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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023003350
(43)【公開日】2023-01-11
(54)【発明の名称】感光性組成物
(51)【国際特許分類】
G03F 7/004 20060101AFI20221228BHJP
G03F 7/032 20060101ALI20221228BHJP
G02B 1/04 20060101ALI20221228BHJP
G02B 5/00 20060101ALI20221228BHJP
G03F 7/20 20060101ALI20221228BHJP
【ＦＩ】
G03F7/004 505
G03F7/004 501
G03F7/032 501
G02B1/04
G02B5/00 B
G03F7/20 501
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021104473
(22)【出願日】2021-06-23
(71)【出願人】
【識別番号】000220239
【氏名又は名称】東京応化工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100106002
【弁理士】
【氏名又は名称】正林 真之
(74)【代理人】
【識別番号】100120891
【弁理士】
【氏名又は名称】林 一好
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 梓実
【テーマコード（参考）】
2H042
2H197
2H225
【Ｆターム（参考）】
2H042AA15
2H042AA22
2H197CA03
2H197CA04
2H197CA05
2H197CA08
2H197HA08
2H225AC35
2H225AC36
2H225AC58
2H225AC72
2H225AD06
2H225AE06P
2H225AN34P
2H225AN39P
2H225AN56P
2H225AN82P
2H225AP03P
2H225BA01P
2H225BA16P
2H225BA35P
2H225CA15
2H225CB02
2H225CC01
2H225CC13
(57)【要約】
【課題】レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられ、レンズに塗布して形成した塗布膜を位置選択的に露光及び現像することにより、遮光層を形成でき、且つ未露光部のレンズの透過率の低下を抑制できる感光性組成物と、当該感光性組成物を用いる光学素子の製造方法と、光学素子とを提供する。
【解決手段】レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる感光性組成物であって、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である感光性組成物を用いる。
【選択図】なし
【解決手段】レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる感光性組成物であって、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である感光性組成物を用いる。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる感光性組成物であって、
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、
前記遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、前記感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である、感光性組成物。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、
前記遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、前記感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である、感光性組成物。
【請求項2】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、質量平均分子量２５００以下のカルド構造を有する樹脂を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項3】
前記光重合性モノマー（Ｂ）が、水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートを含む、請求項１又は２に記載の感光性組成物。
【請求項4】
多官能エポキシ化合物（Ｆ）を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項5】
前記有機黒色顔料（Ｄ１）が、ラクタム系顔料及びペリレン系顔料から選択される少なくとも一種を含む、請求項１～４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項6】
前記遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）以外の黒色顔料（Ｄ２）を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項7】
前記レンズが、樹脂からなる、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項8】
前記樹脂が、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、エポキシ樹脂又はアクリル樹脂である、請求項７に記載の感光性組成物。
【請求項9】
レンズと、前記レンズの周縁に位置する遮光層とを備える光学素子の製造方法であって、
請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物を前記レンズに塗布して塗布膜を形成する、塗布膜形成工程と、
前記塗布膜における前記遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する、露光工程と、
露光後の前記塗布膜を現像する、現像工程と、
現像後の前記塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を有する光学素子の製造方法。
請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物を前記レンズに塗布して塗布膜を形成する、塗布膜形成工程と、
前記塗布膜における前記遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する、露光工程と、
露光後の前記塗布膜を現像する、現像工程と、
現像後の前記塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を有する光学素子の製造方法。
【請求項10】
前記熱硬化工程は、１００℃以下の温度で行われる、請求項９に記載の光学素子の製造方法。
【請求項11】
前記レンズが、樹脂からなる、請求項９又は１０に記載の光学素子の製造方法。
【請求項12】
前記樹脂が、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、エポキシ樹脂又はアクリル樹脂である、請求項１１に記載の光学素子の製造方法。
【請求項13】
レンズと、前記レンズの周縁に位置する遮光層とを備え、
前記遮光層が、請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物の硬化物からなる、光学素子。
前記遮光層が、請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物の硬化物からなる、光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる感光性組成物、光学素子の製造方法、及び光学素子に関する。
【背景技術】
【0002】
カメラ、顕微鏡、半導体露光装置、双眼鏡等の光学機器には、光学素子としてレンズが使用されている。
このようなレンズにおいて、入射光の反射により生じるフレアやゴースト等を抑制するために、レンズの周縁部にメッキや塗布プロセスにより艶消しフィルムを設ける技術（特許文献１を参照）や、黒色着色感光性樹脂組成物をレンズに塗布して形成した塗布膜を、位置選択的に露光及び現像してレンズの周縁部に遮光層を設ける技術（特許文献２を参照）が開示されている。
このようなレンズにおいて、入射光の反射により生じるフレアやゴースト等を抑制するために、レンズの周縁部にメッキや塗布プロセスにより艶消しフィルムを設ける技術（特許文献１を参照）や、黒色着色感光性樹脂組成物をレンズに塗布して形成した塗布膜を、位置選択的に露光及び現像してレンズの周縁部に遮光層を設ける技術（特許文献２を参照）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１０９５１０号公報
【特許文献2】特開２０１１－１０７５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
光学機器の小型化に伴いレンズも小型化しているため、より微細な遮光層等が望まれる。特許文献２のように、レンズにネガ型黒色着色感光性樹脂組成物を塗布して形成した塗布膜を、位置選択的に露光及び現像することにより、微細なパターン形状を有する遮光層を設けることができる。
【0005】
しかし、特許文献２のように、レンズにネガ型黒色着色感光性樹脂組成物を塗布して形成した塗布膜を、位置選択的な露光及び現像することによって遮光層を設けると、レンズにおいて、遮光層を設ける周縁部ではない未露光部（すなわち、入射光が透過する領域）の透過率が低くなるという問題が生じる。このため、未露光部のレンズの透過率の低下を抑制することが望まれる。
【0006】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであって、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられ、レンズに塗布して形成した塗布膜を位置選択的に露光及び現像することにより、遮光層を形成でき、且つ未露光部のレンズの透過率の低下を抑制できる感光性組成物と、当該感光性組成物を用いる光学素子の製造方法と、光学素子とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者らは、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられ、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、遮光剤（Ｄ）が有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である感光性組成物とすることにより、上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のものを提供する。
【0008】
本発明の第１の態様は、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる感光性組成物であって、
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、
前記遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、前記感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である、感光性組成物である。
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含み、
前記遮光剤（Ｄ）が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、前記感光性組成物の固形分の質量に対する前記有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が、５質量％以上３０質量％以下である、感光性組成物である。
【0009】
本発明の第２の態様は、レンズと、前記レンズの周縁に位置する遮光層とを備える光学素子の製造方法であって、
第１の態様にかかる感光性組成物を前記レンズに塗布して塗布膜を形成する、塗布膜形成工程と、
前記塗布膜における前記遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する、露光工程と、
露光後の前記塗布膜を現像する、現像工程と、
現像後の前記塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を有する光学素子の製造方法である。
第１の態様にかかる感光性組成物を前記レンズに塗布して塗布膜を形成する、塗布膜形成工程と、
前記塗布膜における前記遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する、露光工程と、
露光後の前記塗布膜を現像する、現像工程と、
現像後の前記塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を有する光学素子の製造方法である。
【0010】
本発明の第３の態様は、レンズと、前記レンズの周縁に位置する遮光層とを備え、
前記遮光層が、第１の態様にかかる感光性組成物の硬化物からなる、光学素子である。
前記遮光層が、第１の態様にかかる感光性組成物の硬化物からなる、光学素子である。
【発明の効果】
【0011】
本発明によれば、レンズに塗布して形成した塗布膜を位置選択的に露光及び現像することにより、レンズの周縁に遮光層を形成でき、且つ未露光部のレンズの透過率の低下を抑制できる感光性組成物と、当該感光性組成物を用いる光学素子の製造方法と、光学素子とを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明を行う。なお、本明細書中において、「～」を用いて表される範囲について、両端の数値、又は比を含む範囲として定義する。
【0014】
≪感光性組成物≫
本発明の感光性組成物（黒色感光性組成物）は、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる。遮光層を形成するレンズの周縁は、レンズの厚さ方向（光を入射させる方向）を軸とした時の周縁である。
レンズとしては、樹脂製のレンズが挙げられる。レンズを構成する樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、エポキシ樹脂やアクリル樹脂が挙げられる。
レンズの厚さは特に限定されないが、例えば１ｃｍ以下であり、１００μｍ以上２０００μｍ以下が好ましい。なお、レンズの厚さは、最も厚い部分の厚さである。レンズの直径は特に限定されないが、例えば４０ｍｍ以下であり、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以上５ｍｍ以下がより好ましい。
本発明の感光性組成物（黒色感光性組成物）は、レンズの周縁に遮光層を形成するために用いられる。遮光層を形成するレンズの周縁は、レンズの厚さ方向（光を入射させる方向）を軸とした時の周縁である。
レンズとしては、樹脂製のレンズが挙げられる。レンズを構成する樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、エポキシ樹脂やアクリル樹脂が挙げられる。
レンズの厚さは特に限定されないが、例えば１ｃｍ以下であり、１００μｍ以上２０００μｍ以下が好ましい。なお、レンズの厚さは、最も厚い部分の厚さである。レンズの直径は特に限定されないが、例えば４０ｍｍ以下であり、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以上５ｍｍ以下がより好ましい。
【0015】
感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）とを含む。遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）を含む。感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、５質量％以上３０質量％以下である。
【0016】
このような感光性組成物を用いることにより、図１に示すように、レンズ１と、レンズ１の周縁に位置する遮光層２とを備える光学素子１０を製造することができる。図１は、感光性組成物を用いて形成される光学素子１０の模式図であり、図１（ａ）は断面図、図１（ｂ）は平面図である。なお、図１のレンズ１や遮光層２の形状は、一例であり、所望する光学素子１０に応じた形状とすればよい。
【0017】
例えば、
レンズに塗布して塗布膜を形成する工程と、
塗布膜における遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する工程と、
露光後の塗布膜を現像する工程と、
現像後の塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を含む方法において、このような感光性組成物を塗布膜形成用の材料として用いることにより、後述する実施例に示すように、レンズの周縁に、遮光性を有する遮光層２を形成でき、且つ未露光部のレンズ１の透過率の低下を抑制できる。
例えば、このような感光性組成物によりレンズ１の周縁に形成された遮光層２（パターン化された硬化物）の厚さ１μｍ当たりのＯＤ値（光学濃度）は、例えば０．２以上であり、０．６以上が好ましく、０．８以上がより好ましく、１．０以上がさらに好ましい。上限は特に限定されないが、例えば４．０以下である。
そして、未露光部のレンズ１の厚さ方向の透過率について、下記式で求めた透過率変化を、２％未満にでき、１％未満にもできる。
透過率変化（％）＝（Ｔ１／Ｔ０）×１００
Ｔ０：感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率
Ｔ１：遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率
レンズに塗布して塗布膜を形成する工程と、
塗布膜における遮光層が形成される位置を位置選択的に露光する工程と、
露光後の塗布膜を現像する工程と、
現像後の塗布膜を加熱して硬化させる、熱硬化工程と、を含む方法において、このような感光性組成物を塗布膜形成用の材料として用いることにより、後述する実施例に示すように、レンズの周縁に、遮光性を有する遮光層２を形成でき、且つ未露光部のレンズ１の透過率の低下を抑制できる。
例えば、このような感光性組成物によりレンズ１の周縁に形成された遮光層２（パターン化された硬化物）の厚さ１μｍ当たりのＯＤ値（光学濃度）は、例えば０．２以上であり、０．６以上が好ましく、０．８以上がより好ましく、１．０以上がさらに好ましい。上限は特に限定されないが、例えば４．０以下である。
そして、未露光部のレンズ１の厚さ方向の透過率について、下記式で求めた透過率変化を、２％未満にでき、１％未満にもできる。
透過率変化（％）＝（Ｔ１／Ｔ０）×１００
Ｔ０：感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率
Ｔ１：遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率
【0018】
透過率の低下は、感光性組成物に含まれる遮光剤に由来する現像残渣が未露光部に生じることに起因すると考えられる。有機黒色顔料（Ｄ１）を用いることにより、当該現像残渣の発生を抑制でき、その結果透過率の低下が抑制されると推測される。
【0019】
前述の感光性組成物によりレンズ１の周縁に形成された遮光層２は、有機黒色顔料（Ｄ１）を含むため、遮光性を有する。このため、入射光の反射により生じるフレアやゴースト等が抑制される。また、未露光部（すなわち、入射光が透過する領域）での現像残渣の発生が抑制されることで、レンズ１の入射光（可視光）に対する高い透過率を維持できる。したがって、レンズ１の周縁に遮光層２が形成された光学素子１０は、カメラ、顕微鏡、半導体露光装置等の光学機器に好ましく使用することができる。
【0020】
他方、感光性組成物が、有機黒色顔料（Ｄ１）を含まない場合や、感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が５質量％以上３０質量％以下の範囲外である場合は、遮光層の形成と、未露光部のレンズの透過率の低下抑制との両立はし難い。
【0021】
以下、感光性組成物について、必須又は任意の成分について説明する。
【0022】
＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）＞
感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）（以下、（Ａ）成分ともいう。）を含む。感光性組成物にアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を配合することで、感光性組成物にアルカリ現像性を付与することができる。
ここで、本明細書において、アルカリ可溶性樹脂とは、分子内にアルカリ可溶性を持たせる官能基（例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基等）を備える樹脂を指す。
感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）（以下、（Ａ）成分ともいう。）を含む。感光性組成物にアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を配合することで、感光性組成物にアルカリ現像性を付与することができる。
ここで、本明細書において、アルカリ可溶性樹脂とは、分子内にアルカリ可溶性を持たせる官能基（例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基等）を備える樹脂を指す。
【0023】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、エチレン性不飽和二重結合のような光重合性基を分子内に含む樹脂を含むのが好ましい。この場合、感光性組成物を用いて硬化物（遮光層）を形成する際に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と光重合性モノマー（Ｂ）との間で、架橋が生じる。このため、硬化物を形成する際のベーク温度が、例えば１２０℃以下、さらには１００℃以下や９５℃以下のような低い温度であっても、高い溶剤耐性を有する硬化物を形成しやすい。
光重合性基の典型例としては、例えば、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基等の不飽和二重結合を有する官能基が挙げられる。
光重合性基の典型例としては、例えば、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基等の不飽和二重結合を有する官能基が挙げられる。
【0024】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、分子内にカルド構造を有する樹脂（ａ－１）を含むのが好ましい。カルド構造については、詳細に後述する。
分子内にカルド構造を有する樹脂を用いる場合、解像性に優れる感光性組成物を得やすく、感光性組成物を用いてレンズに対する密着性が良好な硬化物を形成しやすい。
分子内にカルド構造を有する樹脂を用いる場合、解像性に優れる感光性組成物を得やすく、感光性組成物を用いてレンズに対する密着性が良好な硬化物を形成しやすい。
【0025】
〔カルド構造を有する樹脂（ａ－１）〕
カルド構造を有する樹脂（ａ－１）（以下カルド樹脂（ａ－１）とも記す。）としては、分子中にカルド構造を有し、所定のアルカリ可溶性を有する樹脂を用いることができる。カルド構造とは、第１の環状構造を構成している１つの環炭素原子に、第２の環状構造と第３の環状構造とが結合した骨格をいう。なお、第２の環状構造と、第３の環状構造とは、同一の構造であっても異なった構造であってもよい。
カルド構造の代表的な例としては、フルオレン環の９位の炭素原子に２つの芳香環（例えばベンゼン環）が結合した骨格が挙げられる。
カルド構造を有する樹脂（ａ－１）（以下カルド樹脂（ａ－１）とも記す。）としては、分子中にカルド構造を有し、所定のアルカリ可溶性を有する樹脂を用いることができる。カルド構造とは、第１の環状構造を構成している１つの環炭素原子に、第２の環状構造と第３の環状構造とが結合した骨格をいう。なお、第２の環状構造と、第３の環状構造とは、同一の構造であっても異なった構造であってもよい。
カルド構造の代表的な例としては、フルオレン環の９位の炭素原子に２つの芳香環（例えばベンゼン環）が結合した骨格が挙げられる。
【0026】
カルド樹脂（ａ－１）としては、特に限定されるものではなく、従来公知の樹脂を用いることができる。その中でも、下記式（ａ－１）で表される樹脂が好ましい。下記式（ａ－１）で表される樹脂は、下記式（ａ－２）に示されるように、分子内に（メタ）アクリロイル基を有する。このため、下記式（ａ－１）で表される樹脂は、分子内に光重合性基を含む樹脂に該当する。
【0027】
【化1】
【0028】
式（ａ－１）中、Ｘａは、下記式（ａ－２）で表される基を示す。ｍ１は０以上２０以下の整数を示す。
【0029】
【化2】
【0030】
上記式（ａ－２）中、Ｒａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１以上６以下の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ｒａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ｒａ３は、それぞれ独立に直鎖又は分岐鎖のアルキレン基を示し、ｍ２は、０又は１を示し、Ｗａは、下記式（ａ－３）で表される基を示す。
【0031】
【化3】
【0032】
式（ａ－２）中、Ｒａ３としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキレン基が好ましく、炭素原子数１以上１０以下のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキレン基が特に好ましく、エタン－１，２－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、及びプロパン１，３－ジイル基が最も好ましい。
【0033】
式（ａ－３）中の環Ａは、芳香族環と縮合していてもよく置換基を有していてもよい脂肪族環を示す。脂肪族環は、脂肪族炭化水素環であっても、脂肪族複素環であってもよい。
脂肪族環としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンが挙げられる。
脂肪族環に縮合してもよい芳香族環は、芳香族炭化水素環でも芳香族複素環でもよく、芳香族炭化水素環が好ましい。具体的にはベンゼン環、及びナフタレン環が好ましい。
脂肪族環としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンが挙げられる。
脂肪族環に縮合してもよい芳香族環は、芳香族炭化水素環でも芳香族複素環でもよく、芳香族炭化水素環が好ましい。具体的にはベンゼン環、及びナフタレン環が好ましい。
【0034】
式（ａ－３）で表される２価基の好適な例としては、下記の基が挙げられる。
【化4】
【0035】
式（ａ－１）中の２価基Ｘａは、残基Ｚａを与えるテトラカルボン酸二無水物と、下式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物とを反応させることにより、カルド樹脂（ａ－１）中に導入される。
【化5】
【0036】
式（ａ－２ａ）中、Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３、及びｍ２は、式（ａ－２）について説明した通りである。式（ａ－２ａ）中の環Ａについては、式（ａ－３）について説明した通りである。
【0037】
式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物は、例えば、以下の方法により製造し得る。
まず、下記式（ａ－２ｂ）で表されるジオール化合物が有するフェノール性水酸基中の水素原子を、必要に応じて、常法に従って、－Ｒａ３－ＯＨで表される基に置換した後、エピクロルヒドリン等を用いてグリシジル化して、下記式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を得る。
次いで、式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を、アクリル酸又はメタクリル酸と反応させることにより、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物が得られる。
式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中、Ｒａ１、Ｒａ３、及びｍ２は、式（ａ－２）について説明した通りである。式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中の環Ａについては、式（ａ－３）について説明した通りである。
なお、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物の製造方法は、上記の方法に限定されない。
まず、下記式（ａ－２ｂ）で表されるジオール化合物が有するフェノール性水酸基中の水素原子を、必要に応じて、常法に従って、－Ｒａ３－ＯＨで表される基に置換した後、エピクロルヒドリン等を用いてグリシジル化して、下記式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を得る。
次いで、式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を、アクリル酸又はメタクリル酸と反応させることにより、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物が得られる。
式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中、Ｒａ１、Ｒａ３、及びｍ２は、式（ａ－２）について説明した通りである。式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中の環Ａについては、式（ａ－３）について説明した通りである。
なお、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物の製造方法は、上記の方法に限定されない。
【化6】
【0038】
式（ａ－２ｂ）で表されるジオール化合物の好適な例としては、以下のジオール化合物が挙げられる。
【化7】
【0039】
上記式（ａ－１）中、Ｒａ０は水素原子又は－ＣＯ－Ｙａ－ＣＯＯＨで表される基である。ここで、Ｙａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。
【0040】
また、上記式（ａ－１）中、Ｚａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、下記式（ａ－４）で表されるテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式（ａ－１）中、ｍ１は、０以上２０以下の整数を示す。
また、上記式（ａ－１）中、ｍ１は、０以上２０以下の整数を示す。
【0041】
【化8】
【0042】
式（ａ－４）中のＲａ４として選択され得るアルキル基は、炭素原子数が１以上１０以下のアルキル基である。アルキル基の備える炭素原子数をこの範囲に設定することで、得られるカルボン酸エステルの耐熱性を一段と向上させることができる。Ｒａ４がアルキル基である場合、その炭素原子数は、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、１以上６以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上４以下がさらに好ましく、１以上３以下が特に好ましい。
Ｒａ４がアルキル基である場合、当該アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
Ｒａ４がアルキル基である場合、当該アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
【0043】
式（ａ－４）中のＲａ４としては、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数１以上１０以下のアルキル基がより好ましい。式（ａ－４）中のＲａ４は、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基又はイソプロピル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
式（ａ－４）中の複数のＲａ４は、高純度のテトラカルボン酸二無水物の調製が容易であることから、同一の基であるのが好ましい。
式（ａ－４）中の複数のＲａ４は、高純度のテトラカルボン酸二無水物の調製が容易であることから、同一の基であるのが好ましい。
【0044】
式（ａ－４）中のｍ３は０以上１２以下の整数を示す。ｍ３の値を１２以下とすることによって、テトラカルボン酸二無水物の精製を容易にすることができる。
テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、ｍ３の上限は５が好ましく、３がより好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の化学的安定性の点から、ｍ３の下限は１が好ましく、２がより好ましい。
式（ａ－４）中のｍ３は、２又は３が特に好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、ｍ３の上限は５が好ましく、３がより好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の化学的安定性の点から、ｍ３の下限は１が好ましく、２がより好ましい。
式（ａ－４）中のｍ３は、２又は３が特に好ましい。
【0045】
式（ａ－４）中のＲａ５、及びＲａ６として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基は、Ｒａ４として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基と同様である。
Ｒａ５、及びＲａ６は、テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、水素原子、又は炭素原子数１以上１０以下（好ましくは１以上６以下、より好ましくは１以上５以下、さらに好ましくは１以上４以下、特に好ましくは１以上３以下）のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのが特に好ましい。
Ｒａ５、及びＲａ６は、テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、水素原子、又は炭素原子数１以上１０以下（好ましくは１以上６以下、より好ましくは１以上５以下、さらに好ましくは１以上４以下、特に好ましくは１以上３以下）のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのが特に好ましい。
【0046】
式（ａ－４）で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン－２－スピロ－２’－シクロペンタノン－５’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－（メチルノルボルナン）－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘキサノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン－２－スピロ－２’－シクロヘキサノン－６’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘキサノン－α’－スピロ－２’’－（メチルノルボルナン）－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロプロパノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロブタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘプタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロオクタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロノナノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロウンデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロドデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロトリデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロテトラデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－（メチルシクロペンタノン）－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－（メチルシクロヘキサノン）－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
【0047】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、カルド構造を有する樹脂（ａ－１）以外のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。
【0048】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）中のカルド構造を有する樹脂（ａ－１）の含有量は、特に限定されないが、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上がさらに好ましい。
【0049】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の質量平均分子量は、１００００以下が好ましく、４０００がより好ましく、２５００以下がさらに好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の質量平均分子量が２５００以下であると、未露光部のレンズの透過率の低下をより抑制することができる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の質量平均分子量の下限値は、１０００以上が好ましく、１５００以上がより好ましく、２０００以上がさらに好ましい。
本明細書において、質量平均分子量Ｍｗは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）のポリスチレン換算による測定値である。
本明細書において、質量平均分子量Ｍｗは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）のポリスチレン換算による測定値である。
【0050】
感光性組成物の全固形分中における、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、５質量％以上７５質量％以下が好ましく、１０質量％以上７１質量%以下がより好ましく、１５質量%以上６５質量％以下がより好ましい。感光性組成物の全固形分中におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量が上記の範囲内であると、未露光部では感光性組成物の固形分が現像液に良好に溶解するのに対して、露光部では硬化した感光性組成物の固形分が現像液に溶解しにくく、現像性、及び解像性に優れる感光性組成物を得やすい。
なお、本明細書において、固形分とは、有機溶剤（Ｓ）以外の成分である。
なお、本明細書において、固形分とは、有機溶剤（Ｓ）以外の成分である。
【0051】
＜光重合性モノマー（Ｂ）＞
感光性組成物は、光重合性モノマー（Ｂ）を含む。光重合性モノマー（Ｂ）としては、エチレン性不飽和基を有する化合物が好ましい。かかるエチレン性不飽和基を有する化合物には、単官能化合物と多官能化合物とがある。
感光性組成物は、光重合性モノマー（Ｂ）を含む。光重合性モノマー（Ｂ）としては、エチレン性不飽和基を有する化合物が好ましい。かかるエチレン性不飽和基を有する化合物には、単官能化合物と多官能化合物とがある。
【0052】
単官能化合物としては、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２－アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ－ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－フェノキシ－２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシ－２－ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能化合物は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【0053】
一方、多官能化合物としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２－ヒドロキシ－３－（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（すなわち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネート等と２－ビドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物）、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ－メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能化合物や、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能化合物は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【0054】
光重合性モノマー（Ｂ）は、多官能化合物の中でも、水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートを含むことが好ましい。感光性組成物が水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートを含むことにより、現像残渣の発生をより抑制でき、透過率の低下をより抑制できる。なお、遮光剤（Ｄ）の含有量が多い場合、現像残渣が発生しやすくなるが、感光性組成物が水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートを含むことにより、例えば感光性組成物の全固形分中における遮光剤（Ｄ）の含有量が２５質量％以上であったとしても、現像残渣の発生を極めて抑制できる。これにより、例えば０．８以上、特に１．０以上のより高いＯＤ値の遮光層を良好に形成できる。
【0055】
水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートとしては、分子内に１個以上の水酸基と、２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物であれば、従来公知のものを使用できる。分子内の（メタ）アクリロイル基の数は、６個以下が好ましい。
水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【0056】
水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、水酸基含有グリセリンポリ（メタ）アクリレート、水酸基含有ポリグリセリンポリ（メタ）アクリレート、水酸基含有ペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、水酸基含有ポリペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、水酸基含有トリメチロ－ルプロパンポリ（メタ）アクリレート、水酸基含有ポリトリメチロ－ルプロパンポリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0057】
水酸基含有グリセリンポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、グリセリンジ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0058】
水酸基含有ポリグリセリンポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ジグリセリンジ（メタ）アクリレート、ジグリセリントリ（メタ）アクリレート、トリグリセリンジ（メタ）アクリレート、トリグリセリントリ（メタ）アクリレート、トリグリセリンテトラ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0059】
水酸基含有ペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0060】
水酸基含有ポリペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【0061】
水酸基含有トリメチロールプロパンポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0062】
水酸基含有ポリトリメチロールプロパンポリ（メタ）アクリレートは、例えば、ジトリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【0063】
光重合性モノマー（Ｂ）は、水酸基を有さない多官能（メタ）アクリレート及び水酸基を有する多官能（メタ）アクリレートを含んでいてもよい。
【0064】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」及び「メタクリレート」の両者を意味し、「（メタ）アクリル」とは、「アクリル」及び「メタクリル」の両者を意味し、「（メタ）アクリロイル」とは、「アクリロイル」及び「メタクリロイル」の両者を意味し、「（メタ）アクリロイルオキシ」とは、「アクリロイルオキシ」及び「メタクリロイルオキシ」の両者を意味する。
【0065】
感光性組成物の全固形分中における、光重合性モノマー（Ｂ）の含有量は、１質量％以上３０質量％以下が好ましく、５質量％以上２０質量％以下がより好ましい。
【0066】
＜光重合開始剤（Ｃ）＞
光重合開始剤（Ｃ）としては、特に限定されず、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
光重合開始剤（Ｃ）としては、オキシムエステル化合物が挙げられる。
オキシムエステル化合物としては、下記式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物が好ましい。
光重合開始剤（Ｃ）としては、特に限定されず、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
光重合開始剤（Ｃ）としては、オキシムエステル化合物が挙げられる。
オキシムエステル化合物としては、下記式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物が好ましい。
【0067】
【化9】
ｎ１は、０、又は１であり、
Ｒｃ２は、一価の有機基であり、
Ｒｃ３は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上２０以下の脂肪族炭化水素基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、
＊は結合手である。）
【0068】
式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物は、カルバゾール骨格、フルオレン骨格、ジフェニルエーテル骨格や、フェニルスルフィド骨格を有することが好ましい。
式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物は、式（ｃ１）で表される部分構造を１つ又は２つ有することが好ましい。
式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物は、式（ｃ１）で表される部分構造を１つ又は２つ有することが好ましい。
【0069】
式（ｃ１）で表される部分構造を有する化合物としては、下記式（ｃ２）で表される化合物が挙げられる。
【0070】
【化10】
ｎ１は、０、又は１であり、
Ｒｃ２は、一価の有機基であり、
Ｒｃ３は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上２０以下の脂肪族炭化水素基、又は置換基を有してもよいアリール基である。）
【0071】
【化11】
ｎ２は、０以上３以下の整数であり、
ｎ２が２又は３の場合、複数のＲｃ５は同一でも異なっていてもよく、複数のＲｃ５は互いに結合して環を形成してもよい。
＊は結合手である。）
【0072】
【化12】
Ｒｃ６とＲｃ７とは互いに結合して環を形成してもよく、
Ｒｃ７とフルオレン骨格中のベンゼン環とが互いに結合して環を形成してもよく、
Ｒｃ８は、ニトロ基、又は１価の有機基、であり、
ｎ３は、０以上４以下の整数であり、
＊は結合手である。）
【0073】
【化13】
Ａは、Ｓ又はＯであり、
ｎ４は、０以上４以下の整数であり、
＊は結合手である。）
【0074】
式（ｃ３）中、Ｒｃ４は、１価の有機基である。Ｒｃ４は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
Ｒｃ４の好適な例としては、炭素原子数１以上２０以下の置換基を有してもよいアルキル基、炭素原子数３以上２０以下の置換基を有してもよいシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の置換基を有してもよい飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下の置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。
Ｒｃ４の好適な例としては、炭素原子数１以上２０以下の置換基を有してもよいアルキル基、炭素原子数３以上２０以下の置換基を有してもよいシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の置換基を有してもよい飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下の置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。
【0075】
Ｒｃ４の中では、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましい。当該アルキル基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。式（ｃ３）で表される化合物の感光性組成物中での溶解性が良好である点から、Ｒｃ４としてのアルキル基の炭素原子数は、２以上が好ましく、５以上がより好ましく、７以上が特に好ましい。また、感光性組成物中での、式（ｃ３）で表される化合物と、他の成分との相溶性が良好である点から、Ｒｃ４としてのアルキルの基の炭素原子数は、１５以下が好ましく、１０以下がより好ましい。
【0076】
Ｒｃ４が置換基を有する場合、当該置換基の好適な例としては、水酸基、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上２０以下の脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下の脂肪族アシルオキシ基、フェノキシ基、ベンゾイル基、ベンゾイルオキシ基、－ＰＯ（ＯＲ）２で表される基（Ｒは炭素原子数１以上６以下のアルキル基）、ハロゲン原子、シアノ基、ヘテロシクリル基等が挙げられる。
【0077】
Ｒｃ４が、ヘテロシクリル基である場合、当該ヘテロシクリル基は、脂肪族複素環基であっても、芳香族複素環基であってもよい。Ｒｃ４がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。
Ｒｃ４がヘテロシクリル基である場合、当該ヘテロシクリル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基等が挙げられる。
Ｒｃ４がヘテロシクリル基である場合、当該ヘテロシクリル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基等が挙げられる。
【0078】
以上説明したＲｃ４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ペンタン－３－イル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、及び２－エチルヘキシル基が挙げられる。
また、感光性組成物中での式（ｃ３）で表される化合物の溶解性が良好である点から、ｎ－オクチル基、及び２－エチルヘキシル基が好ましく、２－エチルヘキシル基がより好ましい。
また、感光性組成物中での式（ｃ３）で表される化合物の溶解性が良好である点から、ｎ－オクチル基、及び２－エチルヘキシル基が好ましく、２－エチルヘキシル基がより好ましい。
【0079】
式（ｃ３）中、Ｒｃ５は、１価の有機基である。Ｒｃ５は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
Ｒｃ５として好適な１価の有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、シアノ基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含む置換基（ただし、Ｘは、各々独立に、ハロゲン原子である）等が挙げられる。
Ｒｃ５として好適な１価の有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、シアノ基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含む置換基（ただし、Ｘは、各々独立に、ハロゲン原子である）等が挙げられる。
【0080】
Ｒｃ５がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ５がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ５がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ５がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。
【0081】
Ｒｃ５がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒｃ５がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒｃ５がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ５がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。
【0082】
Ｒｃ５がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３以上１０以下が好ましく、３以上６以下がより好ましい。Ｒｃ５がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒｃ５がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。
【0083】
Ｒｃ５が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２以上２１以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ５が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒｃ５が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。
【0084】
Ｒｃ５がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２以上２０以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒｃ５がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。
【0085】
Ｒｃ５がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７以上２０以下が好ましく、７以上１０以下がより好ましい。また、Ｒｃ５がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１以上２０以下が好ましく、１１以上１４以下がより好ましい。Ｒｃ５がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒｃ５がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒｃ５が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒｃ５は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。
【0086】
Ｒｃ５がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、式（ｃ３）中のＲｃ４がヘテロシクリル基である場合と同様であり、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。
Ｒｃ５がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒｃ５がヘテロシクリル基である場合と同様である。
Ｒｃ５がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒｃ５がヘテロシクリル基である場合と同様である。
【0087】
Ｒｃ５が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２１以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒｃ５と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。
【0088】
Ｒｃ５に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含む置換基（例えば、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基）、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ベンゾイル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒｃ５に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されず、１以上４以下が好ましい。Ｒｃ５に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。
【0089】
Ｒｃ５に含まれる、ベンゾイル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、２－テノイル基（チオフェン－２－イルカルボニル基）、フラン－３－イルカルボニル基及びフェニル基等が挙げられる。
【0090】
Ｘで表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられ、フッ素原子であることが好ましい。
【0091】
ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含む置換基としては、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基を有する基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基を有する基等が挙げられ、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基、又はＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基を有する基であることがより好ましい。
【0092】
ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基を有する基としては、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基で置換されている芳香族基（例えば、フェニル基、ナフチル基等）、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基で置換されているシクロアルキル基（例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等）等が挙げられ、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基で置換されている芳香族基であることが好ましい。
【0093】
ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基を有する基としては、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基で置換されている芳香族基（例えば、フェニル基、ナフチル基等）、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基で置換されているアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｉ－プロピル基等）、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基で置換されているシクロアルキル基（例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等）等が挙げられ、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基で置換されている芳香族基であることが好ましい。
【0094】
また、Ｒｃ５としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒｃ５に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。
【0095】
１価の有機基の中でも、Ｒｃ５としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上８以下のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１以上４以下のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２－メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５以上１０以下が好ましく、５以上８以下がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２－（４－クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。
【0096】
式（ｃ３）で表される基において、Ｒｃ５が複数存在し、複数のＲｃ５が互いに結合して環を形成する場合、形成される環としては、炭化水素環や、複素環等が挙げられる。複素環に含まれるヘテロ原子としては、例えば、Ｎ、ＯやＳが挙げられる。複数のＲｃ５が互いに結合して形成する環としては、特に芳香族環が好ましい。かかる芳香族環は、芳香族炭化水素環であっても、芳香族複素環であってもよい。かかる芳香族環としては、芳香族炭化水素環が好ましい。式（ｃ３）において、複数のＲｃ５が互いに結合してベンゼン環を形成した場合の具体例を、以下に示す。
【0097】
【化14】
【0098】
式（ｃ４）で表される基において、Ｒｃ８は、ニトロ基又は１価の有機基である。Ｒｃ８は、式（ｃ４）中の縮合環上で、－（ＣＯ）ｎ１－で表される基に結合する芳香環とは異なる６員芳香環に、結合する。式（ｃ４）中、Ｒｃ８の結合位置は特に限定されない。式（ｃ４）で表される基が１以上のＲｃ８を有する場合、式（ｃ４）で表される化合物の合成が容易であること等から、１以上のＲｃ８のうちの１つが、フルオレン骨格の７位の位置に結合することが好ましい。すなわち、式（ｃ４）で表される基が１以上のＲｃ８を有する場合、式（ｃ４）で表される基は、下記式（ｃ６）で示されることが好ましい。Ｒｃ８が複数の場合、複数のＲｃ８は同一であっても異なっていてもよい。
【0099】
【化15】
【0100】
Ｒｃ８が１価の有機基である場合、Ｒｃ８は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
Ｒｃ８が１価の有機基である場合の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基の好適な例と同様の基が挙げられる。
Ｒｃ８が１価の有機基である場合の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基の好適な例と同様の基が挙げられる。
【0101】
式（ｃ４）中、Ｒｃ６及びＲｃ７は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい鎖状アルコキシ基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Ｒｃ６及びＲｃ７とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Ｒｃ６及びＲｃ７として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。
【0102】
Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。Ｒｃ６及びＲｃ７が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒｃ６及びＲｃ７がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。
【0103】
Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
【0104】
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Ｒｃ８がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Ｒｃ８がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Ｒｃ８がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。
【0105】
鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、１以上２０以下であり、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。
【0106】
Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基を持たない鎖状アルコキシ基である場合、鎖状アルコキシ基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。Ｒｃ６及びＲｃ７が鎖状アルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒｃ６及びＲｃ７がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。
【0107】
Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基を有する鎖状アルコキシ基である場合に、アルコキシ基が有してもよい置換基は、Ｒｃ６及びＲｃ７が鎖状アルキル基である場合と同様である。
【0108】
Ｒｃ６及びＲｃ７が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒｃ６及びＲｃ７が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Ｒｃ６及びＲｃ７が鎖状アルキル基である場合と同様である。
【0109】
Ｒｃ６及びＲｃ７が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素－炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、３以下が好ましく、２以下がより好ましく、１が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。
【0110】
Ｒｃ６及びＲｃ７が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、３以上２０以下が好ましく、３以上１０以下がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。
【0111】
Ｒｃ６及びＲｃ７がヘテロシクリル基である場合、式（ｃ３）中のＲｃ５としてのヘテロシクリル基と同様の基が挙げられる。
【0112】
Ｒｃ６及びＲｃ７とは相互に結合して環を形成してもよい。Ｒｃ６及びＲｃ７とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Ｒｃ６及びＲｃ７とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、５員環～６員環であるのが好ましく、５員環であるのがより好ましい。
【0113】
Ｒｃ７とフルオレン骨格のベンゼン環と環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。
【0114】
Ｒｃ６及びＲｃ７が結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、１以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。
【0115】
以上説明したＲｃ６及びＲｃ７の中でも好適な基の例としては、式－Ａ１－Ａ２で表される基が挙げられる。式中、Ａ１は直鎖アルキレン基であり、Ａ２は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である挙げられる。
【0116】
Ａ１の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ２がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ２がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。Ａ２がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ２が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基として有する環状有機基と同様である。Ａ２がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Ｒｃ６及びＲｃ７が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。
【0117】
Ｒｃ６及びＲｃ７の好適な具体例としては、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、及びｎ－オクチル基等のアルキル基；２－メトキシエチル基、３－メトキシ－ｎ－プロピル基、４－メトキシ－ｎ－ブチル基、５－メトキシ－ｎ－ペンチル基、６－メトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシ－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシ－ｎ－オクチル基、２－エトキシエチル基、３－エトキシ－ｎ－プロピル基、４－エトキシ－ｎ－ブチル基、５－エトキシ－ｎ－ペンチル基、６－エトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシ－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシ－ｎ－オクチル基等のアルコキシアルキル基；２－シアノエチル基、３－シアノ－ｎ－プロピル基、４－シアノ－ｎ－ブチル基、５－シアノ－ｎ－ペンチル基、６－シアノ－ｎ－ヘキシル基、７－シアノ－ｎ－ヘプチル基、及び８－シアノ－ｎ－オクチル基等のシアノアルキル基；２－フェニルエチル基、３－フェニル－ｎ－プロピル基、４－フェニル－ｎ－ブチル基、５－フェニル－ｎ－ペンチル基、６－フェニル－ｎ－ヘキシル基、７－フェニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－フェニル－ｎ－オクチル基等のフェニルアルキル基；２－シクロヘキシルエチル基、３－シクロヘキシル－ｎ－プロピル基、４－シクロヘキシル－ｎ－ブチル基、５－シクロヘキシル－ｎ－ペンチル基、６－シクロヘキシル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロヘキシル－ｎ－ヘプチル基、８－シクロヘキシル－ｎ－オクチル基、２－シクロペンチルエチル基、３－シクロペンチル－ｎ－プロピル基、４－シクロペンチル－ｎ－ブチル基、５－シクロペンチル－ｎ－ペンチル基、６－シクロペンチル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロペンチル－ｎ－ヘプチル基、及び８－シクロペンチル－ｎ－オクチル基等のシクロアルキルアルキル基；２－メトキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－メトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－メトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－メトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシカルボニル－ｎ－オクチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－エトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－エトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－エトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシカルボニル－ｎ－オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基；２－クロロエチル基、３－クロロ－ｎ－プロピル基、４－クロロ－ｎ－ブチル基、５－クロロ－ｎ－ペンチル基、６－クロロ－ｎ－ヘキシル基、７－クロロ－ｎ－ヘプチル基、８－クロロ－ｎ－オクチル基、２－ブロモエチル基、３－ブロモ－ｎ－プロピル基、４－ブロモ－ｎ－ブチル基、５－ブロモ－ｎ－ペンチル基、６－ブロモ－ｎ－ヘキシル基、７－ブロモ－ｎ－ヘプチル基、８－ブロモ－ｎ－オクチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。
【0118】
Ｒｃ６及びＲｃ７として、上記の中でも好適な基は、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、２－メトキシエチル基、２－シアノエチル基、２－フェニルエチル基、２－シクロヘキシルエチル基、２－メトキシカルボニルエチル基、２－クロロエチル基、２－ブロモエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基である。
【0119】
式（ｃ５）中、感度に優れる光重合開始剤を得やすい点から、ＡはＳであることが特に好ましい。
【0120】
式（ｃ５）中、Ｒｃ９は、１価の有機基、ハロゲン原子、ニトロ基、又はシアノ基である。
式（ｃ５）におけるＲｃ９が１価の有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
式（ｃ５）においてＲｃ９が有機基である場合の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基と同様の基が挙げられる。
式（ｃ５）におけるＲｃ９が１価の有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
式（ｃ５）においてＲｃ９が有機基である場合の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基と同様の基が挙げられる。
【0121】
Ｒｃ９の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基；置換基を有していてもよいベンゾフラニルカルボニル基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２－メチルフェニルカルボニル基；４－（ピペラジン－１－イル）フェニルカルボニル基；４－（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。
【0122】
また、式（ｃ５）において、ｎ４は、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０、又は１であるのが特に好ましい。ｎ４が１である場合、Ｒｃ９の結合する位置は、Ｒｃ９が結合するフェニル基が酸素原子又は硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。
【0123】
式（ｃ１）及び（ｃ２）中、Ｒｃ２としての１価の有機基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。有機基としては、炭素原子含有基が好ましく、１以上の炭素原子、並びにＨ、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ、Ｎ、Ｂ、Ｐ、Ｓｉ、及びハロゲン原子からなる群より選択される１以上の原子からなる基がより好ましい。炭素原子含有基の炭素原子数は特に限定されず、１以上５０以下が好ましく、１以上２０以下がより好ましい。
Ｒｃ２としての１価の有機基の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基と同様の基が挙げられる。これらの基の具体例は、式（ｃ３）中のＲｃ５について説明した基と同様である。
また、Ｒｃ２としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、式（ｃ３）中のＲｃ５に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基と同様である。
Ｒｃ２としての１価の有機基の好適な例としては、式（ｃ３）中のＲｃ５としての１価の有機基と同様の基が挙げられる。これらの基の具体例は、式（ｃ３）中のＲｃ５について説明した基と同様である。
また、Ｒｃ２としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、式（ｃ３）中のＲｃ５に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基と同様である。
【0124】
有機基の中でも、Ｒｃ２としては、上記ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含む置換基、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数、シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数、シクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数、又は芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基については、式（ｃ３）のＲｃ５と同様である。
【0125】
また、Ｒｃ２としては、－Ａ３－ＣＯ－Ｏ－Ａ４で表される基も好ましい。Ａ３は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ４は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。
【0126】
Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ３がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましく、１以上４以下が特に好ましい。
【0127】
Ａ４の好適な例としては、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基、及び炭素原子数６以上２０以下の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α－ナフチルメチル基、及びβ－ナフチルメチル基等が挙げられる。
【0128】
－Ａ３－ＣＯ－Ｏ－Ａ４で表される基の好適な具体例としては、２－メトキシカルボニルエチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、２－ｎ－プロピルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ブチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ペンチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２－ベンジルオキシカルボニルエチル基、２－フェノキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－プロピルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ブチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ペンチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ヘキシルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ベンジルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、及び３－フェノキシカルボニル－ｎ－プロピル基等が挙げられる。
【0129】
また、Ｒｃ２としては、下記式（ｃ７）又は（ｃ８）で表される基も好ましい。
（式（ｃ７）及び（ｃ８）中、Ｒｃ１０及びＲｃ１１は、それぞれ独立に、１価の有機基であり、
ｎ５は０以上４以下の整数であり、
Ｒｃ１０及びＲｃ１１がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒｃ１０とＲｃ１１とが互いに結合して環を形成してもよく、
Ｒｃ１２は、１価の有機基であり、
ｎ６は１以下８以下の整数であり、
ｎ７は１以上５以下の整数であり、
ｎ８は０以上（ｎ７＋３）以下の整数である。）
【化16】
ｎ５は０以上４以下の整数であり、
Ｒｃ１０及びＲｃ１１がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒｃ１０とＲｃ１１とが互いに結合して環を形成してもよく、
Ｒｃ１２は、１価の有機基であり、
ｎ６は１以下８以下の整数であり、
ｎ７は１以上５以下の整数であり、
ｎ８は０以上（ｎ７＋３）以下の整数である。）
【0130】
式（ｃ７）中のＲｃ１０及びＲｃ１１としての有機基は、式（ｃ４）中のＲｃ８と同様である。Ｒｃ１０としては、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルコキシ基、ＨＸ２Ｃ－又はＨ２ＸＣ－で表される基を含むハロゲン化アルキル基、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒｃ１０とＲｃ１１とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（ｃ７）で表される基であって、Ｒｃ１０とＲｃ１１とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン－１－イル基や、１，２，３，４－テトラヒドロナフタレン－５－イル基等が挙げられる。
上記式（ｃ７）中、ｎ７は０以上４以下の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。
上記式（ｃ７）中、ｎ７は０以上４以下の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。
【0131】
上記式（ｃ８）中、Ｒｃ１２は有機基である。有機基としては、式（ｃ４）中のＲｃ８について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましい。Ｒｃ１２としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。
【0132】
上記式（ｃ８）中、ｎ７は１以上５以下の整数であり、１以上３以下の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（ｃ８）中、ｎ８は０以上（ｎ７＋３）以下であり、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０が特に好ましい。
上記式（ｃ８）中、ｎ８は１以上８以下の整数であり、１以上５以下の整数が好ましく、１以上３以下の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。
上記式（ｃ８）中、ｎ８は１以上８以下の整数であり、１以上５以下の整数が好ましく、１以上３以下の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。
【0133】
式（ｃ２）中、Ｒｃ３は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上２０以下の脂肪族炭化水素基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Ｒｃ３が脂肪族炭化水素基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。
【0134】
式（ｃ１）及び（ｃ２）中、Ｒｃ３としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、２－シクロペンチルエチル基、２－シクロブチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。
【0135】
式（ｃ２）で表され、且つＲｃ１として式（ｃ３）で表される基を有する化合物の好適な具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
【化17】
【0136】
【化18】
【0137】
【化19】
【0138】
【化20】
【0139】
式（ｃ２）で表され、且つＲｃ１として式（ｃ４）で表される基を有する化合物の好適な具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
【化21】
【0140】
【化22】
【0141】
【化23】
【0142】
【化24】
【0143】
【化25】
【0144】
式（ｃ２）で表され、且つＲｃ１として式（ｃ５）で表される基を有する化合物の好適な具体例としては、以下の化合物が挙げられる。
【化26】
【0145】
オキシムエステル化合物以外の光重合開始剤（Ｃ）としては、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルホリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－ジメチルアミノフェニル）ブタン－１－オン、２－（４－メチルベンジル）－２－ジエチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オン、２－メチル－１－フェニル－２－モルホリノプロパン－１－オン、２－メチル－１－［４－（ヘキシル）フェニル］－２－モルホリノプロパン－１－オン、２－エチル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オン等のα－アミノケトン系化合物；１－フェニル－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル－（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ヒドロキシケトン系光重合開始剤；ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンジルメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４－ベンゾイル、４’－メチルジフェニルサルファイド、４，４’－ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系光重合開始剤；チオキサントン、２－クロロチオキサントン、２－メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系光重合開始剤；２，４，６－トリクロロ－ｓ－トリアジン、２－フェニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－トリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－ピペニル－４．６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－スチリル－ｓ－トリアジン、２－（ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシ－ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン、２－［４－（４－メトキシスチリル）フェニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－１，３，５－トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤；カルバゾール系光重合開始剤；２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス（４－エトキシカルボニルフェニル）－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２－ブロモフェニル）－４，４’，５，５’－テトラキス（４－エトキシカルボニルフェニル）－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２，４－ジクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２，４，６－トリクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２－ブロモフェニル）－４，４，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２，４－ジブロモフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２，４，６－トリブロモフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール等のビイミダゾール系光重合開始剤；下記式で表されるようなベンズイミダゾリン系光重合開始剤等が例示される。
【化27】
【0146】
光重合開始剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。２種以上組み合わせて用いることにより、露光光に含まれる幅広い範囲の波長の光線を有効に利用しやすく、また、感光性組成物の感度を適切な範囲に調整しやすい。
【0147】
感光性組成物の全固形分中における、光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、０．５質量％以上１５質量％以下が好ましく、１質量％以上１０質量％以下がより好ましい。
【0148】
オキシムエステル化合物以外の他の光重合開始剤を併用する場合、光重合開始剤（Ｃ）の質量に対するオキシムエステル化合物の質量の比率は、５０質量％以上が好ましく、５０質量％以上９９質量％以下がより好ましく、７０質量％以上９７質量％以下が特に好ましく、８０質量％以上９５質量％以下が最も好ましい。
光重合開始剤（Ｃ）にかかる範囲内の量のオキシムエステル化合物を含有させる場合、特に、所望する幅よりも広い幅を有するパターン化された硬化物が形成されにくい。
光重合開始剤（Ｃ）にかかる範囲内の量のオキシムエステル化合物を含有させる場合、特に、所望する幅よりも広い幅を有するパターン化された硬化物が形成されにくい。
【0149】
＜遮光剤（Ｄ）＞
感光性組成物は、遮光剤（Ｄ）を含む。そして、遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）を含む。
感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、５質量％以上３０質量％以下である。有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が３０質量％より大きいと、未露光部のレンズの透過率の低下を抑制し難い。また、有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が５質量％より低いと、遮光層を形成し難い。
感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、３質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましい。また、感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、３５質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましい。
感光性組成物は、遮光剤（Ｄ）を含む。そして、遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）を含む。
感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、５質量％以上３０質量％以下である。有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が３０質量％より大きいと、未露光部のレンズの透過率の低下を抑制し難い。また、有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が５質量％より低いと、遮光層を形成し難い。
感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、３質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましい。また、感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率は、３５質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましい。
【0150】
［有機黒色顔料（Ｄ１）］
遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）を、１種含んでいても２種以上含んでいてもよい。
有機黒色顔料（Ｄ１）としては、ラクタム系顔料や、ペリレン系顔料が挙げられる。
遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）を、１種含んでいても２種以上含んでいてもよい。
有機黒色顔料（Ｄ１）としては、ラクタム系顔料や、ペリレン系顔料が挙げられる。
【0151】
<ラクタム系顔料>
ラクタム系顔料は、下記式（ｄ１）で表される化合物である。
ラクタム系顔料は、下記式（ｄ１）で表される化合物である。
【0152】
【化28】
【0153】
式（ｄ１）中、Ｘｄは二重結合を示し、幾何異性体としてそれぞれ独立にＥ体又はＺ体であり、Ｒｄ１は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ニトロ基、メトキシ基、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、カルボキシ基、又はスルホ基を示す。Ｒｄ２は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又はフェニル基を示す。Ｒｄ３は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又は塩素原子を示す。
式（ｄ１）で表される化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
Ｒｄ１は、式（ｄ１）で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の６位に結合するのが好ましく、Ｒｄ３はジヒドロインドロン環の４位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Ｒｄ１、Ｒｄ２、及びＲｄ３は、好ましくは水素原子である。
式（ｄ１）で表される化合物は、幾何異性体としてＥＥ体、ＺＺ体、ＥＺ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式（ｄ１）で表される化合物は、例えば、国際公開第２０００／２４７３６号、及び国際公開第２０１０／０８１６２４号に記載された方法により製造することができる。
式（ｄ１）で表される化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
Ｒｄ１は、式（ｄ１）で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の６位に結合するのが好ましく、Ｒｄ３はジヒドロインドロン環の４位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Ｒｄ１、Ｒｄ２、及びＲｄ３は、好ましくは水素原子である。
式（ｄ１）で表される化合物は、幾何異性体としてＥＥ体、ＺＺ体、ＥＺ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式（ｄ１）で表される化合物は、例えば、国際公開第２０００／２４７３６号、及び国際公開第２０１０／０８１６２４号に記載された方法により製造することができる。
【0154】
感光性組成物中においてラクタム系顔料を良好に分散させるためには、ラクタム系顔料の平均粒子径は１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であるのが好ましい。
【0155】
<ペリレン系顔料>
ペリレン系顔料は、ペリレン骨格を有する化合物であり、黒色を呈する顔料であれば特に限定されない。
ペリレン系顔料の具体例としては、下記式（ｄ２）で表されるペリレン系顔料、下記式（ｄ３）で表されるペリレン系顔料、及び下記式（ｄ４）で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、ＢＡＳＦ社製の製品名Ｋ００８４、及びＫ００８６や、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等を、ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。
ペリレン系顔料は、ペリレン骨格を有する化合物であり、黒色を呈する顔料であれば特に限定されない。
ペリレン系顔料の具体例としては、下記式（ｄ２）で表されるペリレン系顔料、下記式（ｄ３）で表されるペリレン系顔料、及び下記式（ｄ４）で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、ＢＡＳＦ社製の製品名Ｋ００８４、及びＫ００８６や、ピグメントブラック２１、３０、３１、３２、３３、及び３４等を、ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。
【0156】
【化29】
【0157】
【化30】
【0158】
【化31】
【0159】
上記の式（ｄ２）で表される化合物、式（ｄ３）で表される化合物、及び式（ｄ４）で表される化合物は、例えば、特開昭６２－１７５３号公報、特公昭６３－２６７８４号公報に記載の方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレン－３，５，９，１０－テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。
【0160】
感光性組成物中においてペリレン系顔料を良好に分散させ、幅広い波長域の光について透過率が低い硬化物を形成するためには、ペリレン系顔料の体積平均粒子径は１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であるのが好ましく、１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下がより好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下が特に好ましい。
また、ペリレン系顔料の体積粒子径が上記の範囲内である場合、算術平均粗さＲａが低い、平滑な表面を有する硬化物を安定的に形成しやすい。
また、ペリレン系顔料の体積粒子径が上記の範囲内である場合、算術平均粗さＲａが低い、平滑な表面を有する硬化物を安定的に形成しやすい。
【0161】
［黒色顔料（Ｄ２）］
遮光剤（Ｄ）は、黒色顔料（Ｄ２）を含んでいてもよい。黒色顔料（Ｄ２）は、有機黒色顔料（Ｄ１）以外の黒色顔料（無機黒色顔料）である。黒色顔料（Ｄ２）としては、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックが好ましい。
なお、感光性組成物は、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料、例えば、酸性基を導入する処理を施されていないカーボンブラック、酸窒化チタン、窒化チタン、銀錫（ＡｇＳｎ）合金を主成分とする微粒子、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩を、実質的に含まないことが好ましい。
ここで、感光性組成物が、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料を実質的に含まないとは、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料の含有量が、所望する効果が損なわれない程度の少量であることを意味する。典型的には、感光性組成物における酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料の含有量は、有機黒色顔料（Ｄ１）及び酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックの合計質量に対して、１質量％以下が好ましく、０．５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以下がさらに好ましく、０質量％が特に好ましい。つまり、感光性組成物が、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料を含まないのが特に好ましい。
遮光剤（Ｄ）は、黒色顔料（Ｄ２）を含んでいてもよい。黒色顔料（Ｄ２）は、有機黒色顔料（Ｄ１）以外の黒色顔料（無機黒色顔料）である。黒色顔料（Ｄ２）としては、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックが好ましい。
なお、感光性組成物は、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料、例えば、酸性基を導入する処理を施されていないカーボンブラック、酸窒化チタン、窒化チタン、銀錫（ＡｇＳｎ）合金を主成分とする微粒子、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩を、実質的に含まないことが好ましい。
ここで、感光性組成物が、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料を実質的に含まないとは、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料の含有量が、所望する効果が損なわれない程度の少量であることを意味する。典型的には、感光性組成物における酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料の含有量は、有機黒色顔料（Ｄ１）及び酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックの合計質量に対して、１質量％以下が好ましく、０．５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以下がさらに好ましく、０質量％が特に好ましい。つまり、感光性組成物が、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック以外の無機黒色顔料を含まないのが特に好ましい。
【0162】
<酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラック>
酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックとは、酸性基が導入されたカーボンブラックである。
カーボンブラックに導入される酸性基は、ブレンステッドの定義による酸性を示す官能基である。酸性基の具体例としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。カーボンブラックに導入された酸性基は、塩を形成していてもよい。酸性基と塩を形成するカチオンは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カチオンの例としては、種々の金属イオン、含窒素化合物のカチオン、アンモニウムイオン等が挙げられ、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが好ましい。
カーボンブラックに導入される酸性基は、１種でも２種以上でもよい。
酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックとは、酸性基が導入されたカーボンブラックである。
カーボンブラックに導入される酸性基は、ブレンステッドの定義による酸性を示す官能基である。酸性基の具体例としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。カーボンブラックに導入された酸性基は、塩を形成していてもよい。酸性基と塩を形成するカチオンは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カチオンの例としては、種々の金属イオン、含窒素化合物のカチオン、アンモニウムイオン等が挙げられ、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが好ましい。
カーボンブラックに導入される酸性基は、１種でも２種以上でもよい。
【0163】
カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができる。
【0164】
カーボンブラックに酸性基を導入する方法は特に限定されない。酸性基を導入する方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
１）濃硫酸、発煙硫酸、クロロスルホン酸等を用いる直接置換法や、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩等を用いる間接置換法により、カーボンブラックにスルホン酸基を導入する方法。
２）アミノ基と酸性基とを有する有機化合物と、カーボンブラックとをジアゾカップリングさせる方法。
３）ハロゲン原子と酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとをウィリアムソンのエーテル化法により反応させる方法。
４）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとを反応させる方法。
５）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物を用いて、カーボンブラックに対してフリーデルクラフツ反応を行った後、脱保護する方法。
１）濃硫酸、発煙硫酸、クロロスルホン酸等を用いる直接置換法や、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩等を用いる間接置換法により、カーボンブラックにスルホン酸基を導入する方法。
２）アミノ基と酸性基とを有する有機化合物と、カーボンブラックとをジアゾカップリングさせる方法。
３）ハロゲン原子と酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとをウィリアムソンのエーテル化法により反応させる方法。
４）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとを反応させる方法。
５）ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物を用いて、カーボンブラックに対してフリーデルクラフツ反応を行った後、脱保護する方法。
【0165】
これらの方法の中では、酸性基の導入処理が、容易且つ安全であることから、方法２）が好ましい。方法２）で使用されるアミノ基と酸性基とを有する有機化合物としては、芳香族基にアミノ基と酸性基とが結合した化合物が好ましい。このような化合物の例としては、スルファニル酸のようなアミノベンゼンスルホン酸や、４－アミノ安息香酸のようなアミノ安息香酸が挙げられる。
【0166】
カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、カーボンブラック１００ｇに対して、１ｍｍｏｌ以上２００ｍｍｏｌ以下が好ましく、５ｍｍｏｌ以上１００ｍｍｏｌ以下がより好ましい。
【0167】
［その他の顔料］
遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）及び黒色顔料（Ｄ２）以外の、その他の顔料を含んでいてもよい。遮光剤（Ｄ）は、その他の顔料を、１種含んでいても２種以上含んでいてもよい。
遮光剤（Ｄ）は、有機黒色顔料（Ｄ１）及び黒色顔料（Ｄ２）以外の、その他の顔料を含んでいてもよい。遮光剤（Ｄ）は、その他の顔料を、１種含んでいても２種以上含んでいてもよい。
【0168】
感光性組成物の調製に用いられる遮光剤（Ｄ）（有機黒色顔料（Ｄ１）、黒色顔料（Ｄ２）等）の形態は特に限定されない。遮光剤（Ｄ）は、粉体として使用されてもよく、分散液として使用されてもよい。遮光剤（Ｄ）は、好ましくは、分散液として、感光性組成物の調製に用いられる。
分散液として、２種以上の遮光剤（Ｄ）を含む分散液を用いてもよい。また、それぞれ異なる種類の遮光剤を含む、２種以上の分散液を用いてもよい。
分散液として、２種以上の遮光剤（Ｄ）を含む分散液を用いてもよい。また、それぞれ異なる種類の遮光剤を含む、２種以上の分散液を用いてもよい。
【0169】
分散媒としては、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、セロソルブアセテート、３－メトキシブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、２－メトキシエチルアセテート３－エトキシエチルプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート等の有機溶剤を用いることができる。
【0170】
遮光剤（Ｄ）の分散液中での分散の安定化や、感光性組成物における遮光剤（Ｄ）の分散性を良好とするために、分散剤を用いてもよい。
分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系等の高分子分散剤を用いることが好ましい。
これらの中では、現像液への溶解性が良好であり、現像後の基板、現像設備、配管等への残渣の付着がより生じにくい点で、ウレタン樹脂系の分散剤が好ましい。
分散剤を用いる場合、感光性組成物における分散剤の含有量は、遮光剤（Ｄ）の含有量に対して、例えば、５質量％以上５０質量％以下であり、１０質量％以上４０質量％以下が好ましい。
なお、分散剤に起因する腐食性のガスが硬化物から生じる場合もある。このため、遮光剤（Ｄ）が、分散剤を用いることなく分散処理されるのも好ましい態様の一例である。
分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系等の高分子分散剤を用いることが好ましい。
これらの中では、現像液への溶解性が良好であり、現像後の基板、現像設備、配管等への残渣の付着がより生じにくい点で、ウレタン樹脂系の分散剤が好ましい。
分散剤を用いる場合、感光性組成物における分散剤の含有量は、遮光剤（Ｄ）の含有量に対して、例えば、５質量％以上５０質量％以下であり、１０質量％以上４０質量％以下が好ましい。
なお、分散剤に起因する腐食性のガスが硬化物から生じる場合もある。このため、遮光剤（Ｄ）が、分散剤を用いることなく分散処理されるのも好ましい態様の一例である。
【0171】
遮光剤（Ｄ）の分散液の粘度は、特に制限されない。分散液の粘度は、コーンプレート型粘度計による２５℃での測定値として、３ｍＰａ・ｓ以上２００ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましい。
【0172】
分散液中の遮光剤（Ｄ）の粒子径は、分散平均粒子径として８０ｎｍ以上３００ｎｍ以下が好ましい。分散平均粒子径は、レーザー回折式の粒度分布計を用いて測定することができる。
【0173】
感光性組成物の全固形分における、遮光剤（Ｄ）の含有量は、５質量％以上６０質量％以下が好ましく、１０質量％以上５０質量％以下がより好ましく、２０質量％以上４０質量％以下がさらに好ましい。
遮光剤（Ｄ）が黒色顔料（Ｄ２）を含む場合、遮光剤（Ｄ）に対する黒色顔料（Ｄ２）の割合は、２０質量％以上８０質量％以下が好ましく、３０質量％以上７５質量％以下がより好ましく、４０質量％以上７０質量％以下がさらに好ましい。
遮光剤（Ｄ）が黒色顔料（Ｄ２）を含む場合、遮光剤（Ｄ）に対する黒色顔料（Ｄ２）の割合は、２０質量％以上８０質量％以下が好ましく、３０質量％以上７５質量％以下がより好ましく、４０質量％以上７０質量％以下がさらに好ましい。
【0174】
＜多官能エポキシ化合物（Ｆ）＞
感光性組成物は、多官能エポキシ化合物（Ｆ）を含んでいてもよい。感光性組成物が多官能エポキシ化合物（Ｆ）をさらに含むことにより、感光性組成物の低温での良好な硬化が容易である。
本明細書において、多官能エポキシ化合物（Ｆ）とは、１分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物である。
感光性組成物は、多官能エポキシ化合物（Ｆ）を含んでいてもよい。感光性組成物が多官能エポキシ化合物（Ｆ）をさらに含むことにより、感光性組成物の低温での良好な硬化が容易である。
本明細書において、多官能エポキシ化合物（Ｆ）とは、１分子中に２以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物である。
【0175】
多官能エポキシ化合物（Ｆ）としては、従来から、感光性組成物に配合されている種々の多官能エポキシ化合物を用いることができる。また、必要に応じて、多官能エポキシ化合物（Ｆ）と、多官能エポキシ化合物（Ｆ）の種類に応じた硬化剤を含んでいてもよい。硬化剤を用いる場合、感光性組成物の長期安定性の点から、ベークによって硬化剤としての作用を生じさせる潜在性の硬化剤を用いるのが好ましい。
【0176】
多官能エポキシ化合物（Ｆ）は、分子量（Ｍｗ）が、２０００以下の化合物であり、好ましくは１５００以下の化合物である。多官能エポキシ化合物は、ポリマーやオリゴマーでなく、単量体の化合物又は繰り返し単位を２以上有さない化合物であることが好ましい。
多官能エポキシ化合物（Ｆ）の例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、ビスフェノールＳ型エポキシ化合物、ビスフェノールＡＤ型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、及びビフェニル型エポキシ化合物等の２官能エポキシ化合物；９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－［２－（グリシジルオキシ）エトキシ］フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－［２－（グリシジルオキシ）エチル］フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）－３－メチルフェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）－３，５－ジメチルフェニル］－９Ｈ－フルオレン、及び９，９－ビス（６‐グリシジルオキシナフタレン－２－イル）－９Ｈ－フルオレン等のエポキシ基含有フルオレン化合物；テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、トリグリシジル－ｐ－アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、及びテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグリシジルアミン型エポキシ化合物；フロログリシノールトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシビフェニルトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシフェニルメタントリグリシジルエーテル、２－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－２－［４－［１，１－ビス［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］エチル］フェニル］プロパン、及び１，３－ビス［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－メチルエチル］フェニル］エチル］フェノキシ］－２－プロパノール等の３官能型エポキシ化合物；テトラヒドロキシフェニルエタンテトラグリシジルエーテル、テトラグリシジルベンゾフェノン、ビスレゾルシノールテトラグリシジルエーテル、及びテトラグリシドキシビフェニル等の４官能型エポキシ化合物；が挙げられる。
多官能エポキシ化合物（Ｆ）の例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、ビスフェノールＳ型エポキシ化合物、ビスフェノールＡＤ型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、及びビフェニル型エポキシ化合物等の２官能エポキシ化合物；９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－［２－（グリシジルオキシ）エトキシ］フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－［２－（グリシジルオキシ）エチル］フェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）－３－メチルフェニル］－９Ｈ－フルオレン、９，９－ビス［４－（グリシジルオキシ）－３，５－ジメチルフェニル］－９Ｈ－フルオレン、及び９，９－ビス（６‐グリシジルオキシナフタレン－２－イル）－９Ｈ－フルオレン等のエポキシ基含有フルオレン化合物；テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、トリグリシジル－ｐ－アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、及びテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグリシジルアミン型エポキシ化合物；フロログリシノールトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシビフェニルトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシフェニルメタントリグリシジルエーテル、２－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－２－［４－［１，１－ビス［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］エチル］フェニル］プロパン、及び１，３－ビス［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－メチルエチル］フェニル］エチル］フェノキシ］－２－プロパノール等の３官能型エポキシ化合物；テトラヒドロキシフェニルエタンテトラグリシジルエーテル、テトラグリシジルベンゾフェノン、ビスレゾルシノールテトラグリシジルエーテル、及びテトラグリシドキシビフェニル等の４官能型エポキシ化合物；が挙げられる。
【0177】
多官能エポキシ化合物（Ｆ）の他の例として、脂環式エポキシ基を有する多官能の脂環式エポキシ化合物が挙げられる。かかる脂環式エポキシ化合物の具体例としては、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル－５，５－スピロ－３，４－エポキシ）シクロヘキサン－メタ－ジオキサン、ビス（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、ビス（３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、３，４－エポキシ－６－メチルシクロヘキシル－３’，４’－エポキシ－６’－メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ε－カプロラクトン変性３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３’，４’－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチルカプロラクトン変性３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３’，４’－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、β－メチル－δ－バレロラクトン変性３，４－エポキシシクロヘキシルメチル－３’，４’－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、メチレンビス（３，４－エポキシシクロヘキサン）、エチレングリコールのジ（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、エチレンビス（３，４－エポキシシクロヘキサンカルボキシレート）、及びトリシクロデセンオキサイド基を有する多官能エポキシ化合物や、下記式（Ｆ１－１）～（Ｆ１－５）で表される化合物が挙げられる。
これらの脂環式エポキシ化合物は単独で用いても２種以上混合して用いてもよい。
これらの脂環式エポキシ化合物は単独で用いても２種以上混合して用いてもよい。
【0178】
【化32】
【0179】
連結基Ｚとしては、例えば、２価の炭化水素基、－Ｏ－、－Ｏ－ＣＯ－、－Ｓ－、－ＳＯ－、－ＳＯ２－、－ＣＢｒ２－、－Ｃ（ＣＢｒ３）２－、－Ｃ（ＣＦ３）２－、及び－ＲＦ１９－Ｏ－ＣＯ－からなる群より選択される２価の基及びこれらが複数個結合した基等を挙げることができる。
【0180】
連結基Ｚである二価の炭化水素基としては、例えば、炭素原子数が１以上１８以下の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基、二価の脂環式炭化水素基等を挙げることができる。炭素原子数が１以上１８以下の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、メチルメチレン基、ジメチルメチレン基、ジメチレン基、トリメチレン基等を挙げることができる。上記二価の脂環式炭化水素基としては、例えば、１，２－シクロペンチレン基、１，３－シクロペンチレン基、シクロペンチリデン基、１，２－シクロヘキシレン基、１，３－シクロヘキシレン基、１，４－シクロヘキシレン基、シクロヘキシリデン基等のシクロアルキレン基（シクロアルキリデン基を含む）等を挙げることができる。
【0181】
ＲＦ１９は、炭素原子数１以上８以下のアルキレン基であり、メチレン基又はエチレン基であるのが好ましい。
【0182】
【化33】
【0183】
（式（Ｆ１－２）中、ＲＦ１～ＲＦ１２は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。）
【0184】
【化34】
【0185】
【化35】
【0186】
【化36】
【0187】
式（Ｆ１－１）～（Ｆ１－５）中、ＲＦ１～ＲＦ１８が有機基である場合、有機基は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、炭化水素基であっても、炭素原子とハロゲン原子とからなる基であっても、炭素原子及び水素原子と共にハロゲン原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケイ素原子のようなヘテロ原子を含むような基であってもよい。ハロゲン原子の例としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、及びフッ素原子等が挙げられる。
【0188】
有機基としては、炭化水素基と、炭素原子、水素原子、及び酸素原子からなる基と、ハロゲン化炭化水素基と、炭素原子、酸素原子、及びハロゲン原子からなる基と、炭素原子、水素原子、酸素原子、及びハロゲン原子からなる基とが好ましい。有機基が炭化水素基である場合、炭化水素基は、芳香族炭化水素基でも、脂肪族炭化水素基でも、芳香族骨格と脂肪族骨格とを含む基でもよい。有機基の炭素原子数は１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上５以下が特に好ましい。
【0189】
炭化水素基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、２－エチルヘキシル基、ｎ－ノニル基、ｎ－デシル基、ｎ－ウンデシル基、ｎ－トリデシル基、ｎ－テトラデシル基、ｎ－ペンタデシル基、ｎ－ヘキサデシル基、ｎ－ヘプタデシル基、ｎ－オクタデシル基、ｎ－ノナデシル基、及びｎ－イコシル基等の鎖状アルキル基；ビニル基、１－プロペニル基、２－ｎ－プロペニル基（アリル基）、１－ｎ－ブテニル基、２－ｎ－ブテニル基、及び３－ｎ－ブテニル基等の鎖状アルケニル基；シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、及びシクロヘプチル基等のシクロアルキル基；フェニル基、ｏ－トリル基、ｍ－トリル基、ｐ－トリル基、α－ナフチル基、β－ナフチル基、ビフェニル－４－イル基、ビフェニル－３－イル基、ビフェニル－２－イル基、アントリル基、及びフェナントリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、α－ナフチルエチル基、及びβ－ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
【0190】
ハロゲン化炭化水素基の具体例は、クロロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロロメチル基、ブロモメチル基、ジブロモメチル基、トリブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、及びパーフルオロペンチル基、パーフルオロヘキシル基、パーフルオロヘプチル基、パーフルオロオクチル基、パーフルオロノニル基、及びパーフルオロデシル基等のハロゲン化鎖状アルキル基；２－クロロシクロヘキシル基、３－クロロシクロヘキシル基、４－クロロシクロヘキシル基、２，４－ジクロロシクロヘキシル基、２－ブロモシクロヘキシル基、３－ブロモシクロヘキシル基、及び４－ブロモシクロヘキシル基等のハロゲン化シクロアルキル基；２－クロロフェニル基、３－クロロフェニル基、４－クロロフェニル基、２，３－ジクロロフェニル基、２，４－ジクロロフェニル基、２，５－ジクロロフェニル基、２，６－ジクロロフェニル基、３，４－ジクロロフェニル基、３，５－ジクロロフェニル基、２－ブロモフェニル基、３－ブロモフェニル基、４－ブロモフェニル基、２－フルオロフェニル基、３－フルオロフェニル基、４－フルオロフェニル基等のハロゲン化アリール基；２－クロロフェニルメチル基、３－クロロフェニルメチル基、４－クロロフェニルメチル基、２－ブロモフェニルメチル基、３－ブロモフェニルメチル基、４－ブロモフェニルメチル基、２－フルオロフェニルメチル基、３－フルオロフェニルメチル基、４－フルオロフェニルメチル基等のハロゲン化アラルキル基である。
【0191】
炭素原子、水素原子、及び酸素原子からなる基の具体例は、ヒドロキシメチル基、２－ヒドロキシエチル基、３－ヒドロキシ－ｎ－プロピル基、及び４－ヒドロキシ－ｎ－ブチル基等のヒドロキシ鎖状アルキル基；２－ヒドロキシシクロヘキシル基、３－ヒドロキシシクロヘキシル基、及び４－ヒドロキシシクロヘキシル基等のハロゲン化シクロアルキル基；２－ヒドロキシフェニル基、３－ヒドロキシフェニル基、４－ヒドロキシフェニル基、２，３－ジヒドロキシフェニル基、２，４－ジヒドロキシフェニル基、２，５－ジヒドロキシフェニル基、２，６－ジヒドロキシフェニル基、３，４－ジヒドロキシフェニル基、及び３，５－ジヒドロキシフェニル基等のヒドロキシアリール基；２－ヒドロキシフェニルメチル基、３－ヒドロキシフェニルメチル基、及び４－ヒドロキシフェニルメチル基等のヒドロキシアラルキル基；メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、ｎ－ウンデシルオキシ基、ｎ－トリデシルオキシ基、ｎ－テトラデシルオキシ基、ｎ－ペンタデシルオキシ基、ｎ－ヘキサデシルオキシ基、ｎ－ヘプタデシルオキシ基、ｎ－オクタデシルオキシ基、ｎ－ノナデシルオキシ基、及びｎ－イコシルオキシ基等の鎖状アルコキシ基；ビニルオキシ基、１－プロペニルオキシ基、２－ｎ－プロペニルオキシ基（アリルオキシ基）、１－ｎ－ブテニルオキシ基、２－ｎ－ブテニルオキシ基、及び３－ｎ－ブテニルオキシ基等の鎖状アルケニルオキシ基；フェノキシ基、ｏ－トリルオキシ基、ｍ－トリルオキシ基、ｐ－トリルオキシ基、α－ナフチルオキシ基、β－ナフチルオキシ基、ビフェニル－４－イルオキシ基、ビフェニル－３－イルオキシ基、ビフェニル－２－イルオキシ基、アントリルオキシ基、及びフェナントリルオキシ基等のアリールオキシ基；ベンジルオキシ基、フェネチルオキシ基、α－ナフチルメチルオキシ基、β－ナフチルメチルオキシ基、α－ナフチルエチルオキシ基、及びβ－ナフチルエチルオキシ基等のアラルキルオキシ基；メトキシメチル基、エトキシメチル基、ｎ－プロポキシメチル基、２－メトキシエチル基、２－エトキシエチル基、２－ｎ－プロポキシエチル基、３－メトキシ－ｎ－プロピル基、３－エトキシ－ｎ－プロピル基、３－ｎ－プロポキシ－ｎ－プロピル基、４－メトキシ－ｎ－ブチル基、４－エトキシ－ｎ－ブチル基、及び４－ｎ－プロポキシ－ｎ－ブチル基等のアルコキシアルキル基；メトキシメトキシ基、エトキシメトキシ基、ｎ－プロポキシメトキシ基、２－メトキシエトキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－ｎ－プロポキシエトキシ基、３－メトキシ－ｎ－プロポキシ基、３－エトキシ－ｎ－プロポキシ基、３－ｎ－プロポキシ－ｎ－プロポキシ基、４－メトキシ－ｎ－ブチルオキシ基、４－エトキシ－ｎ－ブチルオキシ基、及び４－ｎ－プロポキシ－ｎ－ブチルオキシ基等のアルコキシアルコキシ基；２－メトキシフェニル基、３－メトキシフェニル基、及び４－メトキシフェニル基等のアルコキシアリール基；２－メトキシフェノキシ基、３－メトキシフェノキシ基、及び４－メトキシフェノキシ基等のアルコキシアリールオキシ基；ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、ヘプタノイル基、オクタノイル基、ノナノイル基、及びデカノイル基等の脂肪族アシル基；ベンゾイル基、α－ナフトイル基、及びβ－ナフトイル基等の芳香族アシル基；メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロポキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、及びｎ－デシルオキシカルボニル基等の鎖状アルキルオキシカルボニル基；フェノキシカルボニル基、α－ナフトキシカルボニル基、及びβ－ナフトキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル基；ホルミルオキシ基、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、ヘキサノイルオキシ基、ヘプタノイルオキシ基、オクタノイルオキシ基、ノナノイルオキシ基、及びデカノイルオキシ基等の脂肪族アシルオキシ基；ベンゾイルオキシ基、α－ナフトイルオキシ基、及びβ－ナフトイルオキシ基等の芳香族アシルオキシ基である。
【0192】
ＲＦ１～ＲＦ１８は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数１以上５以下のアルキル基、及び炭素原子数１以上５以下のアルコキシ基からなる群より選択される基が好ましく、特に機械的特性に優れる硬化物を形成しやすいことから、ＲＦ１～ＲＦ１８が全て水素原子であるのがより好ましい。
【0193】
式（Ｆ１－２）～（Ｆ１－５）中、ＲＦ１～ＲＦ１２は、式（Ｆ１－１）におけるＲＦ１～ＲＦ１２と同様である。式（Ｆ１－２）及び式（Ｆ１－４）において、ＲＦ２及びＲＦ１０が、互いに結合する場合に形成される２価の基としては、例えば、－ＣＨ２－、－Ｃ（ＣＨ３）２－が挙げられる。式（Ｆ１－３）において、ＲＦ２及びＲＦ８が、互いに結合する場合に形成される２価の基としては、例えば、－ＣＨ２－、－Ｃ（ＣＨ３）２－が挙げられる。
【0194】
式（Ｆ１－１）で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、下記式（Ｆ１－１ａ）、式（Ｆ１－１ｂ）、及び式（Ｆ１－１ｃ）で表される脂環式エポキシ化合物や、２，２－ビス（３，４－エポキシシクロヘキサン－１－イル）プロパン［＝２，２－ビス（３，４－エポキシシクロヘキシル）プロパン］等を挙げることができる。
【化37】
【0195】
式（Ｆ１－２）で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、下記式（Ｆ１－２ａ）で表されるビシクロノナジエンジエポキシド、又はジシクロノナジエンジエポキシド等が挙げられる。
【化38】
【0196】
式（Ｆ１－３）で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、Ｓスピロ［３－オキサトリシクロ［３．２．１．０２，４］オクタン－６，２’－オキシラン］等が挙げられる。
【0197】
式（Ｆ１－４）で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、４－ビニルシクロヘキセンジオキシド、ジペンテンジオキシド、リモネンジオキシド、１－メチル－４－（３－メチルオキシラン－２－イル）－７－オキサビシクロ［４．１．０］ヘプタン等が挙げられる。
【0198】
式（Ｆ１－５）で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、１，２，５，６－ジエポキシシクロオクタン等が挙げられる。
【0199】
さらに、下記式（Ｆ－１）で表される化合物を、多官能エポキシ化合物（Ｆ）として好適に使用し得る。
（式（Ｆ－１）中、Ｘｆ１、Ｘｆ２、及びＸｆ３は、それぞれ独立に、水素原子、又はエポキシ基を含んでいてもよい有機基であり、Ｘｆ１、Ｘｆ２、及びＸｆ３が有するエポキシ基の総数が２以上である。）、
【化39】
【0200】
上記式（Ｆ－１）で表される化合物としては、下記式（Ｆ１－６）で表される化合物が好ましい。
（式（Ｆ１－６）中、Ｒｆ２０～Ｒｆ２２は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－ＮＨ－及びこれらの組み合わせからなる基であり、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。Ｅ１～Ｅ３は、エポキシ基、オキセタニル基、エチレン性不飽和基、アルコキシシリル基、イソシアネート基、ブロックイソシアネート基、チオール基、カルボキシ基、水酸基及びコハク酸無水物基からなる群より選択される少なくとも１種の置換基又は水素原子である。ただし、Ｅ１～Ｅ３のうち少なくとも２つは、エポキシ基を有する基である。）
【化40】
【0201】
式（Ｆ１－６）中、Ｒｆ２０とＥ１、Ｒｆ２１とＥ２、及びＲｆ２２とＥ３で示される基は、例えば、少なくとも２つが、それぞれ、下記式（Ｆ１－６ａ）で表される基であることが好ましく、いずれもが、それぞれ、下記式（Ｆ１－６ａ）で表される基であることがより好ましい。１つの化合物に結合する複数の式（Ｆ１－６ａ）で表される基は、同じ基であることが好ましい。
－Ｌ－Ｃａ （Ｆ１－６ａ）
（式（Ｆ１－６ａ）中、Ｌは直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－ＮＨ－及びこれらの組み合わせからなる基であり、Ｃａはエポキシ基である。式（Ｆ１－６ａ）中、ＬとＣａとが結合して環状構造を形成していてもよい。）
－Ｌ－Ｃａ （Ｆ１－６ａ）
（式（Ｆ１－６ａ）中、Ｌは直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－ＮＨ－及びこれらの組み合わせからなる基であり、Ｃａはエポキシ基である。式（Ｆ１－６ａ）中、ＬとＣａとが結合して環状構造を形成していてもよい。）
【0202】
式（Ｆ１－６ａ）中、Ｌとしての直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基としては、炭素原子数１以上１０以下のアルキレン基が好ましく、また、Ｌとしてのアリーレン基としては、炭素原子数５以上１０以下のアリーレン基が好ましい。式（Ｆ１－６ａ）中、Ｌは、直鎖状の炭素原子数１以上３以下のアルキレン基、フェニレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－ＮＨ－及びこれらの組み合わせからなる基であることが好ましく、メチレン基等の直鎖状の炭素原子数１以上３以下のアルキレン基及びフェニレン基の少なくとも１種、又は、これらと、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－及びＮＨ－の少なくとも１種との組み合わせからなる基が好ましい。
【0203】
式（Ｆ１－６ａ）中、ＬとＣａとが結合して環状構造を形成している場合としては、例えば、分岐鎖状のアルキレン基とエポキシ基とが結合して環状構造（脂環構造のエポキシ基を有する構造）を形成している場合、下記式（Ｆ１－６ｂ）又は（Ｆ１－６ｃ）で表される有機基が挙げられる。
（式（Ｆ１－６ｂ）中、Ｒｆ２３は、水素原子又はメチル基である。）
【化41】
【0204】
以下、式（Ｆ１－６）で表される化合物の例としてオキシラニル基、又は脂環式エポキシ基を有するエポキシ化合物の例を示すが、これらに限定されるものではない。
【化42】
【0205】
また、多官能エポキシ化合物（Ｆ）として好適に使用し得る化合物としては、分子内に２以上のエポキシ基を有するシロキサン化合物（以下、単に「シロキサン化合物」とも記す。）を挙げることができる。
【0206】
シロキサン化合物は、シロキサン結合（Ｓｉ－Ｏ－Ｓｉ）により構成されたシロキサン骨格と、２以上のグリシジル基又は脂環エポキシ基とを分子内に有する化合物である。なお、脂環式エポキシ基とは、脂肪族環式基において隣接する環構成原子としての２つの炭素原子が酸素原子を介して結合している脂肪族環式基である。つまり、脂環式エポキシ基は、脂肪族環上に、２つの炭素原子と１つの酸素原子とからなる３員環を含むエポキシ基を有する。
シロキサン化合物におけるシロキサン骨格としては、例えば、環状シロキサン骨格やかご型やラダー型のポリシルセスキオキサン骨格を挙げることができる。
シロキサン化合物におけるシロキサン骨格としては、例えば、環状シロキサン骨格やかご型やラダー型のポリシルセスキオキサン骨格を挙げることができる。
【0207】
シロキサン化合物としては、なかでも、下記式（Ｆ１－７）で表される環状シロキサン骨格を有する化合物（以下、「環状シロキサン」という場合がある）が好ましい。
【化43】
【0208】
式（Ｆ１－７）中、Ｒｆ２４、及びＲｆ２５は、エポキシ基を含有する１価の基又はアルキル基を示す。ただし、式（Ｆ１－７）で表される化合物におけるｘ１個のＲｆ２４及びｘ１個のＲｆ２５のうち、少なくとも２個はエポキシ基を含有する１価の基である。また、式（Ｆ１－７）中のｘ１は３以上の整数を示す。尚、式（Ｆ１－７）で表される化合物におけるＲｆ２４、Ｒｆ２５は同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、複数のＲｆ２４は同一であってもよいし、異なっていてもよい。複数のＲｆ２５も同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【0209】
上記エポキシ基を含有する一価の基としては、－Ｄ－Ｏ－Ｒｆ２６で表されるグリシジルエーテル基［Ｄはアルキレン基を示し、Ｒｆ２６はグリシジル基を示す］が好ましい。上記Ｄ（アルキレン基）としては、例えば、メチレン基、メチルメチレン基、ジメチルメチレン基、ジメチレン基、トリメチレン基等の炭素原子数が１以上１８以下の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基等を挙げることができる。
また、－Ｄ－Ｒｆ２７で表される脂環式エポキシ基含有基もこのましい。Ｒｆ２７は、エポキシシクロアルキル基である。Ｄは前述の通り、アルキレン基である。Ｄとしてのアルキレン基の好ましい例も、前述の通りである。Ｒｆ２７としてのエポキシシクロアルキル基としては、２，３－エポキシシクロペンチル基、３，４－エポキシシクロヘキシル基、及び２，３－エポキシシクロヘキシル基が好ましい。－Ｄ－Ｒｆ２７で表される基としては、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチル基が好ましい。
また、－Ｄ－Ｒｆ２７で表される脂環式エポキシ基含有基もこのましい。Ｒｆ２７は、エポキシシクロアルキル基である。Ｄは前述の通り、アルキレン基である。Ｄとしてのアルキレン基の好ましい例も、前述の通りである。Ｒｆ２７としてのエポキシシクロアルキル基としては、２，３－エポキシシクロペンチル基、３，４－エポキシシクロヘキシル基、及び２，３－エポキシシクロヘキシル基が好ましい。－Ｄ－Ｒｆ２７で表される基としては、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチル基が好ましい。
【0210】
Ｒｆ２４、及びＲｆ２５としてのアルキル基の好ましい例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等の炭素原子数１以上１８以下（好ましくは炭素原子数１以上６以下、特に好ましくは炭素原子数１以上３以下）の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を挙げることができる。
【0211】
式（Ｆ１－７）中のｘ１は３以上の整数を示し、なかでも、硬化物を形成する際の架橋反応性に優れる点で３以上６以下の整数が好ましい。
【0212】
シロキサン化合物が分子内に有するエポキシ基の数は２個以上であり、硬化物を形成する際の架橋反応性に優れる点から２個以上６個以下が好ましく、特に好ましくは２個以上４個以下である。
【0213】
感光性組成物は、式（Ｆ１－７）で表されるシロキサン化合物以外にも、脂環式エポキシ基含有環状シロキサン、特開２００８－２４８１６９号公報に記載の脂環式エポキシ基含有シリコーン樹脂、及び特開２００８－１９４２２号公報に記載の１分子中に少なくとも２個のエポキシ官能性基を有するオルガノポリシルセスキオキサン樹脂等のシロキサン骨格を有する化合物を含有していてもよい。
【0214】
シロキサン化合物としては、より具体的には、下記式で表される、分子内に２以上のエポキシ基を有する環状シロキサン等を挙げることができる。また、シロキサン化合物としては、例えば、商品名「Ｘ－４０－２６７０」、「Ｘ－４０－２７０１」、「Ｘ－４０－２７２８」、「Ｘ－４０－２７３８」、「Ｘ－４０－２７４０」（以上、信越化学工業社製）等の市販品を用いることができる。
【0215】
【化44】
【0216】
【化45】
【0217】
感光性組成物における多官能エポキシ化合物（Ｆ）の含有量は、感光性組成物の全固形分中において０．１質量％以上２０質量％以下が好ましく、０．５質量％以上１０質量％以下がより好ましく、１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
【0218】
＜有機溶剤（Ｓ）＞
感光性組成物は、希釈のための有機溶剤（Ｓ）を含有することが好ましい。有機溶剤（Ｓ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール－ｎ－プロピルエーテル、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノン、３－ヘプタノン等のケトン類；２－ヒドロキシプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－３－メチルブタン酸メチル、３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ－プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ－ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ－ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ－プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ－ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ－プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２－オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。
感光性組成物は、希釈のための有機溶剤（Ｓ）を含有することが好ましい。有機溶剤（Ｓ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール－ｎ－プロピルエーテル、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノン、３－ヘプタノン等のケトン類；２－ヒドロキシプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－３－メチルブタン酸メチル、３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ－プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ－ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ－ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ－プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ－ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ－プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２－オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。
【0219】
これらの中でも、アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、乳酸アルキルエステル類、上述した他のエステル類が好ましく、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、上述した他のエーテル類、上述した他のエステル類がより好ましい。これらの溶剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
有機溶剤（Ｓ）の含有量は、感光性組成物の固形分濃度が１質量％以上５０質量％以下となる量が好ましく、５質量％以上４０質量％以下となる量がより好ましい。
有機溶剤（Ｓ）の含有量は、感光性組成物の固形分濃度が１質量％以上５０質量％以下となる量が好ましく、５質量％以上４０質量％以下となる量がより好ましい。
【0220】
＜その他の成分＞
感光性組成物は、必要に応じて、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、増感剤、硬化促進剤、充填剤、分散剤、シランカップリング剤等の密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が挙げられる。
感光性組成物は、必要に応じて、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、増感剤、硬化促進剤、充填剤、分散剤、シランカップリング剤等の密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が挙げられる。
【0221】
＜感光性組成物の調製方法＞
感光性組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性組成物が均一なものとなるよう、遮光剤（Ｄ）等の含有成分を通過し得るメンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
感光性組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性組成物が均一なものとなるよう、遮光剤（Ｄ）等の含有成分を通過し得るメンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
【0222】
≪光学素子の製造方法及び光学素子≫
以上説明した感光性組成物を用いることによって、図１に示すように、レンズ１と、レンズ１の周縁に位置する遮光層２とを備える光学素子１０を製造することができる。
レンズ１と、レンズ１の周縁に位置する遮光層２とを備える光学素子１０は、典型的には、
レンズ１に前述の感光性組成物を塗布して塗布膜２ａを形成する塗布膜形成工程と、
塗布膜２ａにおける遮光層２が形成される位置３を、位置選択的に露光する露光工程と、
露光後の塗布膜２ａを、現像する現像工程と、
現像後の塗布膜２ａを、加熱して硬化させる、熱硬化工程とを含む、方法により製造される。
以上説明した感光性組成物を用いることによって、図１に示すように、レンズ１と、レンズ１の周縁に位置する遮光層２とを備える光学素子１０を製造することができる。
レンズ１と、レンズ１の周縁に位置する遮光層２とを備える光学素子１０は、典型的には、
レンズ１に前述の感光性組成物を塗布して塗布膜２ａを形成する塗布膜形成工程と、
塗布膜２ａにおける遮光層２が形成される位置３を、位置選択的に露光する露光工程と、
露光後の塗布膜２ａを、現像する現像工程と、
現像後の塗布膜２ａを、加熱して硬化させる、熱硬化工程とを含む、方法により製造される。
【0223】
以下、各工程について、図２を用いて説明する。図２は、光学素子１０の製造方法を説明する模式的断面図である。
＜塗布膜形成工程＞
塗布膜形成工程では、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、感光性組成物を、レンズ１上に、スプレーコーター、ディップコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
＜塗布膜形成工程＞
塗布膜形成工程では、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、感光性組成物を、レンズ１上に、スプレーコーター、ディップコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。
【0224】
レンズ１については、上述の≪感光性組成物≫で述べたとおりである。
【0225】
感光性組成物を塗布した後、必要に応じて、乾燥により溶剤を除去して、塗布膜２ａが形成される。
なお、乾燥（加熱）は、感光性組成物の熱硬化が過度に進行しないように、例えば１００℃以下、好ましくは８０℃以下といった低い温度で行われるのが好ましい。乾燥は、必要に応じて減圧雰囲気下で行われてもよい。
なお、乾燥（加熱）は、感光性組成物の熱硬化が過度に進行しないように、例えば１００℃以下、好ましくは８０℃以下といった低い温度で行われるのが好ましい。乾燥は、必要に応じて減圧雰囲気下で行われてもよい。
【0226】
＜露光工程＞
露光工程では、図２（ｃ）に示すように、塗布膜形成工程で形成された塗布膜２ａにおける、遮光層２が形成される位置３を、位置選択的に露光する。露光工程では、塗布膜２ａに対して、ｉ線（３６５ｎｍ）、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を、所望する遮光層２の形状（パターンの形状）に合わせて位置選択的に照射して露光を行う。位置選択的な露光は、例えば、遮光層２の形状に対応する形状のネガ型マスク４を介して行われる。
露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性組成物の組成によっても異なるが、例えば１０ｍＪ／ｃｍ２以上６００ｍＪ／ｃｍ２以下程度が好ましい。
露光工程では、図２（ｃ）に示すように、塗布膜形成工程で形成された塗布膜２ａにおける、遮光層２が形成される位置３を、位置選択的に露光する。露光工程では、塗布膜２ａに対して、ｉ線（３６５ｎｍ）、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を、所望する遮光層２の形状（パターンの形状）に合わせて位置選択的に照射して露光を行う。位置選択的な露光は、例えば、遮光層２の形状に対応する形状のネガ型マスク４を介して行われる。
露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性組成物の組成によっても異なるが、例えば１０ｍＪ／ｃｍ２以上６００ｍＪ／ｃｍ２以下程度が好ましい。
【0227】
＜現像工程＞
現像工程において、露光工程で露光された塗布膜２ａの未露光部５が、アルカリ現像液等の現像液により現像される。
現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
上述の感光性組成物を用いることにより、未露光部５の現像残渣の発生が抑制できる。このため、得られる光学素子１０において、レンズ１の未露光部５の透過率の低下を抑制することができる。
現像工程において、露光工程で露光された塗布膜２ａの未露光部５が、アルカリ現像液等の現像液により現像される。
現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。
上述の感光性組成物を用いることにより、未露光部５の現像残渣の発生が抑制できる。このため、得られる光学素子１０において、レンズ１の未露光部５の透過率の低下を抑制することができる。
【0228】
＜熱硬化工程＞
熱硬化工程では、現像後の塗布膜を加熱（ベーク）する。これにより、図２（ｄ）に示すように、現像された塗布膜が加熱硬化して、遮光層２（パターン化された硬化物）を形成することができる。
熱硬化工程では、現像後の塗布膜を加熱（ベーク）する。これにより、図２（ｄ）に示すように、現像された塗布膜が加熱硬化して、遮光層２（パターン化された硬化物）を形成することができる。
【0229】
ベーク温度は、例えば１２０℃以下とすることができ、１００℃以下、さらには９５℃以下とすることができる。ベーク温度の下限は、塗布膜の硬化が良好に進行する限り特に限定されないが、８０℃以上が好ましい。
このように、上述の感光性組成物を用いることにより低い温度でベークすることができるため、レンズ１として耐熱性の低い材料からなるレンズを用いても、遮光層２の遮光性と、未露光部５のレンズ１の透過率の低下抑制とを両立することができる。
ベーク時間は、特に限定されず、十分に塗布膜の硬化が進行するまで行われる。典型的には、ベーク時間は１５～６０分間が好ましい。
このように、上述の感光性組成物を用いることにより低い温度でベークすることができるため、レンズ１として耐熱性の低い材料からなるレンズを用いても、遮光層２の遮光性と、未露光部５のレンズ１の透過率の低下抑制とを両立することができる。
ベーク時間は、特に限定されず、十分に塗布膜の硬化が進行するまで行われる。典型的には、ベーク時間は１５～６０分間が好ましい。
【0230】
形成される遮光層２の厚さは特に限定されない。遮光層２の厚さは、０．０５μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましい。遮光層２の厚さの上限は特にないが、例えば５０μｍ以下であってよく、２０μｍ以下であってよい。遮光層２の厚さは、１０μｍ以下が好ましい。
【0231】
前述の感光性組成物を用いてこのような光学素子１０の製造方法により、レンズ１の周縁に形成された遮光層２は、遮光性を有する。また、レンズ１の未露光部５の現像残渣が抑制され、可視光に対する透過率が高い。したがって、光学素子１０は、入射光の反射により生じるフレアやゴースト等が抑制され、且つ未露光部（すなわち、入射光が透過する領域）５の透過率の低下が抑制されるため、カメラ、顕微鏡、半導体露光装置等の光学機器に好ましく使用することができる。
【実施例0232】
以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されるものではない。
【0233】
実施例、及び比較例において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、アルカリ可溶性のカルド樹脂である樹脂Ａ－１及び樹脂Ａ－２を用いた。樹脂Ａ－１は、以下の調製例１で得た樹脂であり、樹脂Ａ－２は、以下の調製例２で得た樹脂である。
【0234】
（調製例１）
まず、５００ｍｌ四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂（エポキシ当量２３５）２３５ｇ、テトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール１００ｍｇ、及びアクリル酸７２．０ｇを仕込み、これに２５ｍｌ／分の速度で空気を吹き込みながら９０～１００℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまでに１２時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
まず、５００ｍｌ四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂（エポキシ当量２３５）２３５ｇ、テトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール１００ｍｇ、及びアクリル酸７２．０ｇを仕込み、これに２５ｍｌ／分の速度で空気を吹き込みながら９０～１００℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまでに１２時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
【化46】
【0235】
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート３０７．０ｇに３－メトキシブチルアセテート６００ｇを加えて溶解した後、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物８０．５ｇ及び臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０～１１５℃で４時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、１，２，３，６－テトラヒドロ無水フタル酸３８．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、樹脂Ａ－１を得た。酸無水物基の消失はＩＲスペクトルにより確認した。樹脂Ａ－１の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定されるポリスチレン換算の質量平均分子量は、３１００であった。
【0236】
（調製例２）
３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物４０．３ｇと１，２，３，６－テトラヒドロフタル酸二無水物２０．５ｇに変えることの他は調製例１と同様にして、樹脂Ａ－２を得た。樹脂Ａ－２の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定されるポリスチレン換算の質量平均分子量は、２３００であった。
３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物４０．３ｇと１，２，３，６－テトラヒドロフタル酸二無水物２０．５ｇに変えることの他は調製例１と同様にして、樹脂Ａ－２を得た。樹脂Ａ－２の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定されるポリスチレン換算の質量平均分子量は、２３００であった。
【0237】
実施例、及び比較例において、光重合性モノマー（Ｂ）として、以下のＢ－１及びＢ－２を用いた。
Ｂ－１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）
Ｂ－２：ペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタエリスリトールテトラアクリレートとの混合物（東亞合成株式会社製、商品名アロニックスＭ－９３３）
Ｂ－１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）
Ｂ－２：ペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタエリスリトールテトラアクリレートとの混合物（東亞合成株式会社製、商品名アロニックスＭ－９３３）
【0238】
実施例、及び比較例において、光重合開始剤（Ｃ）として、下記Ｃ－１を用いた。
【化47】
【0239】
実施例及び比較例において、遮光剤（Ｄ）として、有機黒色顔料（Ｄ１）としての下記Ｄ１－１（ラクタム系顔料）及びＤ１－２（ペリレン系顔料）、並びに有機黒色顔料（Ｄ１）以外の黒色顔料（Ｄ２）としての下記Ｄ２－１及びＤ２－２を用いた。黒色顔料（Ｄ２）は、黒色顔料分散液（カーボンブラック分散液）として使用した。カーボンブラック分散液の調製方法を、調製例４として以下に記す。また、有機黒色顔料（Ｄ１）は、有機黒色顔料分散液として使用した。有機黒色顔料分散液の調製方法を、調製例５として以下に記す。
Ｄ２－１：下記調製例３で得られたベンゼンスルホン酸基が導入されたカーボンブラック
Ｄ２－２：酸性基導入処理を施されていないカーボンブラック（Ｒｅｇａｌ ２５０Ｒ、Ｃａｂｏｔ社製）
【化48】
Ｄ２－２：酸性基導入処理を施されていないカーボンブラック（Ｒｅｇａｌ ２５０Ｒ、Ｃａｂｏｔ社製）
【0240】
（調製例３：Ｄ２－１の調製）
カーボンブラック（Ｒｅｇａｌ ２５０Ｒ、Ｃａｂｏｔ社製）５５０ｇ、スルファニル酸３１．５ｇ、及びイオン交換水１０００ｇを、ジャケット温度６０℃に設定された、ジャケットと撹拌装置とを備える反応容器に加えた。亜硝酸ナトリウム１２．６ｇを脱イオン水１００ｇに溶解させた溶液をブラウミキサー内に加えた後、ミキサー内の混合物６０℃、５０回転／分の条件で２時間撹拌し、ジアゾカップリング反応を行った。撹拌後、ミキサーの内容物を室温まで冷却した。次いで、ミキサーの内容物に含まれるカーボンブラックを、脱イオン水を用いてダイアフィルトレーション法で精製した。洗浄水からは、スルファニル酸に由来するベンゼンスルホン酸類は検出されず、ジアゾカップリング反応によりカーボンブラックにベンゼンスルホン酸基が導入されたことが分かった。精製されたカーボンブラックを、７５℃で一晩乾燥させた後に粉砕して、ベンゼンスルホン酸基が導入されたカーボンブラック（Ｄ２－１）を得た。
カーボンブラック（Ｒｅｇａｌ ２５０Ｒ、Ｃａｂｏｔ社製）５５０ｇ、スルファニル酸３１．５ｇ、及びイオン交換水１０００ｇを、ジャケット温度６０℃に設定された、ジャケットと撹拌装置とを備える反応容器に加えた。亜硝酸ナトリウム１２．６ｇを脱イオン水１００ｇに溶解させた溶液をブラウミキサー内に加えた後、ミキサー内の混合物６０℃、５０回転／分の条件で２時間撹拌し、ジアゾカップリング反応を行った。撹拌後、ミキサーの内容物を室温まで冷却した。次いで、ミキサーの内容物に含まれるカーボンブラックを、脱イオン水を用いてダイアフィルトレーション法で精製した。洗浄水からは、スルファニル酸に由来するベンゼンスルホン酸類は検出されず、ジアゾカップリング反応によりカーボンブラックにベンゼンスルホン酸基が導入されたことが分かった。精製されたカーボンブラックを、７５℃で一晩乾燥させた後に粉砕して、ベンゼンスルホン酸基が導入されたカーボンブラック（Ｄ２－１）を得た。
【0241】
（調製例４：カーボンブラック分散液の調製）
カーボンブラックとして前述のＤ２－１、Ｄ２－２を用いて、以下の処方に従ってカーボンブラックブラック分散液を調整した。
カーボンブラック１５ｇ、分散剤（ＢＹＫ－１６７、ビックケミー・ジャパン株式会社製）４．５ｇ、及び３－メトキシブチルアセテート５０ｇを、ビーズミルを用いて混合攪拌し、３－メトキシブチルアセテート中にカーボンブラックを分散させた。その後、３－メトキシブチルアセテートで、固形分濃度が３０質量％となるように混合物を希釈して、カーボンブラック分散液を得た。
カーボンブラックとして前述のＤ２－１、Ｄ２－２を用いて、以下の処方に従ってカーボンブラックブラック分散液を調整した。
カーボンブラック１５ｇ、分散剤（ＢＹＫ－１６７、ビックケミー・ジャパン株式会社製）４．５ｇ、及び３－メトキシブチルアセテート５０ｇを、ビーズミルを用いて混合攪拌し、３－メトキシブチルアセテート中にカーボンブラックを分散させた。その後、３－メトキシブチルアセテートで、固形分濃度が３０質量％となるように混合物を希釈して、カーボンブラック分散液を得た。
【0242】
（調製例５：有機黒色顔料分散液の調製）
カーボンブラックの代わりに、有機黒色顔料（Ｄ１）としてのＤ１－１又はＤ１－２を用いたことの他は、調整例４と同様にして、有機黒色顔料分散液を得た。
カーボンブラックの代わりに、有機黒色顔料（Ｄ１）としてのＤ１－１又はＤ１－２を用いたことの他は、調整例４と同様にして、有機黒色顔料分散液を得た。
【0243】
実施例及び比較例において、多官能エポキシ化合物（Ｆ）として、下記Ｆ－１を用いた。
【化49】
【0244】
〔実施例１～８及び比較例１～３〕
表１に記載の種類及び質量部の、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）と、多官能エポキシ化合物（Ｆ）とを、固形分濃度が２５質量％となるように、溶剤（Ｓ）に均一に溶解、分散させて、実施例１～８及び比較例１～３の感光性組成物を調製した。なお、溶剤（Ｓ）は、３－メトキシブチルアセテート２０質量％とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）８０質量％との混合溶媒とした。また、遮光剤（Ｄ）は分散液を用いて、遮光剤（Ｄ）が表１に記載の種類及び量となるように配合した。表１に分散剤の量も記載する。
表１に記載の種類及び質量部の、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と、遮光剤（Ｄ）と、多官能エポキシ化合物（Ｆ）とを、固形分濃度が２５質量％となるように、溶剤（Ｓ）に均一に溶解、分散させて、実施例１～８及び比較例１～３の感光性組成物を調製した。なお、溶剤（Ｓ）は、３－メトキシブチルアセテート２０質量％とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）８０質量％との混合溶媒とした。また、遮光剤（Ｄ）は分散液を用いて、遮光剤（Ｄ）が表１に記載の種類及び量となるように配合した。表１に分散剤の量も記載する。
【0245】
得られた各実施例、及び比較例の感光性組成物を用いて、以下の方法に従って、ＯＤ値、及びレンズの透過率（現像残渣）を評価した。結果を表１に示す。
【0246】
〔ＯＤ値の評価〕
１０ｃｍ２のガラス基板（コーニング製、イーグルＸＧ）上に、感光性組成物を塗布した後、８０℃で１２０秒間加熱（乾燥）して、塗布膜を形成した。次いで、この塗布膜に、プロキシミティ露光装置（製品名：ＴＭＥ－１５０ＲＴＯ、株式会社トプコン製）を用いて、ｉ線（３６５ｎｍ）を含むブロードバンド光を照射した。露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２とした。そして、９０℃で３０分間、ホットプレート上で加熱（ベーク）した。形成された遮光膜（硬化物）の膜厚は１．０μｍであった。この遮光膜（硬化物）について、Ｄ２００－ＩＩ（Ｍａｃｂｅｔｈ製）を用いてＯＤ値を測定した。
１０ｃｍ２のガラス基板（コーニング製、イーグルＸＧ）上に、感光性組成物を塗布した後、８０℃で１２０秒間加熱（乾燥）して、塗布膜を形成した。次いで、この塗布膜に、プロキシミティ露光装置（製品名：ＴＭＥ－１５０ＲＴＯ、株式会社トプコン製）を用いて、ｉ線（３６５ｎｍ）を含むブロードバンド光を照射した。露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２とした。そして、９０℃で３０分間、ホットプレート上で加熱（ベーク）した。形成された遮光膜（硬化物）の膜厚は１．０μｍであった。この遮光膜（硬化物）について、Ｄ２００－ＩＩ（Ｍａｃｂｅｔｈ製）を用いてＯＤ値を測定した。
【0247】
〔レンズの透過率（現像残渣）の評価〕
感光性組成物を用いて、図２に示す方法で、レンズ１の周縁に遮光層２を形成した。
具体的には、まず、感光性組成物を、直径３ｃｍ・厚さ３ｍｍの凸レンズ状基材（ポリカーボネート製）上の全面にスプレーコーターを用いて塗布し、８０℃で１２０秒間加熱（乾燥）して、塗布膜を形成した。次いで、レンズ中心を直径２ｃｍの遮光材でマスクし、両面プリンター「オーク株式会社製ＨＭＷ－５３２Ｄ」を用いｉ線（３６５ｎｍ）を含むブロードバンド光を照射した。露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後の塗布膜を、２６℃の０．０４質量％ＫＯＨ水溶液で５０秒間現像後、９０℃にて３０分間加熱（ベーク）することにより、膜厚１．０μｍの遮光層２をレンズ１の周縁に形成した。
感光性組成物を塗布する前のレンズ１、及び、遮光層２が形成されたレンズについて、波長３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下における、厚さ方向の透過率を、ＭＣＰＤ－３０００（大塚電子（株）製）を用いて測定し、それぞれ平均値を求め、当該平均値を、感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率、及び、遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率とした。なお、遮光層が形成されたレンズについては、未露光部を測定し、また、感光性組成物を塗布する前のレンズについては、遮光層が形成されたレンズでの測定と同じ箇所を測定した。下記式で求めた透過率変化が、１％未満の場合を◎と評価し、１％以上２％未満の場合を○評価とし、２％以上の場合を×評価とした。
透過率変化（％）＝（Ｔ１／Ｔ０）×１００
Ｔ０：感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率
Ｔ１：遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率
感光性組成物を用いて、図２に示す方法で、レンズ１の周縁に遮光層２を形成した。
具体的には、まず、感光性組成物を、直径３ｃｍ・厚さ３ｍｍの凸レンズ状基材（ポリカーボネート製）上の全面にスプレーコーターを用いて塗布し、８０℃で１２０秒間加熱（乾燥）して、塗布膜を形成した。次いで、レンズ中心を直径２ｃｍの遮光材でマスクし、両面プリンター「オーク株式会社製ＨＭＷ－５３２Ｄ」を用いｉ線（３６５ｎｍ）を含むブロードバンド光を照射した。露光量は、１００ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後の塗布膜を、２６℃の０．０４質量％ＫＯＨ水溶液で５０秒間現像後、９０℃にて３０分間加熱（ベーク）することにより、膜厚１．０μｍの遮光層２をレンズ１の周縁に形成した。
感光性組成物を塗布する前のレンズ１、及び、遮光層２が形成されたレンズについて、波長３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下における、厚さ方向の透過率を、ＭＣＰＤ－３０００（大塚電子（株）製）を用いて測定し、それぞれ平均値を求め、当該平均値を、感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率、及び、遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率とした。なお、遮光層が形成されたレンズについては、未露光部を測定し、また、感光性組成物を塗布する前のレンズについては、遮光層が形成されたレンズでの測定と同じ箇所を測定した。下記式で求めた透過率変化が、１％未満の場合を◎と評価し、１％以上２％未満の場合を○評価とし、２％以上の場合を×評価とした。
透過率変化（％）＝（Ｔ１／Ｔ０）×１００
Ｔ０：感光性組成物を塗布する前のレンズの透過率
Ｔ１：遮光層が形成されたレンズの未露光部の透過率
【0248】
【表1】
【0249】
実施例１～８によれば、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と光重合性モノマー（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）と遮光剤（Ｄ）とを含み、遮光剤（Ｄ）が有機黒色顔料（Ｄ１）を含み、感光性組成物の固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が５質量％以上３０質量％以下である含む感光性組成物は、レンズに塗布して形成した塗布膜を位置選択的に露光及び現像することにより、遮光層を形成でき、且つ未露光部のレンズの透過率の低下を抑制できることが分かる。中でも、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の質量平均分子量が２５００以下である実施例４は、特に未露光部のレンズの透過率が高かった。
【0250】
他方、比較例１～３によれば、有機黒色顔料（Ｄ１）を含まない感光性組成物や、固形分の質量に対する有機黒色顔料（Ｄ１）の質量の比率が５質量％以上３０質量％以下の範囲外である感光性組成物を用いると、現像残渣が生じ未露光部のレンズの透過率が低かった。
【符号の説明】
【0251】
１ レンズ
２ 遮光層
３ 遮光層を形成する位置
４ ネガ型マスク
５ 未露光部
１０ 光学素子
２ 遮光層
３ 遮光層を形成する位置
４ ネガ型マスク
５ 未露光部
１０ 光学素子
【図1】
【図2】