0050】
<<刃>>
上述したブロック体のスライスに用いる刃の形状は、特に限定されず、片刃、両刃、非対称刃いずれでもよいが、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、両刃が好ましい。また、刃の材質は特に限定されないが、金属製であることが好ましい。
【0051】
そして、ブロック体のスライスに用いる刃は、先端の曲率半径Rが、上述した通り1.0μm以上12.0μm以下であることが必要であり、1.5μm以上であることが好ましく、4.5μm以上であることがより好ましく、10.0μm以下であることが好ましく、9.0μm以下であることがより好ましく、7.0μm以下であることが更に好ましく、5.0μm以下であることが特に好ましい。刃の先端の曲率半径Rが1.0μm未満であると、スライスの際に刃がかけてしまい、熱伝導シートの製造効率が低下する虞がある。一方、刃の先端の曲率半径Rが12.0μmを超えると、ブロック体をスライスして得られる熱伝導シートの厚み精度(特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度)を確保することが困難になる、あるいは、ブロック体に対して鈍角な刃が食い込まずスライスが困難になる。
【0052】
<<スライス>>
ブロック体をスライスする方法は、先端の曲率半径Rが上述した範囲内である刃を用いる方法であれば特に限定されない。そしてスライスには、先端の曲率半径Rが上述した範囲内である刃を備える切断具を用いることができる。このような切断具としては、例えば、カッター、カンナ、スライサーが挙げられる。
【0053】
ここで、ブロック体が、後述の積層工程により1次シートを積層等して得られる積層体である場合、ブロック体をスライスする角度は、積層方向に対して45°以下であることが好ましく、積層方向に対して30°以下であることがより好ましく、積層方向に対して15°以下であることが更に好ましく、積層方向に対して略0°である(即ち、積層方向に沿う方向である)ことが特に好ましい。ブロック体が1次シートを積層等して得られる積層体である場合、ブロック体の内部においては、粒子状フィラーが積層方向に略直交する方向に配向していると推察される。そして、このようなブロック体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスすれば、得られる熱伝導シート中で粒子状フィラーが厚み方向(即ち、1次シートの積層方向に略直交する方向)に配向しつつ、粒子状フィラーの接触によって形成される伝熱経路が、主に熱伝導シートの厚み方向に良好に形成されるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
【0054】
また、ブロック体を容易にスライスして、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、スライスする際のブロック体の温度は-20℃以上80℃以下とすることが好ましく、-10℃以上50℃以下とすることがより好ましい。
更に、ブロック体を容易にスライスして、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、スライスする際にブロック体を加圧する等して固定することが好ましい。このような加圧において、圧力を加える面は特に限定されない。
【0055】
<その他の工程>
本発明の熱伝導シートの製造方法が、任意に含み得るその他の工程は、特に限定されない。
例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、上述したスライス工程の前に、樹脂および粒子状フィラーを含む1次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、この1次シートを折畳または捲回してブロック体を得る工程(積層工程)を実施することができる。
また、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、上述したスライス工程の前に、ブロック体を加熱する工程(加熱工程)を実施することができる。
なお、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、本発明の効果が著しく損なわれない限り、スライス工程の後に得られた熱伝導シートを厚み方向に加圧する工程(プレス工程)を実施していてもよい。しかしながら、得られる熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率の低下を抑制する観点からは、本発明の熱伝導シートの製造方法は、プレス工程を含まないことが好ましい。
以下、その他の工程としての積層工程および加熱工程について、詳述する。
【0056】
<<積層工程>>
上述した通り、積層工程では、1次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、この1次シートを折畳または捲回して、積層体であるブロック体を得る。
【0057】
[1次シート]
1次シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。
【0058】
―樹脂、粒子状フィラー、および添加剤―
1次シートに含まれる樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に含まれる添加剤の好適な種類、性状および含有割合は、ブロック体、および本発明の熱伝導シートについて上述した、各成分の好適な種類、性状および含有割合と同様とすることができる。
【0059】
―1次シートの性状―
1次シートは、引張強度が、0.3MPa以上であることが好ましく、0.4MPa以上であることがより好ましく、0.6MPa以上であることが更に好ましく、1.9MPa以下であることが好ましく、1.6MPa以下であることがより好ましく、1.4MPa以下であることが更に好ましい。引張強度が0.3MPa以上であれば、1次シートを積層等して得られるブロック体のアスカーC硬度が高まる。そのため、当該ブロック体をスライスする際の刃先のブレを抑制する等して、厚み精度に一層優れる熱伝導シートを得ることができる。一方、引張強度が1.9MPa以下であれば、1次シートを積層等して得られるブロック体のアスカーC硬度が過度に高まることもない。そのため、ブロック体のスライスが容易となり、得られる熱伝導シートの厚み精度(特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度)を十分に確保することができる。
なお、1次シートの引張強度は、1次シートの製造に用いる材料(樹脂、粒子状フィラー等)の種類および含有割合や、1次シートの製造方法を変更することにより調整することができる。例えば、1次シート中の樹脂の含有割合を高めることで、1次シートの引張強度を上昇させることができる。
【0060】
また、1次シートの厚み(平均厚み)は、特に限定されることなく、例えば、0.05mm以上2mm以下とすることができる。
なお、1次シートの「厚み(平均厚み)」は、熱伝導シートの「平均厚み」と同様にして測定することができる。
【0061】
―1次シートの調製方法―
1次シートの調製方法は、特に限定されない。1次シートは、例えば、樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に用いられる添加剤を含む組成物を、プレス成形、圧延成形または押し出し成形などの既知の成形方法で成形することにより得ることができる。
【0062】
[積層等によるブロック体の形成]
1次シートの積層等によるブロック体の形成は、特に限定されることなく、積層装置を用いて行ってもよく、手作業にて行ってもよい。また、熱伝導シートの折り畳みによるブロック体の形成は、特に限定されることなく、折り畳み機を用いて1次シートを一定幅で折り畳むことにより行うことができる。さらに、1次シートの捲き回しによるブロック体の形成は、特に限定されることなく1次シートの短手方向または長手方向に平行な軸の回りに1次シートを捲き回すことにより行うことができる。
【0063】
<<加熱工程>>
ここで、例えば上述の積層工程を経て得られたブロック体は、そのままスライス工程に供してもよいが、当該ブロック体を更に加熱した後でスライス工程に供してもよい。加熱工程における加熱温度は、例えば、50℃以上170℃以下とすることができ、加熱時間は、例えば、1分以上8時間以下とすることができる。加熱工程を経ることにより、ブロック体のアスカーC硬度を調整することができる。例えば、ブロック体が熱可塑性樹脂を含む場合、加熱工程を実施することにより、ブロック体のアスカーC硬度を低下させることができる。
【実施例0064】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「%」及び「部」は、特に断らない限り、質量基準である。
そして、実施例および比較例において、刃の先端の曲率半径R、1次シートの引張強度、ブロック体のアスカーC硬度、並びに、熱伝導シートの平均厚み、厚みの標準偏差、表面粗さSa、厚み方向の熱伝導率、および厚み方向の熱抵抗値は、それぞれ以下の方法に従って測定または評価した。
【0065】
<曲率半径R>
刃の先端の曲率半径Rは、全焦点3D表面形状測定装置(Alicona imaging社製、製品名「Infinite Focus G5」)を用いて測定した。
具体的には、刃先方向から同軸落射でスポット光を当てて、50倍のレンズを用いて先端形状を測定した。またスポット光に対して刃全体を20度傾けて刃を固定した。
得られた刃の先端の3D像について、任意の断面で断面観察を行い、刃の先端に円周の約半分が接するように内円を描き、その半径を、刃の先端の曲率半径Rとした。
<引張強度>
1次シートを、JIS K6251に準拠してダンベル2号にて打ち抜き成型し、試料片を作製した。引張試験機(株式会社島津製作所製、製品名「AG-IS20kN」)を用い、試料片の両末端から1cmの箇所をつまみ、温度23℃で、試料片の表面から出る法線に対して垂直な方向に、500mm/分の引張速度で引っ張り、破断強度(引張強度)を測定した。
<アスカーC硬度>
ブロック体のアスカーC硬度の測定は、日本ゴム協会規格(SRIS)のアスカーC法に準拠し、硬度計(高分子計器社製、製品名「ASKER CL-150LJ」を使用して温度25℃で行った。具体的には、得られた積層体を温度25℃に保たれた恒温室内に48時間以上静置して、試験体とした。次に、積層面から針先の距離が2cmになるように硬度計を設置し、ダンパーを降ろして、積層体とダンパーとを衝突させた。当該衝突から60秒後の積層体のアスカーC硬度を、硬度計(高分子計器社製、商品名「ASKER CL-150LJ」)を用いて2回測定し、測定結果の平均値を採用した。
<平均厚み>
膜厚計(ミツトヨ製、製品名「デジマチックインジケーター ID-C112XBS」)を用いて、熱伝導シートの略中心点および四隅(四角)の計五点における厚みを測定し、測定した厚みの平均値(μm)を求めた。
<厚みの標準偏差>
膜厚計(ミツトヨ製、製品名「デジマチックインジケーター ID-C112XBS」)を用いて、熱伝導シートの略中心点および四隅(四角)の計五点における厚みを測定し、測定した厚みの標準偏差(μm)を求めた。
<表面粗さSa>
熱伝導シートの表面粗さSaは、三次元形状測定機(株式会社キーエンス製、製品名「ワンショット3D測定マクロスコープ」)を用いて測定した。ここで、1cm角以上の任意の大きさの略正方形に切り取った熱伝導シートを試料とし、解析範囲は、1cm×1cmとし、当該試料の表面および裏面について、それぞれ三次元形状を測定した。そして、三次元形状の測定結果に対して更にソフトウェアでフィルター処理(2.5mm)を行い、うねり成分を取り除くことにより、表面粗さSa(μm)を自動計算した。
<厚み方向の熱伝導率>
熱伝導シートについて、厚み方向の熱拡散率α(m/s)、定圧比熱Cp(J/g・K)、および比重ρ(g/m)を、ぞれぞれ、以下の方法で測定した。
[厚み方向の熱拡散率α]
熱拡散・熱伝導率測定装置(株式会社アイフェイズ製、製品名「アイフェイズ・モバイル 1u」)を使用して、ISO 22007-3の規定に基づき測定した。
[定圧比熱Cp]
示差走査熱量計(Rigaku製、製品名「DSC8230」)を使用し、10℃/分の昇温条件下、25℃における比熱を測定した。
[比重ρ(密度)]
自動比重計(東洋精機社製、商品名「DENSIMETER-H」)を用いて測定した。
そして、各測定値を、下記式(I):
λ=α×Cp×ρ・・・(I)
に代入し、25℃における熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率λ(W/m・K)を求めた。
<熱抵抗値>
熱伝導シートの熱抵抗値は、熱抵抗試験器(株式会社日立テクノロジーアンドサービス製、製品名「樹脂材料熱抵抗測定装置」)を用いて測定した。ここで、1cm角の略正方形に切り出した熱伝導シートを試料とし、試料温度50℃において、0.1MPa、及び0.9MPaの圧力を加えた時の熱抵抗値(℃/W)を測定した。熱抵抗値が小さいほど熱伝導シートが熱伝導性に優れ、例えば、発熱体と放熱体との間に介在させた際の放熱特性に優れていることを示す。
【0066】
(実施例1)
<1次シートの形成>
樹脂としての常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルG-101」)70部および常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂(スリーエムジャパン株式会社製、製品名「ダイニオンFC2211」)30部、並びに、粒子状フィラーとしての膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、製品名「EC100」、体積平均粒子径:200μm)50部を、加圧ニーダー(日本スピンドル製)を用いて、温度150℃にて20分間撹拌混合した。次に、得られた混合物を解砕機(大阪ケミカル社製、製品名「ワンダークラッシュミルD3V-10」)に投入して、10秒間解砕した。
解砕後の混合物50gを、サンドブラスト処理を施した厚み50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)製フィルム(保護フィルム)で挟み、ロール間隙550μm、ロール温度50℃、ロール線圧50kg/cm、ロール速度1m/分の条件にて圧延成形することにより、厚みが0.8mmの1次シートを得た。そして、1次シートの引張強度を測定した。結果を表1に示す。
<積層工程>
得られた1次シートを縦150mm×横150mm×厚み0.8mmに裁断し、1次シートの厚み方向に100枚積層し、更に、温度120℃、圧力0.1MPaで3分間、積層方向にプレスすることにより、高さ約80mmのブロック体(積層体)を得た。そして、得られたブロック体のアスカーC硬度を測定した。結果を表1に示す。
<スライス工程>
その後、スライスに必要な長さを残して、得られたブロック体の上面の全体を金属板で押え、積層方向に(即ち、上から)0.1MPaの圧力をかけて、ブロック体を固定した。なお、ブロック体の側面、背面の固定は行わなかった。このとき、ブロック体の温度は25℃であった。
次いで、サーボプレス機(放電精密加工研究所製)のプレス部分に、図1に示す形状の刃10(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm、先端の曲率半径R:1.7μm)を取り付け、スライス幅:85μm、スライス速度:200mm/秒の条件でブロック体(積層体)の積層方向(換言すれば、積層された1次シートの主面の法線に一致する方向に)にスライスして、縦150mm×横80mmの主面を有する熱伝導シートを得た。なお、スライス時の刃の姿勢は、図1に示す角度αが10°になり、刃面11の延在方向がブロック体20のスライス面21と平行な方向になる姿勢とした。
そして、得られた熱伝導シートの平均厚み、厚みの標準偏差、表面粗さSa、厚み方向の熱伝導率、および熱抵抗値を測定した。結果を表1に示す。
【0067】
(実施例2)
スライス工程において、先端の曲率半径Rが4.7μmである刃(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm)を用いた以外は、実施例1と同様にして、1次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0068】
(実施例3)
実施例1と同様にして、1次シートを形成した。次いで、積層工程において、実施例1と同様にして1次シートを積層およびプレスした後、得られた積層体を更に100℃にて3時間加熱し(加熱工程)、常温にて3時間放冷した。この加熱および放冷後のブロック体のアスカーC硬度を測定した。結果を表1に示す。
そして、この加熱および放冷後のブロック体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスライス工程を実施し、熱伝導シートを作製して各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0069】
(実施例4)
1次シートの形成に際し、樹脂として、常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルG-101」)100部のみを用いた以外は、実施例1と同様にして、1次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0070】
(実施例5)
スライス工程において、先端の曲率半径Rが4.7μmである刃(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm)を用いた以外は、実施例3と同様にして、1次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0071】
(実施例6)
スライス工程において、先端の曲率半径Rが9.1μmである刃(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm)を用い、且つスライス幅を90μmに変更した以外は、実施例1と同様にして、1次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0072】
(実施例7)
<1次シートの形成>
樹脂としての常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルG-101」)45部および常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂(スリーエムジャパン株式会社製、製品名「ダイニオンFC2211」)40部、粒子状フィラーとしての膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、製品名「EC100」、体積平均粒子径:250μm)85部、並びに、可塑剤としてのセバシン酸エステル(大八化学工業株式会社製、製品名「DOS」)5部を、加圧ニーダー(日本スピンドル製)を用いて、温度150℃にて20分間撹拌混合した。次に、得られた混合物を解砕機(大阪ケミカル社製、製品名「ワンダークラッシュミルD3V-10」)に投入して、10秒間解砕した。
解砕後の混合物50gを、実施例1と同様の条件で圧延成形することにより、厚みが0.8mmの1次シートを得た。そして、1次シートの引張強度を測定した。結果を表1に示す。
<積層工程>
上述した1次シートを用いた以外は、実施例1と同様にしてブロック体を得た。そして、得られたブロック体のアスカーC硬度を測定した。結果を表1に示す。
<スライス工程>
上述したブロック体を用い、且つスライス幅を160μmに変更した以外は、実施例1と同様にして、熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0073】
(比較例1)
実施例1と同様にして、1次シートおよびブロック体を作製した。そして、スライス工程において、先端の曲率半径Rが13.5μmである刃(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm)を用い、且つスライス幅を150μmに変更した以外は実施例1と同様の条件でブロック体のスライスを試みた。しかしながら、刃の切れ味が悪いためスライスすることができず、熱伝導シートが得られなかった。
【0074】
(比較例2)
実施例4と同様にして、1次シートを形成した。次いで、積層工程において、実施例4と同様にして1次シートを積層およびプレスした後、得られた積層体を更に100℃にて3時間加熱し(加熱工程)、常温にて3時間放冷した。この加熱および放冷後のブロック体のアスカーC硬度を測定した。結果を表1に示す。
そして、この加熱および放冷後のブロック体を用いた以外は、実施例4と同様にしてスライス工程を実施し、熱伝導シートを作製して各種評価を行った。結果を表1に示す。
【0075】
【表1】
【0076】
表1より、実施例1~7の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が小さく、そして厚み方向の熱抵抗値が低く抑えられているため、厚み方向に良好に伝熱し得ることが分かる。また、実施例1~7の熱伝導シートは、厚みの標準偏差の値が小さいため、厚み精度に優れることが分かる。
一方、比較例1は、上述した通り、刃の切れ味が悪いためスライスすることができず、熱伝導シートが得られなかった。
また、表1より、比較例2の熱伝導シートは、厚みの標準偏差の値が大きいため、厚み精度に劣ることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【0077】
本発明によれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【0078】
10 刃
11 刃面
20 ブロック体
21 スライス面
30 熱伝導シート
図1