(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023018522
(43)【公開日】2023-02-08
(54)【発明の名称】ウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230201BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021122709
(22)【出願日】2021-07-27
(71)【出願人】
【識別番号】000190149
【氏名又は名称】信越半導体株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100102532
【弁理士】
【氏名又は名称】好宮 幹夫
(74)【代理人】
【識別番号】100194881
【弁理士】
【氏名又は名称】小林 俊弘
(74)【代理人】
【識別番号】100215142
【弁理士】
【氏名又は名称】大塚 徹
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 聖二
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131CA15
5F131DA32
5F131DA42
5F131GA14
5F131GA15
5F131GA83
5F131GA84
5F131GA92
5F131HA29
5F131JA04
5F131JA16
5F131JA27
5F131JA28
5F131JA33
5F131JA34
(57)【要約】
【課題】ウェーハの搬送に伴って密閉収納容器の蓋を開閉する時や、ロードポートドアを上昇・下降する時の発塵量を低減することができるウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ搬送方法であって、密閉収納容器からウェーハを出して搬送ロボットによりウェーハを搬送するか、または、搬送ロボットにより搬送されたウェーハを密閉収納容器に入れるにあたって、搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、密閉収納容器の蓋を保持してウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、ロードポート架台に載置された密閉収納容器において、容器本体に対する蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させるウェーハ搬送方法。
【選択図】図１
【解決手段】ウェーハ搬送方法であって、密閉収納容器からウェーハを出して搬送ロボットによりウェーハを搬送するか、または、搬送ロボットにより搬送されたウェーハを密閉収納容器に入れるにあたって、搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、密閉収納容器の蓋を保持してウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、ロードポート架台に載置された密閉収納容器において、容器本体に対する蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させるウェーハ搬送方法。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と、搬送ロボットを格納した搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートを介して、前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するウェーハ搬送方法であって、
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、
ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、
前記ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させることを特徴とするウェーハ搬送方法。
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、
ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、
前記ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させることを特徴とするウェーハ搬送方法。
【請求項2】
前記ロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ搬送方法。
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ搬送方法。
【請求項3】
搬送ロボットが格納された搬送室と、
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記ロードポートドアは、
前記ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるラッチキー駆動機構を備えており、
前記制御装置は、
前記ラッチキー駆動機構の駆動制御が可能であり、該ラッチキー駆動機構による前記ラッチキーの回転駆動の回転速度の設定値が６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記ロードポートドアは、
前記ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるラッチキー駆動機構を備えており、
前記制御装置は、
前記ラッチキー駆動機構の駆動制御が可能であり、該ラッチキー駆動機構による前記ラッチキーの回転駆動の回転速度の設定値が６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
【請求項4】
前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ搬送装置。
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とする請求項３に記載のウェーハ搬送装置。
【請求項5】
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と、搬送ロボットを格納した搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートを介して、前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するウェーハ搬送方法であって、
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とするウェーハ搬送方法。
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とするウェーハ搬送方法。
【請求項6】
搬送ロボットが格納された搬送室と、
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
シリコン等の半導体ウェーハ（以下、単に、ウェーハとも言う）を製造する工程で使用される装置のＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）におけるロードポートや半導体ウェーハを収納する密閉収納容器（以下、単に、収納容器とも言う）であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）などの位置関係はＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって規定されている（特許文献１参照）。
【0003】
ここで、ロードポートによってＦＯＵＰの蓋が開いた際に、ＦＯＵＰ内がロードポートなどの装置やＦＯＵＰのパッキンなどから発塵したダストを含む外気の流入によって汚染されることがある。ＦＯＵＰに収納された半導体ウェーハの欠陥の原因となるため装置などの設備導入時などに、ＦＯＵＰの蓋を聞けた際にＦＯＵＰ内にどの程度のダストが流入するかを評価している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００５－２７７２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明者が上記のようなダスト流入評価について鋭意研究を行ったところ、ウェーハの搬送において、搬送対象のウェーハを収納するための密閉収納容器の蓋の開閉時やロードポートドアの上昇・下降時に発塵しており、その発塵したダストが密閉収納容器内に流入してウェーハに付着する場合があることを見出した。
【0006】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、ウェーハの搬送に伴って密閉収納容器の蓋を開閉する時や、ロードポートドアを上昇・下降する時の発塵量を低減することができるウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と、搬送ロボットを格納した搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートを介して、前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するウェーハ搬送方法であって、
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、
ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、
前記ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させることを特徴とするウェーハ搬送方法を提供する。
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアに備えられたラッチキー駆動機構によって、
ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるとき、
前記ラッチキーを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下の回転速度で回転駆動させることを特徴とするウェーハ搬送方法を提供する。
【0008】
このような本発明のウェーハ搬送方法であれば、ラッチキーを上記速度で回転駆動させるため、密閉収納容器の蓋を比較的低速で開閉（容器本体に対して固定または固定解除）することができる。そのため、蓋の開閉時において発塵するダストの量を低減することができ、ウェーハへ付着するダスト量を低減することができる。
【0009】
このとき、前記ロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることができる。
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることができる。
【0010】
このようにすれば、ロードポートドアを上記速度で上昇または下降させるため、比較的低速でウェーハ搬出入口に対する嵌合・離脱や移動をすることができる。そのため、ロードポートドアの上昇・下降時において発塵するダストの量も低減することができ、より一層、ウェーハへのダストの付着量を低減できる。
【0011】
また本発明は、搬送ロボットが格納された搬送室と、
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記ロードポートドアは、
前記ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるラッチキー駆動機構を備えており、
前記制御装置は、
前記ラッチキー駆動機構の駆動制御が可能であり、該ラッチキー駆動機構による前記ラッチキーの回転駆動の回転速度の設定値が６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置を提供する。
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記ロードポートドアは、
前記ロードポート架台に載置された前記密閉収納容器において、前記容器本体に対する前記蓋の固定および固定解除のためのラッチキーを回転駆動させるラッチキー駆動機構を備えており、
前記制御装置は、
前記ラッチキー駆動機構の駆動制御が可能であり、該ラッチキー駆動機構による前記ラッチキーの回転駆動の回転速度の設定値が６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置を提供する。
【0012】
このような本発明のウェーハ搬送装置であれば、密閉収納容器の蓋の開閉が比較的低速で行われるものとなり、蓋の開閉時の発塵量やウェーハへのダスト付着量が低減可能なものとなる。
【0013】
この場合、前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であるものとすることができる。
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であるものとすることができる。
【0014】
このようなものであれば、ロードポートドアのウェーハ搬出入口に対する嵌合・離脱や移動が比較的低速で行われるものとなり、ロードポートドアの上昇・下降時の発塵量も低減でき、ウェーハへのダスト付着量もさらに低減可能なものとなる。
【0015】
また本発明は、ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と、搬送ロボットを格納した搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートを介して、前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するウェーハ搬送方法であって、
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とするウェーハ搬送方法を提供する。
前記密閉収納容器から前記ウェーハを出して前記搬送ロボットにより前記ウェーハを搬送するか、または、前記搬送ロボットにより搬送された前記ウェーハを前記密閉収納容器に入れるにあたって、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアを、
前記ウェーハ搬出入口から下降して離脱させるか、前記ウェーハ搬出入口へ上昇して嵌合させるとき、
前記ロードポートドアの下降速度と上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とすることを特徴とするウェーハ搬送方法を提供する。
【0016】
このような本発明のウェーハ搬送方法であれば、ロードポートドアを上記速度で上昇または下降させるため、比較的低速でウェーハ搬出入口に対する嵌合・離脱や移動をすることができる。そのため、ロードポートドアの上昇・下降時において発塵するダストの量を低減することができ、ウェーハへ付着するダスト量を低減することができる。
【0017】
また本発明は、搬送ロボットが格納された搬送室と、
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置を提供する。
ウェーハを収納する容器本体および該容器本体の開口部を開閉する蓋を備えた密閉収納容器と前記搬送室との間で、前記ウェーハの出し入れを行うためのロードポートと
を備えたウェーハ搬送装置であって、
前記ロードポートは、
前記搬送室のウェーハ搬出入口に嵌合可能であり、かつ、前記密閉収納容器の蓋を保持して前記ウェーハ搬出入口からの離脱が可能なロードポートドアと、
前記密閉収納容器の蓋が前記ウェーハ搬出入口と対向するように前記密閉収納容器が載置されるロードポート架台と、
前記ロードポートドアを駆動制御する制御装置と
を備えており、
前記制御装置は、
前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口からの離脱における下降速度の設定値、および、前記ロードポートドアの前記ウェーハ搬出入口への嵌合における上昇速度の設定値が、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下であることを特徴とするウェーハ搬送装置を提供する。
【0018】
このような本発明のウェーハ搬送装置であれば、ロードポートドアのウェーハ搬出入口に対する嵌合・離脱や移動が比較的低速で行われるものとなり、ロードポートドアの上昇・下降時の発塵量やウェーハへのダスト付着量が低減可能なものとなる。
【発明の効果】
【0019】
本発明のウェーハ搬送方法およびウェーハ搬送装置であれば、ウェーハの搬送に伴う密閉収納容器の蓋の開閉時やロードポートドアの上昇・下降時におけるダストの発塵量を低減してウェーハへの付着量を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明のウェーハ搬送装置の一例を示す説明図である。
【図2】一般的な密閉収納容器の一例を示す説明図である。
【図3】蓋閉塞時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。
【図4】蓋開放時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。
【図5】ラッチキー駆動機構の一例を示す説明図である。
【図6】ロードポートドアが密閉収納容器の蓋を保持したまま下降した場合の様子を示す説明図である。
【図7】実施例１～２、比較例１～２における作業前後のパーティクル増加個数を示すグラフである。
【図8】実施例３～６における作業前後のパーティクル増加個数を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、本発明についてより詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
まず本発明者が本発明を見出すに至った経緯について説明する。
本発明者は密閉収納容器（ここではＦＯＵＰを例に挙げて説明する）の蓋を開けた際に
ＦＯＵＰ内に侵入する外気の流れについて調査した。
その結果、ＦＯＵＰ内に全てウェーハが載置された状態でロードポートのロードポートドアによりＦＯＵＰの蓋を開けると、容器本体と蓋の隙間から外気が流れ込む。より具体的には、容器本体の上壁（天板）と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。これと同時に容器本体の下壁（底面）と、最も下に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁（奥壁）に向かって外気が導入される。それぞれ奥壁に達した外気の流れは当該奥壁に沿って流れ、上側の外気は下側へ、下側の外気は上側へと流れることが確認された。
まず本発明者が本発明を見出すに至った経緯について説明する。
本発明者は密閉収納容器（ここではＦＯＵＰを例に挙げて説明する）の蓋を開けた際に
ＦＯＵＰ内に侵入する外気の流れについて調査した。
その結果、ＦＯＵＰ内に全てウェーハが載置された状態でロードポートのロードポートドアによりＦＯＵＰの蓋を開けると、容器本体と蓋の隙間から外気が流れ込む。より具体的には、容器本体の上壁（天板）と、最も上側に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁に向かって外気が導入される。これと同時に容器本体の下壁（底面）と、最も下に位置するウェーハとの間の空間を通って、蓋側から最奥部の側壁（奥壁）に向かって外気が導入される。それぞれ奥壁に達した外気の流れは当該奥壁に沿って流れ、上側の外気は下側へ、下側の外気は上側へと流れることが確認された。
【0022】
ここで、ＦＯＵＰの蓋開閉機構や搬送室内のウェーハ搬送ロボットなど各所から発塵する可能性があり、ＦＯＵＰの蓋を開けた際に、容器本体内に流れ込む外気にダストが含まれることが多い。特には、蓋の開閉時やロードポートドアの上昇・下降時に発塵が生じていると考えられた。
【0023】
そして本発明者は、ＦＯＵＰ等の密閉収納容器の蓋の開閉のためにラッチキーを回転駆動させる際に、その回転速度を６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下にすること、また、ウェーハ搬出入口に対する嵌合・離脱や移動のためにロードポートドアを上昇・下降させる際に、それらの速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下にすることで、蓋の開閉時やロードポートドアの上昇・下降時の発塵量、ひいてはウェーハへのダストの付着量の低減を図ることができることを見出し、本発明を完成させた。
【0024】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図１に本発明のウェーハ搬送装置（移載装置）１の一例を示す。なお、一般的な密閉収納容器（ＦＯＵＰ）２と、処理装置２０を併せて図示している。ここでは密閉収納容器２の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。例えばＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）のタイプとすることもできる。
ウェーハ搬送装置１の搬送（移載）対象のウェーハＷは特に限定されず、例えば半導体シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハなど各種半導体ウェーハが挙げられ、特には研磨されたシリコンウェーハや、エピタキシャル成長にて成膜したシリコンウェーハとすることができる。
その他、ガラス基板などのウェーハ状のものも搬送可能な装置である。
図１に本発明のウェーハ搬送装置（移載装置）１の一例を示す。なお、一般的な密閉収納容器（ＦＯＵＰ）２と、処理装置２０を併せて図示している。ここでは密閉収納容器２の一例として、ＦＯＵＰのタイプを挙げて説明するが、タイプは特に限定されない。例えばＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）のタイプとすることもできる。
ウェーハ搬送装置１の搬送（移載）対象のウェーハＷは特に限定されず、例えば半導体シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハなど各種半導体ウェーハが挙げられ、特には研磨されたシリコンウェーハや、エピタキシャル成長にて成膜したシリコンウェーハとすることができる。
その他、ガラス基板などのウェーハ状のものも搬送可能な装置である。
【0025】
ここで、一般的なＦＯＵＰ２について図を参照して説明する。
図２のＦＯＵＰ２はウェーハを収納する密閉収納容器である。ＦＯＵＰ２は、容器本体３と蓋４とを備える。容器本体３は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に開口部を有する。この開口部からウェーハの出し入れが行われる。図２において、容器本体３の前面は右側の面である。蓋４は容器本体３の前面の開口部を開閉するためのものである。蓋４がパッキン（不図示）を介して閉まると容器本体３の内側は密閉される。
ＦＯＵＰ２内にウェーハＷを収納して搬送する場合、通常、ウェーハＷはフル充填されている。なお、通常ではフル充填の枚数は例えば２５枚であるが、図面では簡便のため８枚で描いている。
図２のＦＯＵＰ２はウェーハを収納する密閉収納容器である。ＦＯＵＰ２は、容器本体３と蓋４とを備える。容器本体３は複数のウェーハを収納可能に形成されており、前面に開口部を有する。この開口部からウェーハの出し入れが行われる。図２において、容器本体３の前面は右側の面である。蓋４は容器本体３の前面の開口部を開閉するためのものである。蓋４がパッキン（不図示）を介して閉まると容器本体３の内側は密閉される。
ＦＯＵＰ２内にウェーハＷを収納して搬送する場合、通常、ウェーハＷはフル充填されている。なお、通常ではフル充填の枚数は例えば２５枚であるが、図面では簡便のため８枚で描いている。
【0026】
ここで、蓋４の開閉機構について説明する。
図３は蓋閉塞時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。また、図４は蓋開放時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。
蓋４はラッチキー５を備えており、該ラッチキー５の回転駆動により、蓋４の開閉（施錠や解除）、すなわち、容器本体３に対して蓋４を固定したり、固定解除したりすることができる。より具体的には、ラッチキーの穴（穴）６を有しており、後述するラッチキーの爪７を穴６に挿入して回転駆動することで、蓋４の開閉が可能である。ここでは、蓋４の閉塞時は穴６の向きは縦穴である。そして、蓋４の開放時は穴６の向きは９０度時計回りに回転した横穴である。このような仕組みにより蓋４の開閉が可能である。なお、当然、ラッチキー５の仕組み自体はこれに限定されるものではない。
図３は蓋閉塞時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。また、図４は蓋開放時における蓋の正面図と密閉収納容器の側面図である。
蓋４はラッチキー５を備えており、該ラッチキー５の回転駆動により、蓋４の開閉（施錠や解除）、すなわち、容器本体３に対して蓋４を固定したり、固定解除したりすることができる。より具体的には、ラッチキーの穴（穴）６を有しており、後述するラッチキーの爪７を穴６に挿入して回転駆動することで、蓋４の開閉が可能である。ここでは、蓋４の閉塞時は穴６の向きは縦穴である。そして、蓋４の開放時は穴６の向きは９０度時計回りに回転した横穴である。このような仕組みにより蓋４の開閉が可能である。なお、当然、ラッチキー５の仕組み自体はこれに限定されるものではない。
【0027】
次に、図１を参照して本発明のウェーハ搬送装置１について説明する。
まずウェーハ搬送装置１はＥＦＥＭ１１を有している。このＥＦＥＭ１１はＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを、ＦＯＵＰ２から処理装置２０まで、ミニエンバイロメント方式で搬送する。ＥＦＥＭ１１は、搬送ロボット１２と、搬送室１３、ロードポート１４とを備える。
搬送ロボット１２はＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを取り出して搬送するものである。また、搬送ロボット１２は、ＦＯＵＰ２にウェーハＷを入れて収納することもできる。
搬送室１３は搬送ロボット１２を格納する。搬送ロボッ卜１２によりＦＯＵＰ２より取り出されたウェーハＷは搬送室１３を介して処現装置２０に搬送される。またその逆に、処理装置２０で処理されたウェーハＷを搬送し、搬送室１３を介してＦＯＵＰ２に入れることもできる。なお、搬送室１３の壁には、ＦＯＵＰ２との間でのウェーハＷの搬出入のためのウェーハ搬出入口１８が設けられている。
まずウェーハ搬送装置１はＥＦＥＭ１１を有している。このＥＦＥＭ１１はＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを、ＦＯＵＰ２から処理装置２０まで、ミニエンバイロメント方式で搬送する。ＥＦＥＭ１１は、搬送ロボット１２と、搬送室１３、ロードポート１４とを備える。
搬送ロボット１２はＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを取り出して搬送するものである。また、搬送ロボット１２は、ＦＯＵＰ２にウェーハＷを入れて収納することもできる。
搬送室１３は搬送ロボット１２を格納する。搬送ロボッ卜１２によりＦＯＵＰ２より取り出されたウェーハＷは搬送室１３を介して処現装置２０に搬送される。またその逆に、処理装置２０で処理されたウェーハＷを搬送し、搬送室１３を介してＦＯＵＰ２に入れることもできる。なお、搬送室１３の壁には、ＦＯＵＰ２との間でのウェーハＷの搬出入のためのウェーハ搬出入口１８が設けられている。
【0028】
ロードポート１４はＦＯＵＰ２と搬送室１３との間でウェーハＷを受け渡すためのインターフェースである。ＦＯＵＰ２と搬送室１３との間でウェーハＷの出し入れする場合にはこのロードポートを介することになる。すなわち、ロードポート１４の駆動が必要になる。
このロードポート１４は、ロードポート架台（架台）１５と、ロードポートドア（ドア）１６と、制御装置１７を備える。
このロードポート１４は、ロードポート架台（架台）１５と、ロードポートドア（ドア）１６と、制御装置１７を備える。
【0029】
架台１５は、ＦＯＵＰ２を載置する箇所である。ＦＯＵＰ２の蓋４がウェーハ搬出入口１８と対向した状態で載置できるように高さや位置が調節されている。
ドア１６は、ウェーハ搬出入口１８を開閉するためのものである。すなわち、ドア１６は、ウェーハ搬出入口１８に嵌合可能であり、その開口を閉じることができる。かつ、ウェーハ搬出入口１８からの離脱が可能であり、その開口を開けることもできるものである。
また、ドア１６には、前述したＦＯＵＰ２の蓋４におけるラッチキー５を回転駆動させるためのラッチキー駆動機構１９が組み込まれている。図５にラッチキー駆動機構の一例を示す。ラッチキー駆動機構１９には、例えば、ラッチキーの穴６に挿入可能なラッチキーの爪（爪）７が備えられている。この爪７が穴６に挿入されて回転駆動されることにより、ラッチキー５が回転駆動されて蓋４の開閉が行われる仕組みになっている。
ドア１６は、ウェーハ搬出入口１８を開閉するためのものである。すなわち、ドア１６は、ウェーハ搬出入口１８に嵌合可能であり、その開口を閉じることができる。かつ、ウェーハ搬出入口１８からの離脱が可能であり、その開口を開けることもできるものである。
また、ドア１６には、前述したＦＯＵＰ２の蓋４におけるラッチキー５を回転駆動させるためのラッチキー駆動機構１９が組み込まれている。図５にラッチキー駆動機構の一例を示す。ラッチキー駆動機構１９には、例えば、ラッチキーの穴６に挿入可能なラッチキーの爪（爪）７が備えられている。この爪７が穴６に挿入されて回転駆動されることにより、ラッチキー５が回転駆動されて蓋４の開閉が行われる仕組みになっている。
【0030】
なお、ラッチキー駆動機構１９によりラッチキー５が回転駆動して解除され、容器本体３の開口部を開放した蓋４はドア１６に保持され、ドア１６と一体となって上下に移動可能になる。図６は、ドア１６が蓋４を保持した状態でウェーハ搬出入口１８から離脱して下降した場合の様子である。
必要に応じて、ドア１６に吸着具（不図示）などを設け、該吸着具により蓋４をより強固に保持可能な構造とすることもできる。
必要に応じて、ドア１６に吸着具（不図示）などを設け、該吸着具により蓋４をより強固に保持可能な構造とすることもできる。
【0031】
一方、一体となった蓋４やドア１６の位置が容器本体３の開口部やウェーハ搬出入口１８にまで上昇して位置し、ラッチキー駆動機構１９により蓋４のラッチキー５が回転駆動して施錠されると、容器本体３の開口部は蓋４によって閉塞される。このようにしてＦＯＵＰ２の蓋４が閉塞された状態では、同時にドア１６がウェーハ搬出入口１８に嵌合して閉めており、このとき搬送室１３の内側は密閉される。図１はこの密閉状態の様子を示している。
【0032】
ところで、前述したドア１６の上下の移動（上昇および下降の駆動）や、それに組み込まれたラッチキー駆動機構１９の駆動（ラッチキーの爪７の回転駆動）は制御装置１７により制御可能になっている。この制御装置１７は、例えばコンピュータとすることができる。予め設定した所定のプログラムによって自動的にそれらの駆動を制御するものとすることができる。
【0033】
制御装置１７の第一態様では、ラッチキー駆動機構１９によるラッチキー５の回転駆動の回転速度は６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下（かつ、０ｄｅｇ／ｓｅｃより大）の設定値でプログラムされており、比較的低速度で蓋４の開閉が行われるものとなっている。本発明者は、このラッチキー５の回転速度によって、発塵するダストの量が異なることを見出した。そして、このような低速度のため、蓋４の開閉に伴う発塵量を低減できる。これにより、蓋４の開閉時に搬送室１３から容器本体３内に流れ込む外気中に含まれるダストの量を低減することができ、ウェーハＷへのダスト付着量の低減を図ることができる。
【0034】
また、制御装置１７の第二態様では、ドア１６のウェーハ搬出入口１８からの離脱における下降速度が１００ｍｍ／ｓｅｃ以下（かつ、０ｍｍ／ｓｅｃより大）の設定値でプログラムされており、また、ドア１６のウェーハ搬出入口１８への嵌合における上昇速度が１００ｍｍ／ｓｅｃ以下（かつ、０ｍｍ／ｓｅｃより大）の設定値でプログラムされている。上昇・下降のいずれにしても、比較的低速度でドア１６（および保持した蓋４）の移動が行われるものとなっている。本発明者は、このドア１６の上昇・下降速度によっても、発塵するダストの量が異なることを見出した。そして、このような低速度のため、ドア１６の上昇・下降に伴う発塵量を低減でき、ひいては、容器本体３内に搬送室１３から容器本体３内に流れ込む外気中に含まれるダストの量を低減でき、その結果、ウェーハＷへのダスト付着量の低減を図ることができる。
【0035】
本発明における制御装置１７は上記のような第一態様または第二態様のどちらかの設定値を備えていることが必須であるが、特に第三態様として、第一態様と第二態様の両方の設定値を備えたものとすることができる。このようなものであれば、蓋４の開閉時とドア１６の上昇・下降時の両方における発塵量を低減でき、より一層、ウェーハＷへのダスト付着量を低減できるので、より好ましい。
【0036】
次に、本発明のウェーハ搬送方法について説明する。
ＦＯＵＰ２から取り出して処理装置２０までウェーハＷを搬送する場合、まず、ＦＯＵＰ２を架台１５の所定の位置に配置する。このとき、ＦＯＵＰ２の蓋４と、ウェーハ搬出入口１８と嵌合しているロードポート１４のドア１６とが対向するように配置される。
そして、ＦＯＵＰ２の蓋４をロードポート１４のドア１６に保持させるとともに、ラッチキー駆動機構１９によりラッチキー５を回転駆動させて解除し、蓋４を開く。このラッチキー５の回転駆動時において、制御装置１７の自動制御により、その回転速度を６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下という比較的低速度で回転駆動する。
そして、蓋４と一体化したドア１６をウェーハ搬出入口１８から下降して離脱させるが、制御装置１７の自動制御により、そのときの下降速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下という比較的低速度で下降させる。
その後、ＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを搬送ロボット１２によって取り出し、処理装置２０まで搬送する。これにより、ウェーハＷのミニエンバイロメント方式の搬送が行われる。
ＦＯＵＰ２から取り出して処理装置２０までウェーハＷを搬送する場合、まず、ＦＯＵＰ２を架台１５の所定の位置に配置する。このとき、ＦＯＵＰ２の蓋４と、ウェーハ搬出入口１８と嵌合しているロードポート１４のドア１６とが対向するように配置される。
そして、ＦＯＵＰ２の蓋４をロードポート１４のドア１６に保持させるとともに、ラッチキー駆動機構１９によりラッチキー５を回転駆動させて解除し、蓋４を開く。このラッチキー５の回転駆動時において、制御装置１７の自動制御により、その回転速度を６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下という比較的低速度で回転駆動する。
そして、蓋４と一体化したドア１６をウェーハ搬出入口１８から下降して離脱させるが、制御装置１７の自動制御により、そのときの下降速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下という比較的低速度で下降させる。
その後、ＦＯＵＰ２に収納されたウェーハＷを搬送ロボット１２によって取り出し、処理装置２０まで搬送する。これにより、ウェーハＷのミニエンバイロメント方式の搬送が行われる。
【0037】
なお、上記ではラッチキー５の回転駆動時（蓋４の開放時）の回転速度の制御とドア１６の下降速度の制御の両方を行う場合について説明したが、本発明のウェーハ搬送方法では少なくともこれらのうちの一方を行えば良い。ただし、両方行うのがより好ましい。
【0038】
また、逆に、処理装置２０で処理したウェーハＷを搬送ロボット１２により搬送してＦＯＵＰ２に収納する場合は、ウェーハＷを収納後、下降していたドア１６（および蓋４）を上昇させてウェーハ搬出入口１８に嵌合させるときの上昇速度を１００ｍｍ／ｓｅｃ以下とする。そして、蓋４での閉塞時のラッチキー５の回転駆動時の回転速度を６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下とする。
【0039】
上述の通り、ＦＯＵＰ２は蓋４によって密閉されているため、例えば蓋４が開くと内側が負圧となる。ＦＯＵＰ２の内側が負圧になると、外気が流れ込み、空気中のダストが容器本体３内に侵入する。このようにウェーハＷの搬出または搬入に伴う蓋４の開放または閉塞時には、容器本体３内の圧力変動やダストの流入が生じ得る。そこで、上記のように、ラッチキー５の回転駆動やドア１６の上昇・下降の移動のスピード調整をすることによって、その動作に伴う各所から発生して空気中に含まれてしまうダスト量を低減する。その結果、後に容器本体３内に流入してウェーハＷに付着するダスト量を低減することができる。
【実施例0040】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明は
これらに限定されるものではない。
（実施例１）
直径３００ｍｍのＰ型（１００）ウェーハを２５枚充填（フル充填）したＦＯＵＰを用意した。このＦＯＵＰを、図１に示す本発明のウェーハ搬送装置のロードポートの架台に載置して、ドアのラッチキー駆動機構であるラッチキーの爪をＦＯＵＰの蓋のラッチキーの穴に差し込んで回転させて、ドアと蓋を開放する動作（蓋と一体化したドアをウェーハ搬出入口から離脱する動作。このとき、蓋は容器本体から離脱する）を行った。次に、ドアを下降させることなくドアと蓋を閉め、ラッチキーの爪を先程と逆に回転させてＦＯＵＰの蓋を閉状態（施錠）とした。
これらの一連の作業をドア及び蓋開閉作業として１００回繰り返した。
ラッチキー駆動機構を駆動制御する制御装置において、この際のラッチキー（ラッチキーの爪）の回転スピードは５０ｄｅｇ／ｓｅｃとした。
これらに限定されるものではない。
（実施例１）
直径３００ｍｍのＰ型（１００）ウェーハを２５枚充填（フル充填）したＦＯＵＰを用意した。このＦＯＵＰを、図１に示す本発明のウェーハ搬送装置のロードポートの架台に載置して、ドアのラッチキー駆動機構であるラッチキーの爪をＦＯＵＰの蓋のラッチキーの穴に差し込んで回転させて、ドアと蓋を開放する動作（蓋と一体化したドアをウェーハ搬出入口から離脱する動作。このとき、蓋は容器本体から離脱する）を行った。次に、ドアを下降させることなくドアと蓋を閉め、ラッチキーの爪を先程と逆に回転させてＦＯＵＰの蓋を閉状態（施錠）とした。
これらの一連の作業をドア及び蓋開閉作業として１００回繰り返した。
ラッチキー駆動機構を駆動制御する制御装置において、この際のラッチキー（ラッチキーの爪）の回転スピードは５０ｄｅｇ／ｓｅｃとした。
【0041】
（実施例２）
ラッチキーの回転スピードを６０ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
ラッチキーの回転スピードを６０ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
【0042】
（比較例１）
ラッチキーの回転スピードを７０ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
ラッチキーの回転スピードを７０ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
【0043】
（比較例２）
ラッチキーの回転スピードを７５ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
ラッチキーの回転スピードを７５ｄｅｇ／ｓｅｃとした以外は実施例１と同じ動作で、ドア及び蓋開閉作業を１００回繰り返した。
【0044】
（実施例３）
直径３００ｍｍのＰ型（１００）ウェーハを２５枚充填（フル充填）したＦＯＵＰを用意した。このＦＯＵＰを、図１に示す本発明のウェーハ搬送装置のロードポートの架台に載置して、ドアのラッチキー駆動機構であるラッチキーの爪をＦＯＵＰの蓋の穴に差し込んで回転させて、ドアと蓋を開放する動作（蓋と一体化したドアをウェーハ搬出入口から離脱する動作。このとき、蓋は容器本体から離脱する）を行った。次にドアと蓋を最も下側の位置に下降させた。
次にドアと蓋を最も下側の位置から蓋を閉めることが可能な位置まで上昇し、最後にドアと蓋を閉め、ラッチキーの爪を先程と逆に回転させてＦＯＵＰの蓋を閉状態（施錠）とした。
これらの一連の作業をドア及び蓋開閉下降上昇作業として１００回繰り返した。
ラッチキー駆動機構を駆動制御する制御装置において、この際のラッチキー（ラッチキーの爪）の回転スピードは５０ｄｅｇ／ｓｅｃとし、ドア及び蓋の下降上昇スピードは６０ｍｍ／ｓｅｃとした。
直径３００ｍｍのＰ型（１００）ウェーハを２５枚充填（フル充填）したＦＯＵＰを用意した。このＦＯＵＰを、図１に示す本発明のウェーハ搬送装置のロードポートの架台に載置して、ドアのラッチキー駆動機構であるラッチキーの爪をＦＯＵＰの蓋の穴に差し込んで回転させて、ドアと蓋を開放する動作（蓋と一体化したドアをウェーハ搬出入口から離脱する動作。このとき、蓋は容器本体から離脱する）を行った。次にドアと蓋を最も下側の位置に下降させた。
次にドアと蓋を最も下側の位置から蓋を閉めることが可能な位置まで上昇し、最後にドアと蓋を閉め、ラッチキーの爪を先程と逆に回転させてＦＯＵＰの蓋を閉状態（施錠）とした。
これらの一連の作業をドア及び蓋開閉下降上昇作業として１００回繰り返した。
ラッチキー駆動機構を駆動制御する制御装置において、この際のラッチキー（ラッチキーの爪）の回転スピードは５０ｄｅｇ／ｓｅｃとし、ドア及び蓋の下降上昇スピードは６０ｍｍ／ｓｅｃとした。
【0045】
（実施例４）
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１００ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１００ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
【0046】
（実施例５）
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１２５ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１２５ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
【0047】
（実施例６）
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１５０ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
ドア及び蓋の下降上昇スピードを１５０ｍｍ／ｓｅｃとした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
【0048】
（結果）
実施例１～２及び比較例１～２のドア及び蓋開閉作業と、実施例３～６のドア及び蓋開閉下降上昇作業をそれぞれ行った後のＦＯＵＰ内のウェーハについて、作業前後のパーティクルをＫＬＡ社製パーティクルカウンターＳＰ２で測定した。具体的には４６ｎｍサイズ以上のパーティクル個数の１枚当たりの平均値を算出し、作業前後の差分を規格化して比較した結果を図７（実施例１～２、比較例１～２）、図８（実施例３～６）に示す。
実施例１～２及び比較例１～２のドア及び蓋開閉作業と、実施例３～６のドア及び蓋開閉下降上昇作業をそれぞれ行った後のＦＯＵＰ内のウェーハについて、作業前後のパーティクルをＫＬＡ社製パーティクルカウンターＳＰ２で測定した。具体的には４６ｎｍサイズ以上のパーティクル個数の１枚当たりの平均値を算出し、作業前後の差分を規格化して比較した結果を図７（実施例１～２、比較例１～２）、図８（実施例３～６）に示す。
【0049】
図７のように、ラッチキーの回転スピードを、実施例１～２のように６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下に小さくした場合に、ウェーハに付着する発塵したダスト数が、ラッチキーの回転スピードが７０ｄｅｇ／ｓｅｃ以上の比較例１～２と比較して、１／２以下に低減した。これより、本発明のようにラッチキーの回転スピードを６０ｄｅｇ／ｓｅｃ以下という低速度に最適化した効果が確認された。
次に、図８のように、ドアと蓋の下降上昇のスピードを、実施例３～４のように１００ｍｍ／ｓｅｃ以下に小さくした場合に、ウェーハに付着する発塵したダスト数が、ドアと蓋の下降上昇のスピードが１２５ｍｍ／ｓｅｃ以上の実施例５～６と比較して、およそ１／２以下に低減した。ラッチキーの回転スピードは全て同じ（５０ｄｅｇ／ｓｅｃ）であり条件は変わらないため、これより、ドアと蓋の下降上昇のスピードを１００ｍｍ／ｓｅｃ以下という低速度に最適化した効果が確認された。
次に、図８のように、ドアと蓋の下降上昇のスピードを、実施例３～４のように１００ｍｍ／ｓｅｃ以下に小さくした場合に、ウェーハに付着する発塵したダスト数が、ドアと蓋の下降上昇のスピードが１２５ｍｍ／ｓｅｃ以上の実施例５～６と比較して、およそ１／２以下に低減した。ラッチキーの回転スピードは全て同じ（５０ｄｅｇ／ｓｅｃ）であり条件は変わらないため、これより、ドアと蓋の下降上昇のスピードを１００ｍｍ／ｓｅｃ以下という低速度に最適化した効果が確認された。
【0050】
（実施例７～８、比較例３～４）
ラッチキーの回転スピードを７０ｄｅｇ／ｓｅｃとし、ドアと蓋の下降上昇のスピードを６０ｍｍ／ｓｅｃ（実施例７）、１００ｍｍ／ｓｅｃ（実施例８）、１２５ｍｍ／ｓｅｃ（比較例３）、１５０ｍｍ／ｓｅｃ（比較例４）とした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
ラッチキーの回転スピードを７０ｄｅｇ／ｓｅｃとし、ドアと蓋の下降上昇のスピードを６０ｍｍ／ｓｅｃ（実施例７）、１００ｍｍ／ｓｅｃ（実施例８）、１２５ｍｍ／ｓｅｃ（比較例３）、１５０ｍｍ／ｓｅｃ（比較例４）とした以外は実施例３と同じ動作で、ドア及び蓋開閉下降上昇作業を１００回繰り返した。
【0051】
同様にして作業前後のパーティクル個数の差分を規格化して比較した結果、図８の場合とは絶対値は異なるが、傾向としては図８と同様であった。すなわち、ドアと蓋の下降上昇のスピードを、１００ｍｍ／ｓｅｃ以下に小さくした場合に、ウェーハに付着する発塵したダスト数が、ドアと蓋の下降上昇のスピードが１２５ｍｍ／ｓｅｃ以上の比較例３、４と比較して、およそ１／２以下に低減した。
【0052】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【0053】
１…本発明のウェーハ搬送装置、
２…密閉収納容器（ＦＯＵＰ）、 ３…容器本体、 ４…蓋、
５…ラッチキー、 ６…ラッチキーの穴（穴）、 ７…ラッチキーの爪（爪）、
１１…ＥＦＥＭ、 １２…搬送ロボット、 １３…搬送室、
１４…ロードポート、 １５…ロードポート架台（架台）、
１６…ロードポートドア（ドア）、
１７…制御装置、 １８…ウェーハ搬出入口、 １９…ラッチキー駆動機構、
２０…処理装置、 Ｗ…ウェーハ。
２…密閉収納容器（ＦＯＵＰ）、 ３…容器本体、 ４…蓋、
５…ラッチキー、 ６…ラッチキーの穴（穴）、 ７…ラッチキーの爪（爪）、
１１…ＥＦＥＭ、 １２…搬送ロボット、 １３…搬送室、
１４…ロードポート、 １５…ロードポート架台（架台）、
１６…ロードポートドア（ドア）、
１７…制御装置、 １８…ウェーハ搬出入口、 １９…ラッチキー駆動機構、
２０…処理装置、 Ｗ…ウェーハ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】