特開 2023-19558 検査システムの検査方法、および検査システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023019558

(43)【公開日】2023-02-09

(54)【発明の名称】検査システムの検査方法、および検査システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/66 20060101AFI20230202BHJP

【ＦＩ】

H01L21/66 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021124355

(22)【出願日】2021-07-29

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】成川 健一

【テーマコード（参考）】

4M106

【Ｆターム（参考）】

4M106BA01

4M106CA04

4M106DD10

4M106DD23

4M106DJ14

4M106DJ18

4M106DJ27

(57)【要約】

【課題】複数の検査ユニットを有する検査システムの消費電力を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】検査システムは、被検査体の電気的検査を行う検査ユニットを複数備える。検査方法では、検出した総電流に基づき、以下の（ａ）～（ｃ）の判定処理のうち少なくとも１つを行う。（ａ）未動作ユニットが検査を開始するタイミングで総電流と開始電流閾値とを比較し、総電流が開始電流閾値以上の場合には未動作ユニットの検査の開始を待機する。（ｂ）動作中ユニットの検査中に総電流と動作中電流閾値とを比較し、総電流が動作中電流閾値以上の場合には動作中ユニットを待機する。（ｃ）未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、総電流と処理速度電流閾値とを比較し、総電流が処理速度電流閾値以上の場合には低電力かつ低速の処理内容に設定して未動作ユニットの検査を開始する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被検査体の電気的検査を行う検査ユニットを複数備える検査システムの検査方法であって、
前記複数の検査ユニットの各々に供給する電流の総和である総電流または電力の総和である総電力を検出し、
検出した前記総電流または前記総電力に基づき、以下の（ａ）～（ｃ）の判定処理のうち少なくとも１つを行う、
（ａ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っていない未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と開始電流閾値とを比較または前記総電力と開始電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記開始電流閾値以上または前記総電力が前記開始電力閾値以上の場合には前記未動作ユニットの検査の開始を待機し、前記総電流が前記開始電流閾値未満または前記総電力が前記開始電力閾値未満の場合には前記未動作ユニットの検査を開始する
（ｂ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っている動作中ユニットの検査中に、前記総電流と動作中電流閾値とを比較または前記総電力と動作中電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記動作中電流閾値以上または前記総電力が前記動作中電力閾値以上となった場合には前記動作中ユニットのうち少なくとも１つを待機し、前記総電流が前記動作中電流閾値未満または前記総電力が前記動作中電力閾値未満の場合には前記動作中ユニットの検査を継続する
（ｃ）の判定処理：前記未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と処理速度電流閾値とを比較または前記総電力と処理速度電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記処理速度電流閾値以上または前記総電力が前記処理速度電力閾値以上の場合には低電力かつ低速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始し、前記総電流が前記処理速度電流閾値未満また前記総電力が前記処理速度電力閾値未満の場合には高電力かつ高速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始する
検査システムの検査方法。

【請求項2】

前記（ａ）の判定処理、前記（ｂ）の判定処理および前記（ｃ）の判定処理を全て行う、
請求項１に記載の検査システムの検査方法。

【請求項3】

前記総電流と比較する電流閾値は、以下の（１）の関係に設定され、または前記総電力と比較する電力閾値は、以下の（２）の関係に設定される
前記処理速度電流閾値≦前記開始電流閾値＜前記動作中電流閾値 …（１）
前記処理速度電力閾値≦前記開始電力閾値＜前記動作中電力閾値 …（２）
請求項２記載の検査システムの検査方法。

【請求項4】

前記総電流と比較する電流閾値、または前記総電力と比較する電力閾値は、ユーザの操作に応じて設定可能である
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項5】

前記（ａ）の判定処理による前記未動作ユニットの検査の待機において、
前記総電流が解除電流閾値以上または前記総電力が解除電力閾値以上の場合に、前記未動作ユニットの待機を継続し、前記総電流が前記解除電流閾値未満または前記総電力が前記解除電力閾値未満に達した場合に、前記未動作ユニットの検査を開始し、
前記解除電流閾値が前記開始電流閾値以下、または前記解除電力閾値が前記開始電力閾値以下に設定されている
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項6】

前記（ｂ）の判定処理による前記動作中ユニットの検査の待機において、
前記総電流が再開電流閾値以上または前記総電力が再開電力閾値以上の場合に、前記動作中ユニットの待機を継続し、前記総電流が前記再開電流閾値未満または前記総電力が前記再開電力閾値未満に達した場合に、前記動作中ユニットの検査を再開し、
前記再開電流閾値が前記動作中電流閾値以下、または前記再開電力閾値が前記動作中電力閾値以下に設定されている
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項7】

前記（ｂ）の判定処理による前記動作中ユニットの検査の待機において、当該動作中ユニットにて既に実施している検査項目を終了するまで検査を継続し、次の検査項目の実施を待機する
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項8】

前記複数の検査ユニットは、前記低電力かつ低速の処理内容で検査する低スループット用プログラムと、前記高電力かつ高速の処理内容で検査する高スループット用プログラムと、を保有しており、
前記（ｃ）の判定処理により、前記未動作ユニットは、前記低スループット用プログラムおよび前記高スループット用プログラムのうちいずれか一方を実行する
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項9】

前記検査ユニットは、テスタと、前記テスタに装着されて前記被検査体である基板に接触するプローブカードと、を有し、前記基板に形成された半導体デバイスの電気的特性を検査する
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査システムの検査方法。

【請求項10】

被検査体の電気的検査を行う検査ユニットを複数備える検査システムであって、
前記複数の検査ユニットの各々に供給する電流の総和である総電流を検出する電流計、および電力の総和である総電力を検出する電力計のうち少なくとも１つと、
検出した前記総電流または前記総電力に基づき、以下の（ａ）～（ｃ）の判定処理のうち少なくとも１つを行う制御部と、を備える、
（ａ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っていない未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と開始電流閾値とを比較または前記総電力と開始電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記開始電流閾値以上または前記総電力が前記開始電力閾値以上の場合には前記未動作ユニットの検査の開始を待機し、前記総電流が前記開始電流閾値未満または前記総電力が前記開始電力閾値未満の場合には前記未動作ユニットの検査を開始する
（ｂ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っている動作中ユニットの検査中に、前記総電流と動作中電流閾値とを比較または前記総電力と動作中電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記動作中電流閾値以上または前記総電力が前記動作中電力閾値以上となった場合には前記動作中ユニットのうち少なくとも１つを待機し、前記総電流が前記動作中電流閾値未満または前記総電力が前記動作中電力閾値未満の場合には前記動作中ユニットの検査を継続する
（ｃ）の判定処理：前記未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と処理速度電流閾値とを比較または前記総電力と処理速度電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記処理速度電流閾値以上または前記総電力が前記処理速度電力閾値以上の場合には低電力かつ低速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始し、前記総電流が前記処理速度電流閾値未満また前記総電力が前記処理速度電力閾値未満の場合には高電力かつ高速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始する
検査システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、検査システムの検査方法、および検査システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、被検査体の電気的検査を行う複数のテスタ（検査ユニット）を備えた検査システムが開示されている。この種の検査システムを有する工場は、各検査ユニットの消費電力が同時に最大となることを想定した電源容量を確保している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－２９６２７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、複数の検査ユニットを有する検査システムの消費電力を抑制することができる技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様によれば、被検査体の電気的検査を行う検査ユニットを複数備える検査システムの検査方法であって、前記複数の検査ユニットの各々に供給する電流の総和である総電流または電力の総和である総電力を検出し、検出した前記総電流または前記総電力に基づき、以下の（ａ）～（ｃ）の判定処理のうち少なくとも１つを行う、検査システムの検査方法が提供される。
（ａ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っていない未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と開始電流閾値とを比較または前記総電力と開始電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記開始電流閾値以上または前記総電力が前記開始電力閾値以上の場合には前記未動作ユニットの検査の開始を待機し、前記総電流が前記開始電流閾値未満または前記総電力が前記開始電力閾値未満の場合には前記未動作ユニットの検査を開始する
（ｂ）の判定処理：前記複数の検査ユニットのうち検査を行っている動作中ユニットの検査中に、前記総電流と動作中電流閾値とを比較または前記総電力と動作中電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記動作中電流閾値以上または前記総電力が前記動作中電力閾値以上となった場合には前記動作中ユニットのうち少なくとも１つを待機し、前記総電流が前記動作中電流閾値未満または前記総電力が前記動作中電力閾値未満の場合には前記動作中ユニットの検査を継続する
（ｃ）の判定処理：前記未動作ユニットが検査を開始するタイミングで、前記総電流と処理速度電流閾値とを比較または前記総電力と処理速度電力閾値とを比較し、比較の結果、前記総電流が前記処理速度電流閾値以上または前記総電力が前記処理速度電力閾値以上の場合には低電力かつ低速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始し、前記総電流が前記処理速度電流閾値未満また前記総電力が前記処理速度電力閾値未満の場合には高電力かつ高速の処理内容に設定して前記未動作ユニットの検査を開始する

【発明の効果】

【0006】

一態様によれば、複数の検査ユニットを有する検査システムの消費電力を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】一実施形態に係る検査システムの全体構成を示す図である。

【図2】検査装置の水平方向に沿った概略断面図である。

【図3】搬送領域および検査領域の鉛直方向に沿った概略断面図である。

【図4】テスタおよびプローブカードを有する検査ユニットを示す概略縦断面図である。

【図5】検査装置のハードウェアの電気接続および通信接続を示すブロック図である。

【図6】コントローラの機能部を示すブロック図である。

【図7】総電流に対する第１判定処理部の判定処理を説明する図である。

【図8】総電流に対する第２判定処理部の判定処理を説明する図である。

【図9】総電流に対する第３判定処理部の判定処理を説明する図である。

【図10】開始電流閾値、解除電流閾値、動作中電流閾値、再開電流閾値、処理速度電流閾値を例示した説明図である。

【図11】未動作ユニットの検査の開始時における検査方法を示すフローチャートである。

【図12】動作中ユニットの動作中における検査方法を示すフローチャートである。

【図13】変形例に係る検査装置のハードウェアの電気接続および通信接続を示すブロック図である。

【図14】別の変形例に係る検査システムを示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

【0009】

図１は、本開示の一実施形態に係る検査システム１の全体構成を示す図であり、（ａ）は、搬入出領域１２から見た斜視図、（ｂ）は、検査領域１４から見た斜視図である。図１に示すように、一実施形態に係る検査システム１は、基板の一例であるウエハＷ（被検査体）を検査する検査装置１０を１以上（図示例では１つ）備える。検査装置１０は、例えば、ウエハＷを製造する工場のクリーンルーム等に設置される。

【0010】

検査装置１０は、直方形状の筐体１１を有し、この筐体１１内にウエハＷの電気的検査を行う複数のテスタ２０を有する。また、検査装置１０は、検査装置１０の動作を制御するコントローラ３０（制御部）と、検査装置１０のユーザが操作するための操作用端末４０と、を筐体１１に備える。

【0011】

図２は、検査装置１０の水平方向に沿った概略断面図である。図２に示すように、筐体１１は、当該筐体１１の外部と内部（検査室１１ａ）との間でウエハＷを搬入出する搬入出領域１２と、搬入出領域１２のウエハＷを搬送する搬送領域１３と、搬送領域１３から搬送されたウエハＷを検査する検査領域１４と、を含む。

【0012】

搬入出領域１２には、筐体１１の水平方向に沿って複数の搬入出区画１２ａが設けられている（図１も参照）。各搬入出区画１２ａは、ロードポート１５、アライナ１６等を備える。ロードポート１５は、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰを受け入れる。アライナ１６は、ウエハＷの位置合わせを行う。また、搬入出領域１２は、複数のテスタ２０の各々で使用するプローブカードＰＲ（図４参照）を搬入出するためのローダ１７を有する。

【0013】

搬送領域１３は、搬入出領域１２および検査領域１４に移動可能な搬送ステージ１８を複数有する。各搬送ステージ１８は、後記の検査領域１４の各テスタライン１４Ｌに１つずつ設けられる。搬送ステージ１８は、搬入出領域１２のロードポート１５からウエハＷを受け取って検査領域１４へ搬送するとともに、検査が終了したウエハＷを検査領域１４からロードポート１５へ搬送する。また、搬送ステージ１８は、テスタ２０のプローブカードＰＲを交換する場合に、検査領域１４からプローブカードＰＲを受け取ってローダ１７へ搬送するとともに、新規のプローブカードＰＲをローダ１７から検査領域１４へ搬送する。

【0014】

搬送ステージ１８は、ウエハＷを上面に真空吸着して、位置決め固定するチャック装置１８ａを有する。なお、チャック装置１８ａの保持方法は真空吸着に限らず、例えば、電磁吸着やクランプによる保持であってもよい。

【0015】

図３は、搬送領域１３および検査領域１４の鉛直方向に沿った概略断面図である。図３に示すように、検査領域１４は、ウエハＷを検査する複数のテスタ２０を有する。具体的には、複数のテスタ２０は、水平方向かつ鉛直方向（高さ方向）にマトリクス状に配置されている（図１（ｂ）も参照）。以下、水平方向に配置された複数のテスタ２０のまとまりをテスタライン１４Ｌという。テスタライン１４Ｌは、水平方向に４つのテスタ２０を有し、検査装置１０は、このテスタライン１４Ｌを鉛直方向に３段（多段）有する。つまり、検査装置１０は１２個のテスタ２０を備える。なお、検査装置１０は、テスタライン１４Ｌを構成するテスタ２０の数およびテスタライン１４Ｌの段数について特に限定されないことは勿論である。

【0016】

また、検査領域１４は、複数のテスタライン１４Ｌ毎に１つのカメラ１９を有する。各カメラ１９は、対応するテスタライン１４Ｌに沿って水平に移動し、テスタライン１４Ｌを構成する各テスタ２０の前において搬送ステージ１８が搬送するウエハＷの位置等を撮像する。

【0017】

図４は、テスタ２０およびプローブカードＰＲを有する検査ユニット２１を示す概略縦断面図である。図４に示すように、検査領域１４の各テスタ２０は、プローブカードＰＲを装着するポゴフレーム２２（テストヘッド）を有し、プローブカードＰＲの装着状態でウエハＷの電気的検査を行う。すなわち、検査装置１０は、ウエハＷの検査において、テスタ２０とプローブカードＰＲとを組み立てることで、検査ユニット２１を形成する。

【0018】

各テスタ２０のメイン部は、筐体１１内のフレームに連結されたポゴフレーム２２の上部に、ベース２０ａを介して設置される。また、ポゴフレーム２２の下部には、プローブカードＰＲが装着される。

【0019】

プローブカードＰＲは、円板形状の本体２３と、本体２３の上面に配置される多数の電極２４と、各電極２４に接続され本体２３の下面から下方へ向かって突出する多数のコンタクトプローブ２５（接触端子）と、を有する。各コンタクトプローブ２５は、ウエハＷとの当接により、ウエハＷに形成された各半導体デバイスの電極パッドや半田バンプと電気的に接触する。各コンタクトプローブ２５は、例えば、ウエハＷの全面に一括して接触することで、多数の半導体デバイスの電気的特性を同時検査可能とする。

【0020】

ポゴフレーム２２は、略平板状に形成され、中央部近辺に複数の貫通穴２６を有する。各貫通穴２６には、多数のポゴピンからなるポゴブロック２７が挿入されている。ポゴブロック２７は、テスタ２０のメイン部の検査回路に接続されるとともに、プローブカードＰＲの多数の電極２４に接触することが可能である。

【0021】

また、ポゴフレーム２２は、このポゴフレーム２２と搬送ステージ１８との間で、真空を形成する真空機構２８を有する。真空機構２８は、上下に移動可能にポゴフレーム２２と係合するフランジ２８ａ、ポゴフレーム２２とフランジ２８ａの間を囲うベローズ２８ｂ、およびポゴフレーム２２と、ベース２０ａと、プローブカードＰＲの間を囲うシール部材２８ｃ、２８ｄを含む。また、フランジ２８ａの下端面には、チャック装置１８ａに気密に接触可能な接触部材２８ｅが設けられている。真空機構２８は、図示しない真空ポンプによりシール部材２８ｃで囲った空間を真空引きすることで、ベース２０ａとポゴフレーム２２とを装着し、かつチャック装置１８ａおよびプローブカードＰＲとポゴフレーム２２とを装着する。

【0022】

各テスタ２０は、各構成を動作させる制御基板２９をテスタ２０の内部に有する。制御基板２９は、１以上のプロセッサ２９ａ、メモリ２９ｂ、図示しない入出力インタフェースおよび電子回路等を有するテスタ用コンピュータ内臓ボードである。１以上のプロセッサ２９ａは、ＣＰＵ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡ、複数のディスクリート半導体からなる回路等のうち１つまたは複数を組み合わせたものであり、メモリ２９ｂに記憶されたプログラムおよびレシピを実行処理する。メモリ２９ｂは、不揮発性メモリおよび揮発性メモリを含み、制御基板２９の記憶部を形成している。

【0023】

制御基板２９のプロセッサ２９ａは、コントローラ３０から送信される制御指令に応じて、適切なプログラムまたはレシピを実行して各構成を動作させることで、ウエハＷに対する電気的検査を行う。また、プロセッサ２９ａは、ウエハＷの検査結果をコントローラ３０に送信する。

【0024】

一方、検査装置１０のコントローラ３０は、１以上のプロセッサ３１、メモリ３２、入出力インタフェース３３および電子回路３４を有する検査装置１０全体の制御用コンピュータである。１以上のプロセッサ３１は、ＣＰＵ、ＡＳＩＣ、ＦＰＧＡ、複数のディスクリート半導体からなる回路等のうち１つまたは複数を組み合わせたものであり、メモリ３２に記憶されたプログラムを実行処理する。メモリ３２は、不揮発性メモリおよび揮発性メモリを含み、コントローラ３０の記憶部を形成している。

【0025】

コントローラ３０は、入出力インタフェース３３を介して、ロードポート１５、アライナ１６、ローダ１７、搬送ステージ１８、カメラ１９およびテスタ２０（共に図２を参照）等に通信可能に接続されている。

【0026】

また、コントローラ３０は、入出力インタフェース３３を介して、検査装置１０の筐体１１に設けられた操作用端末４０に接続されている（図１参照）。操作用端末４０は、検査装置１０の入出力装置を構成するタッチパネル４１等を有する。なお、操作用端末４０は、特に限定されず、モニタ、スピーカ、キーボード、マウス等を適用してもよい。コントローラ３０は、操作用端末４０を介してユーザが入力した検査装置１０の検査内容を受信し、この検査内容に基づき検査装置１０の各構成に制御指令を出力し、ウエハＷの電気的検査を行う。また、コントローラ３０は、各テスタ２０から検査結果を受信すると、当該検査結果をメモリ３２に記憶し、ユーザの操作下に操作用端末４０に介して検査結果を表示する。

【0027】

図１～図４に示すように、検査装置１０は、コントローラ３０の制御に基づき、搬入出領域１２のウエハＷを搬送ステージ１８により保持して、搬送ステージ１８を移動させる。これにより、検査装置１０は、テスタ２０のプローブカードＰＲの下方にウエハＷを搬送して、さらにプローブカードＰＲにウエハＷ近接させる。搬送ステージ１８がフランジ２８ａに当接した際に、プローブカードＰＲの下には、プローブカードＰＲ、搬送ステージ１８、ポゴフレーム２２およびフランジ２８ａによって囲まれる空間が形成される。

【0028】

テスタ２０の制御基板２９は、検査装置１０の制御指令を受信すると、真空機構２８を動作し、ベローズ２８ｂによって封止された空間を真空引きすることで、ポゴフレーム２２に対してチャック装置１８ａを保持させる。このとき、ウエハＷの各半導体デバイスにおける各電極パッドや各半田バンプと、プローブカードＰＲの各コンタクトプローブ２５とが当接する。

【0029】

これにより、各検査ユニット２１（テスタ２０、プローブカードＰＲ）は、制御基板２９の制御に基づき、ポゴピンおよびプローブカードＰＲの各コンタクトプローブ２５を介して、ウエハＷの各半導体デバイスの電子回路に電流を流す。そして、制御基板２９は、ウエハＷから各コンタクトプローブ２５およびポゴピンを介して戻る電流を、検査回路において電気的に検査する。

【0030】

図５は、検査装置１０のハードウェアの電気接続および通信接続を示すブロック図である。図５に示すように、検査装置１０は、当該検査装置１０の各構成間を接続する電気配線５０を有する。また、検査装置１０は、電気配線５０を介して接続される電気系統の構成として、電源接続部５１と、電源接続部５１に直列接続されるブレーカ５２と、ブレーカ５２に直列接続される電流計５３と、電流計５３に直列接続される配電部５４と、を含む。複数のテスタ２０（検査ユニット２１）およびコントローラ３０は、配電部５４に対して並列接続されており、配電部５４にて配電された電力が供給される。

【0031】

また、検査装置１０は、通信系統として、各テスタ２０とコントローラ３０との間、および電流計５３とコントローラ３０との間を、情報通信可能に接続する適宜の通信手段（図５の点線参照）を有する。通信手段は、特に限定されず、有線または無線のいずれを適用してもよい。

【0032】

検査装置１０の電源接続部５１は、工場に給電されているＡＣ電源に接続される。ＡＣ電源は、例えば、２００Ｖの交流電圧を検査装置１０に供給する。電源接続部５１は、交流電力を直流電力に変換するアダプタを備えていてもよい。

【0033】

ブレーカ５２は、検査装置１０に供給される電流が、所定の遮断電流値（定格電流）以上となった場合に電気配線５０を遮断することで、検査装置１０内への過電流の供給を規制する。ブレーカ５２の遮断電流値は、特に限定されないが、例えば工場に供給可能な電流（工場のブレーカ）の７０％以下に設定されるとよい。

【0034】

電流計５３は、各テスタ２０に供給される電流の総和である総電流を検出し、その検出信号（総電流の情報）をコントローラ３０に出力する。なお、電流計５３の設置位置は、配電部５４よりも電源接続部５１側であれば特に限定されず、電源接続部５１とブレーカ５２の間であってもよい。

【0035】

配電部５４は、コントローラ３０の動作に必要な電力を供給するとともに、各検査ユニット２１の動作状態に応じて各テスタ２０に電力を供給する。また、配電部５４は、検査装置１０の他の構成（ロードポート１５、アライナ１６、ローダ１７、搬送ステージ１８、カメラ１９等：図２参照）にも適宜の電力を供給している。なお、本実施形態に係る検査装置１０は、電流計５３よりも下流側の配電部５４にコントローラ３０を接続しているが、図５中の点線で示すように電流計５３よりも上流側に配電部５５を備え、この配電部５５にコントローラ３０を接続した構成でもよい。

【0036】

コントローラ３０は、検査装置１０の電源系統からの供給電力に基づき起動状態となり、上記したウエハＷの電気的検査を実施する。この際、コントローラ３０は、電流計５３から取得した各テスタ２０（検査ユニット２１）に供給される総電流に基づき、各検査ユニット２１の検査の進行を調整して、検査装置１０全体としての消費電力（消費電流）を抑制する。

【0037】

図６は、コントローラ３０の機能部を示すブロック図である。メモリ３２に記憶されたプログラムをプロセッサ３１が実行処理することで、図６に示すように、消費電力を抑制する機能ブロックを形成する。詳細には、コントローラ３０の内部には、電流取得部６０、動作取得部６１、検査計画部６２、検査進行調整部６３、テスタ指令部６４が形成される。

【0038】

電流取得部６０は、電流計５３が検出した総電流の情報を取得してメモリ３２に一時的に記憶するとともに、検査進行調整部６３に出力する。

【0039】

動作取得部６１は、検査装置１０の各構成（ロードポート１５、搬送ステージ１８および複数のテスタ２０等）から動作状態に関する情報を継続的に取得する。例えば、検査ユニット２１の動作状態としては、検査ユニット２１の識別情報、電気的検査の動作中または電気的検査の未動作、電気的検査の動作中の場合における検査項目、電気的検査で使用しているプログラム等があげられる。

【0040】

検査計画部６２は、動作取得部６１からの情報に基づき、複数の検査ユニット２１（テスタ２０）のうち検査を現在行っている動作中ユニット２１Ａと、複数の検査ユニット２１のうち検査を行っていない未動作ユニット２１Ｂと、を認識する。この際、検査計画部６２は、動作中ユニット２１Ａが現在行っている検査項目を参照し、検査の進捗具合を認識することが好ましい。そして、検査計画部６２は、使用可能な搬送ステージ１８や検査予定のウエハＷの枚数等に基づき、未動作ユニット２１Ｂの検査を計画する。例えば、検査計画部６２は、検査予定のウエハＷがロードポート１５にあり、かつ使用していない搬送ステージ１８がある場合に、その搬送ステージ１８があるテスタライン１４Ｌの検査ユニット２１のうち未動作ユニット２１Ｂの動作を決定する。そして、検査計画部６２は、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する計画情報を検査進行調整部６３に出力する。

【0041】

検査進行調整部６３は、電流取得部６０の総電流の情報、動作取得部６１の各構成の動作状態に関する情報、検査計画部６２の計画情報に基づき、各検査ユニット２１の検査を調整する判定処理を行う。具体的には、検査進行調整部６３は、以下の（ａ）～（ｃ）の判定と、当該判定に応じた処理内容を設定する。
（ａ）総電流が小さい場合には、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を許容し、総電流が大きい場合には、総電流が小さくなるまで未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機する。
（ｂ）総電流が小さい場合には、動作中ユニット２１Ａの検査を継続し、総電流が大きい場合には、総電流が小さくなるまで動作中ユニット２１Ａの検査を一旦待機する。
（ｃ）総電流が小さい場合には、高スループットで検査するように未動作ユニット２１Ｂの検査を開始し、総電流が大きい場合には、低スループットで検査するように未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する。

【0042】

以上の（ａ）～（ｃ）の処理を実施するために、検査進行調整部６３内には、第１判定処理部６５、第２判定処理部６６および第３判定処理部６７が形成される。さらに、検査進行調整部６３内には、総電流と比較するための各電流閾値をユーザにより設定可能とする閾値設定部６８が形成されることが好ましい。

【0043】

第１判定処理部６５は、検査計画部６２の計画情報における未動作ユニット２１Ｂの検査開始の指示に基づき、（ａ）の判定および処理内容の設定を行う。このため、第１判定処理部６５は、総電流と比較するための開始電流閾値Ｔａを有する。開始電流閾値Ｔａは、特に限定されるものではないが、ブレーカ５２の遮断電流値に対して５０％～７０％程度の範囲に設定されるとよい。第１判定処理部６５は、総電流が開始電流閾値Ｔａ以上の場合に、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機することを判定し、総電流が開始電流閾値Ｔａ未満の場合に、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始することを判定する。

【0044】

さらに、第１判定処理部６５は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機した場合に、待機状態から検査へ移行するタイミングを計る。このため、第１判定処理部６５は、総電流と比較するための解除電流閾値Ｔｂを有する。解除電流閾値Ｔｂは、開始電流閾値Ｔａ以下の電流値であり、例えば、ブレーカ５２の遮断電流値に対して４０％～６０％程度の範囲に設定されるとよい。第１判定処理部６５は、総電流が解除電流閾値Ｔｂ以上の場合に、未動作ユニット２１Ｂの待機の継続を判定し、総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満に達すると、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始することを判定する。

【0045】

図７は、総電流に対する第１判定処理部６５の判定処理を説明する図である。具体的には、第１判定処理部６５は、図７に示す第１例のタイミング（時点ｔ１）で検査開始の指示を受けることに基づき、電流計５３が検出した総電流と開始電流閾値Ｔａとを比較する。時点ｔ１では、総電流が開始電流閾値Ｔａ未満となっているため、第１判定処理部６５は、時点ｔ１において未動作ユニット２１Ｂの検査を直ちに開始する。

【0046】

一方、図７に示す第２例のタイミング（時点ｔ２）では、総電流が開始電流閾値Ｔａ以上となっている。このタイミングで検査開始の指示を受けると、第１判定処理部６５は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機する。検査の開始を待機する場合に、検査装置１０は、待機対象の未動作ユニット２１Ｂへの搬送ステージ１８の動作を行ってもよく、あるいは搬送ステージ１８の動作自体を停止してもよい。搬送ステージ１８の動作を行っておくことで、検査装置１０は、待機後の未動作ユニット２１Ｂの検査を円滑に開始できる。一方、搬送ステージ１８の動作を停止すれば、検査装置１０は総電流をより低下し易くすることができる。

【0047】

検査の開始を待機した場合、第１判定処理部６５は、さらに総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満になるタイミング（時点ｔ３）を監視し、時点ｔ３において未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を判定する。

【0048】

なお、第１判定処理部６５は、先に検査の開始を待機することを判定した未動作ユニット２１Ｂがある場合、次に未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する計画情報を受信したとしても、次の未動作ユニット２１Ｂについては判定を待機しておくことが好ましい。これにより、検査装置１０は、検査を行う未動作ユニット２１Ｂの順番が入れ替わることを回避できる。

【0049】

図６に戻り、第２判定処理部６６は、動作取得部６１の検査ユニット２１の動作状態に基づき、動作中ユニット２１Ａの検査中に、（ｂ）の判定および処理内容の設定を行う。このため、第２判定処理部６６は、総電流と比較するための動作中電流閾値Ｔｃを有する。動作中電流閾値Ｔｃも、特に限定されず、例えば、ブレーカ５２の遮断電流値に対して７０％～９０％程度の範囲に設定されることがあげられる。第２判定処理部６６は、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ以上となった場合に、動作中ユニット２１Ａのうち少なくとも１つを待機し、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ未満の場合に、動作中ユニット２１Ａの検査を継続する。

【0050】

待機を行う動作中ユニット２１Ａについては、検査で実施予定の複数の検査項目に関して、既に実施中の検査項目の検査は継続して、この検査項目が終了したタイミングで、次の検査項目を実施せずに待機することが好ましい。これにより、検査装置１０は、既に実施中の検査項目を再び行うことを回避することができる。

【0051】

さらに、第２判定処理部６６は、動作中ユニット２１Ａの検査を待機した場合に、待機状態から検査を再開するタイミングを計る。このため、第２判定処理部６６は、総電流と比較するための再開電流閾値Ｔｄを有する。再開電流閾値Ｔｄは、動作中電流閾値Ｔｃ以下の電流値であり、例えば、ブレーカ５２の遮断電流値に対して６０％～８０％程度の範囲に設定されるとよい。第２判定処理部６６は、総電流が再開電流閾値Ｔｄ以上の場合に、動作中ユニット２１Ａの待機の継続を判定し、総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満に達すると、動作中ユニット２１Ａの検査を再開することを判定する。

【0052】

図８は、総電流に対する第２判定処理部６６の判定処理を説明する図である。具体的には、図８に示すように、第２判定処理部６６は、動作中ユニット２１Ａの検査中に、動作中電流閾値Ｔｃと総電流との比較を継続的に繰り返す。そして、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ以上となったタイミング（時点ｔ４）で、第２判定処理部６６は、動作中ユニット２１Ａの待機を判定する。なおこの際、動作中ユニット２１Ａは、既に実施中の検査項目を継続し、その後に待機するため、時点ｔ４以降でも総電流が上昇する場合がある。

【0053】

動作中ユニット２１Ａが待機状態になると、検査装置１０の総電流が低下していく。この際も、第２判定処理部６６は、総電流の監視を継続し、再開電流閾値Ｔｄと総電流との比較を継続的に繰り返す。第２判定処理部６６は、総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満になるまで監視を継続し、時点ｔ５において総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満になると、待機している動作中ユニット２１Ａの検査を再開する。

【0054】

なお、第２判定処理部６６は、複数の動作中ユニット２１Ａの検査中に動作中ユニット２１Ａの待機を判定した場合、複数の動作中ユニット２１Ａについて１つずつ期間をあけて待機することが好ましい。例えば、最初に待機した動作中ユニット２１Ａに対して所定の期間後に、第２判定処理部６６が動作中電流閾値Ｔｃと総電流とを比較して、総電流が低下したか否かを判定することで、次に別の動作中ユニット２１Ａを待機させるか否かを判定する。これにより、複数の動作中ユニット２１Ａが連続的または同時に待機することにより、ウエハＷの検査が遅れることを抑制できる。

【0055】

また、動作中ユニット２１Ａの待機では、複数の動作中ユニット２１Ａのうち既に実施している検査項目が少ない（後から動作させた）動作中ユニット２１Ａを待機させることを優先するとよい。これにより、既に実施している検査項目が多い（先に動作させた）動作中ユニット２１Ａの検査を早期に終了することができ、待機した動作中ユニット２１Ａの動作を再開できる。例えば、同じテスタライン１４Ｌの各検査ユニット２１で検査を行っている場合、先に動作させた動作中ユニット２１Ａの検査を進めることで、ウエハＷの搬送を含めた効率化を図ることができる。

【0056】

逆に、動作中ユニット２１Ａの待機では、複数の動作中ユニット２１Ａのうち既に実施している検査項目が多い動作中ユニット２１Ａの動作を待機してもよい。これにより、後から動作させた動作中ユニット２１Ａの検査を進めて、先に動作させた動作中ユニット２１Ａとのタイムラグを小さくすることができる。例えば、異なるテスタライン１４Ｌの各検査ユニット２１で検査を行っている場合にタイムラグを小さくすることで、検査の効率化を促進することが可能となる。

【0057】

図６に戻り、第３判定処理部６７は、検査計画部６２の計画情報に基づき未動作ユニット２１Ｂが検査を開始するタイミングで、（ｃ）の判定および処理内容の設定を行う。このため、第３判定処理部６７は、総電流と比較するための処理速度電流閾値Ｔｅを有する。第３判定処理部６７は、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ以上の場合に、低電力（低電流）かつ低速（低スループット）の処理内容に設定して未動作ユニット２１Ｂの検査を行うことを判定する。また、第３判定処理部６７は、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ未満の場合に、高電力（高電流）かつ高速（高スループット）の処理内容に設定して未動作ユニット２１Ｂの検査を行うことを判定する。

【0058】

処理速度電流閾値Ｔｅは、開始電流閾値Ｔａ以下の電流値に設定されるとよい。仮に、処理速度電流閾値Ｔｅが開始電流閾値Ｔａを超えている場合、未動作ユニット２１Ｂの開始時に総電流が開始電流閾値Ｔａを超えて待機状態となったにもかかわらず、待機後の検査の開始時に高スループット用プログラムで動作することになる。つまり低スループット用プログラムを選択する機会がなくなる。一例として、処理速度電流閾値Ｔｅは、ブレーカ５２の遮断電流値に対して３０％～５０％程度の範囲に設定されることがあげられる。

【0059】

例えば、複数のテスタ２０の制御基板２９は、低電力かつ低速で検査する低スループット用プログラムと、高電力かつ高速で検査する高スループット用プログラムと、を予め保有している。低スループット用プログラムは、複数のコンタクトプローブ２５のうち電流を流すコンタクトプローブ２５を制限することで、ウエハＷに流す電流を抑制するプログラムである。これにより検査ユニット２１の検査は遅くなるが、消費電力を抑えた検査を行うことができる。一方、高スループット用プログラムは、複数のコンタクトプローブ２５のうち電流を流すコンタクトプローブ２５を多くすることで、ウエハＷに流す電流量を増やすプログラムである。これにより検査ユニット２１の消費電力が多くなるが、検査が早くなるので検査時間の短縮化が図られる。制御基板２９は、コントローラ３０から動作開始指令ととともに、プログラムの選択指令を受けることで、低スループット用プログラムと高スループット用プログラムのうちいずれかを実行して検査を行う。

【0060】

図９は、総電流に対する第３判定処理部６７の判定処理を説明する図である。具体的には、図９に示す第１例のタイミング（時点ｔ６）で検査開始の指示を受けることに基づき、第３判定処理部６７は、電流計５３が検出した総電流と処理速度電流閾値Ｔｅとを比較する。時点ｔ６では、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ未満となっているため、第３判定処理部６７は、未動作ユニット２１Ｂについて高スループット用プログラムの実施を判定する。

【0061】

一方、図９に示す第２例のタイミング（時点ｔ７）では、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ以上となっている。このタイミングで検査開始の指示を受けると、第３判定処理部６７は、未動作ユニット２１Ｂについて低スループット用プログラムの実施を判定する。これにより、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始しても、総電流に加わる未動作ユニット２１Ｂの電流量はわずかとなる。

【0062】

なお、検査進行調整部６３は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始時に、第１判定処理部６５による判定と、第３判定処理部６７による判定とを行う場合、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始するまでは、両方の判定結果を保持することが好ましい。例えば、第１判定処理部６５が未動作ユニット２１Ｂの検査開始の待機を判定した場合、第３判定処理部６７は低スループット用プログラムの使用を判定する。この第３判定処理部６７の判定結果を保持しておくことで、第１判定処理部６５により総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満となったことを判定した際に、未動作ユニット２１Ｂを低スループット用プログラムで検査させることができる。

【0063】

図１０は、開始電流閾値Ｔａ、解除電流閾値Ｔｂ、動作中電流閾値Ｔｃ、再開電流閾値Ｔｄ、処理速度電流閾値Ｔｅを例示した説明図であり、（ａ）は第１態様、（ｂ）は第２態様である。図１０（ａ）に示すように、コントローラ３０は、総電流に対応する各電流閾値を段階的に設定している。具体的には、処理速度電流閾値Ｔｅ＜開始電流閾値Ｔａ＜動作中電流閾値Ｔｃとしている。これにより、検査装置１０は、検査を行う検査ユニット２１の数を抑えて、検査中のウエハＷの検査を優先的に行うことが可能となる。なお、図１０（ａ）中では、処理速度電流閾値Ｔｅと開始電流閾値Ｔａの間に解除電流閾値Ｔｂが設定されているが、解除電流閾値Ｔｂは、開始電流閾値Ｔａ以下であればよく、処理速度電流閾値Ｔｅより低くてもよい。また図１０（ａ）中では、開始電流閾値Ｔａと動作中電流閾値Ｔｃの間に再開電流閾値Ｔｄが設定されているが、再開電流閾値Ｔｄは、動作中電流閾値Ｔｃ以下であればよく、開始電流閾値Ｔａより低くてもよい。

【0064】

あるいは、各電流閾値は、ウエハＷの検査内容やユーザの要望等に応じて、適切な関係をとり得る。例えば、図１０（ｂ）に示すように、コントローラ３０は、各電流閾値について、処理速度電流閾値Ｔｅ＜動作中電流閾値Ｔｃ＜開始電流閾値Ｔａに設定してもよい。これにより、検査装置１０は、検査を行う検査ユニット２１の数をより増やして、複数のウエハＷを同時に検査することが可能となる。多数の検査ユニット２１の検査を行っても、処理速度電流閾値Ｔｅや動作中電流閾値Ｔｃに基づき検査速度を適切に調整しながら、検査装置１０の消費電力を抑制することができる。なお、動作中電流閾値Ｔｃは、処理速度電流閾値Ｔｅ以下に設定されてもよい。

【0065】

以上の各電流閾値の大きさの要件をまとめると、以下の［１］～［３］のとおりとなる。
［１］開始電流閾値Ｔａおよび動作中電流閾値Ｔｃは、任意に設定可能
［２］解除電流閾値Ｔｂ≦開始電流閾値Ｔａ、再開電流閾値Ｔｄ≦動作中電流閾値Ｔｃ
［３］処理速度電流閾値Ｔｅ≦開始電流閾値Ｔａ

【0066】

図６に戻り、閾値設定部６８は、上記の総電流と比較するための各電流閾値（開始電流閾値Ｔａ、解除電流閾値Ｔｂ、動作中電流閾値Ｔｃ、再開電流閾値Ｔｄ、処理速度電流閾値Ｔｅ）をユーザにより設定可能とする機能部である。例えば、閾値設定部６８は、操作用端末４０（図１（ａ）参照）に各電流閾値を設定するための画像情報を表示し、ユーザの操作により各電流閾値を変動させる。なお、閾値設定部６８は、ユーザにより開始電流閾値Ｔａが設定された場合に解除電流閾値Ｔｂを自動的に設定してもよい。同様に、閾値設定部６８は、ユーザにより動作中電流閾値Ｔｃが設定された場合に再開電流閾値Ｔｄを自動的に設定してもよい。

【0067】

テスタ指令部６４は、検査進行調整部６３において設定された処理内容に基づき、各テスタ２０（検査ユニット２１）に対して指令を出力する。例えば、テスタ指令部６４は、未動作ユニット２１Ｂの動作を開始する場合に、動作開始指令とともにプログラムの選択指令を未動作ユニット２１Ｂに送信する。この指令を受けた未動作ユニット２１Ｂは、低スループット用プログラムと高スループット用プログラムの何れかを実行して、検査を開始する。なお、未動作ユニット２１Ｂの動作を待機する場合、コントローラ３０は、動作開始指令を送信しないことで、未動作ユニット２１Ｂの待機を継続する。

【0068】

また例えば、テスタ指令部６４は、動作中ユニット２１Ａの動作を待機させる場合に、動作中待機指令を動作中ユニット２１Ａに出力する。この指令を受けた動作中ユニット２１Ａは、既に実施している検査項目が終了した後に、次の検査項目を保留して待機する。その後、テスタ指令部６４は、待機中の動作中ユニット２１Ａに動作再開指令を出力することで、待機中の動作中ユニット２１Ａは、次の検査項目から検査を再開する。

【0069】

本実施形態に係る検査システム１（検査装置１０）は、基本的には、以上のように構成され、以下その動作および効果について説明する。図１１は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始時における検査方法を示すフローチャートである。図１２は、動作中ユニット２１Ａの動作中における検査方法を示すフローチャートである。

【0070】

図１１に示すように、検査装置１０のコントローラ３０は、動作中ユニット２１ＡによるウエハＷの検査中に、電流計５３の検出信号（総電流の情報）を、電流取得部６０により継続的に取得する（ステップＳ１１）。さらに、コントローラ３０は、テスタ２０を含む各構成の動作状態に関する情報を、動作取得部６１により継続的に取得する（ステップＳ１２）。

【0071】

検査計画部６２は、検査ユニット２１の動作状態に応じて、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する計画情報を生成する（ステップＳ１３）。

【0072】

検査進行調整部６３は、計画情報に基づき未動作ユニット２１Ｂの検査開始を認識した場合に、第１判定処理部６５および第３判定処理部６７による判定処理を行う。具体的には、第３判定処理部６７は、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ以上か否かを判定する（ステップＳ１４）。そして、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ以上の場合（ステップＳ１４：Ｙｅｓ）、テスタ指令部６４は、低スループット用プログラムの選択を指示する（ステップＳ１５）。一方、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ未満の場合（ステップＳ１４：Ｎｏ）、テスタ指令部６４は、高スループット用プログラムの選択を指示する（ステップＳ１６）。

【0073】

また、第１判定処理部６５は、総電流が開始電流閾値Ｔａ以上か否かを判定する（ステップＳ１７）。そして、総電流が開始電流閾値Ｔａ未満の場合（ステップＳ１７：Ｎｏ）、テスタ指令部６４は、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する（ステップＳ１８）。一方、総電流が開始電流閾値Ｔａ以上の場合（ステップＳ１７：Ｙｅｓ）、テスタ指令部６４は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機する（ステップＳ１９）。

【0074】

未動作ユニット２１Ｂの待機状態で、第１判定処理部６５は、総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満に達したか否かを判定する（ステップＳ２０）。総電流が解除電流閾値Ｔｂ以上の場合（ステップＳ２０：Ｎｏ）、ステップＳ１９に戻り待機状態を継続する。一方、総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満に達した場合（ステップＳ２０：Ｙｅｓ）、テスタ指令部６４は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を指令する（ステップＳ２１）。これにより、検査装置１０は、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始時に、検査装置１０全体としての電力が大きくなることを回避することが可能となる。

【0075】

また、検査進行調整部６３は、動作中ユニット２１Ａの検査中に、第２判定処理部６６による判定処理を行うため、図１２に示す処理フローを行う。図１２の処理フローにおいて、ステップＳ３１、Ｓ３２は、ステップＳ１１、Ｓ１２と同様の処理フローを行う。

【0076】

そして、第２判定処理部６６は、動作中ユニット２１Ａの検査中に、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ以上か否かを継続的に判定する（ステップＳ３３）。総電流が動作中電流閾値Ｔｃ未満の場合（ステップＳ３３：Ｎｏ）、動作中ユニット２１Ａの検査をそのまま継続する（ステップＳ３４）。

【0077】

一方、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ以上の場合（ステップＳ３３：Ｙｅｓ）、テスタ指令部６４は、動作中ユニット２１Ａの検査の待機を指令する（ステップＳ３５）。検査待機の指令を受信した検査ユニット２１は、現在実施している検査項目を終了した後に、ウエハＷの検査を保留する。これにより、各検査ユニット２１に供給されていた総電流が低下していく。

【0078】

動作中ユニット２１Ａの待機状態で、第２判定処理部６６は、総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満に達したか否かを判定する（ステップＳ３６）。総電流が再開電流閾値Ｔｄ以上の場合（ステップＳ３６：Ｎｏ）、ステップＳ３５に戻り待機状態を継続する。一方、総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満に達した場合（ステップＳ３６：Ｙｅｓ）、テスタ指令部６４は、待機していた動作検査ユニットの検査の再開を指令する（ステップＳ３７）。これにより、動作中ユニット２１Ａは、待機前に実施していた検査項目の後の検査項目から検査を再開する。

【0079】

以上のように、検査装置１０は、動作中ユニット２１Ａについても、総電流に基づき動作中ユニット２１Ａの検査の継続または待機の判定、待機中の再開の判定を行う。その結果、検査装置１０は、各検査ユニット２１の検査中の使用電力を効果的に抑制することができる。

【0080】

なお、検査システム１（検査装置１０）は、上記の（ａ）～（ｃ）の判定処理を全て実施しなくてよく、（ａ）～（ｃ）のうち少なくとも１つまたは２つを実施するものでもよい。したがって、検査進行調整部６３は、実施する判定処理に応じて、第１判定処理部６５、第２判定処理部６６、第３判定処理部６７のうち１つまたは２つを備えた構成でもよい。例えば、検査システム１は、（ａ）の判定処理のみを実施することでも、総電流が大きければ未動作ユニット２１Ｂの検査を開始しなくなるので、検査装置１０全体として消費電力を抑制することができる。また例えば、検査システム１は、（ｂ）の判定処理のみを実施することでも、総電流が大きければ動作中ユニット２１Ａの検査を待機することになるので、検査装置１０全体として消費電力を抑制することができる。あるいは、検査システム１は、（ｃ）の判定処理のみを実施することでも、総電流が大きければ検査ユニット２１を低い電流で動作させることになるので、検査装置１０全体として消費電力を抑制することができる。

【0081】

そして、（ａ）および（ｂ）の判定処理を組み合わせた検査システム１の場合は、未動作ユニット２１Ｂが電力を消費するタイミングと、動作中ユニット２１Ａの検査中の電力消費量の調整とを適切に調整できる。（ａ）および（ｃ）の判定処理を組み合わせた検査システム１の場合は、未動作ユニット２１Ｂの開始時に、未動作ユニット２１Ｂが電力を消費するタイミングとその電力消費量を適切に調整できる。（ｂ）および（ｃ）の判定処理を組み合わせた検査システム１の場合は、未動作ユニット２１Ｂの開始時に電力消費量を適切に調整しつつ、動作中ユニット２１Ａの検査中の電力消費量をさらに抑制できる。

【0082】

図１３は、変形例に係る検査装置１０のハードウェアの電気接続および通信接続を示すブロック図である。図１３に示すように、検査装置１０は、電流計５３に代えて電力計５６を適用し、各テスタ２０（検査ユニット２１）に供給される電力の総和である総電力を検出し、総電力に基づき（ａ）～（ｃ）の判定処理を行ってもよい。この場合、総電流と比較するために使用した各電流閾値は、総電力を比較するための電力閾値に読み替えるものとする。つまり、コントローラ３０は、開始電力閾値Ｔｐａ、解除電力閾値Ｔｐｂ、動作中電力閾値Ｔｐｃ、再開電力閾値Ｔｐｄおよび処理速度電力閾値Ｔｐｅを持ち、各テスタ２０に供給される総電力との比較を行う。

【0083】

図１４は、別の変形例に係る検査システム１Ａを示すブロック図である。図１４に示すように、検査システム１Ａは、複数（図１４では２つ）の検査装置１０の各々に供給される総電流を取得し、各検査装置１０全体の総電流、換言すれば工場の各検査装置１０の合計電流に基づき、上記の（ａ）～（ｃ）の判定処理を行ってもよい。この場合、検査ユニット２１の進行を管理する制御部は、所定の検査装置１０のコントローラ３０（図５参照）を適用してもよく、各検査装置１０と別に提供されて各検査装置１０に接続される外部コンピュータ７０を適用してもよい。

【0084】

以上のように、本開示に係る検査システム１の検査方法は、複数の検査ユニット２１に供給される総電流または総電力をモニタリングして、検査ユニット２１の検査を適宜調整する。これにより、検査方法は、複数の検査ユニット２１を有する構成でも、余剰な消費電力の発生を抑えて、検査システム１の消費電力を抑制することができる。したがって、検査システム１は、工場の電源容量が当該検査システム１に多く配電されることを低減して、工場の電源容量を他の設備に安定的に回すことができる。

【0085】

また、検査方法は、（ａ）の判定処理、（ｂ）の判定処理および（ｃ）の判定処理を全て行う。これにより、検査方法は、複数の検査ユニット２１の検査の進行を、一層詳細に管理することができ、検査速度を確保しつつ、検査システム１の消費電力を抑制できる。

【0086】

また、総電流と比較する電流閾値は、以下の（１）の関係に設定され、または総電力と比較する電力閾値は、以下の（２）の関係に設定される。
前記処理速度電流閾値≦前記開始電流閾値＜前記動作中電流閾値 …（１）
前記処理速度電力閾値≦前記開始電力閾値＜前記動作中電力閾値 …（２）

【0087】

これにより、検査方法は、総電流または総電力に基づき、未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を良好に待機することができ、検査システム１の消費電力が大きくなることを効果的に抑制できる。

【0088】

また、総電流と比較する電流閾値、または総電力と比較する電力閾値は、ユーザの操作に応じて設定可能である。これにより、検査方法は、各検査ユニット２１の検査を、ユーザの要望に応じた電力で進行させることができる。

【0089】

また、検査方法は、（ａ）の判定処理による未動作ユニット２１Ｂの検査の待機において、総電流が解除電流閾値Ｔｂ以上または総電力が解除電力閾値Ｔｐｂ以上の場合に、未動作ユニット２１Ｂの待機を継続し、総電流が解除電流閾値Ｔｂ未満または総電力が解除電力閾値Ｔｐｂ未満に達した場合に、未動作ユニット２１Ｂの検査を開始し、解除電流閾値Ｔｂが開始電流閾値Ｔａ以下、または解除電力閾値Ｔｐｂが開始電力閾値Ｔｐａ以下に設定されている。これにより、検査方法は、未動作ユニット２１Ｂの検査を待機した場合に、総電流または総電力が低下したタイミングで、当該未動作ユニット２１Ｂの検査を開始できる。

【0090】

また、検査方法は、（ｂ）の判定処理による動作中ユニット２１Ａの検査の待機において、総電流が再開電流閾値Ｔｄ以上または総電力が再開電力閾値Ｔｐｄ以上の場合に、動作中ユニット２１Ａの待機を継続し、総電流が再開電流閾値Ｔｄ未満または総電力が再開電力閾値Ｔｐｄ未満に達した場合に、動作中ユニット２１Ａの検査を再開し、再開電流閾値Ｔｄが動作中電流閾値Ｔｃ以下、または再開電力閾値Ｔｐｄが動作中電力閾値Ｔｐｃ以下に設定されている。これにより、検査方法は、動作中ユニット２１Ａの検査を待機した場合に、総電流または総電力が低下したタイミングで、当該動作中ユニット２１Ａの検査を開始できる。

【0091】

また、検査方法は、（ｂ）の判定処理による動作中ユニット２１Ａの検査の待機において、当該動作中ユニット２１Ａにて既に実施している検査項目を終了するまで検査を継続し、次の検査項目の実施を待機する。これより、検査システム１は、動作中ユニット２１Ａの検査の再開後に、先に実施している検査項目を再び実施せずに済み、動作中ユニット２１Ａの検査速度の低下を抑止することができる。

【0092】

また、複数の検査ユニット２１は、低電力かつ低速の処理内容で検査する低スループット用プログラムと、高電力かつ高速の処理内容で検査する高スループット用プログラムと、を保有しており、（ｃ）の判定処理により、未動作ユニット２１Ｂは、低スループット用プログラムおよび高スループット用プログラムのうちいずれか一方を実行する。これにより、検査システム１は、総電流または総電力に応じて検査ユニット２１の検査速度を適切に調整することができる。

【0093】

また、検査ユニット２１は、テスタ２０と、テスタ２０に装着されて被検査体である基板（ウエハＷ）に接触するプローブカードＰＲと、を有し、基板に形成された半導体デバイスの電気的特性を検査する。これにより、検査システム１は、消費電力を抑えて、基板の電気的検査を行うことができる。

【0094】

また、本開示の一態様は、被検査体（ウエハＷ）の電気的検査を行う検査ユニット２１を複数備える検査システム１であって、複数の検査ユニット２１の各々に供給する電流の総和である総電流を検出する電流計５３、および電力の総和である総電力を検出する電力計５６のうち少なくとも１つと、検出した総電流または総電力に基づき、以下の（ａ）～（ｃ）の判定処理のうち少なくとも１つを行う制御部（コントローラ３０、外部コンピュータ７０）と、を備える。
（ａ）複数の検査ユニット２１のうち検査を行っていない未動作ユニット２１Ｂが検査を開始するタイミングで、総電流と開始電流閾値Ｔａとを比較または総電力と開始電力閾値Ｔｐａとを比較し、比較の結果、総電流が開始電流閾値Ｔａ以上または総電力が開始電力閾値Ｔｐａ以上の場合には未動作ユニット２１Ｂの検査の開始を待機し、総電流が開始電流閾値Ｔａ未満または総電力が開始電力閾値Ｔｐａ未満の場合には未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する
（ｂ）複数の検査ユニット２１のうち検査を行っている動作中ユニット２１Ａの検査中に、総電流と動作中電流閾値Ｔｃとを比較または総電力と動作中電力閾値Ｔｐｃとを比較し、比較の結果、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ以上または総電力が動作中電力閾値Ｔｐｃ以上となった場合には動作中ユニット２１Ａのうち少なくとも１つを待機し、総電流が動作中電流閾値Ｔｃ未満または総電力が動作中電力閾値Ｔｐｃ未満の場合には動作中ユニット２１Ａの検査を継続する
（ｃ）未動作ユニット２１Ｂが検査を開始するタイミングで、総電流と処理速度電流閾値Ｔｅとを比較または総電力と処理速度電力閾値Ｔｐｅとを比較し、比較の結果、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ以上または総電力が処理速度電力閾値Ｔｐｅ以上の場合には低電力かつ低速の処理内容に設定して未動作ユニット２１Ｂの検査を開始し、総電流が処理速度電流閾値Ｔｅ未満また総電力が処理速度電力閾値Ｔｐｅ未満の場合には高電力かつ高速の処理内容に設定して未動作ユニット２１Ｂの検査を開始する

【0095】

これにより、検査システム１は、複数の検査ユニット２１を有する構成でも検査システム１の消費電力を抑制することができる。

【0096】

今回開示された実施形態に係る検査システム１、１Ａの検査方法および検査システム１、１Ａは、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。例えば、検査システム１が検査する被検査体は、基板（ウエハＷ）に限定されず、電気的検査が必要な種々の電気電子デバイスであってよい。

【符号の説明】

【0097】

１、１Ａ 検査システム
１０ 検査装置
２０ テスタ
２１Ａ 動作中ユニット
２１Ｂ 未動作ユニット
３０ コントローラ
５３ 電流計
５６ 電力計
７０ 外部コンピュータ
Ｔａ 開始電流閾値
Ｔｂ 解除電流閾値
Ｔｃ 動作中電流閾値
Ｔｄ 再開電流閾値
Ｔｅ 処理速度電流閾値
Ｔｐａ 開始電力閾値
Ｔｐｂ 解除電力閾値
Ｔｐｃ 動作中電力閾値
Ｔｐｄ 再開電力閾値
Ｔｐｅ 処理速度電力閾値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】