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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023176220
(43)【公開日】2023-12-13
(54)【発明の名称】洗浄システム及び洗浄方法
(51)【国際特許分類】
B01J 38/66 20060101AFI20231206BHJP
B01J 29/90 20060101ALI20231206BHJP
B01J 38/02 20060101ALI20231206BHJP
B01J 38/50 20060101ALI20231206BHJP
B01D 53/96 20060101ALI20231206BHJP
B08B 3/04 20060101ALI20231206BHJP
【ＦＩ】
B01J38/66
B01J29/90 A ZAB
B01J38/02
B01J38/50
B01D53/96 500
B08B3/04 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022088384
(22)【出願日】2022-05-31
(71)【出願人】
【識別番号】513165665
【氏名又は名称】株式会社オプティ
(71)【出願人】
【識別番号】504137912
【氏名又は名称】国立大学法人 東京大学
(74)【代理人】
【識別番号】100126000
【弁理士】
【氏名又は名称】岩池 満
(74)【代理人】
【識別番号】100154748
【弁理士】
【氏名又は名称】菅沼 和弘
(72)【発明者】
【氏名】猪野 栄一
(72)【発明者】
【氏名】脇原 徹
(72)【発明者】
【氏名】伊與木 健太
(72)【発明者】
【氏名】ラケル シマンカス
【テーマコード（参考）】
3B201
4D148
4G169
【Ｆターム（参考）】
3B201AA47
3B201AB03
3B201AB42
3B201BB22
3B201BB62
3B201BB95
4D148AA06
4D148AB02
4D148AB03
4D148AC03
4D148BA11Y
4D148BB02
4D148BD01
4D148BD05
4G169AA10
4G169BA07A
4G169BA21C
4G169BA47C
4G169BE01C
4G169BE14C
4G169BE15C
4G169BE17C
4G169CA03
4G169CA08
4G169CA13
4G169DA06
4G169EA01Y
4G169EA19
4G169FB27
4G169FB30
4G169FC04
4G169GA01
4G169GA10
4G169GA12
4G169ZA01A
4G169ZA19A
4G169ZD10
(57)【要約】
【課題】触媒としての性能を維持しつつハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットを洗浄すること。
【解決手段】洗浄システムは、複数の細孔を有する＊ＢＥＡ型ゼオライトを備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの洗浄システムであり、洗浄装置１０と焼成装置２０とを備える。洗浄装置１０は、触媒ユニット１２にイオン交換をさせないという条件のもと、例えばＴＥＡＯＨ等のアルカリ溶液の溶剤１７により触媒ユニット１２を洗浄する。焼成装置２０は、洗浄がなされた触媒ユニット１２を６００℃の温度で２時間焼成する。
【選択図】図３
【解決手段】洗浄システムは、複数の細孔を有する＊ＢＥＡ型ゼオライトを備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの洗浄システムであり、洗浄装置１０と焼成装置２０とを備える。洗浄装置１０は、触媒ユニット１２にイオン交換をさせないという条件のもと、例えばＴＥＡＯＨ等のアルカリ溶液の溶剤１７により触媒ユニット１２を洗浄する。焼成装置２０は、洗浄がなされた触媒ユニット１２を６００℃の温度で２時間焼成する。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の細孔を有する触媒活性成分を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニットを洗浄する洗浄システムにおいて、
前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成装置と、
を備える洗浄システム。
前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成装置と、
を備える洗浄システム。
【請求項2】
前記条件は、前記アルカリ溶液に含まれるカチオンのサイズが、前記触媒ユニットの前記触媒活性成分の前記細孔のサイズより大きいという条件である、
請求項１に記載の洗浄システム。
請求項１に記載の洗浄システム。
【請求項3】
前記条件を満たす前記アルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミン、ポリアミンのうち１種類以上の有機物から構成される、
請求項２に記載の洗浄システム。
請求項２に記載の洗浄システム。
【請求項4】
複数の細孔を有する触媒活性成分を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニットを洗浄する洗浄方法において、
前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄ステップと、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成ステップと、
を含む洗浄方法。
前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄ステップと、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成ステップと、
を含む洗浄方法。
【請求項5】
前記条件は、前記アルカリ溶液に含まれるカチオンのサイズが、前記触媒ユニットの前記触媒活性成分の前記細孔のサイズより大きいという条件である、
請求項４に記載の洗浄方法。
請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項6】
前記条件を満たす前記アルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミンのうち１種類以上の有機物から構成される、
請求項５に記載の洗浄方法。
請求項５に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えばＮＯｘ（窒素酸化物）の浄化に使われているハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニットの洗浄システム及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ディーゼル自動車用の酸化触媒装置に関し、ＤＯＣの浄化性能を回復することが可能な洗浄方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１３３３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの洗浄方法については開示されていない。
【0005】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、触媒としての性能を維持しつつハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットを洗浄することができる洗浄システム及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の一態様の洗浄システムは、
複数の細孔を有する触媒活性成分を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニットを洗浄する洗浄システムにおいて、
前記尿素ＳＣＲシステムの前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成装置と、
を備える。
複数の細孔を有する触媒活性成分を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニットを洗浄する洗浄システムにおいて、
前記尿素ＳＣＲシステムの前記触媒ユニットにおいてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液により前記触媒ユニットを洗浄する洗浄装置と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニットを所定の温度で焼成する焼成装置と、
を備える。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、触媒としての性能を維持しつつハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットを洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の洗浄システムの洗浄対象の一例のハニカムモノリス型尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットの部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
まず、初めに本発明を導き出すまでの経緯について説明する。
従来から、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムにおける触媒ユニットでは、尿素水が原因のトラブルが多発している。
尿素ＳＣＲシステムに用いられる触媒ユニットの内部に固形状物質が堆積し、その堆積した堆積物によりディーゼル排気が阻害されたり、また触媒相が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されてしまい、還元反応ができなくなる。
まず、初めに本発明を導き出すまでの経緯について説明する。
従来から、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムにおける触媒ユニットでは、尿素水が原因のトラブルが多発している。
尿素ＳＣＲシステムに用いられる触媒ユニットの内部に固形状物質が堆積し、その堆積した堆積物によりディーゼル排気が阻害されたり、また触媒相が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されてしまい、還元反応ができなくなる。
【0010】
本発明者らは、鋭意検討を行ったところ、この固形堆積物及び被覆物は、アルカリ溶液によって溶かすことができることを突き止めた。
しかし、アルカリ溶液によっては、触媒とイオン交換するものがある。
例えば苛性ソーダ、テトラメチル・アンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＯＨ）等は、触媒とイオン交換してしまい、触媒が役割を果たせなくなるため、ＮＯｘを浄化できなくなる。
しかし、アルカリ溶液によっては、触媒とイオン交換するものがある。
例えば苛性ソーダ、テトラメチル・アンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＯＨ）等は、触媒とイオン交換してしまい、触媒が役割を果たせなくなるため、ＮＯｘを浄化できなくなる。
【0011】
本発明者らは、イオン交換しないアルカリ溶液として、例えばテトラエチル・アンモニウムヒドロキシド（ＴＥＡＯＨ）やテトラプロピル・アンモニウムヒドロキシド（ＴＰＡＯＨ）等が有効であることを突き止めた。つまり、苛性ソーダやＴＭＡＯＨよりもカチオンの粒径が大きいＴＥＡＯＨやＴＰＡＯＨ等のアルカリ溶液が有効であることを特定した。
【0012】
原理的には、イオン交換しないような条件のアルカリ溶液を用いて尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットを洗浄することで、当該触媒ユニットの触媒相に担持される触媒活性成分（ゼオライト等）の細孔にカチオンが入らないように洗浄できるので、触媒活性成分（ゼオライト等）上の固形堆積物及び被覆物を取り除くことができる。
【0013】
以下、上記の原理を具現化した洗浄システムと洗浄方法について説明する。
まず、図１及び図２を参照して、本発明に係る洗浄システムの洗浄対象の一例のハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットについて説明する。
図１は、本発明に係る一つの実施形態の洗浄システムの洗浄対象の一例のハニカムモノリス型尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの部分拡大図である。
図２は、図１のハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットのゼオライトの骨格構造を幾何学的に示す図である。
まず、図１及び図２を参照して、本発明に係る洗浄システムの洗浄対象の一例のハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットについて説明する。
図１は、本発明に係る一つの実施形態の洗浄システムの洗浄対象の一例のハニカムモノリス型尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの部分拡大図である。
図２は、図１のハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットのゼオライトの骨格構造を幾何学的に示す図である。
【0014】
洗浄システムの洗浄対象の一例は、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムに用いられる触媒ユニットである。
ＳＣＲは、人体に無害な尿素の水溶液をディーゼル排気中に噴霧し、尿素水の熱分解・加水分解反応で生成するＮＨ３を還元剤として、ディーゼル排気中に存在するＮＯｘ成分を選択的にＮ２へ浄化することを言う。
ＳＣＲは、人体に無害な尿素の水溶液をディーゼル排気中に噴霧し、尿素水の熱分解・加水分解反応で生成するＮＨ３を還元剤として、ディーゼル排気中に存在するＮＯｘ成分を選択的にＮ２へ浄化することを言う。
【0015】
ハニカムモノリス型とは、図１に示すように、互いに平行な多数のセル１（貫通孔）をもつコージェライトや炭化ケイ素等のセラミックス素材のハニカム部材２の夫々のセル１内の触媒相３に触媒活性成分としてのゼオライトを担持するものである。
ゼオライトは、沸石とも呼ばれるアルミノ珪酸塩鉱物で、大きな特徴としては結晶構造に由来した微細な空洞を有しており、その構造により、触媒、イオン交換等の用途に利用される。また、ゼオライトは、多孔質構造であり、その穴の形状は、Å（オングストローム：１００億分の１ｍ）単位の極微少な連続した空洞（細孔）を有する。
ゼオライトは、沸石とも呼ばれるアルミノ珪酸塩鉱物で、大きな特徴としては結晶構造に由来した微細な空洞を有しており、その構造により、触媒、イオン交換等の用途に利用される。また、ゼオライトは、多孔質構造であり、その穴の形状は、Å（オングストローム：１００億分の１ｍ）単位の極微少な連続した空洞（細孔）を有する。
【0016】
ゼオライトのうち、特に、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットの触媒相３に用いるゼオライトは、幾何学的形状で説明すると、例えばリング状の細孔（図２参照）を有する。
リング状の細孔を有するゼオライトには、＊ＢＥＡ型（大細孔）とＣＨＡ型（小細孔）がある。
例えば＊ＢＥＡ型（大細孔）のゼオライトは、図２に示すように、ゼオライト中の１２個のＴ原子（ケイ素やアルミニウム）の位置を線で繋いでリング状に表される１２員環の骨格構造をとるものである。
１２員環のゼオライトの細孔は、対向するＴ原子（ケイ素やアルミニウム）間の距離のうち、例えば短径Ａが６．６Å（オングストローム）、長径Ｂが７．１Å（オングストローム）程度である。
なお、同じ１２員環のものでもその傾き（ねじれ）によりリングのサイズ（短径Ａ×長径Ｂ）が異なる。ＣＨＡ型（小細孔）のゼオライトは、対向するＴ原子（ケイ素やアルミニウム）間の距離のうち、例えば短径Ａが５．６Å、長径Ｂが５．６Å程度のものであり、多少の凹凸はあるものの短径Ａと長径Ｂがほぼ同じものである。
リング状の細孔を有するゼオライトには、＊ＢＥＡ型（大細孔）とＣＨＡ型（小細孔）がある。
例えば＊ＢＥＡ型（大細孔）のゼオライトは、図２に示すように、ゼオライト中の１２個のＴ原子（ケイ素やアルミニウム）の位置を線で繋いでリング状に表される１２員環の骨格構造をとるものである。
１２員環のゼオライトの細孔は、対向するＴ原子（ケイ素やアルミニウム）間の距離のうち、例えば短径Ａが６．６Å（オングストローム）、長径Ｂが７．１Å（オングストローム）程度である。
なお、同じ１２員環のものでもその傾き（ねじれ）によりリングのサイズ（短径Ａ×長径Ｂ）が異なる。ＣＨＡ型（小細孔）のゼオライトは、対向するＴ原子（ケイ素やアルミニウム）間の距離のうち、例えば短径Ａが５．６Å、長径Ｂが５．６Å程度のものであり、多少の凹凸はあるものの短径Ａと長径Ｂがほぼ同じものである。
【0017】
ここで、触媒活性成分のバリエーションについて説明する。
上記条件を満たすアルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミン、ポリアミンのうち１種類以上の有機物から構成される。
上記条件を満たすアルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミン、ポリアミンのうち１種類以上の有機物から構成される。
【0018】
具体的に、条件を満たすアルカリ溶液は、以下に示す有機物を含むものが有効である。
例えばテトラアルキルアンモニウムは、テトラエチルアンモニウム、テトラプロピルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム等である。
この他、条件を満たすアルカリ溶液としては、例えばモルホリン、ジ－ｎ－プロピルアミン、トリ－ｎ－プロピルアミン、トリ－ｎ－イソプロピルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、ピペリジン、ピペラジン、シクロヘキシルアミン、２－メチルピリジン、Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエタノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエタノールアミン、コリン、Ｎ，Ｎ’－ジメチルピペラジン、１，４－ジアザビシクロ（２，２，２）オクタン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、Ｎ－メチルエタノールアミン、Ｎ－メチルピペリジン、３－メチルピペリジン、Ｎ－メチルシクロヘキシルアミン、３－メチルピリジン、４－メチルピリジン、キヌクリジン、Ｎ，Ｎ’－ジメチル－１，４－ジアザビシクロ－（２，２，２）オクタンイオン、ジ－ｎ－ブチルアミン、ネオペンチルアミン、ジ－ｎ－ペンチルアミン、イソプロピルアミン、ｔ－ブチルアミン、エチレンジアミン、ピロリジン、２－イミダゾリドン、ジ－イソプロピル－エチルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、シクロペンチルアミン、Ｎ－メチル－ｎ－ブチルアミン、ヘキサメチレンイミン等の１級アミン、２級アミン、３級アミン、ポリアミン等が挙げられる。
これらの中でも、細孔の大きさや材料コストの面で水酸化テトラエチルアンモニウム（ＴＥＡＯＨ）を用いることが好ましい。
例えばテトラアルキルアンモニウムは、テトラエチルアンモニウム、テトラプロピルアンモニウム、テトラブチルアンモニウム等である。
この他、条件を満たすアルカリ溶液としては、例えばモルホリン、ジ－ｎ－プロピルアミン、トリ－ｎ－プロピルアミン、トリ－ｎ－イソプロピルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、ピペリジン、ピペラジン、シクロヘキシルアミン、２－メチルピリジン、Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエタノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエタノールアミン、コリン、Ｎ，Ｎ’－ジメチルピペラジン、１，４－ジアザビシクロ（２，２，２）オクタン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、Ｎ－メチルエタノールアミン、Ｎ－メチルピペリジン、３－メチルピペリジン、Ｎ－メチルシクロヘキシルアミン、３－メチルピリジン、４－メチルピリジン、キヌクリジン、Ｎ，Ｎ’－ジメチル－１，４－ジアザビシクロ－（２，２，２）オクタンイオン、ジ－ｎ－ブチルアミン、ネオペンチルアミン、ジ－ｎ－ペンチルアミン、イソプロピルアミン、ｔ－ブチルアミン、エチレンジアミン、ピロリジン、２－イミダゾリドン、ジ－イソプロピル－エチルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、シクロペンチルアミン、Ｎ－メチル－ｎ－ブチルアミン、ヘキサメチレンイミン等の１級アミン、２級アミン、３級アミン、ポリアミン等が挙げられる。
これらの中でも、細孔の大きさや材料コストの面で水酸化テトラエチルアンモニウム（ＴＥＡＯＨ）を用いることが好ましい。
【0019】
【0020】
図３に示す洗浄システムは、洗浄装置１０と、焼成装置２０とを備える。
洗浄装置１０は、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット１２を載置する台座１１と、台座１１を収容する容器１３と、ポンプ１４と、配管１５と、容器１３の上部に配置された散水装置１６とを備える。
洗浄装置１０は、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット１２を載置する台座１１と、台座１１を収容する容器１３と、ポンプ１４と、配管１５と、容器１３の上部に配置された散水装置１６とを備える。
【0021】
容器１３は、上部が開口されている。容器１３の内部には、台座１１の高さに至らない量の溶剤１７が収容されている。
台座１１の上部（台の部分）は、網状に形成されており、触媒ユニット１２を通過した溶剤１７は、台の部分の網目を通して水滴となり落下する。
ポンプ１４は、容器１３の溶剤１７を、配管１５を介して散水装置１６に汲み上げ、散水装置１６から散水されて容器１３内に戻された溶剤１７を循環させる。
散水装置１６は、例えばシャワーヘッドのようなものであり、ポンプ１４により汲み上げられた溶剤１７を下方に配置された触媒ユニット１２へ散布（散剤）する。
溶剤１７には、例えば水酸化テトラエチルアンモニウム（ＴＥＡＯＨ）等のアルカリ溶液が用いられる。
台座１１の上部（台の部分）は、網状に形成されており、触媒ユニット１２を通過した溶剤１７は、台の部分の網目を通して水滴となり落下する。
ポンプ１４は、容器１３の溶剤１７を、配管１５を介して散水装置１６に汲み上げ、散水装置１６から散水されて容器１３内に戻された溶剤１７を循環させる。
散水装置１６は、例えばシャワーヘッドのようなものであり、ポンプ１４により汲み上げられた溶剤１７を下方に配置された触媒ユニット１２へ散布（散剤）する。
溶剤１７には、例えば水酸化テトラエチルアンモニウム（ＴＥＡＯＨ）等のアルカリ溶液が用いられる。
【0022】
洗浄装置１０は、上述した触媒ユニット１２においてイオン交換をさせないという条件のもと、上記溶剤１７により触媒ユニット１２を洗浄する。
その条件は、例えば溶剤１７に含まれるカチオンのサイズが、触媒ユニット１２の触媒活性成分（ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいという条件である。この条件に適合する溶剤１７が、上記ＴＥＡＯＨである。
その条件は、例えば溶剤１７に含まれるカチオンのサイズが、触媒ユニット１２の触媒活性成分（ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいという条件である。この条件に適合する溶剤１７が、上記ＴＥＡＯＨである。
【0023】
焼成装置２０は、洗浄がなされた尿素ＳＣＲ触媒を所定の温度で焼成する。所定の温度は、例えば有機物が燃焼する温度である４５０℃乃至６００℃等とする。
【0024】
次に、図４を参照して図３の洗浄システムによる洗浄方法について説明する。
図４は、図３の洗浄システムによる洗浄方法を示すフローチャートである。
図４に示すように、ステップＳ１において、容器１３内に溶剤１７を入れる。
図４は、図３の洗浄システムによる洗浄方法を示すフローチャートである。
図４に示すように、ステップＳ１において、容器１３内に溶剤１７を入れる。
【0025】
ステップＳ２において、容器１３内に固定した台座１１の上に、触媒ユニット１２を配置する。この際、触媒ユニット１２のセル１（図１参照）を上下に向けるように触媒ユニット１２を配置する。触媒ユニット１２の上下はどちらでもよいが、下記洗浄ステップＳ３の洗浄中に上下を反対にする。つまりひっくり返す。
【0026】
洗浄ステップＳ３において、洗浄装置１０は、触媒ユニット１２においてイオン交換をさせないという条件のもと、ＴＥＡＯＨ等の溶剤１７により触媒ユニット１２を洗浄する。
具体的には、洗浄装置１０は、ポンプ１４を駆動してＴＥＡＯＨの溶剤１７を、装置内に循環させることで、触媒ユニット１２を洗浄する。装置内の循環とは、溶剤１７を容器１３から配管１５を通じて汲み上げて散水装置１６から散水し、触媒ユニット１２を通じて容器１３に戻すことである。
具体的には、洗浄装置１０は、ポンプ１４を駆動してＴＥＡＯＨの溶剤１７を、装置内に循環させることで、触媒ユニット１２を洗浄する。装置内の循環とは、溶剤１７を容器１３から配管１５を通じて汲み上げて散水装置１６から散水し、触媒ユニット１２を通じて容器１３に戻すことである。
【0027】
濯ぎステップＳ４において、触媒ユニット１２を洗浄装置１０から取り出して水で濯ぐ。
その後、洗浄装置１０により洗浄された触媒ユニット１２を焼成装置２０のマッフル炉の中に入れる。その後、焼成ステップＳ５に移行する。
その後、洗浄装置１０により洗浄された触媒ユニット１２を焼成装置２０のマッフル炉の中に入れる。その後、焼成ステップＳ５に移行する。
【0028】
焼成ステップＳ５において、焼成装置２０は、３℃／分の昇温速度で加熱し、５５０℃に達すると、その温度を２時間保持する。その後、保温を停止し、炉内の温度を常温まで戻して焼成処理を終了し、触媒ユニット１２をマッフル炉から取り出す。
この焼成ステップＳ５は、尿素由来の化学物質であるシアヌル酸、シアン酸、アンメリン、アンメリド等を昇華すること、石油由来の有機基礎化学品等を燃焼させること、金属縁を分解すること等を目的としている。
この焼成ステップＳ５は、尿素由来の化学物質であるシアヌル酸、シアン酸、アンメリン、アンメリド等を昇華すること、石油由来の有機基礎化学品等を燃焼させること、金属縁を分解すること等を目的としている。
【0029】
このように実施形態に係る洗浄システムによれば、触媒ユニット１２にイオン交換をさせないという条件を持つＴＥＡＯＨ等の溶剤１７を用いて触媒ユニット１２を洗浄し、当該触媒ユニット１２をおおよそ６００℃で焼成することにより、ＴＥＡＯＨ等の溶剤１７（アルカリ溶液）で、触媒ユニット１２の還元機能を損なうことなく洗浄することができる。
【0030】
以下、図５乃至図１１を参照して実施形態の洗浄システムによる洗浄効果について説明する。
図５は、触媒ユニットに用いる触媒のサンプルを洗浄する前のデータを示す図である。
図６は、図５のサンプルを洗浄せずに焼成したときのデータを示す図である。
図７は、図５のサンプルを洗浄した後のデータを示す図である。
図８は、図５のサンプルを洗浄した後に焼成形したときのデータを示す図である。
図９は、図５のサンプルの、洗浄前後のＵＶ－可視光スペクトル特性を示す図である。
図１０は、図５のサンプルについての、洗浄前後のＮＨ３ＳＣＲ反応の結果を示す図である。
図１１は、図５のサンプルを洗浄しないＴＧ－ＭＳプロフィールと、当該サンプルを洗浄及び焼成したＴＧ－ＭＳプロフィールとの対比を示す図である。
図５は、触媒ユニットに用いる触媒のサンプルを洗浄する前のデータを示す図である。
図６は、図５のサンプルを洗浄せずに焼成したときのデータを示す図である。
図７は、図５のサンプルを洗浄した後のデータを示す図である。
図８は、図５のサンプルを洗浄した後に焼成形したときのデータを示す図である。
図９は、図５のサンプルの、洗浄前後のＵＶ－可視光スペクトル特性を示す図である。
図１０は、図５のサンプルについての、洗浄前後のＮＨ３ＳＣＲ反応の結果を示す図である。
図１１は、図５のサンプルを洗浄しないＴＧ－ＭＳプロフィールと、当該サンプルを洗浄及び焼成したＴＧ－ＭＳプロフィールとの対比を示す図である。
【0031】
図５乃至図８の表は、ゼオライトベータに相当する活性触媒の粉末サンプルについて、所定の条件下で試験したデータを示している。
所定の条件を以下に示す。
ＳＣＲ反応について、
試験は、固定床流通式反応器（４ｍｍ）内において大気圧で実施した。
ＮＨ３－ＳＣＲとして、約１００ｍｇの触媒（４０～２５０μｍメッシュサイズ）を反応器に充填した。３００ｐｐｍのＮＨ３、３００ｐｐｍのＮＯ、５％のＯ２、３％のＨ２Ｏを含み、残余がＮ２であるガス流を３４０００ｈ－１の毎時気体空間速度（ＧＨＳＶ）で反応器に供給した。流出する気体組成物を、ＮＯｘアナライザー（ヤナコ製、ＥＣＬ－８８Ａ）及びＥＣＤ検出器を備えるガスクロマトグラフ（島津ＧＣ－８Ａ）でオンライン分析した。試験温度は１５０、２００、２５０、３００、３５０、４００、４５０及び５００°Ｃとした。
図５の表は、上記の試験により得られたデータであり、洗浄しないサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図６の表は、洗浄せずに焼成したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図７の表は、洗浄したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図８の表は、洗浄後焼成したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。
所定の条件を以下に示す。
ＳＣＲ反応について、
試験は、固定床流通式反応器（４ｍｍ）内において大気圧で実施した。
ＮＨ３－ＳＣＲとして、約１００ｍｇの触媒（４０～２５０μｍメッシュサイズ）を反応器に充填した。３００ｐｐｍのＮＨ３、３００ｐｐｍのＮＯ、５％のＯ２、３％のＨ２Ｏを含み、残余がＮ２であるガス流を３４０００ｈ－１の毎時気体空間速度（ＧＨＳＶ）で反応器に供給した。流出する気体組成物を、ＮＯｘアナライザー（ヤナコ製、ＥＣＬ－８８Ａ）及びＥＣＤ検出器を備えるガスクロマトグラフ（島津ＧＣ－８Ａ）でオンライン分析した。試験温度は１５０、２００、２５０、３００、３５０、４００、４５０及び５００°Ｃとした。
図５の表は、上記の試験により得られたデータであり、洗浄しないサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図６の表は、洗浄せずに焼成したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図７の表は、洗浄したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。図８の表は、洗浄後焼成したサンプルの回折角２θ°と相対強度との関係を示す。
【0032】
図５の表は、触媒ユニットに用いる触媒のサンプルを洗浄する前のデータを示したものであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
図６の表は、サンプルを洗浄せずに焼成したデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
図７の表は、サンプルを洗浄しただけのデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
図８の表は、サンプルを洗浄した後、焼成したデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
即ち、図５乃至図８の表から、＊ＢＥＡ型のゼオライトの結晶構造を保たれており、洗浄や焼成により、触媒としての特性に変化がないことを確認できた。
図６の表は、サンプルを洗浄せずに焼成したデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
図７の表は、サンプルを洗浄しただけのデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
図８の表は、サンプルを洗浄した後、焼成したデータを示したものであり、図５のデータとほぼ同じであり、＊ＢＥＡ型のゼオライトが結晶構造を保って残っていることが分かる。
即ち、図５乃至図８の表から、＊ＢＥＡ型のゼオライトの結晶構造を保たれており、洗浄や焼成により、触媒としての特性に変化がないことを確認できた。
【0033】
図９の洗浄前後のＵＶ－可視光スペクトル特性から内部の活性点の鉄等の凝集状態が分かるが、それが洗浄によって、大きく変化していることが確認できる。
【0034】
図１０の洗浄前後のＮＨ３ＳＣＲシステム中の触媒の反応の結果であるが、この結果の数値を見ると、洗浄前よりも洗浄後の方が数値が大きく、洗浄前に低下していた触媒活性が、洗浄と焼成を経ることで向上することが確認できた。
【0035】
図１１（Ａ）は、洗浄前のデータであり、図１１（Ｂ）は洗浄及び焼成後のデータであり、これらのグラブからは、含まれている有機物の量が分かる。図１１（Ａ）の洗浄前のデータは、有機物の量が４．３２％、図１１（Ｂ）の洗浄及び焼成後のデータは有機物の量が３．４９％であり、夫々にはその量の有機物が含まれていることが分かる。
図１１（Ａ）のデータＴＧ－ＭＳプロフィールに対して、図１１（Ｂ）のＴＧ－ＭＳプロフィールは、焼成しているため、有機物が減少していることが分かる。
図１１（Ａ）のデータＴＧ－ＭＳプロフィールに対して、図１１（Ｂ）のＴＧ－ＭＳプロフィールは、焼成しているため、有機物が減少していることが分かる。
【0036】
上述した実施形態は、本発明を実施するための一例を記載したに過ぎず、本発明は、上記実施形態のみに限定されるものではない。
上述した実施形態では、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットを例示したが、これ以外の型の触媒であってもよく、尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットであれば足りる。
上述した実施形態では、焼成手段として、焼成装置２０等の焼成専用の炉（マッフル炉）を用いて触媒ユニット１２を焼成する例を例示したが、この他、例えば車両に触媒ユニット１２を取り付けて強制燃焼させることで焼成を行ってもよく、焼成手段は、実施形態のみに限定されない。
上述した実施形態では、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットを例示したが、これ以外の型の触媒であってもよく、尿素ＳＣＲシステム中の触媒ユニットであれば足りる。
上述した実施形態では、焼成手段として、焼成装置２０等の焼成専用の炉（マッフル炉）を用いて触媒ユニット１２を焼成する例を例示したが、この他、例えば車両に触媒ユニット１２を取り付けて強制燃焼させることで焼成を行ってもよく、焼成手段は、実施形態のみに限定されない。
【0037】
以上を換言すると、本発明が適用される洗浄システムは、次のような構成を有していれば足り、各種各様な実施の形態を取ることができる。
即ち、本発明が適用される洗浄システム（例えば図３参照）は、
複数の細孔を有する触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ(Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄システム（例えば図３参照）において、
前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）においてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄装置（例えば図２の洗浄装置１０等）と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度で焼成する焼成装置（例えば図３の焼成装置２０等）と、
を備える。
このように尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）にイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することにより、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の触媒相（例えば図１の触媒相３等）が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されることがなくなり、洗浄後も還元反応を行わせることができる。つまりハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄した後でも触媒としての機能を維持することができるようになる。
この結果、洗浄後に触媒としての性能を維持できるように、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄することができる。
即ち、本発明が適用される洗浄システム（例えば図３参照）は、
複数の細孔を有する触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ(Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄システム（例えば図３参照）において、
前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）においてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄装置（例えば図２の洗浄装置１０等）と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度で焼成する焼成装置（例えば図３の焼成装置２０等）と、
を備える。
このように尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）にイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することにより、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の触媒相（例えば図１の触媒相３等）が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されることがなくなり、洗浄後も還元反応を行わせることができる。つまりハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄した後でも触媒としての機能を維持することができるようになる。
この結果、洗浄後に触媒としての性能を維持できるように、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄することができる。
【0038】
前記条件は、前記アルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）に含まれるカチオンのサイズが、前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の前記触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の前記細孔のサイズより大きいという条件である。
このように、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいサイズのカチオンを含むアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）を用いて触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することで、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔にカチオンが入らないようにしてアルカリ洗浄を行うことができるので、触媒ユニットに担持されている触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の詰まりを取り除くことができる。
このように、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいサイズのカチオンを含むアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）を用いて触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することで、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔にカチオンが入らないようにしてアルカリ洗浄を行うことができるので、触媒ユニットに担持されている触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の詰まりを取り除くことができる。
【0039】
上記洗浄システム（例えば図３参照）において、
前記洗浄がなされた尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で焼成する。
このように所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を焼成することにより、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の活性を復活させることができる。
前記洗浄がなされた尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で焼成する。
このように所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を焼成することにより、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の活性を復活させることができる。
【0040】
複数の細孔を有する触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）を備えるハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲ（Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｃａｔａｌｙｔｉｃ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）システムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄方法（例えば図４参照）において、
前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）においてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄ステップ（例えば図４の洗浄ステップＳ３等）と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度で焼成する焼成ステップ（例えば図４の焼成ステップＳ５等）と、
を含む。
このように尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）にイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットを洗浄する洗浄ステップと、洗浄がなされた触媒ユニットを所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で焼成する焼成ステップとを有することにより、触媒ユニットの触媒相が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されることがなくなり、洗浄後も還元反応を行わせることができる。つまりハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットをアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄した後でも触媒の機能を維持することができるようになる。
この結果、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により洗浄することができる洗浄方法を提供することができる。
前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）においてイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄する洗浄ステップ（例えば図４の洗浄ステップＳ３等）と、
前記洗浄がなされた前記触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を所定の温度で焼成する焼成ステップ（例えば図４の焼成ステップＳ５等）と、
を含む。
このように尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）にイオン交換をさせないという条件のもと、所定のアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットを洗浄する洗浄ステップと、洗浄がなされた触媒ユニットを所定の温度（例えば４５０℃乃至６００℃、好ましくは６００℃に近い温度）で焼成する焼成ステップとを有することにより、触媒ユニットの触媒相が尿素由来の物質（シアヌル酸等）により被覆されることがなくなり、洗浄後も還元反応を行わせることができる。つまりハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットをアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）で洗浄した後でも触媒の機能を維持することができるようになる。
この結果、ハニカムモノリス型の尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）をアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）により洗浄することができる洗浄方法を提供することができる。
【0041】
上記洗浄方法において、
前記条件は、前記アルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）に含まれるカチオンのサイズが、前記尿素ＳＣＲシステムの前記触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の前記細孔のサイズより大きいという条件である。
このように、尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいサイズのカチオンを含むアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）を用いて当該触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することで、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔にカチオンが入らないようにしてアルカリ洗浄を行うことができるので、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の詰まりを取り除くことができる。
前記条件は、前記アルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）に含まれるカチオンのサイズが、前記尿素ＳＣＲシステムの前記触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の前記細孔のサイズより大きいという条件である。
このように、尿素ＳＣＲシステムの触媒ユニットの触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔のサイズより大きいサイズのカチオンを含むアルカリ溶液（例えばＴＥＡＯＨ等）を用いて当該触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）を洗浄することで、触媒活性成分（例えば図２の＊ＢＥＡ型ゼオライト等）の細孔にカチオンが入らないようにしてアルカリ洗浄を行うことができるので、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の詰まりを取り除くことができる。
【0042】
上記洗浄方法において、
前記条件を満たす前記アルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミンのうち１種類以上の有機物から構成される。
このようにテトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミンのうち１種類以上の有機物から構成されるアルカリ溶液を用いて洗浄することで、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の機能を低下させずに洗浄することができる。
前記条件を満たす前記アルカリ溶液は、テトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミンのうち１種類以上の有機物から構成される。
このようにテトラアルキルアンモニウム、１級アミン、２級アミン、３級アミンのうち１種類以上の有機物から構成されるアルカリ溶液を用いて洗浄することで、触媒ユニット（例えば図３の触媒ユニット１２等）の機能を低下させずに洗浄することができる。
【符号の説明】
【0043】
１０・・・洗浄装置、１１・・・台座、１２・・・触媒ユニット、１３・・・容器、１４・・・ポンプ、１５・・・配管、１６・・・散水装置、１７・・・溶剤、２０・・・焼成装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】