特開 2023-175275 磁気軸受装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023175275

(43)【公開日】2023-12-12

(54)【発明の名称】磁気軸受装置

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/04 20060101AFI20231205BHJP

   F04D 19/04 20060101ALI20231205BHJP

【ＦＩ】

F16C32/04 A

F04D19/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022087642

(22)【出願日】2022-05-30

(71)【出願人】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100118500

【弁理士】

【氏名又は名称】廣澤 哲也

(74)【代理人】

【識別番号】100091498

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邉 勇

(74)【代理人】

【識別番号】100174089

【弁理士】

【氏名又は名称】郷戸 学

(74)【代理人】

【識別番号】100186749

【弁理士】

【氏名又は名称】金沢 充博

(72)【発明者】

【氏名】掛巣 佑

(72)【発明者】

【氏名】田中 邦彦

(72)【発明者】

【氏名】茨田 敏光

【テーマコード（参考）】

3H131

3J102

【Ｆターム（参考）】

3H131AA02

3H131BA06

3H131CA13

3J102AA01

3J102BA03

3J102BA18

3J102CA03

3J102CA08

3J102CA19

3J102CA32

3J102DA02

3J102DA09

3J102DA16

3J102DA18

3J102DA31

3J102DB01

3J102DB05

3J102DB12

3J102DB19

3J102GA06

(57)【要約】

【課題】小さな磁気引力で回転体の傾きを修正でき、かつ回転体を安定して支持することができる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置は、非磁性材料から構成された非磁性リング１と、非磁性リング１の周方向に沿って配列された少なくとも３つのアキシャル磁極５を備えている。各アキシャル磁極５は、円弧状のコイル１０と、コイル１０を収容するコイルハウジング１２を備えており、少なくとも３つのアキシャル磁極５は、非磁性リング１に固定されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転体を非接触で支持するための磁気軸受装置であって、
非磁性材料から構成された非磁性リングと、
前記非磁性リングの周方向に沿って配列された少なくとも３つのアキシャル磁極を備え、
各アキシャル磁極は、円弧状のコイルと、前記コイルを収容するコイルハウジングを備えており、
前記少なくとも３つのアキシャル磁極は、前記非磁性リングに固定されている、磁気軸受装置。

【請求項2】

前記コイルハウジングは、前記コイルが巻かれた円弧状の外壁と、前記外壁の内側に配置された円弧状の内壁と、前記外壁の上端および前記内壁の上端に接続された基台プレートを有しており、
前記コイルハウジングは、前記非磁性リングに固定されている、請求項１に記載の磁気軸受装置。

【請求項3】

前記コイルハウジングは、前記内壁から径方向内側に突出するフランジを有しており、前記フランジは前記非磁性リングに締結具により固定されている、請求項２に記載の磁気軸受装置。

【請求項4】

前記コイルに接続された電線は、前記フランジに沿って配置されている、請求項３に記載の磁気軸受装置。

【請求項5】

前記非磁性リングは、その内周に少なくとも１つの切り欠きを有しており、前記電線は前記切り欠きを通って延びている、請求項４に記載の磁気軸受装置。

【請求項6】

前記コイルハウジングは、前記コイルが巻かれた円弧状の内壁と、前記内壁の外側に配置された円弧状の外壁と、前記外壁の上端および前記内壁の上端に接続された基台プレートを有しており、
前記コイルハウジングは、前記非磁性リングに固定されている、請求項１に記載の磁気軸受装置。

【請求項7】

前記コイルハウジングは、前記外壁から径方向外側に突出するフランジを有しており、前記フランジは前記非磁性リングに締結具により固定されている、請求項６に記載の磁気軸受装置。

【請求項8】

前記コイルに接続された電線は、前記フランジに沿って配置されている、請求項７に記載の磁気軸受装置。

【請求項9】

前記非磁性リングは、その外周に少なくとも１つの切り欠きを有しており、前記電線は前記切り欠きを通って延びている、請求項８に記載の磁気軸受装置。

【請求項10】

前記非磁性リングと各アキシャル磁極との相対位置を固定する複数の位置決めピンをさらに備えている、請求項１に記載の磁気軸受装置。

【請求項11】

前記少なくとも３つのアキシャル磁極の前記コイルを覆うモールド材をさらに備えている、請求項１に記載の磁気軸受装置。

【請求項12】

前記コイルハウジングの上面は、放熱部材に面接触可能な平坦面である、請求項１に記載の磁気軸受装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、回転体を非接触で支持することができる磁気軸受装置に関する。

【背景技術】

【0002】

磁気軸受装置は、電磁コイルにより発生した磁力で回転体を浮上させる装置である。磁気軸受装置は、回転体に機械的に接触せずに回転体を支持することができるので、回転体の摩耗や摩擦熱を引き起こすことがない。したがって、磁気軸受装置は、ターボ分子ポンプのタービン翼などの高速で回転する回転体を支持する用途に適している。

【0003】

図１０は、従来の磁気軸受装置の一例を示す模式図である。図１０に示すように、通常、磁気軸受装置は、回転体５００の軸心に沿って配列された上ラジアル磁極５０１Ａ，５０１Ｂおよび下ラジアル磁極５０２Ａ，５０２Ｂを備えている。上ラジアル磁極５０１Ａ，５０１Ｂおよび下ラジアル磁極５０２Ａ，５０２Ｂは、回転体５００のラジアル荷重を支持するのみならず、回転体５００の傾きを調整する機能も有する。すなわち、図１１に示すように、回転体５００が傾いたとき、上ラジアル磁極５０１Ａ，５０１Ｂおよび下ラジアル磁極５０２Ａ，５０２Ｂは異なる磁気引力を発生させることで、回転体５００の傾きを修正することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－６０７５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、回転体５００が扁平形状を有している場合は、回転体５００の傾きを修正するために大きな磁気引力が必要となる。すなわち、回転体５００の重心Ｏと磁気引力の作用点との距離Ｌが短いため、必要なモーメント力を発生させるための磁気引力が大きくなる。結果として、ラジアル磁極５０１Ａ，５０１Ｂ，５０２Ａ，５０２Ｂに必要な電力が増大してしまう。

【0006】

さらに、回転体５００が高速で回転すると、回転体５００の全体はその径方向外側に膨張する。結果として、回転体５００とラジアル磁極５０１Ａ，５０１Ｂ，５０２Ａ，５０２Ｂとの磁気ギャップが増加し、磁気引力の低下および制御の不安定を引き起こす。

【0007】

また、図示しないが、従来のアキシャル磁極は、断面がコの字のリング形状の磁性材からなる磁極コアにコイルが所定の巻き数で巻回され、巻き線に電流を流すことで回転体に別途配置された磁極ターゲットと磁極コア間に力を発生させる。しかし、回転体が傾いたときは、アキシャル磁極とのギャップが近いところと遠いところが生じ、近いところは力が大きく、遠いところは力が弱くなるため、ロータがより傾こうとする。重量が大きい縦置き型のロータでは、アキシャル磁気引力が大きくなるため、ロータが傾いたときのより傾こうとする力はさらに強くなり、ラジアル傾き制御への干渉が起きる。

【0008】

そこで、本発明は、小さな磁気引力で回転体の傾きを修正でき、かつ回転体を安定して支持することができる磁気軸受装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

一態様では、回転体を非接触で支持するための磁気軸受装置であって、非磁性材料から構成された非磁性リングと、前記非磁性リングの周方向に沿って配列された少なくとも３つのアキシャル磁極を備え、各アキシャル磁極は、円弧状のコイルと、前記コイルを収容するコイルハウジングを備えており、前記少なくとも３つのアキシャル磁極は、前記非磁性リングに固定されている、磁気軸受装置が提供される。

【0010】

一態様では、前記コイルハウジングは、前記コイルが巻かれた円弧状の外壁と、前記外壁の内側に配置された円弧状の内壁と、前記外壁の上端および前記内壁の上端に接続された基台プレートを有しており、前記コイルハウジングは、前記非磁性リングに固定されている。
一態様では、前記コイルハウジングは、前記内壁から径方向内側に突出するフランジを有しており、前記フランジは前記非磁性リングに締結具により固定されている。
一態様では、前記コイルに接続された電線は、前記フランジに沿って配置されている。
一態様では、前記非磁性リングは、その内周に少なくとも１つの切り欠きを有しており、前記電線は前記切り欠きを通って延びている。

【0011】

一態様では、前記コイルハウジングは、前記コイルが巻かれた円弧状の内壁と、前記内壁の外側に配置された円弧状の外壁と、前記外壁の上端および前記内壁の上端に接続された基台プレートを有しており、前記コイルハウジングは、前記非磁性リングに固定されている。
一態様では、前記コイルハウジングは、前記外壁から径方向外側に突出するフランジを有しており、前記フランジは前記非磁性リングに締結具により固定されている。
一態様では、前記コイルに接続された電線は、前記フランジに沿って配置されている。
一態様では、前記非磁性リングは、その外周に少なくとも１つの切り欠きを有しており、前記電線は前記切り欠きを通って延びている。

【0012】

一態様では、前記磁気軸受装置は、前記非磁性リングと各アキシャル磁極との相対位置を固定する複数の位置決めピンをさらに備えている。
一態様では、前記磁気軸受装置は、前記少なくとも３つのアキシャル磁極の前記コイルを覆うモールド材をさらに備えている。
一態様では、前記コイルハウジングの上面は、放熱部材に面接触可能な平坦面である。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、各アキシャル磁極により発生した磁気引力の作用点は、回転体の重心から離すことができるので、磁気軸受装置は、小さな磁気引力で回転体の傾きを修正することができる。また、高速回転する回転体がその径方向外側に膨張したときでも、アキシャル磁極と回転体との磁気ギャップは変化しない。したがって、磁気軸受装置は、回転体の姿勢を安定して制御することができる。

【0014】

複数のアキシャル磁極は、単一の非磁性リングに固定されており、これらアキシャル磁極の相対位置は固定されている。したがって、回転体の大きな荷重がアキシャル磁極に加わったときでも、アキシャル磁極の位置を安定させることができる。結果として、アキシャル磁極は、回転体の姿勢を正確に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】磁気軸受装置の一実施形態を上から見た斜視図である。

【図2】図１に示す磁気軸受装置を下から見た斜視図である。

【図3】図１のＡ－Ａ線断面図である。

【図4】コイルの配線の一実施形態を示す斜視図である。

【図5】上記磁気軸受装置と、磁気軸受装置によって支持される回転体を含む回転機械の一実施形態を示す模式図である。

【図6】磁気軸受装置の他の実施形態を示す断面図である。

【図7】磁気軸受装置のさらに他の実施形態を示す断面図である。

【図8】図７のコイルハウジングをその上から見た上面図である。

【図9】磁気軸受装置のさらに他の実施形態を示す断面図である。

【図10】従来の磁気軸受装置の一例を示す模式図である。

【図11】従来の磁気軸受装置が回転体の傾きを修正する様子を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、磁気軸受装置の一実施形態を上から見た斜視図であり、図２は、図１に示す磁気軸受装置を下から見た斜視図である。磁気軸受装置は、非磁性材料から構成された非磁性リング１と、非磁性リング１の周方向に沿って配列された４つのアキシャル磁極５を備えている。非磁性リング１を構成する非磁性材料の例としては、オーステナイト系ステンレス鋼、樹脂系の非磁性材料（ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、繊維強化プラスチック）などが挙げられる。

【0017】

各アキシャル磁極５は、複数の締結具である複数のねじ７によって非磁性リング１に着脱可能に固定されている。これら４つのアキシャル磁極５の相対位置は、単一の非磁性リング１によって固定される。各アキシャル磁極５は、円弧状のコイル１０と、コイル１０を収容するコイルハウジング１２を備えている。コイルハウジング１２は、上記複数のねじ７により非磁性リング１に固定されている。これらねじ７を外すと、アキシャル磁極５の全体を非磁性リング１から外すことができる。

【0018】

本実施形態では、４つのアキシャル磁極５が設けられているが、アキシャル磁極５の数は本実施形態に限られない。磁気軸受装置に支持される回転体（後述する）の傾きを修正する観点から、少なくとも３つのアキシャル磁極５が設けられる。したがって、他の実施形態では、非磁性リング１の周方向に沿って配列された３つのアキシャル磁極５、あるいは５つまたはそれよりも多いアキシャル磁極５が設けられてもよい。

【0019】

各コイルハウジング１２は、コイル１０が巻かれた円弧状の外壁１５と、外壁１５の内側に配置された円弧状の内壁１６と、外壁１５の上端および内壁１６の上端に接続された基台プレート１７を有している。コイルハウジング１２は、非磁性リング１に固定されている。より具体的には、コイルハウジング１２は、内壁１６から径方向内側に突出するフランジ２０を有しており、フランジ２０は、非磁性リング１に沿った円弧状の形状を有している。フランジ２０は、ねじ７が貫通する通孔（図示せず）を有しており、非磁性リング１は、ねじ７が螺合されるねじ穴（図示せず）を有している。ねじ７が非磁性リング１のねじ穴に螺合されることで、フランジ２０は非磁性リング１に固定される。

【0020】

外壁１５、内壁１６、および基台プレート１７は、鉄などの金属から構成されている。本実施形態では、外壁１５、内壁１６、および基台プレート１７は、一体構造物である。一実施形態では、外壁１５、内壁１６、および基台プレート１７は別々の構造体であってもよい。コイル１０は外壁１５の全周に巻かれており、外壁１５はコイル１０の鉄心として機能する。内壁１６は、外壁１５およびコイル１０の内側に沿って延びている。外壁１５と内壁１６との間の径方向隙間は一定であり、外壁１５および内壁１６の両方は、コイル１０の湾曲形状に沿って湾曲している。コイル１０は、基台プレート１７に接触しており、コイル１０に発生した熱は基台プレート１７に伝わり、基台プレート１７から熱を放出することでコイル１０を冷却することができる。

【0021】

４つのアキシャル磁極５は、非磁性リング１の周方向に沿って等間隔で配列されている。アキシャル磁極５は、隙間を空けて配列されている。すなわち、隣り合う２つのアキシャル磁極５は互いに離れており、アキシャル磁極５同士での磁気干渉が起きにくいようになっている。４つのアキシャル磁極５は非磁性リング１に固定されているが、非磁性リング１は、非磁性材料から構成されているので、アキシャル磁極５同士での磁気干渉は起きにくい。

【0022】

図３は、図１のＡ－Ａ線断面図である。コイルハウジング１２は、上述したように、コイル１０が巻かれた外壁１５と、外壁１５の径方向内側に配置された内壁１６と、外壁１５の上端および内壁１６の上端に接続された基台プレート１７を有している。外壁１５と内壁１６は並列に配列されており、非磁性リング１の軸心ＣＬと平行に基台プレート１７から下方に突出している。外壁１５の下端と、内壁１６の下端は、下方に露出している。コイル１０に電流が流れると、外壁１５と内壁１６を通る磁力が発生する。後述する回転体はこの磁力（磁気引力）により上方に引き寄せられる。

【0023】

磁気軸受装置は、非磁性リング１とアキシャル磁極５との相対位置を固定する複数の位置決めピン２６をさらに備えている。図３では１つの位置決めピン２６のみが描かれているが、各アキシャル磁極５について複数の位置決めピン２６が設けられている。コイルハウジング１２は、フランジ２０の下面に形成された第１穴２８を有しており、非磁性リング１は、その上面に形成された第２穴２９を有している。位置決めピン２６は、第１穴２８および第２穴２９の両方に挿入されている。

【0024】

位置決めピン２６は、複数のアキシャル磁極５と非磁性リング１の相対位置を固定し、これにより複数のアキシャル磁極５の相対位置も固定される。図１に示す締結具としてのねじ７によって複数のアキシャル磁極５は非磁性リング１に固定されているが、位置決めピン２６はねじ７よりもより精密に複数のアキシャル磁極５の相対位置を固定することができる。したがって、アキシャル磁極５は、後述する回転体の姿勢を正確に制御することができる。

【0025】

図４は、コイル１０の配線の一実施形態を示す斜視図である。図４に示すように、コイル１０に接続された電線３２は、コイルハウジング１２のフランジ２０の上面に沿って配置されている。より具体的には、電線３２は、フランジ２０上のスペース内に配置されている。本実施形態によれば、電線３２のための専用のスペースを設ける必要がなく、磁気軸受装置の構成を簡素化できる。非磁性リング１は、その内周に少なくとも１つの切り欠き３３を有しており、コイル１０に接続された電線３２は切り欠き３３を通って延びている。図４では、１つの切り欠き３３が設けられているが、複数の切り欠き３３が設けられてもよい。

【0026】

図５は、図１乃至図４を参照して説明した磁気軸受装置と、磁気軸受装置によって支持される回転体１００を含む回転機械の一実施形態を示す模式図である。４つのアキシャル磁極５は、回転体１００の軸心ＲＡの周りに配列されており、回転体１００の軸方向の変位および回転体１００の傾きを調整する。４つのアキシャル磁極５は、回転体１００の上方に位置しており、回転体１００を磁気引力により引き上げるように動作する。アキシャル磁極５は、回転体１００の下方には設けられていない。回転体１００は、その自重により下方に変位する。磁気軸受装置は、回転体１００の下方に配置されたアキシャル磁極は有していないので、磁気軸受装置の全体をコンパクトにできる。

【0027】

回転体１００の具体例は、特に限定されないが、例えば、ターボ分子ポンプのタービン翼が挙げられる。図５に示す実施形態の回転体１００は、その軸方向の寸法よりも大きな直径を有する扁平型ロータである。

【0028】

アキシャル磁極５および非磁性リング１は、取り付けカバー４０とステータ４２の段部４３との間に挟まれることで、ステータ４２に固定されている。すなわち、取り付けカバー４０は、図示しないねじにより、ステータ４２の上面に固定されており、アキシャル磁極５に固定されている非磁性リング１は、取り付けカバー４０によりステータ４２の段部４３に押し付けられている。ただし、アキシャル磁極５および非磁性リング１のステータ４２への取り付けは、本実施形態には限定されない。

【0029】

取り付けカバー４０は、鉄またはアルミニウムなどの金属から構成されており、各アキシャル磁極５のコイルハウジング１２に面接触している。より具体的には、コイルハウジング１２の上面（すなわち基台プレート１７の上面）は平坦面であり、この平坦面は放熱部材としても機能する取り付けカバー４０に面接触している。コイル１０に発生した熱はコイルハウジング１２を経由して取り付けカバー４０に伝わり、取り付けカバー４０から熱を放出することでコイル１０を冷却することができる。取り付けカバー４０とフランジ２０との間には、コイル１０に接続された電線３２が配置されたスペースＳが形成されている。

【0030】

磁気軸受装置は、回転体１００の軸方向の変位を検出する複数のアキシャル変位センサ４７と、回転体１００の軸方向の変位に基づいてアキシャル磁極５に指令を与え、アキシャル磁極５に回転体１００の軸方向の位置および回転体１００の傾きを調整させる磁極制御部５０をさらに備えている。複数のアキシャル変位センサ４７は、ステータ４２に固定されている。

【0031】

磁極制御部５０は、回転体１００の位置および傾きを制御するためのプログラムが格納された記憶装置５０ａと、プログラムに含まれる命令に従って演算を実行する演算装置５０ｂを備えている。磁極制御部５０は、少なくとも１台のコンピュータから構成される。記憶装置５０ａは、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などの主記憶装置と、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）などの補助記憶装置を備えている。演算装置５０ｂの例としては、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）が挙げられる。ただし、磁極制御部５０の具体的構成はこれらの例に限定されない。

【0032】

複数のアキシャル変位センサ４７およびアキシャル磁極５は、磁極制御部５０に電気的に接続されている。回転体１００の軸方向の位置および回転体１００の傾きは、複数のアキシャル変位センサ４７から磁極制御部５０に送られる回転体１００の軸方向の変位の測定値から決定できる。したがって、磁極制御部５０は、回転体１００の軸方向の変位の測定値に基づいてアキシャル磁極５に指令を与え、回転体１００が目標アキシャル位置および目標傾き（鉛直姿勢を含む）に維持されるようにアキシャル磁極５に指令を与える。

【0033】

本実施形態によれば、複数のアキシャル磁極５により発生した複数の磁気引力により回転体１００の姿勢（傾きを含む）を修正（調整）することができる。図５から分かるように、各アキシャル磁極５により発生した磁気引力の作用点は、回転体１００の重心から離すことができるので、磁気軸受装置は、小さな磁気引力で回転体１００の傾きを修正することができる。また、高速回転する回転体１００がその径方向外側に膨張したときでも、アキシャル磁極５と回転体１００との磁気ギャップは変化しない。したがって、磁気軸受装置は、回転体１００の姿勢を安定して制御することができる。

【0034】

磁気軸受装置は、回転体１００の径方向の変位を検出する複数のラジアル変位センサ６０と、回転体１００のラジアル荷重を支持する複数のラジアル磁極６２をさらに備えている。複数のラジアル変位センサ６０および複数のラジアル磁極６２は、ステータ４２に固定されている。複数のラジアル変位センサ６０は、磁極制御部５０に電気的に接続されている。回転体１００の径方向の位置は、複数のラジアル変位センサ６０から磁極制御部５０に送られる回転体１００の径方向の変位の測定値から決定できる。したがって、磁極制御部５０は、回転体１００の径方向の変位の測定値に基づいてラジアル磁極６２に指令を与え、回転体１００が目標ラジアル位置に維持されるようにラジアル磁極６２に指令を与える。

【0035】

複数のアキシャル磁極５は、回転体１００の軸心ＲＡの周りに配列されているので、磁極制御部５０は、複数のアキシャル磁極５に指令を与えて、回転体１００のアキシャル方向の位置のみならず、回転体１００のラジアル方向の位置も調整するように構成することもできる。このような場合は、ラジアル変位センサ６０およびラジアル磁極６２を省略してもよい。

【0036】

図６は、磁気軸受装置の他の実施形態を示す断面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図１乃至図５を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。図６に示すように、磁気軸受装置は、各アキシャル磁極５のコイル１０を覆うモールド材７０を備えている。モールド材７０の具体例としては、エポキシ樹脂などが挙げられる。モールド材７０は、コイル１０の固定、コイル１０の絶縁保護、腐食ガスやラジカルからのコイル１０の保護、コイル１０からの抜熱という機能を有する。

【0037】

モールド材７０は、４つのアキシャル磁極５のコイル１０を覆うのみならず、アキシャル磁極５間の隙間も満たしている。モールド材７０は、非磁性リング１によって相対位置が固定された４つのアキシャル磁極５の機械的強度を高めることができる。

【0038】

図７は、磁気軸受装置のさらに他の実施形態を示す断面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図１乃至図５を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。図７に示すように、コイルハウジング１２は、コイル１０が巻かれた円弧状の内壁１６と、内壁１６の外側に配置された円弧状の外壁１５と、外壁１５の上端および内壁１６の上端に接続された基台プレート１７を有している。コイルハウジング１２は、非磁性リング１に固定されている。

【0039】

ステータ４２は、内部空間を有する中空形状を有しており、回転体１００はステータ４２の内部空間内に配置されている。すなわち、ステータ４２は、回転体１００を囲むように配置されている。コイルハウジング１２は、外壁１５から径方向外側に突出するフランジ２０を有している。フランジ２０は、非磁性リング１にねじ（図示せず）などの締結具により固定されている。さらに、非磁性リング１は、ねじ（図示せず）などの締結具により、ステータ４２に固定されている。したがって、非磁性リング１に固定されたアキシャル磁極５は、ステータ４２に固定される。

【0040】

図８は、図７のコイルハウジング１２をその上から見た上面図である。図８に示すように、コイル１０に接続された電線３２は、フランジ２０の上面に沿って配置されている。非磁性リング１は、その外周に少なくとも１つの切り欠き３３を有しており、コイル１０に接続された電線３２は切り欠き３３を通って延びている。図８では、１つの切り欠き３３が設けられているが、複数の切り欠き３３が設けられてもよい。

【0041】

図９に示すように、図６に示すモールド材７０は、図７に示す実施形態にも適用可能である。

【0042】

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

【符号の説明】

【0043】

１ 非磁性リング
５ アキシャル磁極
７ ねじ
１０ コイル
１２ コイルハウジング
１５ 外壁
１６ 内壁
１７ 基台プレート
２０ フランジ
２６ 位置決めピン
２８ 第１穴
２９ 第２穴
３２ 電線
３３ 切り欠き
４０ 取り付けカバー
４２ ステータ
４３ 段部
４７ アキシャル変位センサ
５０ 磁極制御部
６０ ラジアル変位センサ
６２ ラジアル磁極
７０ モールド材
１００ 回転体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】