特開2023-1905酸化インジウムガリウム亜鉛を含む層を形成するための反応器システムおよび方法

発明の名称　酸化インジウムガリウム亜鉛を含む層を形成するための反応器システムおよび方法

出願人　エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー　（識別番号 519237203）

　　　　特許公開件数ランキング 306 位（98件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 381 位（64件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-1905

公報発行日　2023年1月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-1905

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