(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023033096
(43)【公開日】2023-03-09
(54)【発明の名称】偏光フィゾー干渉計
(51)【国際特許分類】
G01B 9/02015 20220101AFI20230302BHJP
【ＦＩ】
G01B9/02015
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2022078411
(22)【出願日】2022-05-11
(31)【優先権主張番号】21193604
(32)【優先日】2021-08-27
(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP
(71)【出願人】
【識別番号】000137694
【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ
(74)【代理人】
【識別番号】100166006
【弁理士】
【氏名又は名称】泉 通博
(74)【代理人】
【識別番号】100154070
【弁理士】
【氏名又は名称】久恒 京範
(74)【代理人】
【識別番号】100153280
【弁理士】
【氏名又は名称】寺川 賢祐
(72)【発明者】
【氏名】松浦 心平
【テーマコード（参考）】
2F064
【Ｆターム（参考）】
2F064AA15
2F064CC02
2F064EE05
2F064GG33
2F064HH03
(57)【要約】 （修正有）
【課題】干渉計の分野に関するものであり、特に、干渉図のコントラストを改善するフィゾー干渉計に関する。
【解決手段】フィゾー干渉計１は、光源２と、参照面４と、フィゾー干渉計の支持体上に配置された被検面５と、撮像システム３とを含む。フィゾー干渉計は、干渉図のコントラストを改善するために偏光参照面を利用する。本発明はさらに、フィゾー干渉計によって得られる干渉図のコントラストを改善するための、本発明のフィゾー干渉計を使用する方法に関する。
【選択図】図１
【解決手段】フィゾー干渉計１は、光源２と、参照面４と、フィゾー干渉計の支持体上に配置された被検面５と、撮像システム３とを含む。フィゾー干渉計は、干渉図のコントラストを改善するために偏光参照面を利用する。本発明はさらに、フィゾー干渉計によって得られる干渉図のコントラストを改善するための、本発明のフィゾー干渉計を使用する方法に関する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備え、
前記光路の第１部分は、前記光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、
参照面は、前記光源と前記被検面の前記支持体との間の前記光路の前記第１部分に配置され、
前記光路の第２部分は、前記被検面から前記参照面まで、そして、前記光路の前記第２部分から入射する光を測定する前記フィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、
前記撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、前記参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、前記光源から放出され前記光路の前記第１部分に沿って入射した前記光ビームを部分反射および偏光させて前記参照面により前記参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、前記参照面によって、前記光路の前記第２部分に沿って前記撮像システムに向けて反射され、
前記参照光ビームは第１偏光角度を有し、前記被検光ビームは、前記光路の前記第１部分に沿って入射する前記光ビームが、前記光路の前記第１部分に沿って前記参照面を介して前記被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、前記参照面によって偏光され、この被検光ビームは、前記被検面によって前記参照面に向けて、そして前記光路の前記第２部分を通って前記撮像システムへ反射され、
前記被検光ビームは、第２偏光角度を有し、
前記第１偏光角度と前記第２偏光角度は異なり、前記フィゾー干渉計は、前記光路と前記第２部分において前記参照面と前記撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、
前記第１偏光子は、前記撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、
フィゾー干渉計。
前記光路の第１部分は、前記光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、
参照面は、前記光源と前記被検面の前記支持体との間の前記光路の前記第１部分に配置され、
前記光路の第２部分は、前記被検面から前記参照面まで、そして、前記光路の前記第２部分から入射する光を測定する前記フィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、
前記撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、前記参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、前記光源から放出され前記光路の前記第１部分に沿って入射した前記光ビームを部分反射および偏光させて前記参照面により前記参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、前記参照面によって、前記光路の前記第２部分に沿って前記撮像システムに向けて反射され、
前記参照光ビームは第１偏光角度を有し、前記被検光ビームは、前記光路の前記第１部分に沿って入射する前記光ビームが、前記光路の前記第１部分に沿って前記参照面を介して前記被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、前記参照面によって偏光され、この被検光ビームは、前記被検面によって前記参照面に向けて、そして前記光路の前記第２部分を通って前記撮像システムへ反射され、
前記被検光ビームは、第２偏光角度を有し、
前記第１偏光角度と前記第２偏光角度は異なり、前記フィゾー干渉計は、前記光路と前記第２部分において前記参照面と前記撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、
前記第１偏光子は、前記撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、
フィゾー干渉計。
【請求項2】
前記第１偏光子は、前記第３偏光角度が可変の第３偏光角度となるような第１可変角度偏光子である、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項3】
前記光路の前記第１部分において前記光源と前記参照面との間に設けられた第２偏光子をさらに備え、
前記第２偏光子は、前記光源と前記参照面との間の前記光路の前記第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であり、
その偏光された光は可変の第４偏光角度を有する、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
前記第２偏光子は、前記光源と前記参照面との間の前記光路の前記第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であり、
その偏光された光は可変の第４偏光角度を有する、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項4】
前記第１可変角度偏光子および／または前記第２可変角度偏光子は、角度可変の１／２波長板また角度可変のダイクロイック偏光子である、
請求項２または３に記載のフィゾー干渉計。
請求項２または３に記載のフィゾー干渉計。
【請求項5】
前記撮像システムは、前記参照光ビームと前記被検光ビームとを干渉させることで生成される前記干渉図のコントラストを測定するようにさらに構成される、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
【請求項6】
前記偏光参照面は、好ましくは反射偏光子であり、
前記偏光参照面は、ワイヤグリッド偏光子である、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
前記偏光参照面は、ワイヤグリッド偏光子である、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
【請求項7】
前記光源は、好ましくは単色光を放出するように構成され、
前記光源は、単色レーザである、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
前記光源は、単色レーザである、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
【請求項8】
前記参照光ビームおよび前記被検光ビームは、直交する偏光を有する、
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
先の請求項の１以上に記載のフィゾー干渉計。
【請求項9】
被検面の特性を決定する方法であって、
請求項１から８に記載のフィゾー干渉計が使用される、
方法。
請求項１から８に記載のフィゾー干渉計が使用される、
方法。
【請求項10】
フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善する方法であって、
少なくとも請求項２に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第３偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第３偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
少なくとも請求項２に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第３偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第３偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
【請求項11】
フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善する方法であって、
少なくとも請求項３に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第４偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第４偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
少なくとも請求項３に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第４偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第４偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、干渉計の分野に関するものであり、特に、干渉図のコントラストを改善するフィゾー干渉計に関する。フィゾー干渉計は、光源と、参照面と、フィゾー干渉計の支持体上に配置された被検面と、撮像システムとを含む。本発明はさらに、フィゾー干渉計によって得られる干渉図のコントラストを改善するための、本発明のフィゾー干渉計の使用方法に関する。
【背景技術】
【0002】
フィゾー干渉計システムは、フィゾー干渉計、例えば被検面支持体上に配置された被検面の特性を測定するために使用されてもよい。フィゾー干渉計を用いて、参照光ビームと被検光ビームを干渉させることで、干渉図と呼ばれる干渉パターンが形成されてもよい。参照光ビームは参照面で反射される光ビームであり、被検光ビームは被検面で反射される光ビームである。被検面の特性は、参照面と比較して、干渉パターンに影響を及ぼすものである。したがって、干渉パターンを分析することで、被検面の特性を決定することができる。これらの特性には、被検面の高さに関連する特性が含まれてもよい。
【0003】
既知のフィゾー干渉計では、被検面と参照面は互いに対向して配置される。
【0004】
既知のフィゾー干渉計は、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備え、光路の第１部分は、光源と、フィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、参照面は、参照光ビームおよび被検光ビームが生成されるように部分反射性があり、参照光ビームは、光源から放出され、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが部分反射されることで形成され、その参照光ビームは、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って参照面を通過した光ビームを被検面に向けて通過させることで形成され、その被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして、光路の第２部分に沿って撮像システムへと反射され、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成される。
【0005】
被検光ビームは、被検面で反射された後、参照面を通過してもよい。
【0006】
フィゾー干渉計の最適なパフォーマンスは、干渉図のコントラストがより良好になることで改善する。改善した最適なパフォーマンスにより、フィゾー干渉計で行う測定がより良いものになり、例えば、被検面の軸方向の解像度の改善した試験を可能にする。参照光ビームと被検光ビームの強度比がほぼ等しい場合、干渉図のコントラストは最大に近くなる。参照光ビームと被検光ビームの強度がほぼ等しい場合、２つのビームは均衡していると言われる。
【0007】
２つの光ビームの強度比は、例えば被検面の反射率が低い場合、不均等になることがある。この場合、参照光ビームの強度が被検光ビームの強度よりも高くなる場合がある。
これは、干渉図のコントラストを低下させ、したがってフィゾー干渉計のパフォーマンスを低下させる。
これは、干渉図のコントラストを低下させ、したがってフィゾー干渉計のパフォーマンスを低下させる。
【0008】
同様に、被検面の反射率が参照面よりも高い場合、被検光ビームの強度が参照光ビームの強度よりも高くなる場合がある。この場合、干渉図のコントラストも低下し、フィゾー干渉計のパフォーマンスが所望のものよりも低くなる場合がある。
【0009】
既知のフィゾー干渉計では、ビーム比、すなわち撮像システムにおける参照光ビームと被検光ビームの比は、参照面の反射率を変化させることで制御される。参照面の反射率は、参照面を別の反射率を有する参照面に置き換えることで制御してもよい。また、光路に、いわゆるＮＤ（ｎｅｕｔｒａｌ ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタを挿入することでビーム比を制御してもよい。既知のフィゾー干渉計では、通常、ＮＤフィルタは、参照面と被検面との間に配置される。
【0010】
ビーム比を制御するこれらの方法は、対象となる被検面に応じて、異なる参照面および／またはＮＤフィルタを多数必要とする。参照面およびＮＤフィルタは、対象となる被検面それぞれに適した反射率および透過率を有する必要がある。様々な参照面および／またはＮＤフィルタを有する必要性は、フィゾー干渉計の使用コストを増加させ得る。
【0011】
さらに、最適な測定を行うために、フィゾー干渉計のユーザは、異なる被検面を測定するたびにフィゾー干渉計の構成を変更しなければならない場合があり、これは、干渉計の再位置合わせが必要になるというデメリットもある。これにより、測定時間が長くなる。さらに、システム内の素子を交換することで、埃や指紋などによる光学系の汚染のリスクが高まる。
【0012】
本発明の目的は、参照光ビームおよび被検光ビームによって生成される干渉図のコントラストを改善するための代替手段を備えるフィゾー干渉計を提供することである。
【0013】
したがって、請求項１に記載のフィゾー干渉計は、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備えるフィゾー干渉計であって、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ反射され、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路と第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【0014】
本発明のフィゾー干渉計は、参照光ビームと被検光ビームを偏光させることで、干渉図のコントラストを改善することができる。参照光ビームは、部分反射参照面に入射する光ビームが部分反射されることで形成され、参照光ビームは、第１偏光角度を有しており、すなわち第１偏光と等価である。被検光ビームは、光ビームが参照面を通過することで形成され、被検光ビームは、第２偏光角度を有しており、すなわち第２偏光と等価である。第１偏光角度と第２偏光角度は同じではない。
【0015】
撮像システムの手前にある第１偏光子は、参照光ビームおよび被検光ビームの偏光を揃えて、２つの光ビームを干渉させる。第１偏光子は、第３偏光の光を撮像システムに向けて通過させる。こうして、参照光ビームおよび被検光ビームの両方は、第１偏光子によって第３偏光角度で偏光される。撮像システムに到達する２つのビームの強度比、ひいては干渉図のコントラストは、第３偏光角度に依存する。第１偏光子および対応する第３偏光角度を適切に選択することで、干渉図のコントラストを改善することができる。
【0016】
例えば、光ビームの偏光は、ｘ成分とｙ成分とに分解されてもよい。例えば、参照光ビームの第１偏光は、ｘ成分のみを有してもよく、被検光ビームの第２偏光は、ｙ成分のみを有してもよい。直交座標の場合、第１偏光と第２偏光は直交する。第３偏光がｘ成分のみを有する場合、参照光ビームを完全に撮像システムに向けて通過させることができるが、被検光ビームは、偏光子によって遮断される。第３偏光がｘ成分とｙ成分との両方を有する場合、例えばｘ成分とｙ成分が等しい場合、参照光ビームの一部と被検光ビームの一部、例えば等しい部分を、撮像システムに向けて通過させることができる。
【0017】
このように、第３偏光角度は、撮像システムに到達するビーム比率を決定し、干渉図のコントラストを改善することを可能にする。
【0018】
フィゾー干渉計の一実施形態は、第３偏光角度が可変の第３偏光角度となるような第１可変角度偏光子である。この実施形態では、第１偏光子の偏光を変化させることで、第３偏光角度、ひいては干渉図のビーム比やコントラストを変化させることを可能にする。有利なことには、干渉図のコントラストを変更するために、フィゾー干渉計の第１偏光子を、異なる第３偏光角度を有する別の第１偏光子に交換する必要はない。好ましくは、第１可変角度偏光子はダイクロイック偏光子である。
【0019】
フィゾー干渉計の別の実施形態では、光路の第１部分において、光源と参照面との間に第２偏光子が設けられ、第２偏光子は、光源と参照面との間の光路の第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であり、その偏光された光は可変の第４偏角度を有する。
【0020】
第２偏光子は、光路の第１部分を参照面に向けて進行する光ビームを偏光することで、ビーム比、ひいては干渉図のコントラストの制御を可能にする。参照面に向かって進行する光ビームが第１偏光角度に近い第４偏光角度を有する場合、光ビームの大部分が参照面によって反射され、参照光ビームを形成する。対照的に、参照面に向かって進行する光ビームが第２偏光角度に近い第４偏光角度を有する場合、光ビームのごく一部が参照面によって反射され、参照光ビームを形成する。どちらの場合も、光ビームの残りの部分は参照面を通過し、被検光ビームを形成する。このように第４偏光角度を制御することでビーム比を制御することができ、干渉図のコントラストを改善することができる。さらに有利には、この実施形態は、第４偏光角度を制御することで、被検面に入射する際の被検光ビームの強度の制御を可能にする。好ましくは、第２偏光子は、角度可変の１／２波長板である。
【0021】
第１および／または第２可変角度偏光子を有する実施形態において、第１可変角度偏光子および／または第２可変角度偏光子は、角度可変の１／２波長板または角度可変のダイクロイック偏光子であってもよい。好ましい実施形態にかかわらず、第１および／または第２偏光子のいずれかは、任意の適切な、場合によっては角度可変の、偏光子によって具現化されてもよい。
【0022】
フィゾー干渉計の一実施形態において、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図のコントラストを測定するようにさらに構成される。フィゾー干渉計は、干渉図のコントラストを改善することができる。この実施形態では、撮像システムは、有利には、干渉図のコントラストを測定することを可能にし、これにより、第３または第４の偏光角度を変化させる効果を定量化することを可能にする、または、より効果的に干渉図のコントラストを改善することを可能にする。撮像システムは、干渉図の暗い領域と明るい領域とを比較してコントラストを測定するように構成されてもよい。撮像システムは、例えば、干渉図において中間の輝度を有する領域のサイズを考慮することによって、明るい領域と暗い領域とがどの程度明確にされているかを測定することによって、コントラストを測定するように構成されてもよい。
【0023】
フィゾー干渉計の一実施形態において、偏光参照面は、好ましくは反射偏光子であり、偏光参照面は、ワイヤグリッド偏光子である。ワイヤグリッド偏光子は有利に使用され、実験によればフィゾー干渉計に典型的に見られる入射光条件下で、効率的に光を反射するとともに透過させる。他の偏光参照面も本発明において使用されてもよい。
【0024】
一実施形態においては、フィゾー干渉計の光源は、好ましくは単色光を放出するように構成され、光源は、単色レーザである。実施形態では、光源の波長は、対象となる被検面に応じて構成されてもよい。例えば、測定される被検面が小さい場合、より小さな波長の光を放出する光源が必要になることがある。
【0025】
フィゾー干渉計の一実施形態では、参照光ビームおよび被検光ビームは、直交する偏光を有する。
【0026】
本発明はさらに、被検面の特性を決定する方法に関するものであり、本発明のフィゾー干渉計が使用される。
【0027】
本発明はさらに、フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善する方法であって、第１可変角度偏光子を含むフィゾー干渉計を使用する方法に関し、この方法は、
－参照面および被検面を光源で照明することと、
－撮像システムによって測定された干渉図のコントラストを決定することと、
－第３偏光角度を変化させて干渉図のコントラストを変化させることと、
－第３偏光角度を変化させることで干渉図のコントラストを改善することと、
を備える。
－参照面および被検面を光源で照明することと、
－撮像システムによって測定された干渉図のコントラストを決定することと、
－第３偏光角度を変化させて干渉図のコントラストを変化させることと、
－第３偏光角度を変化させることで干渉図のコントラストを改善することと、
を備える。
【0028】
上記の方法ステップは、同時に実行されてもよく、例えば第３偏光角度は、参照面が照明され、干渉図のコントラストが決定されている最中に、変更されてもよい。方法ステップはまた、反復的に実行されてもよく、例えば所望のコントラストを有する干渉図をもたらす第３偏光角度を決定するように、第３偏光角度を様々な回数だけ変化させてもよい。
【0029】
干渉図のコントラストを改善することで、フィゾー干渉計の光学的パフォーマンスを改善することができる。改善したコントラストの干渉図とは、コントラスト比のより高い干渉図であってもよい。
【0030】
本発明はさらに、フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善するための方法であって、第２の可変角度偏光子を含むフィゾー干渉計を使用する方法に関し、この方法は、
－参照面および被検面を光源で照明することと、
－撮像システムによって測定された干渉図のコントラストを決定することと、
－第４偏光角度を変化させて干渉図のコントラストを変化させることと、
－第４偏光角度を変化させることで干渉図のコントラストを改善することと、
を備える。
－参照面および被検面を光源で照明することと、
－撮像システムによって測定された干渉図のコントラストを決定することと、
－第４偏光角度を変化させて干渉図のコントラストを変化させることと、
－第４偏光角度を変化させることで干渉図のコントラストを改善することと、
を備える。
【0031】
本発明はさらに、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備えるフィゾー干渉計に関し、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ向けられ、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路と第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【0032】
第１偏光子は、第３偏光角度が可変の第３偏光角度となるような第１可変角度偏光子であって、フィゾー干渉計は、光路の第１部分において光源と参照面との間に設けられた第２偏光子をさらに含み、第２偏光子は、光源と参照面との間の光路の第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であって、その偏光された光は可変の第４偏角度を有する。
【0033】
本発明はさらに、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を含むフィゾー干渉計に関し、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、可変の偏光角度を有する偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ反射され、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路と第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【0034】
本発明のこの実施形態では、参照面は、参照光ビームおよび被検光ビームを可変の偏光角度で偏光するように構成される。本明細書に記載の他の実施形態と同様に、これは、参照光ビームと被検光ビームとのビーム比、ひいては干渉図のコントラストの制御を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【0035】
ここで、本発明の実施形態を、対応する参照符号が対応する部分を示す添付の概略図を参照して、例示的にのみ説明する。
【0036】
【図1】偏光参照面と第１偏光子とを備えるフィゾー干渉計を示す。
【図2】偏光参照面と偏光角度が可変な第１偏光子とを備えるフィゾー干渉計を示す。
【図3】偏光参照面と、第１偏光子と、第２偏光子とを備えるフィゾー干渉計を示す。
【図4A】参照光ビームおよび被検光ビームの偏光と、その偏光に対する第１偏光子の効果とを示す。
【図4B】参照光ビームおよび被検光ビームの偏光と、その偏光に対する第１偏光子の効果とを示す。
【図4C】参照光ビームおよび被検光ビームの偏光と、その偏光に対する第１偏光子の効果とを示す。
【図4D】参照光ビームおよび被検光ビームの偏光と、その偏光に対する第１偏光子の効果とを示す。
【0037】
図１は、偏光参照面４と第１偏光子８とを含むフィゾー干渉計１を示す。本実施形態の第１偏光子８は、第３偏光角度の光を撮像システム３に向けて通過させるように構成されている。
【0038】
フィゾー干渉計１は、第１部分６と第２部分７とを含む、光路に沿って進む光ビームを放出する光源２を含む。光源は、単色レーザなどの単色光源２であってもよい。光路の第１部分６は、被検面５がフィゾー干渉計１の支持体上に配置されたとき、光源２と被検面５との間に延在する。偏光参照面４は、光路の第１部分６において光源２と被検面５との間に配置される。参照面４と被検面５は互いに対向して配置されている。
【0039】
光路の第２部分７は、被検面５から参照面４まで、そして参照面４を通って、撮像システム３まで延在する。撮像システム３は、光路の第２部分７から入射する光を測定するように構成される。光路には複数のレンズ１１が配置され、光を光路に沿って誘導する。光路の第２部分７は、光路の第１部分６と部分的に重なる。この実施形態では、ビームスプリッタ１０は、参照面４および被検面５によって反射された光を撮像システム３に向けて送り、光源２からの光を参照面４および被検面５に向けて進行させるように光路内に配置される。ビームスプリッタ１０は、光路の第１部分６を光路の第２部分７から分離する。
【0040】
撮像システム３は、参照光ビーム３２を被検光ビーム３１と干渉させて得られる干渉図を測定するように構成される。例えば、撮像システム３は、干渉図から被検面５の情報を抽出したり、干渉図を表示装置に表示したりするなど、干渉図をさらに処理する計算手段に接続されてもよい。本発明の実施形態では、撮像システム３はさらに、干渉図のコントラストを直接測定するように構成されてもよい。
【0041】
参照面４は、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１が形成されるように部分反射性を有しており、参照光ビーム３２は、光源２が放出する光ビームが部分反射されることで形成される。被検光ビーム３１は、光路の第１部分６に沿って参照面４を通過した光ビームが被検面５に向かって通過することで形成される。参照光ビーム３２は、参照面４によって、光路の第２部分７に沿って撮像システム３に向け反射される。被検光ビーム３１は、光路の第１部分６に沿って参照面４を通過して被検面５へ向かう。そして、被検光ビーム３１は、被検面５によって光ビームの第２部分７に沿って反射され、参照面４に向かって戻り、撮像システム３に向かって進む。
【0042】
参照面４は、第１偏光角度で光を反射し、第２偏光角度で光を通過させるように構成された偏光参照面４である。第１および第２の偏光角度は異なる。参照光ビーム３２は偏光参照面によって第１偏光角度で偏光され、被検光ビーム３１は偏光参照面によって第２偏光角度で偏光される。
【0043】
実施形態では、偏光参照面４は、反射型偏光子として具現化され、好ましくは、偏光参照面４は、ワイヤグリッド偏光子として具現化される。ワイヤグリッド偏光子の利点は、ワイヤグリッド偏光子が、フィゾー干渉計で典型的に見られる入射光条件下で、参照光ビームと被検光ビームを偏光させることを可能にすることである。
【0044】
フィゾー干渉計１は、光路の第２部分７において参照面４と撮像システム３との間に配置される第１偏光子８をさらに含む。第１偏光子８は、第３偏光の光を撮像システム３に向けて通過させるように構成される。実施形態では、第１偏光子８は、１／２波長板またはダイクロイック偏光子として具現化される。第１偏光子の他の実施形態も可能である。
【0045】
偏光参照面４を用いて光を偏光することで、参照光ビーム３２と被検光ビーム３１は異なる偏光を有する。異なる偏光を有する光ビームは、最適に干渉しないことが知られている。第１偏光子８は、参照光ビーム３２と被検光ビーム３１の偏光を揃えて、光ビームの干渉を可能にする。
【0046】
さらに、この実施形態では、第１偏光子８は、被検光ビーム３１と比較して参照光ビーム３２の相対的な割合を選択することができる。これは、図４Ａ～４Ｄを参照して、以下に詳細に説明する。
【0047】
２つの光ビームの相対的な割合を選択することで、参照光ビーム３２の強度と被検光ビーム３１の強度とのビーム比が制御される。その結果、適切な第３偏光角度を有する適切な第１偏光子８を選択することで、参照光ビーム３２と被検光ビーム３１とを干渉させて得られる干渉図のコントラストを改善することができる。これは、被検面５の反射率が参照面４の反射率と比較して大幅に異なる場合に特に重要である。２つの面４、５の反射率が大幅に異なる場合、得られる干渉図のコントラストが減少し、フィゾー干渉計１が実行する測定に悪影響が生じる。本発明のこの実施形態は、特に参照面４および被検面５の反射率が異なる場合に、改善した測定を可能にする。
【0048】
図２は、フィゾー干渉計１の第２の実施形態を示す。図２のフィゾー干渉計１は、偏光参照面４および第１偏光子２８を含む。この実施形態における第１偏光子２８は、可変の偏光角度を有する。図２に示すフィゾー干渉計１の実施形態は、第１可変角度偏光子２８を有する以外は、図１に示す実施形態と同じであってもよい。
【0049】
図２の実施形態における第１偏光子２８は、可変の第３偏光角度を有し、これは、撮像システム３における参照光ビーム３２と被検光ビーム３１とのビーム比を制御することを可能にする。ビーム比を制御することで、干渉図のコントラストを改善することができ、例えばコントラストを増加させることができる。第１可変角度偏光子２８は、ダイクロイック偏光子２８であってもよい。
【0050】
図３は、フィゾー干渉計１の第３の実施形態を示す。図３のフィゾー干渉計１は、光路の第１部分６において光源２と参照面４との間に設けられる第２偏光子９を含み、第２偏光子９は、光源２と参照面４との間の光路の第１部分６を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子９であり、その偏光された光は可変の第４偏角度を有する。
【0051】
第２偏光子９は、光路の第１部分６を参照面４に向かって進行する光ビームを偏光することで、ビーム比、ひいては干渉図のコントラストの制御を可能にする。例えば、参照面４に向かって進行する光ビームが第１偏光角度に近い第４偏光角度を有する場合、光ビームの大部分が参照面４によって反射され、参照光ビーム３２を形成する。対照的に、参照面４に向かって進行する光ビームが第２偏光角度に近い第４偏光角度を有する場合、光ビームのわずかな部分が参照面４によって反射され、参照光ビーム３２を形成する。両方の場合において、光ビームの残りの部分は参照面４を通過し、被検光ビーム３１を形成する。第４偏光角度を制御することで、ビーム比を制御することができ、これにより干渉図のコントラストを改善することができる。この実施形態は、さらに有利には、第４偏光角度、ひいては参照面４を通過する光の割合を制御することで、被検面５に入射する際の被検光ビーム３１の強度の制御を可能にする。
【0052】
好ましくは、第２偏光子９は、角度可変の１／２波長板として具現化される。
【0053】
図４Ａ、４Ｂ、４Ｃおよび４Ｄは、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１の偏光と、それに対する第１偏光子８、２８の効果を示す。参照光ビーム３２および被検光ビーム３１は、図において矢印で示されており、矢印の長さは光ビームの振幅を示し、ｘ－ｙ平面における矢印の方向は光ビームの偏光を示す。第３偏光角度３３は、図中の、より細い矢印によって示される。
【0054】
図４Ａおよび４Ｃは、偏光子８、２８を通過する前の参照光ビーム３２と被検光ビーム３１とを、２つの異なる状況において示している。
【0055】
図４Ａは、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１が、同様の振幅と強度を持ちながら、直交偏光される状況を示す。参照光ビーム３２はｙ軸に沿って偏光され、被検光ビーム３１はｘ軸に沿って偏光される。第１の偏光子８、２８の第３偏光角度３３への光ビームの投影は、破線によって示されている。
【0056】
図４Ｂに見られるように、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１は、図４Ａの光ビームが偏光子８、２８を通過した後、両方とも第３偏光角度３３に揃い、両方とも同じ振幅を有している。この図において、矢印３４は、参照光ビーム３２と被検光ビーム３１の両方を示している。図４Ａおよび図４Ｂは、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１が同じ振幅で直交する偏光を有する状況を示している。この場合、第３偏光角度３３が、それらの光ビームの両方の偏光角度の４５度と等しければ、第１偏光子以降の光ビームは同じ強度を持つ。
【0057】
それとは異なる状況が、図４Ｃおよび４Ｄに示されている。図４Ｃに見られるように、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１の偏光は、この例でも直交している。しかし、被検光ビーム３１は、おそらく反射率の高い被検面５の結果として、参照光ビームよりも大きな振幅を有している。
【0058】
図４Ｃに見られるように、第３偏光角度３３は、両方の光ビームの４５度ではなくなっている。この効果は、図４Ｄに見ることができる。結果として得られる参照光ビーム３２および被検光ビーム３１は、再び矢印３４で示されている。また、この例では、参照光ビーム３２および被検光ビーム３１は、第１偏光子８、２８を通過する前は振幅が異なっていたが、第１偏光子８、２８を通過した後は振幅と偏光が同じになっている。このように、第１偏光子８、２８の手前ではビーム比が１とは異なっていたのに対し、第１偏光子８、２８の後ではビーム比が１に近くなっている。第３偏光角度３３が参照光ビーム３１および被検光ビーム３２の振幅に与える影響を明確に確認することができる。
【0059】
図４Ａ～４Ｄは、ビーム比およびコントラストを制御するために第１偏光子８、２８を利用する本発明を示しているが、本発明の他の実施形態、例えば第２偏光子９を含むなどといった、本発明の他の実施形態は、同じ原理で機能する。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【手続補正書】
【提出日】2022-07-19
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0013】
したがって、請求項１に記載のフィゾー干渉計は、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備えるフィゾー干渉計であって、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ反射され、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路の第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0031】
本発明はさらに、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備えるフィゾー干渉計に関し、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ向けられ、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路の第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0033】
本発明はさらに、光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を含むフィゾー干渉計に関し、光路の第１部分は、光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、参照面は、光源と被検面の支持体との間の光路の第１部分に配置され、光路の第２部分は、被検面から参照面まで、そして、光路の第２部分から入射する光を測定するフィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、参照面は、可変の偏光角度を有する偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、光源から放出され光路の第１部分に沿って入射した光ビームを部分反射および偏光させて参照面により参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、参照面によって、光路の第２部分に沿って撮像システムに向けて反射され、参照光ビームは第１偏光角度を有し、被検光ビームは、光路の第１部分に沿って入射する光ビームが、光路の第１部分に沿って参照面を介して被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、参照面によって偏光され、この被検光ビームは、被検面によって参照面に向けて、そして光路の第２部分を通って撮像システムへ反射され、被検光ビームは、第２偏光角度を有し、第１偏光角度と第２偏光角度は異なり、フィゾー干渉計は、光路の第２部分において参照面と撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、第１偏光子は、撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、フィゾー干渉計。
【手続補正4】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光路に沿って進行する光ビームを放出する光源を備え、
前記光路の第１部分は、前記光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、
参照面は、前記光源と前記被検面の前記支持体との間の前記光路の前記第１部分に配置され、
前記光路の第２部分は、前記被検面から前記参照面まで、そして、前記光路の前記第２部分から入射する光を測定する前記フィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、
前記撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、前記参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、前記光源から放出され前記光路の前記第１部分に沿って入射した前記光ビームを部分反射および偏光させて前記参照面により前記参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、前記参照面によって、前記光路の前記第２部分に沿って前記撮像システムに向けて反射され、
前記参照光ビームは第１偏光角度を有し、前記被検光ビームは、前記光路の前記第１部分に沿って入射する前記光ビームが、前記光路の前記第１部分に沿って前記参照面を介して前記被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、前記参照面によって偏光され、この被検光ビームは、前記被検面によって前記参照面に向けて、そして前記光路の前記第２部分を通って前記撮像システムへ反射され、
前記被検光ビームは、第２偏光角度を有し、
前記第１偏光角度と前記第２偏光角度は異なり、前記フィゾー干渉計は、前記光路の第２部分において前記参照面と前記撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、
前記第１偏光子は、前記撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、
フィゾー干渉計。
前記光路の第１部分は、前記光源とフィゾー干渉計の支持体上に配置された反射被検面との間に延在し、
参照面は、前記光源と前記被検面の前記支持体との間の前記光路の前記第１部分に配置され、
前記光路の第２部分は、前記被検面から前記参照面まで、そして、前記光路の前記第２部分から入射する光を測定する前記フィゾー干渉計の撮像システムまで延在し、
前記撮像システムは、参照光ビームと被検光ビームとを干渉させることで生成される干渉図を測定するように構成され、前記参照面は、偏光性・部分反射性を有する参照面であることを特徴としており、前記光源から放出され前記光路の前記第１部分に沿って入射した前記光ビームを部分反射および偏光させて前記参照面により前記参照光ビームを形成し、この参照光ビームは、前記参照面によって、前記光路の前記第２部分に沿って前記撮像システムに向けて反射され、
前記参照光ビームは第１偏光角度を有し、前記被検光ビームは、前記光路の前記第１部分に沿って入射する前記光ビームが、前記光路の前記第１部分に沿って前記参照面を介して前記被検面に向けて通過することで形成され、この被検光ビームは、前記参照面によって偏光され、この被検光ビームは、前記被検面によって前記参照面に向けて、そして前記光路の前記第２部分を通って前記撮像システムへ反射され、
前記被検光ビームは、第２偏光角度を有し、
前記第１偏光角度と前記第２偏光角度は異なり、前記フィゾー干渉計は、前記光路の第２部分において前記参照面と前記撮像システムとの間に配置される第１偏光子をさらに備え、
前記第１偏光子は、前記撮像システムに向けて第３偏光角度の光を通過させるように構成される、
フィゾー干渉計。
【請求項2】
前記第１偏光子は、前記第３偏光角度が可変の第３偏光角度となるような第１可変角度偏光子である、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項3】
前記光路の前記第１部分において前記光源と前記参照面との間に設けられた第２偏光子をさらに備え、
前記第２偏光子は、前記光源と前記参照面との間の前記光路の前記第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であり、
その偏光された光は可変の第４偏光角度を有する、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
前記第２偏光子は、前記光源と前記参照面との間の前記光路の前記第１部分を進行する光を偏光するように構成された第２可変角度偏光子であり、
その偏光された光は可変の第４偏光角度を有する、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項4】
前記第１可変角度偏光子および／または前記第２可変角度偏光子は、角度可変の１／２波長板また角度可変のダイクロイック偏光子である、
請求項２または３に記載のフィゾー干渉計。
請求項２または３に記載のフィゾー干渉計。
【請求項5】
前記撮像システムは、前記参照光ビームと前記被検光ビームとを干渉させることで生成される前記干渉図のコントラストを測定するようにさらに構成される、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項6】
前記偏光参照面は、反射偏光子であり、
前記偏光参照面は、ワイヤグリッド偏光子である、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
前記偏光参照面は、ワイヤグリッド偏光子である、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項7】
前記光源は、単色光を放出するように構成され、
前記光源は、単色レーザである、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
前記光源は、単色レーザである、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項8】
前記参照光ビームおよび前記被検光ビームは、直交する偏光を有する、
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
請求項１に記載のフィゾー干渉計。
【請求項9】
被検面の特性を決定する方法であって、
請求項１に記載のフィゾー干渉計が使用される、
方法。
請求項１に記載のフィゾー干渉計が使用される、
方法。
【請求項10】
フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善する方法であって、
少なくとも請求項２に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第３偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第３偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
少なくとも請求項２に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第３偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第３偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
【請求項11】
フィゾー干渉計における干渉図のコントラストを改善する方法であって、
少なくとも請求項３に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第４偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第４偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
少なくとも請求項３に記載のフィゾー干渉計が使用され、
前記方法は、
－前記参照面および前記被検面を前記光源で照明することと、
－前記撮像システムによって測定された前記干渉図のコントラストを決定することと、
－前記第４偏光角度を変化させて前記干渉図のコントラストを変化させることと、
－前記第４偏光角度を変化させることで前記干渉図のコントラストを改善することと、
を備える、
方法。
【外国語明細書】
