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特開2023-181311先進の半導体プロセス最適化および生産中の適応制御
発明の名称 先進の半導体プロセス最適化および生産中の適応制御
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド （識別番号 390040660）
特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 35 位（547件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2023-181311
公報発行日 2023年12月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-181311
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