発明の名称 表面処理方法、その表面処理方法を含む半導体基板の製造方法、表面処理組成物、およびその表面処理組成物を含む半導体基板の製造システム
出願人 株式会社フジミインコーポレーテッド (識別番号 236702)
特許公開件数ランキング 527 位(50件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 380 位(67件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-24268
公報発行日 2023年2月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-24268
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