特開 2023-178653 テープ貼着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023178653

(43)【公開日】2023-12-18

(54)【発明の名称】テープ貼着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20231211BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022091454

(22)【出願日】2022-06-06

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 邦重

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA18

5F131DA33

5F131EA07

5F131EA14

5F131EA22

5F131EA23

5F131EC33

5F131EC37

5F131EC44

5F131EC62

5F131EC72

5F131EC77

5F131KA16

5F131KA44

5F131KA54

5F131KB05

5F131KB32

5F131KB53

(57)【要約】

【課題】テープ貼着装置において、被貼着物に対するテープの貼着位置の位置ずれを防止する。
【解決手段】テープ貼着装置１は、被貼着物の一例であるウェーハＷ及びリングフレームＦを保持する保持部３と、テープセットＴＳを鋭角に屈曲させてシートＴＡからダイシングテープＴＢを剥離させるピールプレート５０と、このピールプレート５０によってシートＴＡから剥離されたテープの一例であるダイシングテープＴＢをウェーハＷ及びリングフレームＦに押し付けてウェーハＷ及びリングフレームＦにダイシングテープＴＢを貼着する貼着ローラ６０と、この貼着ローラ６０の外側面にシートＴＡから剥離されたダイシングテープＴＢの先端を沿わせるエアノズル３９と、貼着ローラ６０の外側面に沿わされたダイシングテープＴＢの先端を検知する先端検知部８と、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一方の面に粘着層を有し被貼着物に対応した形状に切断されたテープと該粘着層に貼着した帯状のシートとからなるテープセットを用いて、該シートから剥離しながら該テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置であって、
被貼着物を保持する保持部と、該保持部に保持された被貼着物に該シートから剥離した該テープを貼着する貼着手段と、該保持部と該貼着手段とを相対的に水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、
該貼着手段は、
少なくとも二つのローラで該テープセットを挟む第一ローラセットと、
少なくとも二つのローラで該シートを挟む第二ローラセットと、
該第一ローラセットと該第二ローラセットとの間において該テープセットを鋭角に屈曲させて該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、
該ピールプレートによって該シートから剥離された該テープを被貼着物に押し付けて被貼着物に該テープを貼着する貼着ローラと、
該貼着ローラの外側面に該シートから剥離された該テープの先端を沿わせるエアノズルと、
該貼着ローラの外側面に沿わされた該テープの先端を検知する先端検知部と、
を備える、テープ貼着装置。

【請求項2】

該先端検知部は、該保持部に配置され該貼着ローラに向かって測定光を投光する投光部と、該測定光の反射光を受光する受光部と、該反射光を該受光部が受光することによって該テープの先端を検知する検知部と、を備える、請求項１記載のテープ貼着装置。

【請求項3】

該先端検知部は、該保持部に配置され該貼着ローラの外側面に先端が接触するように延在する触覚センサと、該触覚センサによって該テープの先端を検知する検知部と、を備える、請求項１記載のテープ貼着装置。

【請求項4】

該先端検知部は、該保持部に配置され該貼着ローラに向かって超音波振動を発振する発振部と、該超音波振動が該貼着ローラまたは該テープで反射した反射振動を受振する受振部と、該受振部の値によって該テープの先端を検知する検知部と、を備える、
請求項１記載のテープ貼着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のテープ貼着装置は、例えば、一方の面に保護テープを貼着したウェーハの他方の面を砥石で研削した後、リングフレームとウェーハの他方の面とにダイシングテープを貼着してダイシングテープによってリングフレームとウェーハとを一体化させた後、ウェーハから保護テープを剥離させている。

【0003】

このようにリングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着するテープ貼着装置において、ダイシングテープが剥離される前のテープセットが収容されるケースの開口近傍においてテープセットの先端が検知されている（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

また、リングフレームに対する貼着後のダイシングテープの位置ずれを検知する手法もとられている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０２０－０４７６９９号公報

【特許文献2】実用新案登録第３２２００６９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、シートから剥離されたダイシングテープの先端を貼着ローラに沿わせて、この貼着ローラによってダイシングテープをリングフレーム及びウェーハに貼着する場合、テープセットを送るローラに滑りが生じることなどによって、貼着ローラの外側面に沿わされたダイシングテープの先端位置がずれることがある。このようにテープセットを送るローラに滑りが生じると、上述のようにテープセットを収容するケースの開口近傍においてテープセットの先端を検知しても、その後、ダイシングテープの先端位置がずれることになる。そして、ダイシングテープの先端位置がずれると、被貼着物に対するテープの貼着位置の位置ずれが発生し、ダイシングテープの貼り直しが発生する。

【0007】

また、上述のようにリングフレームに対する貼着後のダイシングテープの位置ずれを検知する場合、位置ずれを貼着前に検知することができず、貼り直し分のダイシングテープと、貼り直しの時間とが必要になる。

【0008】

本発明の目的は、被貼着物に対するテープの貼着位置の位置ずれを防止することができるテープ貼着装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明のテープ貼着装置は、一方の面に粘着層を有し被貼着物に対応した形状に切断されたテープと該粘着層に貼着した帯状のシートとからなるテープセットを用いて、該シートから剥離しながら該テープを被貼着物に貼着するテープ貼着装置であって、被貼着物を保持する保持部と、該保持部に保持された被貼着物に該シートから剥離した該テープを貼着する貼着手段と、該保持部と該貼着手段とを相対的に水平方向に移動させる水平移動手段と、を備え、該貼着手段は、少なくとも二つのローラで該テープセットを挟む第一ローラセットと、少なくとも二つのローラで該シートを挟む第二ローラセットと、該第一ローラセットと該第二ローラセットとの間において該テープセットを鋭角に屈曲させて該シートから該テープを剥離させるピールプレートと、該ピールプレートによって該シートから剥離された該テープを被貼着物に押し付けて被貼着物に該テープを貼着する貼着ローラと、該貼着ローラの外側面に該シートから剥離された該テープの先端を沿わせるエアノズルと、該貼着ローラの外側面に沿わされた該テープの先端を検知する先端検知部と、を備える。

【発明の効果】

【0010】

本発明のテープ貼着装置によれば、被貼着物に対するテープの貼着位置の位置ずれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】ロール状に巻回されたテープセットの一例を示す斜視図である。

【図2】第１実施形態に係るテープ貼着装置の構成の一例を示す模式的な断面図である。

【図3】第１実施形態に係るテープ貼着装置の先端検知部等を拡大して示す断面図である。

【図4】第２実施形態に係るテープ貼着装置の構成の一例を示す模式的な断面図である。

【図5】第２実施形態に係るテープ貼着装置の先端検知部を説明するための断面図（その１）である。

【図6】第２実施形態に係るテープ貼着装置の先端検知部を説明するための断面図（その２）である。

【図7】第２実施形態に係るテープ貼着装置の先端検知部を説明するための断面図（その３）である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本発明の第１及び第２実施形態に係るテープ貼着装置について説明する。

【0013】

各図に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（垂直方向）である。各図において、Ｘ軸方向を示す両矢線のうち、＋Ｘの文字が付されている側を右方とし、－Ｘの文字が付されている側を左方とする。Ｙ軸方向を示す両矢線のうち、＋Ｙ又はＹの文字が付されている側を前方とし、－Ｙの文字が付されている側を後方とする。Ｚ軸方向を示す両矢線のうち、＋Ｚの文字が付されている側を上方とし、－Ｚの文字が付されている側を下方とする。

【0014】

図１に示すテープセットＴＳ（例えば、厚み２００μｍ）は、帯状の粘着テープＴＥと、帯状のシートＴＡとが貼り合わせられた構造となっている。粘着テープＴＥは、例えばポリオレフィン系樹脂等からなる基材ＴＥＡと、この基材ＴＥＡ上の粘着層ＴＥＢとからなり、粘着層ＴＥＢ側にシートＴＡ（例えば、厚み１００μｍ）が貼着されている。粘着テープＴＥは、予め貼着対象となるリングフレームＦ（図２参照）の径に応じて円形状に複数プリカットされており、シートＴＡに粘着テープＴＥがプリカットされて形成されたダイシングテープＴＢが複数、シートＴＡの長手方向（図１においてはＸ軸方向）に等間隔を空けて貼着された状態になっている。なお、粘着テープＴＥ及びシートＴＡは、特に材質などが限定されない。

【0015】

上記の帯状のシートＴＡの長手方向に円形のダイシングテープＴＢを並べて貼着したテープセットＴＳは、図１に示すように巻筒ＴＣにダイシングテープＴＢを内側にしてロール状に巻回された状態となっている。

【0016】

＜第１実施形態＞
図２は、第１実施形態に係るテープ貼着装置１の構成の一例を示す模式的な断面図である。

【0017】

図３は、テープ貼着装置１の先端検知部８等を拡大して示す断面図である。

【0018】

図２に示すテープ貼着装置１は、一方の面に粘着層ＴＥＢを有し被貼着物（リングフレームＦ及びウェーハＷ）に対応した形状（円形状）に切断されたダイシングテープＴＢ（テープの一例）と、粘着層ＴＥＢに貼着した帯状のシートＴＡとからなるテープセットＴＳを用いて、シートＴＡから剥離しながらダイシングテープＴＢを被貼着物に貼着する装置である。すなわち、テープ貼着装置１は、被貼着物の一例であるリングフレームＦ及びウェーハＷを、図１に示すダイシングテープＴＢで一体化させる。

【0019】

テープ貼着装置１は、保持部３と、貼着部（貼着手段）と、保持部移動部（水平移動手段）３４とを備える。

【0020】

保持部３は、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部３０と、リングフレームＦの開口内でウェーハＷを保持するウェーハ保持部３１とを有する。これにより、保持部３は、リングフレームＦ及びウェーハＷを保持する。

【0021】

図２に示すリングフレーム保持部３０は、平面視円環状の円筒部品であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。ウェーハ保持部３１は、リングフレーム保持部３０に囲繞されリングフレームＦの開口内でウェーハＷを保持する円柱部品である。ウェーハ保持部３１は、平面視円形状であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。

【0022】

ウェーハ保持部３１とリングフレーム保持部３０とは、支持台３２によって下方から支持されている。支持台３２の下方には、支持台３２を介して保持部３をＸ軸方向に往復移動させる水平移動手段の一例である保持部移動部３４が配置されている。保持部移動部３４は、Ｘ軸方向に延在するベース３４１と、このベース３４１に沿ってＸ軸方向に移動可能な移動基台３４２と、この移動基台３４２を移動させる図示しないボールネジ機構等とを備え、保持部３と貼着手段とを相対的に水平方向に移動させる。

【0023】

支持台３２と移動基台３４２とは、例えば、シリンダ機構等からなる保持部昇降部３５を介して接続されている。保持部昇降部３５は、支持台３２を介して保持部３をＺ軸方向に昇降させる。

【0024】

なお、本実施形態においては、保持部３と後述する貼着ローラ６０との両方がＺ軸方向に往復移動可能となっているが、いずれか一方のみがＺ軸方向に往復移動可能な構成となっていてもよい。

【0025】

保持部３の移動経路上方には、テープセット引取り部７６をＸ軸方向に往復移動可能とするスライド機構７１が配置されている。このスライド機構７１は、Ｘ軸方向に延在するベース７１０と、テープセット引取り部７６が固定されベース７１０においてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダ７１１と、スライダ７１１を移動させる図示しないボールネジ機構とを有する。

【0026】

テープセット引取り部７６は、支持部材７６１と、この支持部材７６１の上端に配置されたクランプ等のテープセット把持部７６２とを備えている。テープセット把持部７６２は、テープセット引渡し部１７のテープセット挟持部１７４が挟持するテープセットＴＳの端部のＹ軸方向両端を引き継いで把持することができる。

【0027】

スライド機構７１のベース７１０の－Ｘ方向側の端側には、シートＴＡを廃棄する廃棄部７３が配置されている。この廃棄部７３は、シートＴＡの端部のＹ軸方向の両端を把持部７３１０によって把持するとともにその外周面にシートＴＡをロール状に巻き取る巻き取り部７３１と、この巻き取り部７３１を回転させる図示しないモータと、巻き取り部７３１の下方に配置されロール状に巻かれたシートＴＡを把持部７３１０が離すことでシートＴＡが落下する廃棄ボックス７３２とを備えている。

【0028】

貼着部（貼着手段）は、保持部３に保持されたリングフレームＦ及びウェーハＷに、シートＴＡから剥離したダイシングテープＴＢを貼着する。

【0029】

貼着部は、送り出しユニット２と、巻き取りユニット４と、ピールプレート５０と、貼着ローラ６０と、エアノズル３９と、先端検知部８とを備える。

【0030】

送り出しユニット２は、少なくとも二つのローラでテープセットＴＳを挟む第一ローラセットの一例であり、駆動ローラ２１と、Ｚ軸方向において対向する２つの従動ローラ２２と、移動機構２３とを有し、駆動ローラ２１及び２つの従動ローラ２２がテープセットＴＳを挟んで回転しテープセットＴＳを送り出す。

【0031】

移動機構２３は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール２３１と、このガイドレール２３１においてＸ軸方向に移動可能な移動部２３２とを有し、駆動ローラ２１と従動ローラ２２とを相対的に接近又は離間させる。側面視略コの字状の移動部２３２は、その各先端において２つの従動ローラ２２を支持している。移動部２３２がガイドレール２３１に沿って移動することにより、駆動ローラ２１と２つの従動ローラ２２とをＸ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

【0032】

巻き取りユニット４は、テープセット引取り部７６のＸ軸方向の移動経路上に配置されており、送り出しユニット２と略同様の構成となっている。すなわち、巻き取りユニット４は、少なくとも駆動ローラ４１と、Ｘ軸方向において対向する２つの従動ローラ４２と、駆動ローラ４１と従動ローラ４２とを相対的に接近又は離間させる移動機構４３とを有する。巻き取りユニット４は、少なくとも二つのローラでシートＴＡを挟む第二ローラセットの一例であり、駆動ローラ４１及び２つの従動ローラ４２が、ダイシングテープＴＢが剥がされたシートＴＡを挟んで回転しシートＴＡを巻き取る。

【0033】

移動機構４３は、Ｚ軸方向に延在するガイドレール４３１と、このガイドレール４３１においてＺ軸方向に移動可能な移動部４３２とを有する。移動部４３２は、その各上端において２つの従動ローラ４２を支持している。移動部４３２がガイドレール４３１に沿って移動することにより、駆動ローラ４１と従動ローラ４２とをＺ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

【0034】

ピールプレート５０は、送り出しユニット２と巻き取りユニット４との間においてテープセットＴＳを鋭角に屈曲させてシートＴＡからダイシングテープＴＢを剥離させる。例えば、ピールプレート５０は、テープセットＴＳの幅（Ｙ軸方向長さ）以上の長さでＹ軸方向に延在しており、貼着ローラ６０に向かって斜め上から延在する基台５１上に可動部材５２を介して配置されている。例えば、ピールプレート５０の下端側の先端部５００は、Ｒ状に丸まっている。可動部材５２は、基台５１を往復移動可能となっており、可動部材５２が基台５１の下端側まで移動することで、ピールプレート５０がテープセットＴＳのうちシートＴＡを押圧して鋭角に屈曲させることにより、シートＴＡからダイシングテープＴＢを剥離することができる。

【0035】

例えば、基台５１は、Ｙ軸方向の軸心周りに回動可能となっており、基台５１が所定角度回動することで、ピールプレート５０の貼着ローラ６０に対する角度を可変することができる。

【0036】

貼着ローラ６０は、ピールプレート５０によってシートＴＡから剥離されたダイシングテープＴＢをリングフレームＦ及びウェーハＷに押し付けてリングフレームＦ及びウェーハＷにダイシングテープＴＢを貼着する。貼着ローラ６０は、Ｙ軸方向の軸心周りに回転可能であり、保持部３の上方に配置されており、少なくともダイシングテープＴＢの直径以上の長さでＹ軸方向に延在している。貼着ローラ６０には、例えばシリンダ機構等からなる貼着ローラ位置づけ部６１が接続され、貼着ローラ位置づけ部６１によって保持部３に接近又は離間するＺ軸方向に昇降可能となっている。

【0037】

エアノズル３９は、貼着ローラ６０の外側面にシートＴＡから剥離されたダイシングテープＴＢの先端を沿わせる。例えば、エアノズル３９は、ウェーハ保持部３１の上方に配置され、シートＴＡから剥がされたダイシングテープＴＢを貼着ローラ６０に沿わせるようにエアを噴き付ける。エアノズル３９は、＋Ｘ方向側を向く噴射口３９０を備えており、コンプレッサ等からなるエア供給源３９３に連通している。

【0038】

先端検知部８は、例えば貼着ローラ６０の直下に配置され、貼着ローラ６０の外側面に沿わされたダイシングテープＴＢの先端を検知する。先端検知部８は、ダイシングテープＴＢの貼着時の支持台３２の移動方向（＋Ｘ方向）における先端に配置されている。先端検知部８は、少なくとも投光部８１が、保持部３に配置されていることが望ましく、保持部３（支持台３２）の移動方向（＋Ｘ方向）における先端に配置されていることがより望ましい。本第１実施形態の先端検知部８は、貼着ローラ６０に向かって測定光を投光する投光部８１と、測定光の反射光を受光する受光部８２と、反射光を受光部８２が受光すること（例えば、受光量）によってダイシングテープＴＢの先端を検知する検知部８３と、を備える。

【0039】

なお、検知部８３によってダイシングテープＴＢの先端が検知されたことは、後述する制御部１００に有線又は無線で信号として送られる。そして、制御部１００が、ダイシングテープＴＢの先端が検知されたことに基づいて、ダイシングテープＴＢのリングフレームＦ及びウェーハＷへの貼着を行うようにテープ貼着装置１の各部を制御する。

【0040】

テープ貼着装置１は、例えば、ロール状に巻回されたテープセットＴＳを支持する第一のテープセット支持部１１及び第二のテープセット支持部１２を備えている。第一のテープセット支持部１１と第二のテープセット支持部１２とは同様の構成となっているため、以下に第一のテープセット支持部１１の構成について説明する。

【0041】

第一のテープセット支持部１１は、テープセットＴＳが収容されるケース１１０を有している。このケース１１０の底壁には、テープセットＴＳを通過させるための開口１１２が形成されている。開口１１２の端部には、光センサ等からなりテープセットＴＳの先端を検出する先端検出部１１１が配置されている。

【0042】

ケース１１０内には、テープセットＴＳが巻回されている巻筒ＴＣが貫装される支持柱１１３が配置されている。この支持柱１１３は、例えばモータ等のアクチュエータである回転部１１４によってＹ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。なお、ケース１１０の手前側（Ｙ軸方向紙面手前側）には、開閉可能な図示しない蓋が配置されている。

【0043】

第一のテープセット支持部１１及び第二のテープセット支持部１２のそれぞれのケース１１０の開口１１２の直下には、一対のガイドローラ１４がそれぞれ配置されている。この一対のガイドローラ１４は、ケース１１０から引き出されたテープセットＴＳを、テープセット引渡し部１７に向かってガイドする。なお、図示の例では、第二のテープセット支持部１２側のガイドローラ１４の近傍に送り出しユニット２に向けてテープセットＴＳをガイドするガイドローラ１５が配置されている。

【0044】

テープセット引渡し部１７は、支持部材１７１の下端に接続された回転機構１７２と、この回転機構１７２に接続されたアーム部１７３と、クランプ等からなりアーム部１７３の先端に配置されたテープセット挟持部１７４と、支持部材１７１をＸ軸方向にスライド移動させるスライド機構１７５とを備えている。テープセット挟持部１７４は、テープセットＴＳの端部のＹ軸方向両端を挟持することが可能となっている。

【0045】

回転機構１７２は、Ｙ軸方向から見て時計回り方向又は反時計回り方向に回転可能なローラを有し、テープセット挟持部１７４を、第一のテープセット支持部１１から引き出されたテープセットＴＳをテープセット挟持部１７４が挟持可能となる第１の挟持位置ＰＡと、第二のテープセット支持部１２から引き出されたテープセットＴＳを挟持する第２の挟持位置ＰＢと、テープセットＴＳが送り出しユニット２によって挟まれた後にテープセット挟持部１７４がテープセットＴＳを開放する開放位置ＰＣとに位置づけることができる。

【0046】

スライド機構１７５は、Ｘ軸方向に延在するベース１７５１と、このベース１７５１においてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダ１７５２と、スライダ１７５２を移動させる図示しないボールネジ機構とを有する。そして、スライダ１７５２がベース１７５１においてＸ軸方向にスライド移動することにより、回転機構１７２とともにテープセット挟持部１７４をＸ軸方向にスライド移動させることができる。

【0047】

搬送部９は、昇降及び水平移動が可能に配置され、その底面に搬送パッド９０を有する。この搬送パッド９０は、後述するダイシングテープＴＢが貼着され、一体となったリングフレームＦ及びウェーハＷを保持する。

【0048】

制御部１００は、テープ貼着装置の各部の動作を制御する演算処理装置として機能するプロセッサ（例えばＣＰＵ：Central Processing Unit）と、所定の制御プログラムが予め記録されている読み出し専用半導体メモリであるＲＯＭ（Read Only Memory）、プロセッサが各種の制御プログラムを実行する際に必要に応じて作業用記憶領域として使用される随時書き込み読み出し可能な半導体メモリであるＲＡＭ（Random Access Memory）などのメモリとを有する。

【0049】

以下に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。

【0050】

まず、ウェーハＷが保持部３のウェーハ保持部３１に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、リングフレームＦがリングフレーム保持部３０に載置される。続いて、図示しない吸引源が作動し、ウェーハ保持部３１の保持面でウェーハＷが吸引保持され、リングフレーム保持部３０の保持面でリングフレームＦが吸引保持される。

【0051】

テープセット引渡し部１７は、例えば、第一のテープセット支持部１１を選択して、第一のテープセット支持部１１からテープセットＴＳを引き出す。すなわち、回転部１１４により、第一のテープセット支持部１１内のロール状のテープセットＴＳを正転方向（例えば、紙面手前から見て時計回り方向）に回転させながら、帯状となったテープセットＴＳが開口１１２及び一対のガイドローラ１４の間に通され、一対のガイドローラ１４によって下方に送り出される。また、回転機構１７２及びスライド機構１７５によって第１の挟持位置ＰＡにテープセット挟持部１７４が位置づけられ、一対のガイドローラ１４により送り出されてくるテープセットＴＳの端部のＹ軸方向両端をテープセット挟持部１７４が挟持する。

【0052】

スライド機構１７５によって、テープセットＴＳを挟持したテープセット挟持部１７４が＋Ｘ方向に移動し、これに伴い、テープセットＴＳが第一のテープセット支持部１１からさらに引き出される。回転機構１７２が例えば時計回り方向に回転することにより、テープセット挟持部１７４で挟持しているテープセットＴＳを、ガイドローラ１５に引っ掛けるとともに送り出しユニット２の駆動ローラ２１と従動ローラ２２との間を通して駆動ローラ２１に引っ掛け、テープセット挟持部１７４を開放位置ＰＣに移動させる。

【0053】

次いで、スライド機構７１によって、スライダ７１１がベース７１０に沿って例えば＋Ｘ方向にスライド移動し、テープセット把持部７６２が開放位置ＰＣに移動する。テープセット挟持部１７４が開放位置ＰＣでテープセットＴＳを開放したら、テープセット把持部７６２によりテープセットＴＳの端部のＹ軸方向両端を引き継いで把持する。さらに、スライド機構７１によって、テープセット把持部７６２が－Ｘ方向に移動し、テープセット把持部７６２で把持しているテープセットＴＳが同方向に引っ張られ、巻き取りユニット４の駆動ローラ４１と従動ローラ４２との間を通過し、テープセットＴＳが廃棄部７３の巻き取り部７３１まで導かれる。そして、巻き取り部７３１の把持部７３１０がテープセットＴＳの端部のＹ軸方向両端を把持する。

【0054】

送り出しユニット２の移動機構２３により、２つの従動ローラ２２が駆動ローラ２１に接近し、駆動ローラ２１と２つの従動ローラ２２とによってテープセットＴＳが挟み込まれる。また、巻き取りユニット４の移動機構４３により、２つの従動ローラ４２が駆動ローラ４１に接近し、駆動ローラ４１と２つの従動ローラ４２とによってテープセットＴＳが挟み込まれる。

【0055】

保持部移動部３４が保持部３をＸ軸方向に移動させることで、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部３０が貼着ローラ６０の直下に位置付けられる。

【0056】

また、例えば、保持部昇降部３５が保持部３をＺ軸方向に移動させることで、貼着ローラ６０が、ダイシングテープＴＢをリングフレーム保持部３０で保持されたリングフレームＦに貼着する際の停止高さ位置より少しだけ上方に位置した状態になる。

【0057】

また、可動部材５２が基台５１の下端側まで移動することで、例えば、先端部５００がエアノズル３９から噴射されるエアの移動経路上よりも僅かに上方の位置に位置するように、ピールプレート５０が移動される。そして、図３に示すように、ピールプレート５０の先端部５００と貼着ローラ６０の外側面との隙間をテープセットＴＳが通過している状態になる。なお、この隙間は、テープセットＴＳがぎりぎり通過できるだけの僅かな隙間であるとよい。また、ピールプレート５０の先端部５００がテープセットＴＳのシートＴＡに接触・押圧して、シートＴＡを内側にしてテープセットＴＳを屈曲させ鋭角に形成する。そうすると、テープセットＴＳからダイシングテープＴＢが剥離され、貼着ローラ６０の下方にダイシングテープＴＢが送り込まれる。

【0058】

この状態で、エア供給源３９３から圧縮エアがエアノズル３９に供給される。そして、エアノズル３９から噴射されたエアが、貼着ローラ６０の下方に送り込まれたダイシングテープＴＢに噴き付けられ、これによって、貼着ローラ６０の外側面にダイシングテープＴＢが沿わせられる。

【0059】

そして、ダイシングテープＴＢの先端は、先端検知部８によって検知される。先端検知部８の検知部８３が受光部８２の受光量によってダイシングテープＴＢの先端を検知すると、制御部１００は、ダイシングテープＴＢのリングフレームＦ及びウェーハＷへの貼着を開始させる。

【0060】

まず、エアにより貼着ローラ６０の外側面にダイシングテープＴＢを沿わせた状態で、貼着ローラ６０が所定の回転速度で回転しながら、貼着ローラ位置づけ部６１により貼着ローラ６０が貼着する際の停止位置まで下降することで、リングフレーム保持部３０に保持されたリングフレームＦの一方側からダイシングテープＴＢが押し付けられる。

【0061】

保持部移動部３４によってリングフレーム保持部３０及びウェーハ保持部３１が＋Ｘ方向に送り出されていき、回転する貼着ローラ６０によってウェーハＷ及びリングフレームＦに対してダイシングテープＴＢが押し付けられる。このとき、図２に示す送り出しユニット２は、駆動ローラ２１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ２２も駆動ローラ２１の回転にともなって回転させ、テープセットＴＳを保持部３に向けて下方に導く。また、巻き取りユニット４においては、駆動ローラ４１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ４２も駆動ローラ４１の駆動に伴なって回転させ、ピールプレート５０によりダイシングテープＴＢが剥離されたシートＴＡをピールプレート５０から廃棄部７３まで導く。

【0062】

そして、貼着ローラ６０でダイシングテープＴＢを押し付けながら、保持部３を所定の位置に至るまで＋Ｘ方向に移動させると、ウェーハＷとリングフレームＦとに一枚のダイシングテープＴｂを貼着することができる。

【0063】

なお、リングフレームＦにダイシングテープＴＢを貼着する方法は、エアノズル３９から噴き付けるエアにより貼着ローラ６０の外側面にダイシングテープＴＢを沿わせた状態で、貼着ローラ６０をリングフレーム保持部３０に向かって貼着ローラ位置づけ部６１で下降させても良いし、貼着ローラ６０に向かってウェーハ保持部３１とリングフレーム保持部３０とを保持部昇降部３５で上昇させてもよい。

【0064】

図２に示すダイシングテープＴＢが剥離されたシートＴＡは、巻き取りユニット４によって巻き取られ、巻き取りユニット４から廃棄部７３の巻き取り部７３１に送り出される。

【0065】

シートＴＡは、図示しないモータにより回転する巻き取り部７３１の外周面においてロール状に巻き取られていき、シートロールに形成される。巻き取り部７３１が所定の長さ分シートＴＡを巻き取ってシートロールを形成した後、把持部７３１０がシートロールの把持を解除して、シートロールを廃棄ボックス７３２に廃棄する。

【0066】

ダイシングテープＴＢを介してリングフレームＦと一体となったウェーハＷは、搬送部９の搬送パッド９０によって保持された状態で、例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして１枚のウェーハＷに対するダイシングテープＴＢの貼着動作が完了したら、順次新たなウェーハＷをウェーハ保持部３１に搬送するとともにリングフレームＦをリングフレーム保持部３０に搬送して、上記と同様、ダイシングテープＴＢの貼着動作と、ダイシングテープＴＢから剥離されたシートＴＡの巻き取り動作とを繰り返し行うとよい。

【0067】

なお、基台５１が＋Ｚ方向から－Ｘ方向に反時計回り方向に回動し、ピールプレート５０が水平方向に向かって所定角度倒されることで、ダイシングテープＴＢの貼着時におけるテープセットＴＳの角度が、より鋭角になるようにしてもよい。ピールプレート５０が水平方向に向かって倒されることで、ピールプレート５０の先端部５００と貼着ローラ６０の外側面との隙間をテープセットＴＳが通過するだけの非常に僅かな隙間とすることが可能となる。

【0068】

この状態で、エアノズル３９から噴射されたエアが、貼着ローラ６０の下方に送り込まれたダイシングテープＴＢに噴き付けられ、これによって、貼着ローラ６０の外側面にダイシングテープＴＢが沿わせられるため、ダイシングテープＴＢに弛みを発生させないよう貼着ローラ６０の外側面に沿っている状態でダイシングテープＴＢはリングフレームＦとウェーハＷとに貼着されるので、貼着したダイシングテープＴＢのテンションを均一にすることができる。

【0069】

以上説明した第１実施形態では、テープ貼着装置１は、一方の面に粘着層ＴＥＢを有し被貼着物の一例であるウェーハＷ及びリングフレームＦに対応した形状に切断されたダイシングテープＴＢ（テープの一例）と粘着層ＴＥＢに貼着した帯状のシートＴＡとからなるテープセットＴＳを用いて、シートＴＡから剥離しながらダイシングテープＴＢをウェーハＷ及びリングフレームＦに貼着する。また、テープ貼着装置１は、ウェーハＷ及びリングフレームＦを保持する保持部３と、この保持部３に保持されたウェーハＷ及びリングフレームＦにシートＴＡから剥離したダイシングテープＴＢを貼着する貼着部（貼着手段）と、保持部３と貼着部とを相対的に水平方向に移動させる保持部移動部３４（水平移動手段の一例）と、を備える。貼着部は、少なくとも二つのローラで該テープセットを挟む第一ローラセットの一例である送り出しユニット２と、少なくとも二つのローラで該シートを挟む第二ローラセットの一例である巻き取りユニット４と、送り出しユニット２と巻き取りユニット４との間においてテープセットＴＳを鋭角に屈曲させてシートＴＡからダイシングテープＴＢを剥離させるピールプレート５０と、このピールプレート５０によってシートＴＡから剥離されたダイシングテープＴＢをウェーハＷ及びリングフレームＦに押し付けてウェーハＷ及びリングフレームＦにダイシングテープＴＢを貼着する貼着ローラ６０と、この貼着ローラ６０の外側面にシートＴＡから剥離されたダイシングテープＴＢの先端を沿わせるエアノズル３９と、貼着ローラ６０の外側面に沿わされたダイシングテープＴＢの先端を検知する先端検知部８と、を備える。

【0070】

このように、先端検知部８が、貼着ローラ６０の外側面に沿わされた状態のダイシングテープＴＢの先端を検知するため、例えば、ダイシングテープＴＢからシートＴＡが剥離される前のテープセットＴＳの先端を図２に示す上述のケース１１０の底壁の開口１１２に設けられた先端検出部１１１によって検出する場合と比較して、送り出しユニット２の駆動ローラ２１、従動ローラ２２等でテープセットＴＳの滑りが生じることなどによって、貼着ローラ６０の外側面に沿わされたダイシングテープＴＢの先端位置がずれても、ずれた先端の位置を検知することができる。これにより、ダイシングテープＴＢの貼着開始位置が位置ずれするのを回避することができる。よって、本第１実施形態によれば、被貼着物（ウェーハＷ及びリングフレームＦ）に対するテープ（ダイシングテープＴＢ）の貼着位置の位置ずれを防止することができる。これにより、例えば、ダイシングテープＴＢの中心とリングフレームＦの中心とが一致するため、ダイシングテープＴＢの貼り直しを回避することもできる。したがって、貼り直しが発生した場合と比較して、貼り直しに用いられるダイシングテープＴＢを省略することができるとともに、貼り直しの時間を省略することができる。

【0071】

また、本第１実施形態では、先端検知部８は、保持部３に配置され貼着ローラ６０に向かって測定光を投光する投光部８１と、測定光の反射光を受光する受光部８２と、反射光を受光部８２が受光すること（例えば、受光量）によってダイシングテープＴＢの先端を検知する検知部８３と、を備える。

【0072】

これにより、ダイシングテープＴＢの先端から距離を隔てたダイシングテープＴＢの貼着を邪魔しない位置で、且つ、保持部３から投光される測定光を用いた簡素な構成で、ダイシングテープＴＢの先端を検知することができる。なお、少なくとも投光部８１が保持部３に配置されていることによって、投光部８１（先端検知部８）と保持部３の移動方向先端との位置関係（距離）が設計値で決まるため、先端検知部８がダイシングテープＴＢの先端を検知したら、保持部３が設計値の距離に基づいて移動すれば、ダイシングテープＴＢの先端をリングフレームＦの移動方向先端などの所望の位置に貼り付けることができる。これにより、ダイシングテープＴＢの貼り始めの位置の位置ずれが生じるのを防止することができる。また、投光部８１（先端検知部８）が保持部３以外の場所に配置されている態様と比較して、保持部３の移動経路を避けた位置に先端検知部８を配置しなくとも、先端検知部８を貼着ローラ６０の下方に配置し、ダイシングテープＴＢの先端を検知しやすくすることができる。

【0073】

なお、上述の説明では、検知部８３について、受光部８２が受光した受光量によってテープ（ダイシングテープＴＢ）の先端を検知する例について説明した。しかしながら、検知部８３は、投光部８１から投光された光がテープの表面（下面）の先端で反射した反射光を受光部８２が受光して、投光部８１、テープの表面、受光部８２に至る光路によって三角測量法を利用して先端検知部８からテープまでの距離を測定してもよい。この場合、先端検知部８は、テープを検知（測定）していないときには、貼着ローラ６０の外側面までの距離を測定する。したがって、先端検知部８が測定した距離（値）が小さくなったら、テープの先端を検知したと判断することができる。このように、検知部８３は、受光部８２が受光した受光量によってテープの先端を検知するものに限られず、受光部８２が受光することによってテープの先端を検知するものであればよい。また、本第１実施形態では、図２及び図３に示すように、投光部８１と、受光部８２と、検知部８３とを備える先端検知部８について説明した。但し、図２及び図３で示されるのと同様に、先端検知部８は、保持部３に配置され貼着ローラ６０に向かって超音波振動を発振する発振部８１と、超音波振動が貼着ローラ６０またはダイシングテープＴＢで反射した反射振動を受振する受振部８２と、この受振部８２の値によってダイシングテープＴＢの先端を検知する検知部８３と、を備えるものであってもよい。この場合であっても、ダイシングテープＴＢの先端から距離を隔てたダイシングテープＴＢの貼着を邪魔しない位置で、且つ、保持部３から発振される超音波振動を用いた簡素な構成で、ダイシングテープＴＢの先端を検知することができる。

【0074】

或いは、先端検知部８としては、ダイシングテープＴＢの先端を撮像し、撮像された画像の画像処理に基づいてダイシングテープＴＢの先端を検知するものであってもよい。また、先端検知部８としては、後述する第２実施形態の先端検知部１８のようにダイシングテープＴＢの先端に接触する触覚センサ１８１を用いたものなどであってもよく、ダイシングテープＴＢの先端を検知するものであればよい。

【0075】

＜第２実施形態＞
図４は、第２実施形態に係るテープ貼着装置１０１の構成の一例を示す模式的な断面図である。

【0076】

図５～図７は、テープ貼着装置１０１の先端検知部１８を説明するための断面図である。

【0077】

なお、本第２実施形態に係るテープ貼着装置１０１は、先端検知部８に代えて先端検知部１８が配置されることを除いて、テープ貼着装置１と同様にすることができる。そのため、詳細な説明は省略する。

【0078】

先端検知部１８は、貼着ローラ６０の外側面に沿わされたダイシングテープＴＢの先端を検知する。先端検知部１８は、ダイシングテープＴＢの貼着時の支持台３２の移動方向（＋Ｘ方向）における先端に配置されている。先端検知部１８は、少なくとも触覚センサ１８１が、保持部３に配置されていることが望ましく、保持部３（支持台３２）の移動方向（＋Ｘ方向）における先端に配置されていることがより望ましい。本第２実施形態の先端検知部１８は、保持部３に配置され貼着ローラ６０の外側面に先端が接触するように延在する触覚センサ１８１と、この触覚センサ１８１によってダイシングテープＴＢの先端を検知する検知部１８２と、を備える。また、先端検知部１８は、昇降部１８３を備える。なお、図４～図７の例は、触覚センサ１８１が貼着ローラ６０の外側面に接触しないように図示されているが、ダイシングテープＴＢの厚みは薄いため、触覚センサ１８１が貼着ローラ６０の外側面に接触するとよい。

【0079】

図５に示すように、触覚センサ１８１は、保持部３の支持台３２から上方に突出するように配置され、上部の接触部分１８１０においてダイシングテープＴＢの先端に接触する。接触部分１８１０がダイシングテープＴＢの先端に接触すると、図７に示すように触覚センサ１８１はダイシングテープＴＢの先端に押されて傾く。なお、触覚センサ１８１は、ダイシングテープＴＢの先端に押されて傾くのでなくともよく、ダイシングテープＴＢの先端に押されて一方向（＋Ｘ方向）に移動するものや、ダイシングテープＴＢの先端との接触圧を検知するものなどであってもよい。

【0080】

検知部１８２は、触覚センサ１８１が傾いたことに基づいて、ダイシングテープＴＢの先端を検知する。なお、検知部１８２は、触覚センサ１８１によってダイシングテープＴＢの先端を検知するものであればよいため、触覚センサ１８１の傾きに基づいてダイシングテープＴＢの先端を検知するものに限られない。

【0081】

図５及び図６に示すように、昇降部１８３は、触覚センサ１８１を昇降させる例えばモータ等のアクチュエータである。昇降部１８３は、ダイシングテープＴＢの先端を検知する際には、図６に示すように触覚センサ１８１を上昇させ、ダイシングテープＴＢの先端が検知された後には、ダイシングテープＴＢの貼着動作を邪魔しないように、図５に示すように触覚センサ１８１を下降させるとよい。

【0082】

なお、検知部１８２によってダイシングテープＴＢの先端が検知されたことは、制御部１００に有線又は無線で信号として送られる。そして、本第２実施形態においても、制御部１００が、ダイシングテープＴＢの先端が検知されたことに基づいて、ダイシングテープＴＢのリングフレームＦ及びウェーハＷへの貼着を行うようにテープ貼着装置１０１の各部を制御する。

【0083】

以上説明した第２実施形態においても、上述の第１実施形態と同様の構成に関しては同様の効果、すなわち、被貼着物（ウェーハＷ及びリングフレームＦ）に対するテープ（ダイシングテープＴＢ）の貼着位置の位置ずれを防止することができるなどの効果を得ることができる。

【0084】

また、本第２実施形態では、先端検知部１８は、保持部３に配置され貼着ローラ６０の外側面に先端が接触するように延在する触覚センサ１８１と、この触覚センサ１８１によってダイシングテープＴＢの先端を検知する検知部１８２とを備える。

【0085】

これにより、触覚センサ１８１が直接的にダイシングテープＴＢの先端に接触することによって、ダイシングテープＴＢの先端を確実に検知することができる。また、触覚センサ１８１を昇降させる昇降部１８３などのセンサ移動部が配置される場合には、ダイシングテープＴＢの先端を検知しないときに、触覚センサ１８１を貼着ローラ６０から距離を隔てたダイシングテープＴＢの貼着を邪魔しない位置に移動（退避）させることができる。また、少なくとも触覚センサ１８１が保持部３に配置されていることによって、触覚センサ１８１（先端検知部１８）と保持部３の移動方向先端との位置関係（距離）が設計値で決まるため、先端検知部１８がダイシングテープＴＢの先端を検知したら、保持部３が設計値の距離に基づいて移動すれば、ダイシングテープＴＢの先端をリングフレームＦの移動方向先端などの所望の位置に貼り付けることができる。これにより、ダイシングテープＴＢの貼り始めの位置の位置ずれが生じるのを防止することができる。また、触覚センサ１８１（先端検知部１８）が保持部３以外の場所に配置されている態様と比較して、保持部３の移動経路を避けた位置に先端検知部１８を配置しなくとも、先端検知部１８を貼着ローラ６０の下方に配置し、ダイシングテープＴＢの先端を検知しやすくすることができる。

【0086】

なお、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の他の実施形態として、上記第１及び第２実施形態や変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

【0087】

また、本発明の実施形態は上記の第１及び第２実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

【産業上の利用可能性】

【0088】

以上説明したように、本発明のテープ貼着装置は、貼着ローラの外側面に沿わされたテープの先端を検知するため、被貼着物に対するテープの貼着位置の位置ずれを防止することができる。そのため、被貼着物がウェーハ及びリングフレームであり、テープがダイシングテープである場合などに特に有用である。

【符号の説明】

【0089】

１：テープ貼着装置
２：送り出しユニット
２１：駆動ローラ
２２：従動ローラ
２３：移動機構
２３１：ガイドレール
２３２：移動部
３：保持部
３０：リングフレーム保持部
３１：ウェーハ保持部
３２：支持台
３４：保持部移動部
３４１：ベース
３４２：移動基台
３５：保持部昇降部
３９：エアノズル
３９０：噴射口
３９３：エア供給源
４：巻き取りユニット
４１：駆動ローラ
４２：従動ローラ
４３：移動機構
４３１：ガイドレール
４３２：移動部
５０：ピールプレート
５００：先端部
５１：基台
５２：可動部材
６０：貼着ローラ
６１：貼着ローラ位置づけ部
７１：スライド機構
７１０：ベース
７１１：スライダ
７３：廃棄部
７３１：巻き取り部
７３１０：把持部
７３２：廃棄ボックス
７６：テープセット引取り部
７６１：支持部材
７６２：テープセット把持部
８：先端検知部
８１：投光部
８２：受光部
８３：検知部
９：搬送部
９０：搬送パッド
１００：制御部
１１：第一のテープセット支持部
１１０：ケース
１１１：先端
１１２：開口
１１３：支持柱
１１４：回転部
１２：第二のテープセット支持部
１４：一対のガイドローラ
１５：ガイドローラ
１７：テープセット引渡し部
１７１：支持部材
１７２：回転機構
１７３：アーム部
１７４：テープセット挟持部
１７５：スライド機構
１７５１：ベース
１７５２：スライダ
１８：先端検知部
１８１：触覚センサ
１８１０：接触部分
１８２：検知部
１８３：昇降アクチュエータ
Ｆ：リングフレーム
ＴＳ：テープセット
ＴＡ：シート
ＴＢ：ダイシングテープ
ＴＣ：巻筒
ＴＥ：粘着テープ
ＴＥＡ：基材
ＴＥＢ：粘着層
Ｗ：ウェーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】