特開 2023-181576出願番号 特願 2022-94784
保護部材形成装置、および、液状樹脂の供給量の算出方法
出願人 株式会社ディスコ（識別番号 134051）
2026年 特許公開件数ランキング 39位 412件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 26位 476件（※）
公報発行日 2023年12月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-181576 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】バンプを備えたウェーハに応じて、液状樹脂の供給量を自動で算出し、調整する保護部材形成装置と液状樹脂の供給量の算出方法を提供する。
【解決手段】一方の面にバンプを有するウェーハの該一方の面を保護する保護部材を形成する保護部材形成装置であって、該カメラが撮像した撮像画によって該ウェーハの外周から外に該樹脂がはみ出した幅と、該シート保持テーブルと該ウェーハ保持テーブルとの距離とから、該樹脂がはみ出した体積を算出して、次から第一シートの上面に供給する液状樹脂の供給量を算出する液状樹脂の供給量算出部と、を備える保護部材形成装置。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の保護部材形成装置と、液状樹脂の供給量の算出方法によれば、バンプを備えたウェーハに応じて、液状樹脂の供給量を自動で算出し、調整することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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