特開 2023-180487 搬送ユニット及び加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023180487

(43)【公開日】2023-12-21

(54)【発明の名称】搬送ユニット及び加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231214BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20231214BHJP

   B24B 55/06 20060101ALI20231214BHJP

   B23Q 7/04 20060101ALI20231214BHJP

   B23Q 11/00 20060101ALI20231214BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 B

H01L21/68 A

B24B41/06 A

B24B55/06

B23Q7/04 K

B23Q11/00 U

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022093843

(22)【出願日】2022-06-09

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】首藤 大地

【テーマコード（参考）】

3C011

3C033

3C034

3C047

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C011BB15

3C011BB36

3C033HH27

3C033MM02

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB84

3C034BB87

3C034DD07

3C034DD10

3C047FF04

3C047FF19

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA37

5F131CA09

5F131DA32

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB22

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

5F131EA05

5F131EA06

(57)【要約】

【課題】、被加工物又は被加工物を含むフレームユニットの下面を乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能な搬送ユニット及び／又はこの搬送ユニットを含む加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物又はフレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾斜した状態で被加工物又はフレームユニットの下面に対するエアの噴射を行う。この場合、例えば、被加工物又はフレームユニットの下面に付着した液体（例えば、加工液）が、下面を伝いながら被加工物又はフレームユニットの進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。そのため、このように被加工物又はフレームユニットを搬送する場合には、被加工物又はフレームユニットの移動速度を大きくすることができる。その結果、被加工物又はフレームユニットの下面を乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能となる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物又は該被加工物を含むフレームユニットを搬送するための搬送ユニットであって、
該被加工物又は該フレームユニットを保持するための保持機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整するための傾き調整機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを水平方向に沿って移動させるための水平方向移動機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを鉛直方向に沿って移動させるための鉛直方向移動機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを該水平方向移動機構によって該水平方向に沿って移動させた時の該被加工物又は該フレームユニットの移動経路からみて下方に位置付けられ、かつ、上方に向かってエアを噴射するエア噴射器と、を備え、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように該傾き調整機構が該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整し、かつ、該エア噴射器が上方に向かって該エアを噴射した状態で、該エア噴射器の上方を通るように該水平方向移動機構が該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを移動させる搬送ユニット。

【請求項2】

被加工物を加工するための加工装置であって、
該被加工物の上面に加工液を供給しながら該被加工物を加工する際に該被加工物の下面側を保持するためのチャックテーブルと、
該被加工物の該上面に洗浄液を供給しながら該被加工物を洗浄する際に該被加工物の該下面側を保持するためのスピンナテーブルと、
該被加工物を収容するためのカセットが載置されるカセット載置領域と、
該チャックテーブルと該スピンナテーブルとの間又は該スピンナテーブルと該カセットとの間の少なくとも一方で該被加工物又は該被加工物を含むフレームユニットを搬送するための搬送ユニットと、を備え、
該搬送ユニットは、
該被加工物又は該フレームユニットを保持するための保持機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整するための傾き調整機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを水平方向に沿って移動させるための水平方向移動機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを鉛直方向に沿って移動させるための鉛直方向移動機構と、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを該水平方向移動機構によって該水平方向に沿って移動させた時の該被加工物又は該フレームユニットの移動経路からみて下方に位置付けられ、かつ、上方に向かってエアを噴射するエア噴射器と、を備え、
該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように該傾き調整機構が該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整し、かつ、該エア噴射器が上方に向かって該エアを噴射した状態で、該エア噴射器の上方を通るように該水平方向移動機構が該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを移動させる加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物又は被加工物を含むフレームユニットを搬送するための搬送ユニットと、この搬送ユニットを備える加工装置とに関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、以下の順序で製造される。

【0003】

まず、フォトリソグラフィ等を実施してウェーハ等を含む被加工物の表面に多数の素子を形成することで複数のデバイスを形成する。次いで、被加工物の裏面側を研削して被加工物を薄化する。次いで、複数のデバイスの境界に沿って被加工物を切削して被加工物を複数のチップへと分割する。

【0004】

被加工物を研削する研削装置又は被加工物を切削する切削装置等の加工装置においては、一般的に、被加工物の下面（例えば、表面）側がチャックテーブルによって保持された状態で、上面（例えば、裏面）側から被加工物が加工される。

【0005】

また、この加工装置において被加工物が加工されると、加工具と被加工物との摩擦に起因して被加工物が加熱されるとともに除去された被加工物の屑（加工屑）が発生する。そして、被加工物の加熱及び／又は加工屑の被加工物への付着が起こると、被加工物が破損し、かつ／又は、被加工物から製造されるチップの品質が悪化するおそれがある。

【0006】

そのため、加工装置においては、被加工物の上面に純水等の液体（加工液）が供給された状態で被加工物を加工し、その後に被加工物の上面に純水等の液体（洗浄液）が供給された状態で被加工物を洗浄することが多い。この洗浄は、一般的に、上記のチャックテーブルとは別のスピンナテーブルによって被加工物の下面側を保持した状態で行われる。

【0007】

ここで、チャックテーブルから搬出された被加工物においては、その上面のみならず、その下面が濡れていることがある。例えば、被加工物の加工が完了すると、チャックテーブルから被加工物を離隔させるためにチャックテーブルから被加工物に向かってエアが供給されることがある。

【0008】

この場合、被加工物とチャックテーブルとの隙間に加工液が回り込んで、被加工物の下面が濡れることがある。そして、下面が濡れた被加工物がスピンナテーブルによって保持されると、この被加工物を洗浄した後に被加工物をスピンナテーブルから搬出することが困難になるおそれがある。

【0009】

この点を踏まえて、被加工物の搬送経路に向けてエアを噴射するエアカーテンを設けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このエアカーテンを備える加工装置においては、エアカーテンから噴射されたエアを通り抜けるように加工後の被加工物を移動させることによって、被加工物に付着した加工液を飛散させて除去することができる。

【0010】

そのため、この加工装置においては、被加工物のスピンナテーブルへの搬入に先立って、被加工物の下面を乾燥させることができる。その結果、この加工装置においては、洗浄後の被加工物をスピンナテーブルから搬出することが容易になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開平９－２９３６９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

上述した加工装置において被加工物の下面を乾燥するには、エアカーテンから噴射されたエアを通り抜ける際の被加工物の移動速度を小さくする必要がある。ただし、この場合には、被加工物の加工を完了させるまでに必要な時間が長くなり、スループットが低下するおそれがある。

【0013】

この点に鑑み、本発明の目的は、被加工物又は被加工物を含むフレームユニットの下面を乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能な搬送ユニット及び／又はこの搬送ユニットを含む加工装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0014】

本発明の一側面によれば、被加工物又は該被加工物を含むフレームユニットを搬送するための搬送ユニットであって、該被加工物又は該フレームユニットを保持するための保持機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整するための傾き調整機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを水平方向に沿って移動させるための水平方向移動機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを鉛直方向に沿って移動させるための鉛直方向移動機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを該水平方向移動機構によって該水平方向に沿って移動させた時の該被加工物又は該フレームユニットの移動経路からみて下方に位置付けられ、かつ、上方に向かってエアを噴射するエア噴射器と、を備え、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように該傾き調整機構が該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整し、かつ、該エア噴射器が上方に向かって該エアを噴射した状態で、該エア噴射器の上方を通るように該水平方向移動機構が該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを移動させる搬送ユニットが提供される。

【0015】

本発明の別の側面によれば、被加工物を加工するための加工装置であって、該被加工物の上面に加工液を供給しながら該被加工物を加工する際に該被加工物の下面側を保持するためのチャックテーブルと、該被加工物の該上面に洗浄液を供給しながら該被加工物を洗浄する際に該被加工物の該下面側を保持するためのスピンナテーブルと、該被加工物を収容するためのカセットが載置されるカセット載置領域と、該チャックテーブルと該スピンナテーブルとの間又は該スピンナテーブルと該カセットとの間の少なくとも一方で該被加工物又は該被加工物を含むフレームユニットを搬送するための搬送ユニットと、を備え、該搬送ユニットは、該被加工物又は該フレームユニットを保持するための保持機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整するための傾き調整機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを水平方向に沿って移動させるための水平方向移動機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを鉛直方向に沿って移動させるための鉛直方向移動機構と、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを該水平方向移動機構によって該水平方向に沿って移動させた時の該被加工物又は該フレームユニットの移動経路からみて下方に位置付けられ、かつ、上方に向かってエアを噴射するエア噴射器と、を備え、該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように該傾き調整機構が該被加工物又は該フレームユニットの傾きを調整し、かつ、該エア噴射器が上方に向かって該エアを噴射した状態で、該エア噴射器の上方を通るように該水平方向移動機構が該保持機構によって保持された該被加工物又は該フレームユニットを移動させる加工装置が提供される。

【発明の効果】

【0016】

本発明の搬送ユニットにおいては、保持機構によって保持された被加工物又は被加工物を含むフレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾き調整機構が被加工物又はフレームユニットの傾きを調整し、かつ、エア噴射器が上方に向かってエアを噴射した状態で、エア噴射器の上方を通るように水平方向移動機構が保持機構によって保持された被加工物又はフレームユニットを移動させる。

【0017】

すなわち、この搬送ユニットにおいては、被加工物又はフレームユニットの進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾斜した状態で被加工物又はフレームユニットの下面に対するエアの噴射が行われる。この場合、例えば、被加工物又はフレームユニットの下面に付着した液体（例えば、加工液）が、下面を伝いながら被加工物又はフレームユニットの進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。

【0018】

そのため、この搬送ユニットを利用して被加工物又はフレームユニットを、例えば、チャックテーブルからスピンナテーブルに搬送する場合には、被加工物又はフレームユニットの移動速度を大きくすることができる。その結果、この搬送ユニットにおいては、被加工物又はフレームユニットの下面を乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、研削装置の一例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、研削装置に含まれる搬送ユニットの一例の詳細な構造を模式的に示す一部断面側面図である。

【図4】図４は、搬送ユニットによって被加工物を移動させる様子を模式的に示す一部断面側面図である。

【図5】図５は、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。

【図6】図６は、切削装置の一部の構成要素を模式的に示す上面図である。

【図7】図７は、被加工物を含むフレームユニットの一例を模式的に示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、研削装置の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（左右方向）及びＹ軸方向（前後方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

【0021】

図１に示される研削装置２は、各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。この基台４の前端部の上面には、一対のカセット載置領域６ａ，６ｂがそれぞれ設けられている。そして、各カセット載置領域６ａ，６ｂの上には、Ｚ軸方向において互いに離隔した状態で複数の被加工物を収容可能なカセット８ａ，８ｂが載置される。

【0022】

すなわち、各カセット８ａ，８ｂには、それぞれにおいて被加工物を収容可能な複数段の収容領域が設けられている。図２は、カセット８ａ，８ｂに収容される被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。図２に示される被加工物１１は、例えば、円状の表面１１ａ及び裏面１１ｂを有し、シリコン（Ｓｉ）等の半導体材料からなるウェーハである。

【0023】

この被加工物１１は格子状に設定される複数の分割予定ライン１３によって複数の領域に区画されており、各領域の表面１１ａ側にはＩＣ等のデバイス１５が形成されている。また、被加工物１１は、このデバイス１５を覆うように設けられたフィルム状のテープを含んでもよい。このテープは、被加工物１１の直径と概ね等しい直径を有し、例えば、樹脂からなる。

【0024】

そして、このテープは、被加工物１１の裏面１１ｂ側を研削する際に表面１１ａ側に加わる衝撃を緩和してデバイス１５を保護する。なお、被加工物１１の材質、形状、構造及び大きさ等に制限はない。例えば、被加工物１１は、他の半導体材料、セラミックス、樹脂又は金属を含んでもよい。

【0025】

また、図１に示されるように、カセット載置領域６ａ，６ｂの後方には窪み４ａが形成されており、この窪み４ａの内側には搬送ユニット１０が設けられている。この搬送ユニット１０は、研削前の被加工物１１をカセット８ａ，８ｂの複数の収容領域のいずれか（元の収容領域）から搬出し、また、研削後の被加工物１１を、例えば、元の収容領域に搬入する際に利用される。

【0026】

具体的には、搬送ユニット１０は、例えば、複数の関節とロボットハンドとを有し、このロボットハンドの一面において被加工物１１を保持する。さらに、搬送ユニット１０は、被加工物１１を保持するロボットハンドを反転させること、すなわち、被加工物１１の上下を反転させることもできる。

【0027】

また、窪み４ａの斜め後方には、被加工物１１の位置を調整するための位置調整機構１２が設けられている。この位置調整機構１２は、円盤状の位置調整用テーブルと、位置調整用テーブルの周囲に配置された複数のピンとを含む。そして、搬送ユニット１０によってカセット８ａ，８ｂから搬出された被加工物１１は、この位置調整用テーブルに搬入されて、その中心が所定の位置に合わせられる。

【0028】

具体的には、被加工物１１は、その裏面１１ｂが上を向くように位置調整用テーブルに搬入される。そして、位置調整用テーブルの径方向に沿って複数のピンが位置調整用テーブルに接近する。これにより、複数のピンが被加工物１１の側面に接触して被加工物１１を僅かに移動させる。その結果、被加工物１１の中心が所定の位置に合わせられる。

【0029】

また、位置調整機構１２の側方には、被加工物１１を保持して後方に搬送する搬送ユニット１４が設けられている。この搬送ユニット１４は、例えば、Ｚ軸方向に延在する支持軸と、この支持軸の上端部に基端部が固定され、かつ、Ｚ軸方向と直交する方向に延在するアームと、このアームの先端部の下側に固定されている吸引パッドとを有する。

【0030】

さらに、搬送ユニット１４の支持軸は、モータ等の回転駆動源に接続されている。そして、この回転駆動源を動作させると、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸として支持軸が回転する。また、搬送ユニット１４の支持軸は、例えば、ボールねじ式の移動機構（不図示）に連結されている。そして、この移動機構を動作させると、Ｚ軸方向に沿って支持軸が移動する、すなわち、支持軸が昇降する。

【0031】

例えば、搬送ユニット１４は、以下の順序で被加工物１１を保持して後方に搬送する。まず、位置調整機構１２において中心が所定の位置に合わせられた被加工物１１の直上に吸引パッドが位置付けられるように支持軸を回転させる。次いで、この吸引パッドが被加工物１１の裏面（上面）１１に接触するように支持軸を下降させる。

【0032】

次いで、吸引パッドによって被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側を吸引して保持する。次いで、被加工物１１を保持する吸引パッドを上昇させるように支持軸を上昇させる。次いで、被加工物１１を保持する吸引パッドを旋回させるように支持軸を回転させる。これにより、被加工物１１が後方へと搬送される。

【0033】

搬送ユニット１４の後方には、ターンテーブル１６が設けられている。このターンテーブル１６は、モータ等の回転駆動源に接続されている。そして、この回転駆動源を動作させると、ターンテーブル１６の上面の中心を通り、かつ、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸としてターンテーブル１６が回転する。

【0034】

また、ターンテーブル１６には、ターンテーブル１６の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で３個の円盤状のテーブルベース（不図示）が設けられている。さらに、各テーブルベースの上部には、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側を保持するためのチャックテーブル１８が装着されている。

【0035】

このチャックテーブル１８は、例えば、セラミックス等からなり、ベアリング等を介してテーブルベースに支持される円盤状の枠体を有する。また、チャックテーブル１８の枠体の上面には円状の底面を有する凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックス等からなる円盤状のポーラス板が固定されている。

【0036】

さらに、チャックテーブル１８のポーラス板の上面とポーラス板を囲む枠体の上面とは、円錐の側面に対応する形状を有し、被加工物１１を保持する際に保持面として機能する。また、チャックテーブル１８の枠体は、モータ等の回転駆動源に接続されている。そして、このモータを動作させると、チャックテーブル１８の保持面の中心を通る直線を回転軸としてチャックテーブル１８が回転する。

【0037】

また、チャックテーブル１８の枠体は、テーブルベースを介して、傾き調整機構（不図示）に連結されている。この傾き調整機構は、チャックテーブル１８の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で配置されている２つの可動軸及び１つの固定軸を含む。そして、２つの可動軸の少なくとも一方がテーブルベース及びチャックテーブルを部分的に昇降させると、チャックテーブル１８の回転軸の傾きが調整される。

【0038】

また、チャックテーブル１８のポーラス板の下面側は、その枠体に形成されている流路等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）及びボンベ等のエア供給源（不図示）に連通する。そして、チャックテーブル１８の保持面に被加工物１１が置かれた状態で吸引源を動作させると、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側がチャックテーブル１８に吸引されて保持される。

【0039】

また、チャックテーブル１８の枠体に形成されている流路が負圧となっている状態でエア供給源を動作させると、この流路にエアが供給されて常圧となり、被加工物１１をチャックテーブル１８から離隔させることが容易になる。

【0040】

なお、テーブルベースにチャックテーブル１８が装着された状態でターンテーブル１６を回転させると、テーブルベースとともにチャックテーブル１８が移動する。具体的には、この場合には、ターンテーブル１６の周方向に沿ってテーブルベース及びチャックテーブル１８が移動する。

【0041】

これにより、テーブルベース及びチャックテーブル１８を、例えば、搬送ユニット１４に隣接する搬入搬出位置Ａと、搬入搬出位置の斜め後方の粗研削位置Ｂと、粗研削位置の側方の仕上げ研削位置Ｃとに順番に位置付けることができる。

【0042】

そして、搬入搬出位置Ａに位置付けられたチャックテーブル１８には、搬送ユニット１４によって後方へと搬送された被加工物１１が搬入される。例えば、被加工物１１のチャックテーブル１８への搬入は、以下の順序で行われる。

【0043】

まず、搬送ユニット１４の吸引パッドによって保持された被加工物１１をチャックテーブル１８の保持面に接近させるように、搬送ユニット１４の支持軸に連結されている支持軸を下降させる。次いで、吸引パッドによる被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の吸引を停止する。これにより、被加工物１１が吸引パッドから分離してチャックテーブル１８に搬入される。

【0044】

次いで、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側がチャックテーブル１８に吸引されて保持されるように、チャックテーブル１８のポーラス板の下面側と連通する吸引源を動作させる。次いで、この被加工物１１を保持するチャックテーブル１８を粗研削位置Ｂに位置付けるようにターンテーブル１６を回転させる。

【0045】

粗研削位置Ｂ及び仕上げ研削位置Ｃのそれぞれの後方には、柱状の支持構造２０が設けられている。各支持構造２０の前面側には、移動機構２２が設けられている。この移動機構２２は、Ｚ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール２４を備える。さらに、一対のガイドレール２４には、移動プレート２６がスライド可能な態様で取り付けられている。

【0046】

また、移動プレート２６の後面側にはボールねじのナット（不図示）が固定されており、このナットにはＺ軸方向に沿って延在するねじ軸２８が回転可能な態様で連結されている。また、このナットは、ねじ軸２８の回転に応じてねじ軸２８の表面を転がる多数のボールを収容する。

【0047】

さらに、ねじ軸２８の一端部（上端部）には、モータ３０が接続されている。そして、モータ３０によってねじ軸２８を回転させると、多数のボールがナット内を循環してナットとともに移動プレート２６がＺ軸方向に沿って移動する。

【0048】

また、移動プレート２６の前面（表面）には、研削ユニット３２が設けられている。この研削ユニット３２は、移動プレート２６に固定されるスピンドルハウジング３４を備える。さらに、スピンドルハウジング３４には、Ｚ軸方向又はＺ軸方向に対して僅かに傾いた方向に沿って延在するスピンドル（不図示）が回転可能な態様で収容されている。

【0049】

また、スピンドルの先端部（下端部）はスピンドルハウジング３４の下端面から露出しており、この下端部には円盤状のマウント３６が固定されている。そして、粗研削位置Ｂ側の研削ユニット３２のマウント３６の下面には、粗研削用の研削ホイール３８ａが装着されている。同様に、仕上げ研削位置Ｃ側の研削ユニット３２のマウント３６の下面には、仕上げ研削用の研削ホイール３８ｂが装着されている。

【0050】

また、スピンドルハウジング３４に収容されたスピンドルの基端部（上端部）には、モータ４０が接続されている。そして、このモータを動作させると、スピンドルとともにマウント３６及び研削ホイール３８ａ，３８ｂがＺ軸方向又はＺ軸方向に対して僅かに傾いた直線を回転軸として回転する。

【0051】

なお、各研削ホイール３８ａ，３８ｂは、ステンレス鋼又はアルミニウム等の金属からなる環状のホイール基台を含む。また、ホイール基台の下面には、ホイール基台の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で複数の研削砥石が固定されている。

【0052】

そして、複数の研削砥石のそれぞれは、ビトリファイド又はレジノイド等の結合剤と、この結合剤に分散されたダイヤモンド等の砥粒とを含む。なお、仕上げ研削用の研削ホイール３８ｂが備える研削砥石に含まれる砥粒の平均粒径は、粗研削用の研削ホイール３８ａが備える研削砥石に含まれる砥粒の平均粒径よりも小さい。

【0053】

また、各研削ホイール３８ａ，３８ｂの近傍には、液体供給ユニット（不図示）が設けられている。この液体供給ユニットは、例えば、平面視において研削ホイール３８ａ，３８ｂの内側に位置するノズルと、このノズルに純水等の液体（加工液）を供給するポンプとを有する。

【0054】

そして、このポンプを動作させると、粗研削位置Ｂ又は仕上げ研削位置Ｃに位置付けられたチャックテーブル１８によって表面（下面）１１ａ側が保持された被加工物１１の裏面（上面）１１ｂにノズルから加工液が供給される。

【0055】

また、被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が粗研削位置Ｂ又は仕上げ研削位置Ｃに位置付けられると、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削又は仕上げ研削が行われる。そして、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側の粗研削及び仕上げ研削が完了すれば、ターンテーブル１６を回転させて、被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられる。

【0056】

搬入搬出位置Ａの前方、かつ、搬送ユニット１４の側方には、被加工物１１を保持して前方に搬送する搬送ユニット４２が設けられている。図３は、搬送ユニット４２の詳細な構造を模式的に示す一部断面側面図である。この搬送ユニット４２は、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側を保持するための保持機構４４を有する。

【0057】

保持機構４４は、例えば、セラミックス等からなる円盤状の枠体４４ａを有する。この枠体４４ａの下面には円形の底面を有する凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックス等からなる円盤状のポーラス板４４ｂが固定されている。また、枠体４４ａの上面側には複数のねじ穴が形成されており、この複数のねじ穴のそれぞれにはボルト４６が螺合されている。

【0058】

具体的には、このボルト４６は、Ｚ軸方向に沿って延在する円柱状の軸部と、この軸部よりも直径が大きく、かつ、Ｚ軸方向に沿った長さが小さい六角柱状の頭部とを有する。さらに、この軸部は、ねじ山が形成されている下部（ねじ部）と、ねじ山が形成されていない上部（円筒部）とを有する。そして、ボルト４６のねじ部が、枠体４４ａの上面側に形成されているねじ穴に螺合されている。

【0059】

また、枠体４４ａの上面側にはポーラス板４４ｂの上面側と連通する貫通孔が形成されており、この貫通孔は配管（不図示）及びバルブ（不図示）を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）及びボンベ等のエア供給源（不図示）に連通する。

【0060】

そして、ポーラス板４４ｂの下面（保持面）に被加工物１１の裏面１１ｂが接触した状態で吸引源を動作させると、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側が保持機構４４に吸引されて保持される。また、枠体４４ａの上面側に形成されている貫通孔等が負圧となっている状態でエア供給源を動作させると、この貫通孔にエアが供給されて常圧となり、被加工物１１を保持機構４４から離隔させることが容易になる。

【0061】

保持機構４４の上方には、保持機構４４によって保持された被加工物１１の傾きを調整するための傾き調整機構４８が設けられている。この傾き調整機構４８は、円盤状の支持部材４８ａを有する。そして、支持部材４８ａには、厚さ方向において支持部材４８ａを貫通し、それぞれの断面が円状の複数の貫通孔が形成されている。

【0062】

これらの貫通孔は枠体４４ａの上面側に形成されている複数のねじ穴と重なるように位置付けられ、各貫通孔にはボルト４６の円筒部が通されている。また、ボルト４６の頭部の直径は、貫通孔の直径よりも大きい。そのため、ボルト４６が貫通孔と通って落下することはない。

【0063】

また、ボルト４６の軸部のうち枠体４４ａと支持部材４８ａとの間に位置する部分の周囲には、圧縮コイルバネ５０が設けられている。換言すると、この部分は、圧縮コイルバネ５０の内側に位置する。そして、枠体４４ａ及び支持部材４８ａには、圧縮コイルバネ５０を圧縮することによって生じる反力が作用している。

【0064】

また、支持部材４８ａの側部には、アーム４８ｂの先端部が連結されている。このアーム４８ｂは、Ｚ軸方向と直交する方向に沿って延在し、その基端部にはモータ４８ｃが接続されている。そして、このモータ４８ｃを動作させると、アーム４８ｂが延在する方向に沿った直線を回転軸として、アーム４８ｂ及び支持部材４８ａが回転する。

【0065】

そのため、保持機構４４によって被加工物１１が保持されている場合には、傾き調整機構４８のモータ４８ｃを動作させることによって被加工物１１の傾きを調整することができる。例えば、この傾き調整機構４８は、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂが水平面に対してなす角が、３０°以上５５°以下となるように被加工物１１の傾きを調整する。

【0066】

モータ４８ｃの下方には、保持機構４４によって保持された被加工物１１を水平方向に沿って移動させるための水平方向移動機構５２が設けられている。この水平方向移動機構５２はＺ軸方向に沿って延在する支持軸５２ａを有する。そして、支持軸５２ａによって傾き調整機構４８及び保持機構４４が支持されるように、この支持軸５２ａの先端部（上端部）にはモータ４８ｃが固定されている。

【0067】

また、支持軸５２ａの基端部には、モータ５２ｂが接続されている。そして、このモータ５２ｂを動作させると、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸として支持軸５２ａが回転する。そのため、保持機構４４によって被加工物１１が保持されている場合には、水平方向移動機構５２のモータ５２ｂを動作させることによって、支持軸５２ａを中心として被加工物１１を旋回させること、すなわち、被加工物１１を水平方向に沿って移動させることができる。

【0068】

水平方向移動機構５２の側方には、保持機構４４によって保持された被加工物１１をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させるための鉛直方向移動機構５４が設けられている。この鉛直方向移動機構５４は、ボールねじ式の移動機構である。具体的には、鉛直方向移動機構５４は、水平方向移動機構５２のモータ５２ｂの側部に表面側が固定されている移動プレート５４ａを有する。

【0069】

この移動プレート５４ａの裏面側には、多数のボールを収容するナット５４ｂが固定されている。そして、このナット５４ｂには、Ｚ軸方向に沿って延在するねじ軸５４ｃが螺合されている。また、ねじ軸５４ｃは、それぞれがＺ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール（不図示）の間に設けられており、この一対のガイドレールの表面側にはスライド可能な態様で移動プレート５４ａが取り付けられている。

【0070】

さらに、ねじ軸５４ｃの基端部（下端部）には、モータ５４ｄが接続されている。そして、モータ５４ｄによってねじ軸５４ｃを回転させると、多数のボールがナット５４ｂ内を循環してナット５４ｂとともに移動プレート５４ａがＺ軸方向に沿って移動する。

【0071】

そのため、保持機構４４によって被加工物１１が保持されている場合には、鉛直方向移動機構５４のモータ５４ｄを動作させることによって被加工物１１をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させることができる。

【0072】

鉛直方向移動機構５４の近傍には、Ｘ軸方向に沿って延在するように設けられ、その上面の一端部から他端部に渡る領域から上方に向かってエアを噴射するエア噴射器（例えば、エアカーテン又はエアナイフ等）５６が設けられている。

【0073】

具体的には、このエア噴射器５６は、搬入搬出位置Ａと後述する洗浄装置５８との間、かつ、保持機構４４によって保持された被加工物１１を水平方向移動機構５２によって水平方向に沿って移動させた時の被加工物１１の移動経路からみて下方に位置付けられている。

【0074】

また、このエア噴射器５６の上面には、例えば、Ｘ軸方向に沿って延在するスリット状の噴射口が設けられており、この噴射口からエアが噴射される。また、この射出口のＸ軸方向に沿った長さは、例えば、被加工物１１の直径よりも大きい。

【0075】

そして、研削後の被加工物１１を保持するチャックテーブル１８が搬入搬出位置Ａに位置付けられると、搬送ユニット４２によって被加工物１１がチャックテーブル１８から搬出される。例えば、被加工物１１のチャックテーブル１８からの搬出は、以下の順序で行われる。

【0076】

まず、チャックテーブル１８のポーラス板の下面側と連通する吸引源の動作を停止させる。次いで、チャックテーブル１８のポーラス板の下面側と連通するエア供給源を動作させる。この時、被加工物１１がチャックテーブル１８から瞬間的に離隔する。そして、この隙間には、被加工物１１の粗研削及び仕上げ研削の際に供給された加工液が回り込むことがある。その結果、被加工物１１の表面（下面）１１ａが濡れることがある。

【0077】

次いで、チャックテーブル１８の上に置かれている被加工物１１の直上に保持機構４４が位置付けられるように、水平方向移動機構５２のモータ５２ｂを動作させて保持機構４４を旋回させる。次いで、保持機構４４のポーラス板４４ｂの下面を被加工物１１の裏面（上面）１１ｂに接触させるように、鉛直方向移動機構５４のモータ５４ｄを動作させて保持機構４４を下降させる。

【0078】

次いで、被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側が保持機構４４に吸引されて保持されるように、ポーラス板４４ｂの上面側と連通する吸引源を動作させる。次いで、被加工物１１をチャックテーブル１８から離隔させるように、鉛直方向移動機構５４のモータ５４ｄを動作させて保持機構４４を上昇させる。

【0079】

次いで、被加工物１１がエア噴射器５６の上方を通過するように被加工物１１を水平方向に沿って移動させる。図４は、搬送ユニット４２によって被加工物１１を移動させる様子を模式的に示す一部断面側面図である。この移動の際には、被加工物１１の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように、傾き調整機構４８のモータ４８ｃを動作させて被加工物１１の傾きを調整する。

【0080】

そして、上方に向かってエアＡを噴射するようにエア噴射器５６を動作させた状態で、被加工物１１がエア噴射器５６の上方を通過するように水平方向移動機構５２のモータ５２ｂを動作させる。

【0081】

この場合、被加工物１１の表面（下面）１１ａにエアＡが噴射されて、この表面（下面）１１ａに付着した加工液Ｌが、表面（下面）１１ａを伝いながら被加工物１１の進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。これにより、被加工物１１の表面（下面）１１ａが乾燥する。

【0082】

なお、被加工物１１の進行方向後側に対してエアが噴射される際の被加工物１１の移動速度（後半の移動速度）は、その進行方向前側に対してエアが噴射される際の被加工物１１の移動速度（前半の移動速度）よりも遅くなるように変更されてもよい。例えば、後半の移動速度は、前半の移動速度の３／４倍以下、１／２倍以下又は１／４倍以下となるように変更されてもよい。

【0083】

あるいは、被加工物１１がエア噴射器５６の上方を通過する際には、徐々に遅くなるように被加工物１１の移動速度が変更されてもよい。これらのように被加工物１１の移動速度が変更される場合、被加工物１１の表面（下面）１１ａをより乾燥させやすくなる。

【0084】

図１に示されるように、搬送ユニット４２の側方には、チャックテーブル１８から搬出された被加工物１１を洗浄する洗浄装置５８が設けられている。この洗浄装置５８は、例えば、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側を保持するためのスピンナテーブルと、スピンナテーブルによって保持された被加工物１１の裏面（上面）１１ｂ側に純水等の液体（洗浄液）を供給するノズルを含む洗浄ユニットとを備える。

【0085】

なお、このスピンナテーブルは、図１に示されるチャックテーブル１８と同様の構造を有し、また、モータ等の回転駆動源に接続されている。そして、この回転駆動源を動作させると、スピンナテーブルの上面の中心を通り、かつ、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸としてスピンナテーブルが回転する。

【0086】

そして、スピンナテーブルには、搬送ユニット４２によってチャックテーブル１８から搬出された被加工物１１が搬入される。例えば、被加工物１１のスピンナテーブルへの搬入は、以下の順序で行われる。

【0087】

まず、保持機構４４によって保持された被加工物１１がスピンナテーブルの直上に位置付けられるように、水平方向移動機構５２のモータ５２ｂを動作させて被加工物１１を旋回させる。次いで、被加工物１１の表面（下面）１１ａをスピンナテーブルの保持面に接近させるように、鉛直方向移動機構５４のモータ５４ｄを動作させて被加工物１１を下降させる。

【0088】

次いで、保持機構４４のポーラス板４４ｂの上面側と連通する吸引源の動作を停止させる。次いで、被加工物１１を保持機構４４から離隔させるように、保持機構４４のポーラス板４４ｂの上面側と連通するエア供給源を動作させる。これにより、被加工物１１のスピンナテーブルへの搬入が完了する。

【0089】

この洗浄装置５８においては、被加工物１１の表面（下面）１１ａ側を保持するスピンナテーブルを回転させながら被加工物１１の裏面（上面）１１ｂに洗浄ユニットから洗浄液を供給することによって被加工物１１が洗浄される。そして、洗浄装置５８における被加工物１１の洗浄が完了すると、搬送ユニット１０が洗浄装置５８からカセット８ａ，８ｂの複数の収容領域のいずれか（例えば、元の収容領域）に被加工物１１を搬入する。

【0090】

上述した研削装置２の搬送ユニット４２においては、保持機構４４によって保持された被加工物１１の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾き調整機構４８が被加工物１１の傾きを調整し、かつ、エア噴射器５６が上方に向かってエアＡを噴射した状態で、エア噴射器５６の上方を通るように水平方向移動機構５２が保持機構４４によって保持された被加工物１１を移動させる（図４参照）。

【0091】

すなわち、この搬送ユニット４２においては、被加工物１１の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾斜した状態で被加工物１１の表面（下面）１１ａに対するエアＡの噴射が行われる。この場合、被加工物１１の表面（下面）１１ａに付着した液体（例えば、加工液Ｌ）が、表面（下面）１１ａを伝いながら被加工物１１の進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。

【0092】

そのため、この搬送ユニット４２を利用して被加工物１１を、例えば、チャックテーブル１８から洗浄装置５８のスピンナテーブルに搬送する場合には、被加工物１１の移動速度を大きくすることができる。その結果、この搬送ユニット４２においては、被加工物１１の表面（下面）１１ａを乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能となる。

【0093】

なお、上述した内容は本発明の一態様であって、本発明の内容は上述した内容に限定されない。例えば、本発明においては、被加工物１１がエア噴射器５６の上方を通過する際に被加工物１１を斜め上方に向けて進行させることによって、被加工物１１とエア噴射器５６との鉛直方向における間隔を一定としてもよい。

【0094】

具体的には、この場合には、被加工物１１がエア噴射器５６の上方を通過する際に、水平方向移動機構５２のモータ５２ｂと鉛直方向移動機構５４のモータ５４ｄとを同時に動作させればよい。

【0095】

また、本発明の搬送ユニットは、洗浄装置５８のスピンナテーブルとカセット８ａ，８ｂとの間に設けられていてもよい。すなわち、本発明の搬送ユニットは、被加工物１１の洗浄に伴って表面（下面）１１ａが濡れた被加工物１１を乾燥させるものでもよい。

【0096】

また、本発明の搬送ユニットは、チャックテーブル１８から洗浄装置５８のスピンナテーブルへの被加工物１１の搬送と、洗浄装置５８のスピンナテーブルからカセット８ａ，８ｂへの搬送との双方を実施可能なものであってもよい。すなわち、本発明の搬送ユニットは、被加工物１１の加工に伴って表面（下面）１１ａが濡れた被加工物１１を乾燥させるとともに、被加工物１１の洗浄に伴って表面（下面）１１ａが濡れた被加工物１１を乾燥させるものでもよい。

【0097】

また、本発明の搬送ユニットは、研削装置２以外の加工装置に設けられてもよい。図５は、このような加工装置の一例を模式的に示す斜視図であり、図６は、図５に示される加工装置の一部の構成要素を模式的に示す上面図である。

【0098】

具体的には、図５及び図６に示される加工装置は、被加工物１１を切削することが可能な切削装置６０である。なお、図５及び図６に示されるＵ軸方向（前後方向）及びＶ軸方向（左右方向）は、水平面上において互いに直交する方向であり、また、Ｗ軸方向（上下方向）は、Ｕ軸方向及びＶ軸方向に垂直な方向（鉛直方向）である。

【0099】

切削装置６０は、各構成要素が搭載される基台６２を備える。また、基台６２の角部には、カセットテーブル６４が設置されている。このカセットテーブル６４の上面は、カセット６６を載置するのに適したカセット載置領域６８を含む。なお、カセット６６には、それぞれにおいて被加工物１１を含むフレームユニットを収容可能な複数段の収容領域が設けられている。

【0100】

図７は、被加工物１１を含むフレームユニットの一例を模式的に示す斜視図である。図７に示されるフレームユニット１７は、円盤状のダイシングテープ１９を有する。このダイシングテープ１９の直径は、被加工物１１の直径よりも長い。そして、ダイシングテープ１９の中央領域には、被加工物１１の裏面１１ｂが貼着されている。

【0101】

ダイシングテープ１９は、例えば、可撓性を有するフィルム状の基材層と、基材層の一面（被加工物１１側の面）に設けられた粘着層（糊層）とを有する。具体的には、この基材層は、ポリオレフィン（ＰＯ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）又はポリスチレン（ＰＳ）等からなる。また、この粘着層は、紫外線硬化型のシリコーンゴム、アクリル系材料又はエポキシ系材料等からなる。

【0102】

また、ダイシングテープ１９の外周領域には、被加工物１１よりも直径が長い円形の開口２１ａが形成されている環状のフレーム２１が貼着されている。このフレーム２１は、例えば、アルミニウム又はステンレス鋼等の金属材料からなる。

【0103】

さらに、図５に示されるカセットテーブル６４は、Ｗ軸方向移動機構（不図示）に連結されている。このＷ軸方向移動機構は、フレームユニット１７のカセット６６への搬入搬出が適切に行われるようにカセット載置領域６８に載置されたカセット６６の高さを調整する。

【0104】

また、基台６２の上方には、チャックテーブル７０と、一対の切削ユニット（加工ユニット）７２と、スピンナテーブル７４と、洗浄ユニット７６と、搬送ユニット７８とが設けられている。

【0105】

チャックテーブル７０は、被加工物１１を加工する際にダイシングテープ１９を介して被加工物１１の裏面（下面）１１ｂ側を保持する。なお、チャックテーブル７０は、図１に示されるチャックテーブル１８と同様の構造を有し、エジェクタ等の吸引源（不図示）及びボンベ等のエア供給源（不図示）に連通する。

【0106】

また、チャックテーブル７０は、Ｕ軸方向移動機構（不図示）及び回転駆動源（不図示）に連結されている。Ｕ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータを含み、一対の切削ユニット７２が設けられている切削室からカセットテーブル６４とスピンナテーブル７４との間の待機位置Ｄまでチャックテーブル７０を移動させる。

【0107】

また、回転駆動源は、例えば、スピンドル及びモータを含み、チャックテーブル７０の上面の中心を通り、かつ、Ｗ軸方向に沿った直線を回転軸としてチャックテーブル７０を回転させる。

【0108】

さらに、チャックテーブル７０の周囲には、チャックテーブル７０の周方向に沿って概ね等しい角度の間隔で４つのクランプ８０が設けられている。４つのクランプ８０のそれぞれは、チャックテーブル７０がダイシングテープ１９を介して被加工物１１の裏面（下面）１１ｂ側を保持する際にチャックテーブル７０の保持面よりも低い位置においてフレーム２１を保持する。

【0109】

一対の切削ユニット７２のそれぞれは、被加工物１１を表面（上面）１１ａ側から切削する。具体的には、各切削ユニット７２は、Ｖ軸方向に沿って延在するスピンドルを有する。このスピンドルの先端部には、円環状の切削ブレードが装着されている。

【0110】

また、スピンドルの基端部は、モータ等の回転駆動源（不図示）に接続されている。そして、この回転駆動源を動作させると、Ｖ軸方向に沿った直線を回転軸としてスピンドルとともに切削ブレードが回転する。

【0111】

また、一対の切削ユニット７２のそれぞれは、Ｖ軸方向移動機構（不図示）及びＷ軸方向移動機構（不図示）に連結されている。Ｖ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータを含み、切削室の内側において切削ユニット７２をＶ軸方向に沿って移動させる。

【0112】

また、Ｗ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータを含み、切削室の内側において切削ユニット７２をＷ軸方向に沿って移動させる。そして、切削装置６０においては、上述のとおり切削ブレードを回転させた状態で切削ブレードと被加工物１１とを接触させることによって被加工物１１が表面（上面）１１ａ側から切削される。

【0113】

さらに、一対の切削ユニット７２のそれぞれの近傍には、液体供給ユニット（不図示）が設けられている。この液体供給ユニットは、被加工物１１が切削される際に被加工物１１の表面（上面）１１ａに加工液を供給する。

【0114】

具体的には、液体供給ユニットは、例えば、一対の切削ユニット７２のそれぞれとともに移動可能なように切削ユニット７２に連結されているノズルと、このノズルに加工液を供給するポンプとを有する。そして、このポンプを動作させると、切削室に位置付けられたチャックテーブル７０によって裏面（下面）１１ｂ側が保持された被加工物１１の表面（上面）１１ａにノズルから加工液が供給される。

【0115】

スピンナテーブル７４は、被加工物１１を洗浄する際にダイシングテープ１９を介して被加工物１１の裏面（下面）１１ｂ側を保持する。なお、スピンナテーブル７４は、図１に示されるチャックテーブル１８と同様の構造を有し、エジェクタ等の吸引源（不図示）及びボンベ等のエア供給源（不図示）に連通する。

【0116】

また、スピンナテーブル７４は、回転駆動源（不図示）に接続されている。この回転駆動源は、例えば、スピンドル及びモータを含み、スピンナテーブル７４の上面の中心を通り、かつ、Ｗ軸方向に沿った直線を回転軸としてスピンナテーブル７４を回転させる。

【0117】

洗浄ユニット７６は、Ｗ軸方向に沿って延在するパイプ状の支持軸を有する。この支持軸の下端部には、支持軸を回転させるためのモータ等の回転駆動源が接続されている。また、支持軸の上端部には、アームが接続されている。

【0118】

このアームは、支持軸の上端部からスピンナテーブル７４の上面の中心までの距離に相当する長さでＷ軸方向に直交する方向に延在するパイプ状の部材である。また、アームの先端部には、下方に向けて洗浄水を放出するようにノズルが設けられている。

【0119】

さらに、支持軸は、洗浄液を供給するポンプに連通している。そのため、例えば、ノズルをスピンナテーブル１１２の上方に位置付けるように軸部を回転させた後に、このポンプを動作させると、スピンナテーブル７４によって裏面（下面）１１ｂ側が保持された被加工物１１の表面（上面）１１ａにノズルから加工液が供給される。

【0120】

搬送ユニット７８は、例えば、待機位置Ｄに位置付けられたチャックテーブル７０に保持され、かつ、切削後の被加工物１１を含むフレームユニット１７をチャックテーブル７０からスピンナテーブル７４に搬送する際に利用される。この搬送ユニット７８は、フレーム２１を掴むための把持部（不図示）と、フレーム２１の上面側を吸引してフレームユニット１７を保持するための吸引パッド等を含む保持機構とを有する。

【0121】

また、この保持機構は、傾き調整機構（不図示）、Ｖ軸方向移動機構（水平方向移動機構）（不図示）及びＷ軸方向移動機構（鉛直方向移動機構）（不図示）に連結されている。傾き調整機構（不図示）は、先端部が保持機構に固定され、かつ、Ｕ軸方向に沿って延在するアームと、アームの基端部に接続されているモータとを有する。

【0122】

そして、保持機構によって保持されてフレームユニット１７のフレーム２１が保持された状態でモータを動作させると、保持機構によって保持されたフレームユニット１７の傾きが調整される。例えば、この傾き調整機構は、フレームユニット１７に含まれるフレーム２１の上面が水平面に対してなす角が、３０°以上５５°以下となるようにフレームユニット１７の傾きを調整する。

【0123】

また、Ｖ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータを含み、スピンナテーブル７４の上方の位置からカセットテーブル６４に載せられたカセット６６の近傍の位置まで搬送ユニット７８を移動させる。また、Ｗ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじ及びモータを含み、搬送ユニット７８の高さを調整する。

【0124】

さらに、この搬送ユニット７８は、Ｕ軸方向に沿って延在するように設けられ、その上面の一端部から他端部に渡る領域から上方に向かってエアを噴射するエア噴射器（例えば、エアカーテン又はエアナイフ等）８２を有する。

【0125】

具体的には、このエア噴射器８２は、待機位置Ｄと後述するスピンナテーブル７４との間、かつ、搬送ユニット７８の保持機構によって保持された被加工物１１をＶ軸方向移動機構によってＶ軸方向に沿って移動させた時の被加工物１１の移動経路からみて下方に位置付けられている。

【0126】

また、このエア噴射器８２の上面には、例えば、Ｕ軸方向に沿って延在するスリット状の噴射口が設けられており、この噴射口からエアが噴射される。また、この射出口のＵ軸方向に沿った長さは、例えば、フレームユニット１７に含まれるダイシングテープ１９の直径よりも大きい。

【0127】

そして、切削後の被加工物１１を含むフレームユニット１７を保持するチャックテーブル７０が待機位置Ｄに位置付けられると、搬送ユニット７８によって被加工物１１がチャックテーブル７０からスピンナテーブル７４に搬送される。例えば、この被加工物１１の搬送は、以下の順序で行われる。

【0128】

まず、チャックテーブル７０と連通する吸引源の動作を停止させる。次いで、チャックテーブル７０と連通するエア供給源を動作させる。この時、フレームユニット１７がチャックテーブル１８から瞬間的に離隔する。そして、この隙間には、被加工物１１の切削の際に供給された加工液が回り込むことがある。その結果、ダイシングテープ１９の下面が濡れることがある。

【0129】

次いで、チャックテーブル７０の上に置かれている被加工物１１の直上に搬送ユニット７８の保持機構が位置付けられるように、Ｖ軸方向移動機構を動作させる。次いで、この保持機構をフレームユニット１７のフレーム２１の上面に接触させるように、Ｗ軸方向移動機構を動作させて保持機構を下降させる。

【0130】

次いで、この保持機構によってフレームユニット１７を保持する。次いで、フレームユニット１７をチャックテーブル７０から離隔させるように、搬送ユニット７８のＷ軸方向移動機構を動作させて保持機構を上昇させる。次いで、フレームユニット１７の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように、搬送ユニット７８の傾き調整機構を動作させて被加工物１１の傾きを調整する。

【0131】

次いで、上方に向かってエアを噴射するようにエア噴射器８２を動作させた状態で、フレームユニット１７がエア噴射器８２の上方を通過するようにフレームユニット１７をＶ軸方向に沿って移動させる。

【0132】

この場合、ダイシングテープ１９の下面にエアが噴射されて、この下面に付着した加工液が、下面を伝いながらフレームユニット１７の進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。これにより、ダイシングテープ１９の下面が乾燥する。

【0133】

なお、フレームユニット１７の進行方向後側に対してエアが噴射される際のフレームユニット１７の移動速度（後半の移動速度）は、その進行方向前側に対してエアが噴射される際のフレームユニット１７の移動速度（前半の移動速度）よりも遅くなるように変更されてもよい。例えば、後半の移動速度は、前半の移動速度の３／４倍以下、１／２倍以下又は１／４倍以下となるように変更されてもよい。

【0134】

あるいは、フレームユニット１７がエア噴射器８２の上方を通過する際には、徐々に遅くなるようにフレームユニット１７の移動速度が変更されてもよい。これらのようにフレームユニット１７の移動速度が変更される場合、ダイシングテープ１９の下面をより乾燥させやすくなる。

【0135】

上述した切削装置６０の搬送ユニット７８においては、保持機構によって保持されたフレームユニット１７の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾き調整機構がフレームユニット１７の傾きを調整し、かつ、エア噴射器８２が上方に向かってエアを噴射した状態で、エア噴射器８２の上方を通るようにＶ軸方向移動機構が保持機構によって保持されたフレームユニット１７を移動させる。

【0136】

すなわち、この搬送ユニット７８においては、フレームユニット１７の進行方向前側が進行方向後側よりも上になるように傾斜した状態でダイシングテープ１９の下面に対するエアの噴射が行われる。この場合、ダイシングテープ１９の下面に付着した加工液が、下面を伝いながらダイシングテープ１９の進行方向後側に向かって流れて、その後端から落下しやすくなる。

【0137】

そのため、この搬送ユニット７８を利用してフレームユニット１７を、例えば、チャックテーブル７０からスピンナテーブル７４に搬送する場合には、フレームユニット１７の移動速度を大きくすることができる。その結果、この搬送ユニット７８においては、ダイシングテープ１９の下面を乾燥させるとともに、スループットの低下を抑制することが可能となる。

【0138】

さらに、切削装置６０においては、スピンナテーブル７４からカセット６６にフレームユニット１７を搬送する際にも搬送ユニット７８が利用される。そのため、この切削装置６０においては、被加工物１１の加工に伴って下面が濡れたダイシングテープ１９を乾燥させることのみならず、被加工物１１の洗浄に伴って下面が濡れたダイシングテープ１９を乾燥させることもできる。

【0139】

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0140】

２ ：研削装置
４ ：基台（４ａ：窪み）
６ａ，６ｂ：カセット載置領域
８ａ，８ｂ：カセット
１０：搬送ユニット
１１：被加工物（１１ａ：表面、１１ｂ：裏面）
１２：位置調整機構
１３：分割予定ライン
１４：搬送ユニット
１５：デバイス
１６：ターンテーブル
１７：フレームユニット
１８：チャックテーブル
１９：ダイシングテープ
２０：支持構造
２１：フレーム（２１ａ：開口）
２２：移動機構
２４：ガイドレール
２６：移動プレート
２８：ねじ軸
３０：モータ
３２：研削ユニット
３４：スピンドルハウジング
３６：マウント
３８ａ，３８ｂ：研削ホイール
４０：モータ
４２：搬送ユニット
４４：保持機構（４４ａ：枠体、４４ｂ：ポーラス板）
４６：ボルト
４８：傾き調整機構（４８ａ：支持部材、４８ｂ：アーム、４８ｃ：モータ）
５０：圧縮コイルばね
５２：水平方向移動機構（５２ａ：支持軸、５２ｂ：モータ）
５４：鉛直方向移動機構（５４ａ：移動プレート、５４ｂ：ナット）
（５４ｃ：ねじ軸、５４ｄ：モータ）
５６：エア噴射器
５８：洗浄装置
６０：切削装置
６２：基台
６４：カセットテーブル
６６：カセット
６８：カセット載置領域
７０：チャックテーブル
７２：切削ユニット
７４：スピンナテーブル
７６：洗浄ユニット
７８：搬送ユニット
８０：クランプ
８２：エア噴射器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】