特開2023-178580表面処理装置およびその圧力制御方法

発明の名称　表面処理装置およびその圧力制御方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 221 位（141件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 75 位（295件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-178580

公報発行日　2023年12月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-178580

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-178580「表面処理装置およびその圧力制御方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録