発明の名称 乾燥機構
出願人 株式会社ディスコ (識別番号 134051)
特許公開件数ランキング 41 位(538件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 42 位(485件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-183582
公報発行日 2023年12月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-183582
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