特開 2023-179285 ろ過装置、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置、ろ過方法およびディスプレイ用ガラス基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023179285

(43)【公開日】2023-12-19

(54)【発明の名称】ろ過装置、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置、ろ過方法およびディスプレイ用ガラス基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C02F 1/44 20230101AFI20231212BHJP

   B01D 65/10 20060101ALI20231212BHJP

   B01D 35/14 20060101ALI20231212BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20231212BHJP

【ＦＩ】

C02F1/44 H

B01D65/10

B01D35/14

H01L21/304 648F

H01L21/304 648K

H01L21/304 648G

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022092529

(22)【出願日】2022-06-07

(71)【出願人】

【識別番号】000000044

【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】安達 潤一郎

【テーマコード（参考）】

4D006

4D116

5F157

【Ｆターム（参考）】

4D006GA03

4D006GA07

4D006JA53Z

4D006JA67Z

4D006KA02

4D006KA55

4D006KA56

4D006KB14

4D006KE03P

4D006KE07P

4D006KE08P

4D006KE21P

4D006KE30Q

4D006LA06

4D006PA01

4D006PB02

4D006PC01

4D116BB01

4D116FF18B

4D116KK04

4D116QA46D

4D116QA46E

4D116QA46G

4D116QC02B

4D116QC04A

4D116QC04B

4D116QC08B

4D116QC50

4D116UU20

4D116VV08

5F157AA02

5F157CD05

5F157CD29

5F157CE29

5F157CF04

5F157CF42

5F157CF44

5F157CF50

5F157CF54

5F157CF60

5F157CF74

5F157CF99

5F157DC21

(57)【要約】

【課題】フィルターの異常の判定精度を向上する、技術を提供すること。
【解決手段】ろ過装置は、フィルターと、上流ラインと、ポンプと、下流ラインと、圧力検出器と、判定部と、を備える。前記フィルターは、原水をろ過することで透過水を生成する。前記ポンプは、前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出す。前記下流ラインは、前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる。前記圧力検出器は、前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する。前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定する。前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定する。前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、
前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、
前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、
前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、
前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する圧力検出器と、
前記フィルターの異常の有無を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定し、且つ前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である、ろ過装置。

【請求項2】

原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、
前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、
前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、
前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、
前記下流ラインにおいて前記透過水の流量を検出する流量検出器と、
前記フィルターの異常の有無を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記流量検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定し、且つ前記ポンプの作動中における前記流量検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である、ろ過装置。

【請求項3】

原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、
前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、
前記上流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する第１圧力検出器と、
前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、
前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、
前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する第２圧力検出器と、
前記フィルターの異常の有無を判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記第１圧力検出器の検出値と前記第２圧力検出器の検出値との差（＞０）が第１閾値を第１期間連続して上回る場合に第１異常が有ると判定し、前記ポンプの作動中における前記差が第２期間内に第２閾値を上回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも小さく、前記設定回数は複数回である、ろ過装置。

【請求項4】

前記判定部は、前記第１異常が有ると判定した場合には前記ポンプの作動を禁止すると共に警報を報知する制御を行い、前記第２異常が有ると判定した場合には前記ポンプの作動を許容すると共に警報を報知する制御を行う、請求項１～３のいずれか１項に記載のろ過装置。

【請求項5】

前記第２期間は前記第１期間よりも長く設定される、請求項１～３のいずれか１項に記載のろ過装置。

【請求項6】

前記判定部は、前記第１異常と前記第２異常の少なくとも一方が有ると判定した回数が所定期間に設定回数に達した場合に、前記フィルターの交換を促す警報を報知する制御を行う、請求項１～３のいずれか１項に記載のろ過装置。

【請求項7】

請求項１～３のいずれか１項に記載のろ過装置を備える、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置。

【請求項8】

ろ過装置を用いて原水をろ過することを有する、ろ過方法であって、
前記ろ過装置は、前記原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する圧力検出器と、を備え、
前記ろ過方法は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定することと、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定することと、を有し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である、ろ過方法。

【請求項9】

ろ過装置を用いて原水をろ過することを有する、ろ過方法であって、
前記ろ過装置は、前記原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、前記下流ラインにおいて前記透過水の流量を検出する流量検出器と、を備え、
前記ろ過方法は、前記ポンプの作動中における前記流量検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定することと、前記ポンプの作動中における前記流量検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定することと、を有し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である、ろ過方法。

【請求項10】

ろ過装置を用いて原水をろ過することを有する、ろ過方法であって、
前記ろ過装置は、前記原水をろ過することで透過水を生成するフィルターと、前記フィルターに前記原水を供給する上流ラインと、前記上流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する第１圧力検出器と、前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出すポンプと、前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる下流ラインと、前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する第２圧力検出器と、を備え、
前記ろ過方法は、前記ポンプの作動中における前記第１圧力検出器の検出値と前記第２圧力検出器の検出値との差（＞０）が第１閾値を第１期間連続して上回る場合に第１異常が有ると判定することと、前記ポンプの作動中における前記差が第２期間内に第２閾値を上回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定することと、を有し、
前記第２閾値は前記第１閾値よりも小さく、前記設定回数は複数回である、ろ過方法。

【請求項11】

前記第１異常が有ると判定した場合には前記ポンプの作動を禁止すると共に警報を報知することと、前記第２異常が有ると判定した場合には前記ポンプの作動を許容すると共に警報を報知することと、を有する、請求項８～１０のいずれか１項に記載のろ過方法。

【請求項12】

前記第２期間は前記第１期間よりも長く設定される、請求項８～１０のいずれか１項に記載のろ過方法。

【請求項13】

前記第１異常と前記第２異常の少なくとも一方が有ると判定した回数が所定期間に設定回数に達した場合に、前記フィルターの交換を促す警報を報知することを有する、請求項８～１０のいずれか１項に記載のろ過方法。

【請求項14】

請求項８～１０のいずれか１項に記載のろ過方法で得られる前記透過水を用いて、ディスプレイ用ガラス基板を製造することを有する、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ろ過装置、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置、ろ過方法およびディスプレイ用ガラス基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ろ過装置は、フィルターと、上流ラインと、ポンプと、下流ラインと、各種検出器と、制御部と、を備える。フィルターは、原水を浄化することで透過水を生成する。上流ラインは、フィルターに向けて原水を供給する。ポンプは、上流ラインにおいてフィルターに向けて原水を送り出す。下流ラインは、フィルターを通過した透過水を流通させる。各種検出器は、上流ラインまたは下流ラインにおいて原水または透過水の物理量（例えば圧力、流量または温度）を検出する。制御部は、ポンプなどを制御する。

【0003】

特許文献１には、フィルターの異常、具体的には、フィルターを構成する逆浸透膜の詰まり又は劣化を判断する方法が記載されている。特許文献１の方法は、流量センサ、温度センサ、および圧力センサの検出値に基づいて透過水の流束を算出し、算出した透過流束と初期透過流束を比較することで、逆浸透膜の詰まり又は劣化を判断する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００５－２８８２２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示の一態様は、フィルターの異常の判定精度を向上する、技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係るろ過装置は、フィルターと、上流ラインと、ポンプと、下流ラインと、圧力検出器と、判定部と、を備える。前記フィルターは、原水をろ過することで透過水を生成する。前記上流ラインは、前記フィルターに前記原水を供給する。前記ポンプは、前記上流ラインにおいて前記フィルターに向けて前記原水を送り出す。前記下流ラインは、前記フィルターを通過した前記透過水を流通させる。前記圧力検出器は、前記下流ラインにおいて前記透過水の圧力を検出する。前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第１閾値を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定する。前記判定部は、前記ポンプの作動中における前記圧力検出器の検出値が第２期間内に第２閾値を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定する。前記第２閾値は前記第１閾値よりも高く、前記設定回数は複数回である。

【発明の効果】

【0007】

本開示の一態様によれば、外乱に起因する検出値の変動を排除して異常の有無を判定でき、異常の判定精度を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、一実施形態に係るディスプレイ用ガラス基板の製造装置を示す図である。

【図2】図２は、第２ポンプの作動中における第２圧力検出器の検出値の経時変化の一例を示す図である。

【図3】図３は、図２の一部を拡大して示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本開示を実施するための形態について図面を参照して説明する。各図面において同一のまたは対応する構成には同一の符号を付し、説明を省略することがある。

【0010】

図１を参照して、一実施形態に係るディスプレイ用ガラス基板の製造装置１について説明する。図１において、「Ｐ」はポンプを表し、「ＰＤ」は圧力検出器を表し、「ＦＤ」は流量検出器を表す。

【0011】

製造装置１は、ろ過装置２と、洗浄装置３と、研磨装置４と、を備える。ろ過装置２は、原水をろ過することで透過水を生成する。透過水は、原水よりも低い不純物濃度を有する。透過水は、例えば洗浄装置３または研磨装置４で使用される。洗浄装置３は、透過水を用いてディスプレイ用ガラス基板を洗浄する。研磨装置４は、透過水を用いてディスプレイ用ガラス基板を研磨する。

【0012】

ディスプレイ用ガラス基板には、例えばＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）またはカラーフィルターが形成される。ディスプレイ用ガラス基板には、高い品質が安定して求められる。それゆえ、透過水にも、高い品質が安定して求められる。なお、ろ過装置２の用途は、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置１には限定されない。

【0013】

ろ過装置２は、例えば、上流側から下流側に向けて、原水タンク１１と、第１ライン１２と、保安フィルター１３と、第２ライン１４と、第１フィルター１５と、第３ライン１６と、第２フィルター１７と、第４ライン１８と、透過水タンク１９と、をこの順番で備える。

【0014】

原水タンク１１は、不純物を含む原水を貯留する。透過水タンク１９は、保安フィルター１３と第１フィルター１５と第２フィルター１７をこの順番で通過した透過水を貯留する。保安フィルター１３は、第１フィルター１５の目詰まりを抑制すべく、第１フィルター１５よりも上流で固体粒子などを捕集する。第１フィルター１５と第２フィルター１７は、例えば逆浸透（ＲＯ：Ｒｅｖｅｒｓｅ Ｏｓｍｏｓｉｓ）膜であって、水分子よりも僅かに大きい通水孔を多数有する。ＲＯ膜は、水に溶解した溶質をも除去できる。

【0015】

ＲＯ膜の代わりに、ナノろ過（ＮＦ：Ｎａｎｏ Ｆｉｌｔｒａｉｏｎ）膜を用いることも可能である。ＲＯ膜およびＮＦ膜は、原水を透過水と濃縮水に分離する。透過水は、原水よりも低い不純物濃度を有する。濃縮水は、原水よりも高い不純物濃度を有する。濃縮水は、ろ過装置２の外部に排出される。濃縮水の一部は、原水タンク１１に還流されてもよい。

【0016】

第１ライン１２は、原水タンク１１と保安フィルター１３を接続する。第２ライン１４は、保安フィルター１３と第１フィルター１５を接続する。第３ライン１６は、第１フィルター１５と第２フィルター１７を接続する。第４ライン１８は、第２フィルター１７と透過水タンク１９を接続する。透過水タンク１９は、液面レベル検出器１９ａを有する。液面レベル検出器１９ａは、透過水タンク１９の貯水量を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0017】

ろ過装置２は、制御部９０を備える。制御部９０は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などの演算部と、メモリなどの記憶部とを備える。記憶部には、ろ過装置２において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部９０は、記憶部に記憶されたプログラムを演算部に実行させることにより、ろ過装置２の動作を制御する。

【0018】

制御部９０は、液面レベル検出器１９ａの検出値が下限値を下回る場合に、透過水の貯水量を増やすべく、第１ポンプ２１と第２ポンプ２２と第３ポンプ２３を作動させる。第１ポンプ２１は、第１ライン１２において保安フィルター１３に向けて水を送り出す。第２ポンプ２２は、第２ライン１４において第１フィルター１５に向けて水を送り出す。第３ポンプ２３は、第３ライン１６において第２フィルター１７に向けて水を送り出す。

【0019】

制御部９０は、上記の通り、液面レベル検出器１９ａの検出値が下限値を下回る場合に、第１ポンプ２１と第２ポンプ２２と第３ポンプ２３を作動させる。これにより、透過水の貯水量を一定レベル以上に維持でき、透過水の安定供給が可能になる。制御部９０は、液面レベル検出器１９ａの検出値が上限値を上回る場合に、第１ポンプ２１と第２ポンプ２２と第３ポンプ２３を停止させる。これにより、透過水のオーバーフローを防止できる。

【0020】

ろ過装置２は、例えば、第１インバータ３１と第２インバータ３２と第３インバータ３３を備える。第１インバータ３１は、制御部９０から送られる制御信号に応じた周波数の交流電流を第１ポンプ２１に供給する。第１ポンプ２１の回転数は、第１ポンプ２１に供給する交流電流の周波数で制御される。

【0021】

同様に、第２インバータ３２は、制御部９０から送られる制御信号に応じた周波数の交流電流を第２ポンプ２２に供給する。第２ポンプ２２の回転数は、第２ポンプ２２に供給する交流電流の周波数で制御される。また、第３インバータ３３は、制御部９０から送られる制御信号に応じた周波数の交流電流を第３ポンプ２３に供給する。第３ポンプ２３の回転数は、第３ポンプ２３に供給する交流電流の周波数で制御される。

【0022】

ところで、時間の経過とともに、第１フィルター１５の目詰まりが進行する。第１フィルター１５の目詰まりが進行するほど、第１フィルター１５によって生成される透過水の流量が低下する。透過水の流量が低下するほど、透過水の圧力も低下する。そこで、ろ過装置２は、第１フィルター１５の目詰まりの程度を判定すべく、第１フィルター１５の上流側または下流側に圧力検出器と流量検出器の少なくとも１つを備える。

【0023】

第１圧力検出器４１は、第２ライン１４において、第２ポンプ２２と第１フィルター１５の間に設けられる。第２ライン１４は、第１フィルター１５の上流に設けられる上流ラインである。第２ライン１４は、第１フィルター１５に原水を供給する。第１圧力検出器４１は、第１フィルター１５に対する原水の供給圧を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0024】

第２圧力検出器４２は、第３ライン１６において、第１フィルター１５と第３ポンプ２３の間に設けられる。第３ライン１６は、第１フィルター１５の下流に設けられる下流ラインである。第３ライン１６は、第１フィルター１５を通過した透過水を流通させる。第２圧力検出器４２は、第１フィルター１５を通過した透過水の圧力を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0025】

第１流量検出器５１は、第３ライン１６において、第１フィルター１５と第３ポンプ２３の間に設けられる。第１流量検出器５１は、第１フィルター１５を通過した透過水の流量を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0026】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における圧力検出器または流量検出器の検出値に基づき第１フィルター１５の異常の有無を判定する判定部を兼ねる。第１フィルター１５の異常は、第１フィルター１５の目詰まりを含む。制御部９０は、目詰まりの程度を段階的に評価してもよい。なお、制御部９０と判定部は、別々に設けられ、互いに各種信号を送受信してもよい。

【0027】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における圧力検出器または流量検出器の検出値を、異常の有無の判定に使用する。制御部９０は、第２ポンプ２２の停止中における圧力検出器または流量検出器の検出値を、異常の有無の判定に使用しない。第２ポンプ２２の停止中は、透過水の生成が行われず、検出値が異常を示すからである。第２ポンプ２２の停止は、上記の通り、透過水タンク１９の液面レベル検出器１９ａの検出値が上限値を上回る場合に行われる。

【0028】

図２に、第２ポンプ２２の作動中における第２圧力検出器４２の検出値の経時変化の一例を示す。時間の経過とともに、第１フィルター１５の目詰まりが進行する。第１フィルター１５の目詰まりが進行するほど、第１フィルター１５によって生成される透過水の流量が低下し、第２圧力検出器４２の検出値が低下する。

【0029】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第２圧力検出器４２の検出値を設定時間ごとに取得する。

【0030】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第２圧力検出器４２の検出値が第１閾値Ｐ_ＴＨ１を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定する。第１閾値Ｐ_ＴＨ１と第１期間は、それぞれ、第１異常の種類、例えば第１異常が有ると判定されたときの制御部９０の対応などに応じて設定される。第１閾値Ｐ_ＴＨ１と第１期間は、それぞれ、予め行われる実験結果などに基づき設定され、制御部９０の記憶部に記憶される。

【0031】

第２ポンプ２２の作動中に第２圧力検出器４２の検出値が第１閾値Ｐ_ＴＨ１を下回ると、制御部９０はタイマーで経過時間を計測し、経過時間が第１期間に達すると、制御部９０は第１異常が有ると判定する。経過時間が第１期間に達する前に、第２圧力検出器４２の検出値が第１閾値Ｐ_ＴＨ１以上になると、制御部９０は第１異常が無いと判定する。第２ポンプ２２の脈動などの外乱に起因する検出値の変動を排除して第１異常の有無を判定でき、第１異常の判定精度を向上できる。

【0032】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第２圧力検出器４２の検出値が第２期間内に第２閾値Ｐ_ＴＨ２を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定する。第２閾値Ｐ_ＴＨ２と第２期間は、それぞれ、第２異常の種類、例えば第２異常が有ると判定されたときの制御部９０の対応などに応じて設定される。第２閾値Ｐ_ＴＨ２と第２期間は、それぞれ、予め行われる実験結果などに基づき設定され、制御部９０の記憶部に記憶される。

【0033】

第２閾値Ｐ_ＴＨ２は、第１閾値Ｐ_ＴＨ１よりも高い。それゆえ、検出値が第２閾値Ｐ_ＴＨ２を下回る回数は、外乱の影響を受けやすい。そこで、第２期間は、第１期間よりも長く設定されてもよい。第２期間は、特に限定されないが、例えば１時間、１日および１月から選択される。

【0034】

第２異常の有無の判定で用いられる設定回数は、第２期間に応じて設定される。第２期間が短いほど、設定回数が少ない。設定回数は、複数回であればよい。設定回数が複数回であれば、第２ポンプ２２の脈動などの外乱に起因する検出値の変動を排除して第２異常の有無を判定でき、第２異常の判定精度を向上できる。

【0035】

次に、第１異常または第２異常が有ると判定された場合の対応について説明する。本実施形態では、第１異常が有ると判定された場合と、第２異常が有ると判定された場合とで、異なる対応が行われる。なお、第１異常が有ると判定された場合と、第２異常が有ると判定された場合とで、同じ対応が行われてもよい。

【0036】

制御部９０は、第１異常が有ると判定した場合には、例えばろ過装置２の運転を禁止すべく第２ポンプ２２の作動を禁止する制御を行う。制御部９０は、ろ過装置２の運転を禁止する場合、第２ポンプ２２だけではなく、第１ポンプ２１および第３ポンプ２３の作動も禁止する制御を行う。この場合、透過水タンク１９の液面レベル検出器１９ａの検出値が下限値を下回っても、各ポンプは停止したままである。

【0037】

また、制御部９０は、第１異常が有ると判定した場合には、警報を報知する制御をも行う。警報の報知は、報知装置６１を用いて行う。報知装置６１は、例えば表示装置、警告灯、またはブザーなどである。第１異常が有ると判定した場合に報知する警報は、例えば、第２ポンプ２２の回転数の上昇を促す警報である。

【0038】

ろ過装置２の管理者は、警報を受けて、第２ポンプ２２の設定回転数を実際に上昇するか否かを判断する。その判断材料としては、例えば、第２ポンプ２２の現在の設定回転数、第１フィルター１５の交換からの経過時間、または第１フィルター１５の交換からの透過水の生成量が用いられる。

【0039】

ろ過装置２の管理者は、第２ポンプ２２の設定回転数を上昇すると判断した場合、新しい設定回転数を制御部９０に入力すると共に、ろ過装置２の運転禁止を解除する指令を制御部９０に入力する。その後、制御部９０は、入力された新しい設定回転数で第２ポンプ２２を回転させる制御を行う。

【0040】

制御部９０は、第２異常が有ると判定した場合には、第１異常が有ると判定した場合とは異なり、ろ過装置２の運転（つまり、第２ポンプ２２の作動）を禁止せずに第２ポンプ２２の作動を許容する。また、制御部９０は、第２異常が有ると判定した場合には、第１異常が有ると判定した場合と同様に警報を報知する制御を行う。

【0041】

図２に示すように、第２閾値Ｐ_ＴＨ２は第１閾値Ｐ_ＴＨ１よりも高い。それゆえ、通常、第１異常が有ると判定される前に、第２異常が有ると判定される。ろ過装置２の運転を禁止する前に警報を報知でき、ろ過装置２の管理者に対応（例えば第２ポンプ２２の設定回転数の上昇）を促すことができる。

【0042】

図２に示すように、時刻ｔ１で第２ポンプ２２の設定回転数を上昇させると、第１フィルター１５によって生成される透過水の流量が上昇し、第２圧力検出器４２の検出値が上昇する。このように、第２ポンプ２２の設定回転数を上昇させることで、第１フィルター１５を交換しなくても透過水の流量を確保できる。

【0043】

ろ過装置２の運転が禁止されると、透過水の生産がストップし、洗浄装置３および研磨装置４に対する透過水の供給がストップする。ろ過装置２の運転を禁止する前にろ過装置２の管理者に対応を促すことで、透過水の安定供給が可能になる。

【0044】

なお、第２異常が有ると判定される前に、第１異常が有ると判定されることがあってもよい。そのような場合としては、例えば原水の不純物濃度が高く、第１フィルター１５の目詰まりが短時間で急激に進む場合が挙げられる。第１期間は第２期間よりも短いので、短時間で急激に目詰まりが進む場合であっても、異常を検知できる。

【0045】

制御部９０は、第１異常と第２異常の少なくとも一方が有ると判定した回数が所定期間に設定回数（ｎ回）に達した場合に、第１フィルター１５の交換を促す警報を報知する制御を行う。異常の頻度が高く、目詰まりの程度がひどくなっている。そこで、第１フィルター１５の交換を促す警報を報知する。ｎは２以上の整数であってよい。所定期間は、第１期間および第２期間よりも長く設定される。

【0046】

第１異常と第２異常の判定の有無には、第１流量検出器５１の検出値を用いることも可能である。制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第１流量検出器５１の検出値を設定時間ごとに取得する。第１フィルター１５の目詰まりが進行するほど、第１フィルター１５によって生成される透過水の流量が低下し、第１流量検出器５１の検出値が低下する。

【0047】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第１流量検出器５１の検出値が第１閾値Ｆ_ＴＨ１を第１期間連続して下回る場合に第１異常が有ると判定する。制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における第２圧力検出器４２の検出値が第２期間内に第２閾値Ｆ_ＴＨ２を下回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定する。第２閾値Ｆ_ＴＨ２は第１閾値Ｆ_ＴＨ１よりも高く、設定回数は複数回である。

【0048】

あるいは、第１異常と第２異常の判定の有無には、第１圧力検出器４１の検出値と第２圧力検出器４２の検出値の差Ｄ（＞０）が用いられてもよい。第２ポンプ２２の作動中、第１圧力検出器４１の検出値は第２圧力検出器４２の検出値よりも大きい。制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中に差Ｄを設定時間ごとに取得する。第１フィルター１５の目詰まりが進行するほど、第１フィルター１５によって生成される透過水の流量が低下し、差Ｄが大きくなる。

【0049】

制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における差Ｄが第１閾値Ｄ_ＴＨ１を第１期間連続して上回る場合に第１異常が有ると判定する。制御部９０は、第２ポンプ２２の作動中における差Ｄが第２期間内に第２閾値Ｄ_ＴＨ２を上回る回数が設定回数以上である場合に第２異常が有ると判定する。第２閾値Ｄ_ＴＨ２は第１閾値Ｄ_ＴＨ１よりも小さく、設定回数は複数回である。

【0050】

第１異常と第２異常の判定の有無には、（１）第２圧力検出器４２の検出値、（２）第１流量検出器５１の検出値、および（３）第１圧力検出器４１の検出値と第２圧力検出器４２の検出値との差Ｄ（＞０）から選ばれる２つ以上が組み合わせて用いられてもよい。組み合わせは、任意である。

【0051】

本願発明の内容は第２フィルター１７の異常の有無の判定にも適用できる。第２フィルター１７の異常の有無の判定には、（１）第４圧力検出器４４の検出値、（２）第２流量検出器５２の検出値、および（３）第３圧力検出器４３の検出値と第４圧力検出器４４の検出値との差（＞０）から選ばれる１つ以上が用いられる。

【0052】

第３圧力検出器４３は、第３ライン１６において、第３ポンプ２３と第２フィルター１７の間に設けられる。第３ライン１６は、第２フィルター１７の上流に設けられる上流ラインである。第３圧力検出器４３は、第２フィルター１７に対する原水（第１フィルター１５を通過した透過水）の供給圧を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。第３ポンプ２３の作動中、第３圧力検出器４３の検出値は第４圧力検出器４４の検出値よりも大きい。

【0053】

第４圧力検出器４４は、第４ライン１８に設けられる。第４ライン１８は、第２フィルター１７の下流に設けられる下流ラインである。第４ライン１８は、第２フィルター１７を通過した透過水を流通させる。第４圧力検出器４４は、第２フィルター１７を通過した透過水の圧力を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0054】

第２流量検出器５２は、第４ライン１８に設けられる。第２流量検出器５２は、第２フィルター１７を通過した透過水の流量を検出し、検出値を示す信号を制御部９０に送信する。

【0055】

また、本願発明の内容は保安フィルター１３の異常の有無の判定にも適用できる。

【0056】

以上、本開示に係るろ過装置、ディスプレイ用ガラス基板の製造装置、ろ過方法およびディスプレイ用ガラス基板の製造方法について説明したが、本開示は上記実施形態などに限定されない。特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更、修正、置換、付加、削除、および組み合わせが可能である。それらについても当然に本開示の技術的範囲に属する。

【符号の説明】

【0057】

２ ろ過装置
１４ 第２ライン（上流ライン）
１５ 第１フィルター（フィルター）
１６ 第３ライン（下流ライン）
２２ 第２ポンプ（ポンプ）
４１ 第１圧力検出器
４２ 第２圧力検出器
５１ 第１流量検出器
９０ 制御部（判定部）

【図1】

【図2】

【図3】