特開 2023-181148 磁気軸受用磁気回路装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023181148

(43)【公開日】2023-12-21

(54)【発明の名称】磁気軸受用磁気回路装置

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/04 20060101AFI20231214BHJP

   H01F 7/02 20060101ALI20231214BHJP

【ＦＩ】

F16C32/04 Z

H01F7/02 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023095671

(22)【出願日】2023-06-09

(31)【優先権主張番号】P 2022093856

(32)【優先日】2022-06-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000002060

【氏名又は名称】信越化学工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099623

【弁理士】

【氏名又は名称】奥山 尚一

(74)【代理人】

【識別番号】100125380

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 綾子

(74)【代理人】

【識別番号】100142996

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 聡二

(74)【代理人】

【識別番号】100166268

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 祐

(72)【発明者】

【氏名】太田 博之

【テーマコード（参考）】

3J102

【Ｆターム（参考）】

3J102AA01

3J102BA01

3J102CA26

3J102DA09

3J102DA16

3J102DA21

3J102DA28

3J102FA03

3J102FA20

(57)【要約】

【課題】複数の永久磁石からなる永久磁石リングと軟磁性体リングとを備えた磁気軸受用磁気回路装置において、永久磁石リングの軸方向端面付近の磁場の周方向均一度を向上させる。
【解決手段】磁気軸受用磁気回路装置は、複数の異方性永久磁石１１が周方向に配置されて成る永久磁石リングと、前記永久磁石リングの外周面に接する第１軟磁性体リング１２と、前記永久磁石リングの内周面に接する第２軟磁性体リング１３とを備える。前記複数の異方性永久磁石の各々は、当該異方性永久磁石の中心Ｃを通って径方向に延びる直線と平行に磁化されており、前記永久磁石リングの外周面は全体が同極であり、前記永久磁石リングの内周面は全体が同極であって前記永久磁石リングの外周面とは逆の極性であり、前記第１軟磁性体リング及び前記第２軟磁性体リングの少なくとも一方に、軸方向の溝１２ａ、１３ａが形成されている。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の異方性永久磁石が周方向に配置されて成る永久磁石リングと、
前記永久磁石リングの外周面に接する第１軟磁性体リングと、
前記永久磁石リングの内周面に接する第２軟磁性体リングと
を備え、
前記複数の異方性永久磁石の各々は、当該異方性永久磁石の中心を通って径方向に延びる直線と平行に磁化されており、
前記永久磁石リングの外周面は全体が同極であり、前記永久磁石リングの内周面は全体が同極であって前記永久磁石リングの外周面とは逆の極性であり、
前記第１軟磁性体リング及び前記第２軟磁性体リングの少なくとも一方に、軸方向の溝が形成されている、
磁気軸受用磁気回路装置。

【請求項2】

前記溝が前記永久磁石リングとの接触面に設けられている、請求項１に記載の磁気軸受用磁気回路装置。

【請求項3】

前記溝の深さが、当該溝が形成された前記第１軟磁性体リング又は前記第２軟磁性体リングの径方向厚さの１５％～３５％の範囲にある、請求項１又は２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。

【請求項4】

前記溝の数が、前記永久磁石リングを構成する異方性永久磁石の個数の整数倍である、請求項１又は２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。

【請求項5】

前記第１軟磁性体リングにおいては、周方向に隣り合う２つの前記異方性永久磁石の接触面と径方向に対向するように前記溝が形成され、
前記第２軟磁性体リングにおいては、前記複数の異方性永久磁石の各々における中心部と径方向に対向するように前記溝が形成されている、
請求項２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は磁気軸受用磁気回路装置に関する。

【背景技術】

【0002】

超電導磁気軸受は、リング状の超電導体部とリング状の永久磁石部とを有し、永久磁石が発生する磁場と超電導体による磁束ピン止め効果により、全方向無制御で安定した磁気浮上力を利用した軸受である。一般的な転がり軸受と比較すると、軸受の潤滑等のメンテナンスが不要、高寿命、粉塵が発生しない、高速回転が可能、などの利点がある。また、摺動、機械的摩擦が無いことにより、機械的損失が発生せず高効率を実現できるという利点がある。

【0003】

特許文献１に記載の超電導軸受装置は、回転軸と、前記回転軸に固定された第１磁石部と、前記回転軸に前記第１磁石部から軸方向に所定間隔を隔てて固定された第２磁石部とを有する回転体部と、前記第１磁石部と前記第２磁石部との間であって前記回転軸の周囲に配置され、かつ、前記第１磁石部に対向する第１対向面と前記第２磁石部に対向する第２対向面とを有する超電導体と、前記超電導体を冷却することによりピン止め効果を発現させる冷却部とを有する固定体部とを備えている。前記第１磁石部は、前記回転軸の周囲に配置され、かつ、前記第１対向面と対向する第１磁極面を有する第１永久磁石を有し、前記第２磁石部は、前記回転軸の周囲に配置され、かつ、前記第２対向面と対向する第２磁極面を有する第２永久磁石を有し、前記第１磁極面の極性と前記第２磁極面の極性とが逆極性である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４－９８４２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

複数の永久磁石からなる永久磁石リングと軟磁性体リングとを備えた磁気軸受用磁気回路装置において、永久磁石リングの軸方向端面付近の磁場が周方向に沿って均一でない場合、回転効率の低下につながる。

【0006】

本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであって、複数の永久磁石からなる永久磁石リングと軟磁性体リングとを備えた磁気軸受用磁気回路装置において、永久磁石リングの軸方向端面付近の磁場の周方向均一度を向上させることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、一実施形態に係る磁気軸受用磁気回路装置は、複数の異方性永久磁石が周方向に配置されて成る永久磁石リングと、前記永久磁石リングの外周面に接する第１軟磁性体リングと、前記永久磁石リングの内周面に接する第２軟磁性体リングとを備える。前記複数の異方性永久磁石の各々は、当該異方性永久磁石の中心を通って径方向に延びる直線と平行に磁化されており、前記永久磁石リングの外周面は全体が同極であり、前記永久磁石リングの内周面は全体が同極であって前記永久磁石リングの外周面とは逆の極性であり、前記第１軟磁性体リング及び前記第２軟磁性体リングの少なくとも一方に、軸方向の溝が形成されている。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、複数の永久磁石からなる永久磁石リングと軟磁性体リングとを備えた磁気軸受用磁気回路装置において、永久磁石リングの軸方向端面付近の磁場の周方向均一度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】検討例に係る磁気軸受用磁気回路装置の正面図である。

【図2】図１の部分拡大図である。

【図3】図１のＺ－Ｚ´線断面図である。

【図4】磁気軸受用磁気回路装置の周方向位置と磁場との関係を表すグラフである。

【図5】一実施形態に係る磁気軸受用磁気回路装置の正面図である。

【図6】図５の部分拡大図である。

【図7】図５のＡ－Ａ´線断面図である。

【図8】図５の部分拡大図である。

【図9】図５のＢ－Ｂ´線断面図である。

【図10】磁気軸受用磁気回路装置の周方向位置と磁場との関係を表す、別のグラフである。

【図11】磁気軸受用磁気回路装置の周方向位置と磁場との関係を表す、さらに別のグラフである。

【図12】スリットサイズと磁場のばらつきとの関係を表すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施の形態によって限定されるものではない。

【0011】

まず、本発明の発明者は、以下に述べるとおり鋭意検討を行った。

【0012】

超電導磁気軸受における超電導体として、捕捉磁場や浮上力に優れた市販の第２種超電導バルク磁石（ＹＢＣＯ、ＧｄＢＣＯ、ＥｕＢＣＯなど）が用いられる。また、超電導磁気軸受における永久磁石として、強い磁気応力を得るために、抗磁力が強く、発生磁場の強い永久磁石であるＮｄＦｅＢ系やＳｍＣｏ系の希土類焼結磁石が使用されることが多い。

【0013】

ＮｄＦｅＢ系やＳｍＣｏ系の希土類焼結磁石は、どちらも原料の粉を磁場中で配向させて成形しその後焼結して製造される。磁気特性の一つである残留磁束密度を向上させるには、配向時に理想的には全ての粉が同じ向きを向くことが重要であり、そのため、磁石の配向の向きは平行になっている。

【0014】

超電導磁気軸受の径方向寸法が比較的大きくなると、リング状の永久磁石部を単一の永久磁石により形成することは難しくなる。そのため、複数の永久磁石を周方向に並べることにより、リング状の永久磁石部を構成することになる。

【0015】

複数の磁石を周方向に並べてリングを構成し、各磁石の磁化方向が略径方向となるようにするのが一つの方法である。超電導磁気軸受においては、各磁石の軸方向端面付近に発生する径方向の磁場が利用される。磁石の配向方向が全てリングの径方向を向いたラジアル配向が理想的である。

【0016】

しかし、前述した、平行配向の異方性焼結磁石を用いると、各磁石の或る部分、例えば中央部においては磁化方向がリングの径方向と平行（磁化方向と径方向とのなす角度が０度）であったとしても、中央部から周方向に離れるにつれて磁化方向と径方向とのなす角度が大きくなる。リングを構成する永久磁石の個数をｎ個とすると、周方向に隣り合う２つの永久磁石のうち、一方の永久磁石の磁化方向と他方の永久磁石の磁化方向とがなす角度は、（３６０／ｎ）度である。

【0017】

ところで、リング状の永久磁石部により生じる、同永久磁石部の軸方向端面付近の磁場が、周方向に沿って均一でない場合、回転軸の回転中に磁場の変動あるいは脈動が磁気摩擦として発生することから、回転効率の低下さらには発熱につながる。

【0018】

平行配向の異方性焼結磁石を複数用いてリングを構成した場合、前述のとおり、周方向に隣り合う２つの永久磁石の磁化方向が当該２つの永久磁石の接触面付近において交差する。そのため、磁石の軸方向端面付近に発生する磁場が周方向に沿って均一ではない。また、複数の永久磁石を使用する場合、個々の磁石間に磁気特性のばらつきがあり、周方向の磁場均一度のさらなる低下につながる。

【0019】

従来、磁場の周方向均一度を高めるために、例えば純鉄や炭素鋼などの軟磁性体製のリングをリング状磁石部の内周側及び外周側にそれぞれ配置し、軟磁性体製のリング内に磁束を通す方法がある。しかし、磁場を均一にしようと軟磁性体製のリングの径方向厚さ（外半径と内半径の差）を大きくすると磁場強度が低下し、径方向厚さを小さくすると均一度がさほど向上しないという問題がある。

【0020】

図１及び図２に示すように、磁気軸受用磁気回路装置１００は、永久磁石リング１０と、永久磁石リング１０の外周面及び内周面に接するようにそれぞれ設けられ軟磁性体製である外周側軟磁性体リング１１２及び内周側軟磁性体リング１１３とを備えている。永久磁石リング１０は、いずれも略円弧形状であってサイズも略同じである３２個の永久磁石１１がリング状に並べられて成る。永久磁石１１は、その全体が、中心Ｃを通り径方向に延びる直線と平行な方向に磁化された異方性永久磁石である。全ての永久磁石１１において外周面の極性は同じであり、内周面の極性も同じであって外周面の極性とは逆の極性である。例えば、外周面がＮ極であり、内周面がＳ極である。周方向に隣り合う２つの永久磁石の磁化方向がなす角度は、３６０／３２＝１１．２５度である。

【0021】

図３は、図１の永久磁石１１の、径方向に延びるＺ－Ｚ´線に沿った断面図である。符号Ｗ１は、永久磁石１１の径方向の厚さ（外半径と内半径の差）を示す。符号Ｗ１２は、外周側軟磁性体リング１１２の径方向の厚さ（外半径と内半径の差）を示す。符号Ｗ１３は、内周側軟磁性体リング１１３の径方向の厚さ（外半径と内半径の差）を示す。また、図１の紙面上３時位置にある、周方向に隣り合う２つの永久磁石１１の接触面を０度位置とし、０度位置から反時計方向に４５度ずれた位置を４５度位置とする。

【0022】

符号Ｐ１は、後述する第１の仮想円の０度位置から４５度位置までの円弧である。第１の仮想円は、中心が磁気軸受用磁気回路装置１００の軸上にあり、半径が、外周側軟磁性体リング１１２の径方向の厚さＷ１２を２で割った値を磁気軸受用磁気回路装置１００の外半径から引いた値である。そして、この第１の仮想円は、外周側軟磁性体リング１１２の軸方向端面から軸方向外側に５ｍｍ（符号Ｈ１）離れた位置にある。

【0023】

符号Ｐ２は、後述する第２の仮想円の０度位置から４５度位置までの円弧である。第２の仮想円は、中心が磁気軸受用磁気回路装置１００の軸上にあり、半径が、内周側軟磁性体リング１１３の径方向の厚さＷ１３を２で割った値を磁気軸受用磁気回路装置１００の内半径に加えた値である。そして、この第２の仮想円は、内周側軟磁性体リング１１３の軸方向端面から軸方向外側に５ｍｍ（符号Ｈ２）離れた位置にある。

【0024】

永久磁石１１として、ＳｍＣｏ系の希土類焼結磁石（出願人の製造によるＲ３３Ｈグレード）を用い、外周側軟磁性体リング１１２及び内周側軟磁性体リング１１３には炭素鋼Ｓ４５Ｃを用いた。

【0025】

図４に、円弧Ｐ１及びＰ２に沿った磁場の変化を示す。横軸は、円弧Ｐ１及びＰ２における０度位置から４５度位置までの角度を示し、縦軸は、各円弧上の角度位置における測定磁場の大きさ｜Ｂ｜を、各円弧全体の平均磁場強度で割った値を示す。折れ線Ｇ１は円弧Ｐ１上の磁場を示し、折れ線Ｇ２は円弧Ｐ２上の磁場を示している。

【0026】

図４から、複数の永久磁石をリング状に組んでなるリング状の永久磁石部の軸方向端面付近に発生する磁場が、周方向に沿って均一とはいえないことが分かる。具体的には、磁場のピークが、折れ線Ｇ１から分かるように、円弧Ｐ１上では隣り合う２つの永久磁石の接触面付近（０度位置付近、１１．２５度位置付近、２２．５度位置付近、３３．７５度位置付近、４５度位置付近）で発生していることが分かる。他方、折れ線Ｇ２から分かるように、円弧Ｐ２上では各永久磁石の周方向中央部付近（５．６２５度位置付近、１６．８７５度位置付近、２８．１２５度位置付近、３９．３７５度位置付近）で発生していることが分かる。

【0027】

以上のような検討結果を踏まえた実施形態を以下に説明する。

【0028】

図５及び図６に示すように、磁気軸受用磁気回路装置１は、いずれも略円弧形状であってサイズも略同じである３２個の永久磁石１１がリング状に並べられて成る永久磁石リング１０を備えている。この点は、図１及び図２に示した磁気軸受用磁気回路装置１００と同様である。

【0029】

磁気軸受用磁気回路装置１はさらに、永久磁石リング１０の外周面及び内周面に接するようにそれぞれ設けられ軟磁性体製である外周側軟磁性体リング１２及び内周側軟磁性体リング１３を備えている。外周側軟磁性体リング１２の内周面には、周方向に隣り合う２つの永久磁石１１の接触面と径方向に対向する位置に、軸方向に延びるスリット（溝）１２ａが３２個形成されている。さらに、内周側軟磁性体リング１３の外周面には、永久磁石１１の中心Ｃと径方向に対向する位置に、軸方向に延びる複数のスリット１３ａが３２個形成されている。

【0030】

図５において、磁気軸受用磁気回路装置１の外径Ｄ１は２００ｍｍであり、内径Ｄ２は１６０ｍｍである。すなわち、磁気軸受用磁気回路装置１の径方向の厚さ（外半径と内半径の差）は２０ｍｍである。また、図７において、永久磁石リング１０の径方向の厚さＷ１は１０ｍｍであり、外周側軟磁性体リング１２の径方向の厚さＷ２及び内周側軟磁性体リング１３の径方向の厚さＷ３はいずれも５ｍｍである。また、磁気軸受用磁気回路装置１の軸方向寸法Ｔ１は２０ｍｍである。

【0031】

図８は、磁気軸受用磁気回路装置１の部分拡大図である。スリット１２ａ及び１３ａは断面半円状であり、それぞれの半径Ｒ１及びＲ２は１．２５ｍｍである。両スリットの軸方向長さは２０ｍｍであり、すなわち、軟磁性体リングの軸方向一端面から他端面まで通じている。
ここで、両スリットの深さ１．２５ｍｍは、両軟磁性体リングの径方向寸法５ｍｍの２５％であるため、スリットサイズ２５％と称する。

【0032】

図１に戻ると、符号Ｐ３は、後述する第３の仮想円の０度位置から４５度位置までの円弧である。第３の仮想円は、前述した第１の仮想円及び第２の仮想円の同心円であり、半径が、磁気軸受用磁気回路装置１００の内半径と、内周側軟磁性体リング１１３の径方向の厚さＷ１３と、永久磁石１１の径方向の厚さＷ１を２で割った値との和である。そして、この第３の仮想円は、永久磁石１１の軸方向端面から軸方向外側に５ｍｍ離れた位置にある。

【0033】

図５及び図９の符号Ｐ４は、後述する第４の仮想円の０度位置から４５度位置までの円弧である。第４の仮想円は、中心が磁気軸受用磁気回路装置１の軸上にあり、半径が、磁気軸受用磁気回路装置１の内半径（内径Ｄ２を２で割った値）と、内周側軟磁性体リング１３の径方向の厚さＷ３と、永久磁石１１の径方向の厚さを２で割った値との和である。そして、この第４の仮想円は、永久磁石１１の軸方向端面から軸方向外側に５ｍｍ（符号Ｈ３）離れた位置にある。

【0034】

永久磁石１１として、ＳｍＣｏ系の希土類焼結磁石（出願人の製造によるＲ３３Ｈグレード）を用い、外周側軟磁性体リング１２及び内周側軟磁性体リング１３には炭素鋼Ｓ４５Ｃを用いた。

【0035】

図１０に、円弧Ｐ３及びＰ４上の磁場を示す。横軸は、円弧Ｐ３及びＰ４における０度位置から４５度位置までの角度を示し、縦軸は、各円弧上の角度位置における測定磁場の大きさ｜Ｂ｜を、各円弧全体の平均磁場強度で割った値を示す。折れ線Ｇ３は円弧Ｐ３上の磁場を示し、折れ線Ｇ４は円弧Ｐ４上の磁場を示している。磁気軸受用磁気回路装置１は周期的な構成となっているため、磁場の測定範囲を０度位置から４５度位置までとした。

【0036】

図１０から、スリットサイズ２５％のスリットを設けた場合（折れ線Ｇ４）には、スリットがない場合（折れ線Ｇ３）に比べ、磁場の脈動が小さくなっており、磁場の均一度が向上していることが確認できる。

【0037】

図１１に、図１０と同様の折れ線Ｇ４を示すとともに、図５に示した磁気軸受用磁気回路装置１において、スリットサイズを１０％及び４０％とした場合の円弧Ｐ４上の磁場をそれぞれ折れ線Ｇ５及びＧ６として示す。スリットサイズ２５％のスリットを設けた場合には、スリットサイズ１０％及び４０％の場合に比べて、磁場の脈動が小さくなっていることが確認できる。

【0038】

図１２に、スリットサイズと磁場の脈動との関係を示す。横軸はスリットサイズを示し、縦軸は、円弧Ｐ４における最大発生磁場から最小発生磁場を引いた値（単位：Ｇａｕｓｓ）を示す。この結果から、スリットサイズが大き過ぎるか小さ過ぎると磁場の均一度が向上しないことが分かる。また、スリットサイズを１５％から３５％とすることで、発生磁場の最大値と最小値との差が４Ｇａｕｓｓを下回り、磁場の均一度が向上することが確認できる。したがって、スリットサイズは１５％程度から３５％程度の範囲内にあることが望ましい。

【0039】

以上のように、軟磁性体リングに対し軸方向に延びるスリット（溝）を周期的に設けることで、磁場の周方向均一度を向上させることができる。

【0040】

また、磁場強度を向上させるべく軟磁性体リングの径方向厚さを小さくすると、磁場の周方向均一度が低下する傾向がある。上記実施形態によれば、２つの軟磁性体リングのいずれも径方向厚さが永久磁石リングの径方向厚さの半分程度で済むため、磁場強度の向上と磁場の周方向均一度の向上とを両立させることができる。

【0041】

スリットは、軟磁性体リングの永久磁石との接触面に設けることが好ましい。スリットの位置は、永久磁石リングの外周面に接する軟磁性体リングにおいては、周方向に隣り合う２つの磁石の接触面付近が好ましく、永久磁石リングの内周面に接する軟磁性体リングにおいては、各磁石の中心部と径方向に対向する位置付近が好ましい。
スリットは、外周側の軟磁性体リング及び内周側の軟磁性体リングの両方に設けてもよいし、いずれか一方にのみ設けてもよい。
スリットの軟磁性体リングに対する径方向および周方向の大きさは、大きすぎるとかえって磁場の均一度を悪化させてしまうため、軟磁性体リングの径方向厚さの１５％から３５％程度が望ましい。
また、スリットの数は、永久磁石リングにおける永久磁石の個数ｎの整数倍が望ましい。スリットの軸方向視形状は、半円に限られず、三角形、四角形などの任意の形状とすることができる。スリットは、軟磁性体リングの軸方向一端面から軸方向他端面まで全域に設けてもよいし、部分的に設けてもよい。

【0042】

上記実施形態に係る磁気軸受用磁気回路装置は、永久磁石と超電導体が作用し合う超電導磁気軸受のみならず、永久磁石同士が作用し合う磁気軸受及び永久磁石と電磁石が作用し合う磁気軸受を含む磁気軸受一般に適用可能である。

【0043】

これまでに説明した実施形態に関し、以下の付記を開示する。
［付記１］
複数の異方性永久磁石が周方向に配置されて成る永久磁石リングと、
前記永久磁石リングの外周面に接する第１軟磁性体リングと、
前記永久磁石リングの内周面に接する第２軟磁性体リングと
を備え、
前記複数の異方性永久磁石の各々は、当該異方性永久磁石の中心を通って径方向に延びる直線と平行に磁化されており、
前記永久磁石リングの外周面は全体が同極であり、前記永久磁石リングの内周面は全体が同極であって前記永久磁石リングの外周面とは逆の極性であり、
前記第１軟磁性体リング及び前記第２軟磁性体リングの少なくとも一方に、軸方向の溝が形成されている、
磁気軸受用磁気回路装置。
［付記２］
前記溝が前記永久磁石リングとの接触面に設けられている、付記１に記載の磁気軸受用磁気回路装置。
［付記３］
前記溝の深さが、当該溝が形成された前記第１軟磁性体リング又は前記第２軟磁性体リングの径方向厚さの１５％～３５％の範囲にある、付記１又は２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。
［付記４］
前記溝の数が、前記永久磁石リングを構成する異方性永久磁石の個数の整数倍である、付記１又は２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。
［付記５］
前記第１軟磁性体リングにおいては、周方向に隣り合う２つの前記異方性永久磁石の接触面と径方向に対向するように前記溝が形成され、
前記第２軟磁性体リングにおいては、前記複数の異方性永久磁石の各々における中心部と径方向に対向するように前記溝が形成されている、
付記２に記載の磁気軸受用磁気回路装置。

【0044】

以上、本発明の実施の形態につき述べたが、本発明は既述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。

【符号の説明】

【0045】

１、１００ 磁気軸受用磁気回路装置
１０ 永久磁石リング
１１ 永久磁石
１２、１３、１１２、１１３ 軟磁性体リング
１２ａ、１３ａ 溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】