特開2023-28292半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置

発明の名称　半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置

出願人　国立大学法人広島大学　（識別番号 504136568）

　　　　特許公開件数ランキング 532 位（78件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 593 位（61件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-28292

公報発行日　2023年3月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-28292

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