特開2023-175863反射型マスクブランクおよび反射型マスク

発明の名称　反射型マスクブランクおよび反射型マスク

出願人　旭硝子株式会社　（識別番号 44）

　　　　特許公開件数ランキング 74 位（125件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 48 位（159件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-175863

公報発行日　2023年12月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-175863

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